CN103748554A - 等离子体处理相关的软件应用程序的数据架构和用户界面 - Google Patents

Abstract

提供了一种用于创建与等离子体处理相关的应用程序的架构。该架构包括具有多个框架组件的基础层，其中所述框架组件包括安全组件、数据管理组件和用户界面（UI）组件中的至少一者。该架构还包括具有成组视图的分析视图层，其中所述成组视图利用来自所述基础层的组件生成。该架构进一步包括具有多个分析模块的分析模块层，其中所述多个分析模块中的每个分析模块由所述成组视图中的一或多个视图组合成。此外，该架构包括具有多个应用程序的应用层，其中所述多个应用程序中的每个应用程序由一或多个分析模块组合成。

Description

等离子体处理相关的软件应用程序的数据架构和用户界面

背景技术

采用等离子体增强处理（比如等离子体增强蚀刻和等离子体增强沉积）将衬底（例如，硅晶片、平板）处理成电子产品（比如集成电路或平板显示器或液晶显示器）已有很长时间。利用等离子体增强技术处理衬底是高度复杂的且往往需要高技能人才来操作复杂的等离子体设备。利用能够控制、监控、分析和/或响应在等离子体处理室中发生的事件的软件应用程序，等离子体增强处理的复杂性可能有所减轻。

但是，由于现代高器件密度的等离子体处理技术的复杂性，在给定的批量衬底的等离子体处理中往往涉及大量的数据和高度复杂的软件应用程序阵列。例如，不同的软件应用程序可被用于控制晶片加工进度（wafer movement）、开始/停止等离子体、从具体的配方产生具体类型的等离子体、控制各种旋钮以根据给定配方实现处理、监控室的健康、分析吞吐量、生成警报，等等。

随着等离子体处理需求朝着不断缩小的器件的生产发展，即使是技能最好的人类操作员，面对复杂的多室等离子体处理集群的操作和维护中所牵涉的大量***的软件应用程序，也会不知所措。这部分是因为这些软件应用程序中的每一个均可提供大量的功能或能力集，这些功能或能力只有在大量的培训和接触具体软件应用程序的功能/能力之后才易于和/或能够在生产中使用。

进一步地，即使一人掌握一个具体的软件应用程序，不同软件应用程序的对衬底的等离子体处理而言必需的功能和能力也会涉及使用不同的用户界面外观/感受或者导航步骤、呈现数据的不同方式、人类操作员获取给定操作所需的数据的不同方法，等等。由于人类操作员必须学习每个独立的与等离子体处理相关的软件（PPRS）应用程序的独特的用户界面导航或外观/感受且必须熟悉每个PPRS应用程序的不同的数据获取步骤，所以在人类操作员能够用高效操作现代等离子体处理机器所必需的软件应用程序的必要套件进行生产之前通常需要大量的培训。

基于持续的进步，如果套件中的任何给定的软件应用程序的功能集或能力由于例如版本更新而改变，则会需要人类操作员为更新过的软件应用程序重新学习新的用户界面和/或数据获取步骤。对一些人类操作员而言，复杂性成为压倒性的且没有动机去学习新的PPRS应用程序或者去对现有PPRS应用程序做比执行生产衬底所需要的最低配置所绝对必要的钻研更深的钻研。所以，当前的PPRS应用程序的复杂性阻碍了人类操作员了解每个PPRS应用程序所提供的丰富的功能集的全部潜能。

附图说明

在附图中，通过实施例的方式而非通过限制的方式对本发明进行说明且其中，类似的附图标记指代类似的元素，且其中：

图1根据本发明的实施方式示出了四层的概念图，其包括示例性的创造性PPRS架构。

图2是应用程序的示例性屏幕截图，其中示出了模块和视图的各种实例。

图3示出了具有某些通用语境数据字段和特定语境数据字段的数据加载（Load Data）面板的实施例。

图4示出了具有因特定语境数据的差异而与图3的特定语境数据字段不同的特定语境数据字段的数据加载（Load Data）面板的另一实施例。

具体实施方式

现在将参考附图中所示的本发明的一些实施方式对本发明进行详细描述。在下面的描述中，许多具体细节被阐述以便提供对本发明的透彻理解。但对本领域技术人员而言，明显的是，本发明可在没有这些具体细节中的一些或全部的情况下被实施。另一方面，公知的工艺步骤和/或结构不会被详细描述以免不必要地模糊本发明。

下面描述各种实施方式，包括方法和技术。应当了解，本发明也可涵盖包括存储了用于执行本发明的实施方式的计算机可读指令的计算机可读介质的制造物件。计算机可读介质可包括例如用于存储计算机可读代码的半导体的、磁的、光磁的、光学的或其它形式的计算机可读介质。进一步地，本发明还可涵盖用于实施本发明的实施方式的装置。这样的装置可包括专用和/或可编程电路以执行与本发明的实施方式有关的任务。这样的装置的示例包括通用计算机和/或被适当编程的专用计算设备且可包括适用于与本发明的实施方式有关的各种任务的计算机/计算设备和专用/可编程电路的组合。

本发明的实施方式促进了在等离子体处理衬底时所使用的PPRS应用程序套件的不同PPRS应用程序之间的一致的用户界面（导航和/或外观/感受）和一致的数据管理/访问。此外，本发明的实施方式提高了构建块的可重用（reusability）性以便可以更快地开发新的PPRS应用程序。进一步地，任何新开发的PPRS应用程序会大体上遵循相同的一致的用户界面和一致的数据管理/访问以鼓励用户使用并方便快速的培训和应用部署。

在一或多种实施方式中，提供了具有四或更多层的PPRS架构。在优选实施方式中，如本文实施例中所述，构思了四层PPRS架构。在其它实施方式中，如果需要，可采用更多数量的层。在一或多种实施方式中，该四层从最底层到最高层是基础层、分析视图层、分析模块层和应用层。

在最底层处是包括框架项的基础层，所述框架项由分析视图层中的视图共用。在基础层上面的下一个较高层处是分析视图层，其包括利用（leverage）基础层中的框架项共用组的（例如，访问或者采用基础层中的框架项共用组的，或者被基础层中的框架项共用组限定的）各种视图（页面）。在分析视图层上面的下一个较高层处是分析模块层，其包括利用分析视图层中的分析视图共用组的（例如，访问或者采用分析视图层中的分析视图共用组的，或者被分析视图层中的分析视图共用组限定的）各种模块。分析视图的不同组合可被用于创建一或多个分析模块。最后，在分析模块层上面的下一个较高层处是应用层，其包括利用分析模块层中的分析模块共用组的（例如，访问或者采用分析模块层中的分析模块共用组的，或者被分析模块层中的分析模块共用组限定的）各种应用程序。分析模块的不同组合可被用于创建一或多个应用程序。

进一步详细来说，在基础层中提供了处理低层安全性、低层数据管理/访问以及低层UI导航和外观/感受或视觉化的框架项。例如，这些框架项控制不同的视图或页面外观可以如何、可怎样被导航或者可怎样访问/管理数据。接着，在遵循由基础层中的框架项所定义的UI和数据访问/管理规则的情况下，不同的视图或页面可按各种组合方式进行组合以创建不同的分析模块。由于不同的分析模块遵循相同的UI和数据访问/管理规则组并利用相同的分析视图共用组，因此分析视图的可重用性在新的分析模块的开发中被提高。此外，一旦人类操作员学会怎样导航具体页面/视图或者怎样通过特定页面/视图访问/管理数据，那么当在不同的模块中采用相同的页面/视图时，他们便可体验大体上相同的UI外观/感受和导航步骤。通过这种方式，在人类操作员遇到新的模块时，学习的复杂性基本上被最小化。

进一步，在遵循由基础层中的框架项所定义的UI和数据访问/管理规则的情况下，不同的模块接着可按各种组合方式进行组合以创建不同的应用程序。由于不同的应用程序遵循相同的UI和数据访问/管理规则组并利用相同的分析模块共用组，因此分析模块的可重用性在新的应用程序的开发中被提高。此外，一旦人类操作员学会怎样导航具体模块或者怎样通过特定模块访问/管理数据，那么当在不同的应用程序中采用相同的模块时，他们便可体验大体上相同的UI外观/感受和导航步骤。通过这种方式，在人类操作员遇到新的应用程序时，学习的复杂性基本上被最小化。

进一步，框架可提供所有应用程序共用的项。换句话说，可提供框架容器，不论套件中提供哪个应用程序，框架容器UI和数据访问/管理都可被保持一致（假设跨越该套件的各种应用程序，这些框架容器UI步骤和数据访问/管理需求是共同的）。通过这种方式，呈现给人类操作员的是就套件而言大体上相同的UI外观/感受和相同的数据管理/访问步骤，而不论套件中可调用（populate）哪个应用程序或者套件中可调用多少应用程序或者哪个应用程序是当前处于焦点的。

参考附图和接下来的讨论可更好地理解各种实施方式的特点和优点。

图1根据本发明的实施方式示出了四层的概念图，其包括示例性的创造性PPRS架构100，PPRS架构100跨越套件中的所有PPRS应用程序提高了可重用性、一致的UI和一致的数据管理访问。参考图1，其示出了包括多个框架项104-112的基础层102。示例性的图1的框架项104-112（安全性104、数据类型106、数据管理108、GUI基础110、数据视觉化112）包括三大类的框架项：安全性、数据访问/管理以及UI。

例如，所示的安全性框架项104可包括安全定义且可由用户管理认证访问和权限。数据访问/管理包括两个框架项：数据类型106和数据管理108。数据类型106可包含来自工具的数据定义使得各种视图/模块可按一致的方式访问数据。数据管理108可定义数据被存储在哪里、数据在各种数据存储中格式如何、以及各种数据存储如何可被访问。

UI框架项可包括GUI（图形用户界面）基础框架项110和数据视觉化框架项112。GUI基础框架项110可包括UI定义和规则，UI定义和规则由利用了与GUI基础框架项110相关联的定义和规则的视图/模块/应用程序/框架来支撑一致的UI外观/感受和/或导航。数据视觉化框架项112可包括数据视觉化工具，比如图表工具、表格工具，等等。

在基础层102之上是分析视图层120。分析视图层120包括利用由基础层102中的框架项指定的定义/规则/方法创建的视图（其可在显示器屏幕上呈现为页面）。据此，分析视图层120的视图122-140（事件122、警报124、批次（Lot）126、图表128、图表配置130、吞吐量（Tput）132、直方图134、趋势136、晶片加工进度138、室健康指数140）具有一致的UI外观/感受和导航，因为它们使用由GUI基础框架项110和数据视觉化框架项112指定的相同的定义/规则/方法。进一步，分析视图层120的视图122-140具有相同的数据管理/访问/加载步骤和方法，因为它们使用由数据类型框架项106和数据管理框架项108指定的相同的数据定义/规则/方法。如果执行分析视图层120的视图122-140中的一或多个的安全性，则安全性被一致地执行，因为视图122-140使用在安全性框架项104中所指定的相同的安全性定义/规则/方法。

在图1的实施例中，警报视图124用来在迫使警报报警的条件出现时获取警报详细参数并显示警报。批次视图126允许人类操作员回顾晶片批次信息。图表视图128以图表方式显示数据，具体取决于指定了哪个图表。晶片加工进度视图138显示与晶片进出等离子体处理工具的各种处理模块的传送相关的数据。这些只是示例性的且本文稍后在讨论实施例以帮助理解本发明的PPRS架构的优点时会详述分析视图120的视图122-140的其它视图。

在分析视图层120上面是分析模块层150。分析模块152-160（事件152、警报154、吞吐量156、晶片加工进度158、室健康指数160）中的每一个由分析视图层120的视图122-140中的一或多个组合成。来自分析视图层120的视图可被分析模块层150的单个分析模块排他地采用或者可被分析模块层150的不同分析模块采用。例如，室健康指数视图140只被室健康指数模块160采用。又例如，晶片加工进度视图138被晶片加工进度模块158和吞吐量模块156二者采用。

在分析模块层150上面是应用层170。应用程序172-178（LamScope标准版172、LamScope专家版174、警报浏览器176、APECS脱机178）中的每一个由分析模块层150的模块152-160中的一或多个组合成。来自分析模块层150的模块可被应用层170的单个应用程序排他地采用或者可被应用层170的不同应用程序采用。例如，LamScope标准版应用程序172可采用包括事件模块152、警报模块154和晶片加工进度模块158的模块组合。又例如，LamScope专家版应用程序174可采用不同的模块组合，即事件模块152、警报模块154和吞吐量模块156的模块组合。再例如，APECS脱机应用程序178可只采用室健康指数模块160。又例如，警报浏览器模块176可只采用警报模块154。

因为应用程序（在应用层170中）由模块化的分析模块（在分析模块层150中）构建，分析模块进而由模块化的分析视图（在分析视图层120中）构建，分析视图进而利用基础层102中的相同框架项组（例如，访问或者采用基础层102中的相同框架项组，或者被基础层102中的相同框架项组限定），所以不论视图被用在哪个或哪些模块中，在相同的视图中有共同的UI外观/感受和导航。进一步地，不论模块被用在哪个或哪些应用程序中，上述结构在相同的模块中导致相同的共同UI外观/感受和导航。

另外，由于所有视图/模块/应用程序中的数据管理/访问/加载均利用基础层102中的相同的框架项组，所以在应用程序之间、在模块之间、以及在视图之间，不论具体视图被用在哪个模块中，也不论具体模块被用在哪个应用程序中，数据以相同的方式被访问和管理。

由于视图利用了相同的框架项池，模块利用了视图池，且应用程序利用了相同的模块池，所以可重用性也大大提高。

此外，数据访问/管理和UI定义/规则/方法也管理所有应用程序共用的全局工具。这些全局工具的示例包括跨越所有应用程序共用的“Load Data”、“Save Data”和“Delete Data”工具。据此，当人类操作员在套件的应用程序之间切换时，在任何给定时间点，不论人类操作员采用哪个应用程序，不仅视图/模块/应用程序具有大体上相同的UI外观/感受和导航以及大体上相同的数据访问/管理，而且相同的全局工具组也是一致的。

可重用性的另一方面是开发新应用程序的简易性。假设新的数据类型由工具之一产生并成为可用类型。如果视图被提供来访问并分析该新的数据类型，则新应用程序的开发者不需要理解如何访问和分析该新数据类型。在这种情况下，开发者简单地采用使用该视图的适当模块，而数据访问和管理的细节对该开发者而言是隐藏的。当然，相同的视图出于不同目的可被不同的分析模块采用，并可被相同的新应用程序或其它不同的应用程序采用，如果希望的话。

相较而言，现有技术的自定义应用程序会要求开发者从头开始自定义工艺用户界面外观/感受和导航，还要求开发者理解如何在最基础的数据管理/访问层面访问和管理数据。即使已为另一现有应用程序开发了某些UI部件和数据访问/管理例程，但因为在过去不同的应用程序可能用不同的应用程序开发环境开发，这些部件的可重用性也可能不适用（这使得，例如，Java图表在C++开发环境中不可用）。在本发明的一或多种实施方式中，本发明的PPRS架构的视图/模块/应用程序用可从包括华盛顿州雷德蒙德市的微软公司在内的多家供应商那里获得的C#程序语言和.NET框架开发环境开发。应当指出，也可采用其它程序语言和开发环境，只要跨越PPRS套件的所有视图/模块/应用程序一致地采用它们即可。

另外，因为视图/模块/应用程序全部利用了基础层中的相同框架项，所以可以高效地完成本地化和升级。例如，如果需要为特定国家本地化特定的PPRS应用程序，那么可修改该PPRS应用程序所采用的框架项以符合本地化要求且所有的视图/模块/应用程序可因此被自动本地化。

图2是应用程序（在该实施例中是LamScope专家版——参见图1，附图标记174）的示例性屏幕截图，其中启动了吞吐量模块（图1附图标记156）的实例和警报模块（图1附图标记154）的实例。更具体地，警报模块（图1附图标记154）的警报视图（图1附图标记124）当前在图2中是处于焦点的。

在实现图2的前台中的警报视图的页面中，示出了两个小部件（widget）210和212。小部件210用于指定警报数据查询配置而小部件212用于显示警报。这两个小部件210和212的UI外观/感受由图1中的UI框架项110和112控制。

警报模块202（参见图1的附图标记154以进行比较）的各种视图由选项卡220、222、224和226执行。因此，选项卡220（警报）对应于图1的架构中的警报视图124。选项卡222（图表）对应于图1的架构中的图表视图128。选项卡224（批次）对应于图1的架构中的批次视图126。选项卡226（图表配置）对应于图1的架构中的图表配置视图130。通过选择选项卡220-226中的一个，人类操作员可选择警报模块202的哪个视图在给定时间处于焦点。此外，如果警报模块202在不同的应用程序中执行，则所讨论的相同的选项卡和小部件会显示为大体上相同，且UI导航步骤会大体上同样地执行。类似地，通过警报模块202的视图的数据管理/访问会以大体上相同的方式执行。因此，人类操作员用一个应用程序中的给定模块获得的经验和知识容易地使得该人类操作员在与不同应用程序中的相同模块交互时是熟练的。

图2的LamScope专家版应用程序的各种模块可通过图2的图标240、242和244访问。这三个图标对应于图1的三个模块152、154和154，这三个模块构成图1的LamScope专家版应用程序174。因为人类操作员选择了图标240，所以警报模块处于焦点。为了使另一模块处于焦点，人类操作员简单地选择其对应图标。这些图标的外观/感受也由联系图1所讨论的UI框架项控制且跨越应用程序是一致的使得人类操作员能够通过在左下角选择恰当的图标来访问任何给定应用程序的模块（图标集的位置是任意的——只要该位置跨越应用程序一致即可，位置选择不是很重要）。

图2中也示出了全局工具图标260、262和264（“Load Data”（“加载数据”）、“Save Data”（“保存数据”）和“Delete Data”（“删除数据”））。一般而言，这些全局工具图标执行全局工具，全局工具是更广大框架的部分且跨越应用程序共用且跨越应用程序具有一致的外观/感受/导航。这些全局工具图标的外观/感受也由联系图1所讨论的UI框架项控制且跨越应用程序是一致的使得人类操作员在通过在左上角选择恰当的图标而用任何给定应用程序工作时能够容易地访问这些全局工具（全局工具图标集的位置是任意的——只要该位置跨越应用程序一致即可，位置选择不是很重要）。

图3示出了“Load Data”全局工具被激活（例如，通过激活图2的“Load Data”图标260）的实施例。在该具体实施例中，数据加载面板在人类操作员用LamScope专家版应用程序中的警报分析模块工作时打开。与PPRS架构的其它组件的UI外观/感受/导航一样，数据加载面板的UI外观/感受/导航由图1的UI框架项110和112控制以强制实现一致的UI体验。通过图3的数据加载面板的数据管理/访问利用了图1的数据管理/访问框架项106和108以使数据访问/管理标准化。

提供给数据加载工具的语境信息使得能够为人类操作员当前用以工作的特定的模块/应用程序恰当地调用数据加载面板。应当注意，图3的数据加载面板可在不同的应用程序中重用（reuse）。但是，与不同应用程序相关联的不同语境信息可导致在数据加载面板的某些分段（subsection）中调用不同的字段（尽管具有大体上类似的UI外观/感受/导航以及大体上类似的数据管理/访问方法）。

一般而言，存在控制特定页面中所调用字段的至少两种类型的语境信息。通用语境指定不论哪个具体视图/模块/应用程序当前处于焦点都存在的字段。通用语境数据字段的示例包括工具标识、数据产生时间等。相较而言，特定语境指定可根据哪个视图/模块/应用程序在页面被打开时处于焦点而调用的字段。例如，警报分析模块处于焦点这一事实会导致与警报分析相关的特定语境字段，比如警报ID（例如，哪个工具或传感器发出该警报）。

因此，语境信息（通用的或特定的）控制哪些字段被显示并控制控件以操纵与这些字段相关联的属性。在本发明的一或多种实施方式中，与通用语境信息相关联的字段被显示在页面的一般定义区域中的小部件中，而与特定语境信息相关联的字段被显示在该页面的另一个一般定义区域中的另一个小部件中。

进一步详细来说，在图3的实施例中，LamScope专家版应用程序的警报分析模块当前处于焦点这一事实导致特定语境小部件302显示基于该特定语境的字段。相较之下，小部件304显示的字段不变，不论哪个视图/模块/应用程序当前处于焦点。LamScope专家版应用程序的警报分析模块当前处于焦点这一事实导致图3的数据加载面板显示可供选择的四个可行的数据源选项310、312、314和316。在实施方式中，举例来说，可采用在上电（power-up）时执行或周期性地执行的自动发现来确定包含警报数据的数据源的数量和标识。

比较图3的数据加载面板和图4的数据加载面板。在图4的实施例中，数据加载面板在通用语境小部件404中显示了在图3的通用语境小部件304所见的相同字段。这是因为与图3的小部件304和图4的小部件404相关联的字段是通用语境字段且不依赖于当前处于焦点的具体视图/模块/应用程序。但是，特定语境小部件402显示了与图3的特定语境小部件302中所显示的字段不同的字段，因为图4的数据加载面板在不同模块（在图4的实施例中是吞吐量模块）处于焦点时被打开。注意，特定语境信息也导致图4的数据加载面板只指定了3个源（412、414和416）作为获取吞吐量数据的可选数据源选项。

进一步，应当注意，虽然图3和图4的数据加载面板可因激活数据面板的不同语境而包含不同字段，但是因为UI由来自基础层中的相同的UI框架项的相同的规则实施，所以大多数UI外观/感受保持相同。因此，用于选择数据源的图标的形状通常看起来是相同的，且这些图标在不同数据加载面板的页面中被设置在相同的通用位置（general location）中，但数据源图标的数量可以变化。又例如，图3的通用语境小部件304和通用语境小部件404中的通用语境数据字段看起来大体上相同，因为这些数据字段相对于当前处于焦点的具体视图/模块/应用程序是不变的。进一步地，在图3和图4中，用于操纵与这些字段相关联的属性的控件看起来是相同的。再例如，虽然特定语境数据字段在图3和图4（附图标记302和402）中是不同的，但是这些字段的通用位置（例如，始终在页面的右侧，但选择右侧是随意的）在两个图中大体上相同以尽可能实现一致的UI外观/感受。

从上述可知，本发明的实施方式导致了一致的UI外观/感受/导航，这大大提高了工作效率，由此，人类操作员在PPRS套件的给定应用程序中在该人类操作员已在PPRS套件的其它应用程序中接触过类似的视图和/或类似的模块时可使用并变得高效。UI外观/感受/导航跨越模块和应用程序的一致性大大缩短了当人类操作员遇到新PPRS应用程序时的学习曲线。

通过在最底层（即，基础层）实现UI外观/感受/导航，所有的视图/模块/应用程序有利地遵循由基础层中的框架项指定的定义/规则/方法。从而，通过简单地改变基础层的UI框架项中的定义/规则/方法，与UI相关的改变可容易地完成且可跨越不同的视图/模块/应用程序一致地传播。

此外，由于视图、模块和应用程序以模块化的方式由下面的层中的实体的组合构建，所以数据访问/管理抽象被完成，跨越视图/模块/应用程序，数据访问/管理本身是一致的，且构建块的可重用性高。因此，能够从现有的模块/视图/框架项高效地开发新的应用程序，从而大大降低实现软件工具的成本，并保持适应现今不断发展且越来越严格的工艺要求所需要的等离子体设备***的多样性。

虽然已根据若干优选实施方式对本发明进行了描述，但还有落在本发明的范围内的变化方案、置换方案和等同方案。此外，应当注意，还有实施本发明的方法和装置的许多替代方式。虽然本文提供了各种实施例，但其意图是，对本发明而言，这些实施例是示例性的而非限制性的。

此外，为了方便，本文提供了发明名称和概要，但它们不应被用来解释本文的权利要求的范围。另外，摘要以高度浓缩的形式写就且为了方便而在本文中提供，因此它不应被用来解释或限制整体发明，整体发明被表达在权利要求中。如果本文中使用了术语“成组的”，这种术语意在具有其通常理解上的数学意义以涵盖零个、一个、或多于一个的构件。因此，意在将下面所附权利要求解释为包括落在本发明的真实精神和范围内的所有这样的变化方案、置换方案和等同方案。

Claims (22)

1.一种用于创建与等离子体处理相关的应用程序的架构，其包括：

具有多个框架组件的基础层，其中所述框架组件包括安全组件、数据管理组件和用户界面（UI）组件中的至少一者；

具有成组视图的分析视图层，其中所述成组视图利用来自所述基础层的组件生成；

具有多个分析模块的分析模块层，其中所述多个分析模块中的每个分析模块由所述成组视图中的一或多个视图组合成；以及

具有多个应用程序的应用层，其中所述多个应用程序中的每个应用程序由一或多个分析模块组合成。

2.如权利要求1所述的架构，其中所述框架组件包括所述安全组件，所述安全组件包括至少安全定义。

3.如权利要求1所述的架构，其中所述框架组件包括所述数据管理组件，所述数据管理组件包括下列中的至少一者

数据类型，其中所述数据类型包括来自成套工具的至少数据定义，和

数据管理，其中所述数据管理包括至少所存储数据的位置、所述所存储数据的格式、以及用于访问所述所存储数据的装置。

4.如权利要求1所述的架构，其中所述框架组件包括所述UI组件，所述UI组件包括下列中的至少一者

图形用户界面（UI）组件，其中所述GUI包括UI定义和规则中的至少一者，和

数据视觉化组件，其中所述数据视觉化组件包括图表和表格中的至少一者。

5.如权利要求1所述的架构，其中所述成组视图在显示器屏幕上被呈现为成组页面，其中所述成组视图中的每一个视图具有下列中的至少一者

具有一致的导航模式的一致的UI，

一致的数据管理方法，和

一致的安全性方法。

6.如权利要求1所述的架构，其中所述成组视图中的视图被单个分析模块使用。

7.如权利要求1所述的架构，其中所述成组视图中的视图被多个分析模块使用。

8.如权利要求1所述的架构，其中所述多个分析模块中的分析模块被单个应用程序使用。

9.如权利要求1所述的架构，其中所述多个分析模块中的分析模块被多个应用程序使用。

10.如权利要求1所述的架构，其中所述成组视图中的每个视图是模块化的。

11.如权利要求1所述的架构，其中所述多个分析模块中的每个分析模块是模块化的。

12.一种用于在创建与等离子体处理相关的应用程序时提供共用的数据架构和用户界面（UI）的计算机执行的方法，其包括：

设立多个框架组件，其中所述多个框架组件包括安全组件、数据管理组件和用户界面（UI）组件中的至少一者；

生成成组视图，其中所述成组视图利用来自所述基础层的组件开发；

组合一或多个视图以创建至少一个分析模块；以及

组合一或多个分析模块以创建至少一个应用程序。

13.如权利要求12所述的计算机执行的方法，其中所述多个框架组件包括所述安全组件通过建立安全定义来提供。

14.如权利要求12所述的计算机执行的方法，其中所述多个框架组件包括所述数据管理组件通过下列中的至少一者来提供

建立数据类型，其中所述数据类型包括来自成套工具的至少数据定义，和

建立数据管理，其中所述数据管理包括至少所存储数据的位置、所述所存储数据的格式、以及用于访问所述所存储数据的装置。

15.如权利要求12所述的计算机执行的方法，其中所述多个框架组件包括所述UI组件通过下列中的至少一者来提供

建立图形用户界面（GUI）组件，其中所述GUI包括UI定义和规则中的至少一者，和

建立数据视觉化组件，其中所述数据视觉化组件包括图表和表格中的至少一者。

16.如权利要求12所述的计算机执行的方法，其中所述成组视图在显示器屏幕上被呈现为成组页面，其中所述成组视图中的每一个视图具有下列中的至少一者

具有一致的导航模式的一致的UI，

一致的数据管理方法，和

一致的安全性方法。

17.如权利要求12所述的计算机执行的方法，其中所述成组视图中的视图被单个分析模块使用。

18.如权利要求12所述的计算机执行的方法，其中所述成组视图中的视图被多个分析模块使用。

19.如权利要求12所述的计算机执行的方法，其中所述多个分析模块中的分析模块被单个应用程序使用。

20.如权利要求12所述的计算机执行的方法，其中所述多个分析模块中的分析模块被多个应用程序使用。

21.如权利要求12所述的计算机执行的方法，其中所述成组视图中的每个视图是模块化的。

22.如权利要求12所述的计算机执行的方法，其中所述多个分析模块中的每个分析模块是模块化的。

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