CN103691703A - 一种清洁装置以及自动清洁*** - Google Patents
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Abstract
本发明实施例提供了一种清洁装置以及自动清洁***，涉及显示技术领域，可去除物品表面的污染颗粒；该清洁装置包括离子清洁***、传输轨道以及承载台；所述离子清洁***包括腔体、设置在腔体上的吹气孔和吸气孔、设置在腔体内部且位于吹气孔处的放电装置、以及设置在腔体外侧与吹气孔连接的吹气管道和与吸气孔连接的吸气管道；其中，放电装置用于产生等离子体；所述传输轨道包括导轨以及设置在导轨上的传动带；其中，传输轨道与腔体的上、下底面平行设置，且传输轨道的一部分位于腔体内，另一部分延伸到腔体外；所述承载台设置在传动带上；用于物品表面的清洁。
Description
技术领域
本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种清洁装置以及自动清洁***。
背景技术
实际生产中，对于一些物品例如玻璃制品表面的清洁，主要是通过有机溶剂溶解附着于其表面的污染颗粒实现的。但是，一方面，由于有机溶剂具有腐蚀性，这会引起所述物品表面的损伤；另一方面，通过有机溶剂清洁之后产生的废液具有污染性，需要经过处理方可排放，从而导致成本的提高。此外，利用有机溶剂进行清洁，对于带电颗粒的清洁效果不理想。
示例的，在实际生产中掩膜板的换取通常是由人工操作完成的，在此过程中不可避免的会因摩擦而产生静电，从而吸附空气中的带电颗粒，造成掩膜板的污染；也就是说，掩膜板表面的主要污染源是静电吸附的带电颗粒。目前，对上述掩膜板的清洁方法主要是采用有机溶剂进行清洁，但这种清洁方法难以实现表面带电颗粒的清洁，或者清洁效果不理想。
发明内容
本发明的实施例提供一种清洁装置以及自动清洁***，可去除物品表面的污染颗粒。
为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案：
一方面，提供一种清洁装置；所述清洁装置包括离子清洁***、传输轨道以及承载台；所述离子清洁***包括腔体、设置在所述腔体上的吹气孔和吸气孔、设置在所述腔体内部且位于所述吹气孔处的放电装置、以及设置在所述腔体外侧与所述吹气孔连接的吹气管道和与所述吸气孔连接的吸气管道；其中，所述放电装置用于产生等离子体；所述传输轨道包括导轨以及设置在所述导轨上的传动带；其中，所述传输轨道与所述腔体的上、下底面平行设置，且所述传输轨道的一部分位于所述腔体内，另一部分延伸到所述腔体外；所述承载台设置在所述传动带上。
可选的，所述清洁装置还包括位置传感器；所述位置传感器位于所述腔体内并设置在所述腔体的后侧面上，用于感测所述承载台上的待清洁物品的存在、及所述待清洁物品或清洁后的物品相对所述位置传感器的距离；其中，所述腔体的后侧面与所述传输轨道的延伸方向垂直。
进一步可选的，所述清洁装置还包括与所述位置传感器和所述离子清洁***均连接的第一控制器；其中，当所述位置传感器感测到所述承载台上的待清洁物品的存在并到达预定位置时，所述第一控制器控制所述离子清洁***对所述待清洁物品进行等离子体清洁。
可选的，所述吹气孔设置在所述腔体的上底面，或者所述腔体的左、右侧面；所述吸气孔设置在所述腔体的底部；其中，所述腔体的左、右侧面均与所述传输轨道的延伸方向平行。
另一方面，提供一种自动清洁***，包括上述的清洁装置以及机械手；其中，所述机械手用于传送待清洁物品和清洁后的物品。
可选的，在所述清洁装置包括位置传感器的情况下，所述自动清洁***还包括与所述位置传感器和所述机械手均连接的第二控制器；其中，当所述位置传感器感测到设置在所述清洁装置的承载台上的所述清洁后的物品大于预设距离时，所述第二控制器控制所述机械手到达预定位置接收所述清洁后的物品。
进一步可选的，所述自动清洁***还包括设置在所述清洁装置的腔体外侧的识别器，且所述识别器与所述第二控制器相连；其中，所述第二控制器还与所述清洁装置的传输轨道相连；所述第二控制器控制所述机械手将所述待清洁物品传送到所述识别器位置处，并控制所述识别器对所述待清洁物品进行识别；当所述识别器识别到所述机械手传送的待清洁物品的信息后，所述第二控制器控制所述传输轨道的传动带带动承载台到达所述预定位置，并控制所述机械手将所述待清洁物品放置在所述承载台上。
进一步的，所述识别器包括用于识别条形码的条码识别器；其中，所述待清洁物品的信息唯一对应所述条形码。
本发明实施例提供一种清洁装置；所述清洁装置包括离子清洁***、传输轨道以及承载台；所述离子清洁***包括腔体、设置在所述腔体上的吹气孔和吸气孔、设置在所述腔体内部且位于所述吹气孔处的放电装置、以及设置在所述腔体外侧与所述吹气孔连接的吹气管道和与所述吸气孔连接的吸气管道；其中，所述放电装置用于产生等离子体；所述传输轨道包括导轨以及设置在所述导轨上的传动带；其中，所述传输轨道与所述腔体的上、下底面平行设置，且所述传输轨道的一部分位于所述腔体内，另一部分延伸到所述腔体外；所述承载台设置在所述传动带上。
由于在实际生产中，待清洁物品表面的污染颗粒包括普通沉积颗粒以及由于静电吸附作用而附着在物品表面的带电颗粒，当通过本发明实施例提供的清洁装置对所述物品表面进行清洁时，一方面，从所述吹气孔吹入的具有一定流速的气体例如空气进入所述腔体后，所述待清洁物品表面的普通沉积颗粒会被该流动的气体带走，从而实现物品表面普通沉积颗粒的清洁；另一方面，所述放电装置产生的等离子体电荷跟随该流动的气体吹向所述待清洁物品表面，从而使所述等离子体电荷与所述待清洁物品表面的带电颗粒中和，消除静电吸附作用，并被所述流动的气体带走，从而达到去除物品表面带电颗粒的目的。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明实施例提供的一种清洁装置的结构示意图一；
图2为本发明实施例提供的一种清洁装置的结构示意图二。
附图标记：
10-离子清洁***；100-腔体；101-吹气孔；102-吸气孔；20-传输轨道；30-承载台；40-位置传感器；50-识别器。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
本发明实施例提供了一种清洁装置，如图1和图2所示，所述清洁装置包括离子清洁***10、传输轨道20、以及承载台30；所述离子清洁***10包括腔体100、设置在所述腔体100上的吹气孔101和吸气孔102、设置在所述腔体100内部且位于所述吹气孔101处的放电装置（图中未标出）、以及设置在所述腔体100外侧与所述吹气孔101连接的吹气管道（图中未标出）和与所述吸气孔102连接的吸气管道（图中未标出）；其中，所述放电装置用于产生等离子体；所述传输轨道20包括导轨以及设置在所述导轨上的传动带；其中，所述传输轨道20与所述腔体100的上、下底面平行设置，且所述传输轨道20的一部分位于所述腔体100内，另一部分延伸到所述腔体100外；所述承载台30设置在所述传动带上。
其中，所述吸气管道可以是一种漏斗状吸气管道。这样，漏斗的开口可以起到增大吸气面积与速度的作用，从而提高吸气的效率，及时有效的排出所述离子清洁***10的腔体100内部的多余气体。
需要说明的是，第一，所述承载台30用于承载待清洁物品或清洁后的物品，当需要对待清洁物品进行清洁时，可以控制所述传输轨道20的传动带将放置有所述待清洁物品的承载台30移动到所述腔体100内，当所述待清洁物品清洁完后，需要将所述清洁后的物品运送出去时，可以控制所述传输轨道20的传动带将放置有所述清洁后的物品的承载台30移动到所述腔体100外。
第二，所述离子清洁***10是一种等离子体清洁***，其对于普通的沉积颗粒和带电颗粒均具有良好的清洁效果；所述离子清洁***10可清洁的物品包括例如玻璃制品在内的任何材质的物品。
第三，所述放电装置为一种离子发生器，其原理是：通过相对的两个电极之间产生高压电场，使位于该两个电极之间的气体电离，从而形成包括正离子和负离子的等离子体。在实际使用中，所述放电装置可以与所述吹气管道整合在一起，也可以与所述吹气管道分开。
其中，不管所述放电装置与所述吹气管道是整合在一起还是分开，在本发明实施例中，优选为：当所述离子清洁***10的吹气管道开启时，该离子发生器便开始工作；当所述离子清洁***10的吹气管道关闭时，该离子发生器便停止工作。
本发明实施例提供了一种清洁装置，所述清洁装置包括离子清洁***10、传输轨道20、以及承载台30；所述离子清洁***10包括腔体100、设置在所述腔体100上的吹气孔101和吸气孔102、设置在所述腔体100内部且位于所述吹气孔101处的放电装置、以及设置在所述腔体100外侧与所述吹气孔101连接的吹气管道和与所述吸气孔102连接的吸气管道；其中，所述放电装置用于产生等离子体；所述传输轨道20包括导轨以及设置在所述导轨上的传动带；其中，所述传输轨道20与所述腔体100的上、下底面平行设置，且所述传输轨道20的一部分位于所述腔体100内，另一部分延伸到所述腔体100外；所述承载台30设置在所述传动带上。
由于在实际生产中，待清洁物品表面的污染颗粒包括普通沉积颗粒以及由于静电吸附作用而附着在物品表面的带电颗粒，当通过本发明实施例提供的清洁装置对所述物品表面进行清洁时，一方面，从所述吹气孔101吹入的具有一定流速的气体例如空气进入所述腔体100后，所述待清洁物品表面的普通沉积颗粒会被该流动的气体带走，从而实现物品表面普通沉积颗粒的清洁；另一方面，所述放电装置产生的等离子体电荷跟随该流动的气体吹向所述待清洁物品表面，从而使所述等离子体电荷与所述待清洁物品表面的带电颗粒中和，消除静电吸附作用，并被所述流动的气体带走，从而达到去除物品表面带电颗粒的目的。
可选的，参考图1所示，所述吹气孔101可以设置在所述腔体100的上底面；或者，参考图2所示，所述吹气孔101设置所述腔体100的左、右侧面；所述吸气孔102可以设置在所述腔体100的底部；其中，所述腔体100的左、右侧面均与所述传输轨道20的延伸方向平行。
进一步的，考虑到在所述吹气孔101设置在所述腔体100的上底面的情况下，由于所述承载台30与所述腔体100的上底面平行设置，具有一定流速的气体经过设置在所述上底面的吹气孔101进入所述腔体100后，垂直吹向位于所述承载台30上的待清洁物品的表面，这样可能不利于使所述物品表面的沉积颗粒被所述流动的气体带走，从而脱离所述物品的表面。因此，本发明实施例优选为，所述吹气孔101设置在所述腔体100的左、右侧面，且吹气孔101的设置位置高于所述待清洁物品投影到所述左、右侧面的高度。
这样，当具有一定流速的气体经过设置在所述左、右侧面的吹气孔101进入所述腔体100后，会倾斜吹向位于所述承载台30上的待清洁物品的表面，这样便有利于使所述物品表面的沉积颗粒被所述流动的气体带走，从而脱离所述物品的表面，实现物体表面的清洁。
可选的，参考图1和图2所示，所述清洁装置还可以包括位置传感器40，所述位置传感器40位于所述腔体100内并设置在所述腔体100的后侧面上，用于感测所述承载台30上的待清洁物品的存在、以及所述待清洁物品或清洁后的物品相对所述位置传感器40的距离；其中，所述腔体100的后侧面与所述传输轨道20的延伸方向垂直。
在此情况下，所述位置传感器40可以设置在所述腔体100的后侧面上略高于所述承载台30的位置，其具体高度应与所述承载台30上放置的物品的高度对应，以能使所述位置传感器40精确感测到位于所述承载台30上物品相对所述位置传感器40的距离为准。这里，所述物品包括待清洁物品或清洁后的物品。
其中，所述位置传感器40可以是例如激光位置传感器，或者超声波位置传感器。
激光位置传感器是通过测量激光往返目标所需要的时间来确定目标距离的；当所述激光位置传感器工作时，由激光二极管对准目标发射激光脉冲，经目标反射后的激光向各个方向散射，部分散射的光返回到传感器接收器，被光学***接收后成像到雪崩光电二极管上；雪崩光电二极管是一种内部具有放大功能的光学传感器，因此它能检测极其微弱的光信号，记录并处理从光脉冲发出到返回被接收所经历的时间，即可测定目标距离。激光位置传感器必须极其精确地测定传输时间，从而避免因光速太快而引起的误差。
超声波传感器时通过测量声波往返目标所需要的时间来确定目标距离的；当所述超声波位置传感器工作时，由超声波发射器对准目标发射超声波并在发射时刻的同时开始计时，超声波在空气中传播时碰到障碍物就立即返回来，超声波接收器收到反射波就立即停止计时；通过记录并处理从超声波发射到被接收所经历的时间，即可测定目标距离。但由于声波的传播速度容易受到温度、湿度等因素的影响，需要通过补偿加以校正，因此，本发明实施例优选采用激光位置传感器。
进一步的，所述清洁装置还可以包括与所述位置传感器40和所述离子清洁***10均连接的第一控制器；其中，当所述位置传感器40感测到所述承载台30上的待清洁物品的存在并到达预定位置时，所述第一控制器控制所述离子清洁***10对所述待清洁物品进行等离子体清洁。
具体的，当所述承载台30上放置有待清洁物品并需要进行清洁时，可以控制所述传输轨道20的传动带带动所述承载台30以及位于所述承载台30上的待清洁物品向所述清洁装置的腔体100内部运动，此时所述位置传感器40便可以感应到所述待清洁物品的存在并测量其相对于所述位置传感器40的距离；当所述位置传感器40测量到所述承载台30上的待清洁物品到达预定位置时，便向所述第一控制器发送指令，此时所述第一控制器便开启所述离子清洁***10的吹气管道和吸气管道、以及放电装置，控制所述离子清洁***10对所述物品进行定时等离子体清洁。
本发明实施例还提供了一种自动清洁***，所述自动清洁***包括上述的清洁装置以及机械手；其中，所述机械手用于传送待清洁物品和清洁后的物品。
此处需要说明的是，所述机械手可以属于其它设备；也就是说，通过所述机械手可以将本发明实施例提供的清洁装置与其它设备进行通信连接，形成一种自动清洁***，从而实现其它设备内部部件的自动清洁。
优选的，在所述清洁装置包括位置传感器40的情况下，所述自动清洁***还可以包括与所述位置传感器40和所述机械手均连接的第二控制器；其中，当所述位置传感器40感测到设置在所述清洁装置的承载台30上的所述清洁后的物品大于预设距离时，所述第二控制器控制所述机械手到达预定位置接收所述清洁后的物品。
具体的，当所述承载台30上放置的待清洁物品定时清洁完毕后，所述离子清洁***10的吹气管道和吸气管道、以及放电装置自动关闭；所述传输轨道20的传动带便带动所述承载台30以及位于所述承载台30上的清洁后的物品向所述清洁装置的腔体100外部运动，此时所述位置传感器40可以感测到所述清洁后的物品大于所述预设距离，便向所述第二控制器发送指令；所述第二控制器控制所述机械手去接收所述清洁后的物品，并将其放置在相应的位置。
进一步优选的，所述自动清洁***还可以包括设置在所述清洁装置的腔体100外侧的识别器50，且所述识别器50与所述第二控制器相连；在此情况下，所述第二控制器还与所述清洁装置的传输轨道20相连。
其中，在对所述待清洁物品进行清洁前，可以首先通过所述第二控制器控制所述机械手将所述待清洁物品传送到所述识别器50位置处，并控制所述识别器50对所述待清洁物品进行识别；当所述识别器50识别到所述机械手传送的待清洁物品的信息后，所述第二控制器可以控制所述传输轨道20的传动带带动所述承载台30到达所述预定位置，并控制所述机械手将所述待清洁物品放置在所述承载台30上。
具体的，当所述识别器50识别到所述机械手传送至所述清洁装置的腔体100外侧的待清洁物品的信息后，向所述第二控制器发送指令；所述第二控制器控制所述传输轨道20的传动带带动所述承载台30到达所述预定位置，并控制所述机械手将所述待清洁物品放置在所述承载台30上。
在此基础上，进一步的，所述识别器50包括用于识别条形码的条码识别器；其中，所述待清洁物品的信息唯一对应所述条形码。
这里，所述条码识别器用于读取和记录所述待清洁物品的信息；即，经过所述条码识别器识别的物品，可以清楚的知道该物品的编号，清洁状态以及清洁时间等信息。
下面提供一具体的实施例对所述自动清洁***的使用方法进行说明。
这里，所述自动清洁***包括上述的清洁装置和曝光机内部的机械手，所述待清洁物品为所述曝光机内部的待清洁的掩膜板。
具体的，所述清洁装置包括离子清洁***10、传输轨道20、和承载台30，还包括设置在所述腔体100的后侧面上与位于所述承载台30上的掩膜板的高度相当的位置传感器40、以及与所述位置传感器40和所述离子清洁***10均连接的第一控制器（图中未标出）。
其中，所述离子清洁***10包括腔体100、设置在所述腔体100左、右侧面偏上方的吹气孔101和设置在所述腔体100底部的漏斗状吸气孔102、设置在所述腔体100内部且位于所述吹气孔101处的等离子体放电装置、以及设置在所述腔体100外侧与所述吹气孔101连接的吹气管道和与所述吸气孔102连接的吸气管道；所述传输轨道20包括导轨以及设置在所述导轨上的传动带；所述承载台30设置在所述传动带上。
进一步的，所述自动清洁***还包括与所述位置传感器40和所述机械手均连接的第二控制器（图中未标出）、以及设置在所述清洁装置的腔体100外侧的条码识别器；其中，所述第二控制器还与所述条码识别器和所述清洁装置的传输轨道20均相连。
在此基础上，所述自动清洁***的清洁步骤具体如下：
S101、当曝光机内部的掩膜板需要进行清洁时，所述曝光机的机械手将待清洁的掩膜板搬送至所述清洁装置的腔体100外侧的条码识别器下方。
S102、所述条码识别器读取和记录所述待清洁的掩膜板的信息，并向所述第二控制器发送指令。
S103、所述第二控制器控制所述传输轨道20的传动带带动所述承载台30到达预定位置，并控制所述机械手将所述待清洁的掩膜板放置在所述承载台30上，然后控制所述传输轨道20的传动带带动所述承载台30以及位于所述承载台30上的待清洁的掩膜板向所述清洁装置的腔体100内部运动。
S104、所述位置传感器40感应到所述待清洁的掩膜板的存在并测量到所述待清洁的掩膜板到达预定位置时，向所述第一控制器发送指令。
S105、所述第一控制器开启所述离子清洁***10的吹气管道和吸气管道、以及放电装置，控制所述离子清洁***10对所述掩膜板进行定时等离子体清洁。
S106、定时清洁完毕后，所述离子清洁***10的吹气管道和吸气管道、以及放电装置自动关闭。
S107、所述传输轨道20的传动带带动所述承载台30以及位于所述承载台30上的清洁后的掩膜板向所述清洁装置的腔体100外部运动。
在此过程中，所述位置传感器40感测到所述清洁后的掩膜板大于所述预设距离，并向所述第二控制器发送指令。
S108、所述第二控制器控制所述机械手去接收所述清洁后的掩膜板，并将其放置在所述曝光机内部的曝光位置，执行曝光任务。
以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。
Claims (8)
1.一种清洁装置；其特征在于，包括：
离子清洁***，所述离子清洁***包括腔体、设置在所述腔体上的吹气孔和吸气孔、设置在所述腔体内部且位于所述吹气孔处的放电装置、以及设置在所述腔体外侧与所述吹气孔连接的吹气管道和与所述吸气孔连接的吸气管道；其中，所述放电装置用于产生等离子体；
传输轨道，所述传输轨道包括导轨以及设置在所述导轨上的传动带；其中，所述传输轨道与所述腔体的上、下底面平行设置，且所述传输轨道的一部分位于所述腔体内，另一部分延伸到所述腔体外；
承载台，所述承载台设置在所述传动带上。
2.根据权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，所述清洁装置还包括位置传感器；
所述位置传感器位于所述腔体内并设置在所述腔体的后侧面上，用于感测所述承载台上的待清洁物品的存在、及所述待清洁物品或清洁后的物品相对所述位置传感器的距离；
其中，所述腔体的后侧面与所述传输轨道的延伸方向垂直。
3.根据权利要求2所述的清洁装置，其特征在于，所述清洁装置还包括与所述位置传感器和所述离子清洁***均连接的第一控制器；
其中，当所述位置传感器感测到所述承载台上的待清洁物品的存在并到达预定位置时，所述第一控制器控制所述离子清洁***对所述待清洁物品进行等离子体清洁。
4.根据权利要求1至3任一项所述的清洁装置，其特征在于，
所述吹气孔设置在所述腔体的上底面，或者所述腔体的左、右侧面；
所述吸气孔设置在所述腔体的底部；
其中，所述腔体的左、右侧面均与所述传输轨道的延伸方向平行。
5.一种自动清洁***，其特征在于，所述自动清洁***包括权利要求1至4任一项所述的清洁装置以及机械手；
其中，所述机械手用于传送待清洁物品和清洁后的物品。
6.根据权利要求5所述的自动清洁***，其特征在于，在所述清洁装置包括位置传感器的情况下，所述自动清洁***还包括与所述位置传感器和所述机械手均连接的第二控制器；
其中，当所述位置传感器感测到设置在所述清洁装置的承载台上的所述清洁后的物品大于预设距离时，所述第二控制器控制所述机械手到达预定位置接收所述清洁后的物品。
7.根据权利要求6所述的自动清洁***，其特征在于，所述自动清洁***还包括设置在所述清洁装置的腔体外侧的识别器，且所述识别器与所述第二控制器相连；
其中，所述第二控制器还与所述清洁装置的传输轨道相连；
所述第二控制器控制所述机械手将所述待清洁物品传送到所述识别器位置处，并控制所述识别器对所述待清洁物品进行识别；当所述识别器识别到所述机械手传送的待清洁物品的信息后，所述第二控制器控制所述传输轨道的传动带带动承载台到达所述预定位置，并控制所述机械手将所述待清洁物品放置在所述承载台上。
8.根据权利要求7所述的自动清洁***，其特征在于，所述识别器包括用于识别条形码的条码识别器；
其中，所述待清洁物品的信息唯一对应所述条形码。
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