CN103681163A - 制造pdp汇流电极的方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了制造PDP汇流电极的方法,所述方法包括以下步骤:(a)将黑色浆料施涂到玻璃基板上,基于所述黑色浆料的重量计,所述黑色浆料包含(i)黑色着色剂,(ii)具有第一软化点的第一玻璃料,(iii)具有第二软化点的第二玻璃料,(iv)光致聚合引发剂,(v)可光致聚合的化合物,和(vi)有机介质;(b)将白色浆料施涂到所述施涂的黑色浆料上,所述白色浆料包含金属粉末、玻璃料和有机介质;(c)将所述施涂的浆料暴露于光照;(d)使所述暴露的浆料显影;以及(e)根据具有焙烧峰值温度的焙烧特征图焙烧所述显影的浆料,其中所述第一软化点低于所述焙烧峰值温度,并且其中所述第二软化点高于所述焙烧峰值温度。
Description
发明领域
本发明涉及等离子体显示面板(PDP),更具体地涉及PDP汇流电极。
发明背景
PDP汇流电极通过焙烧利用光刻方法图案化的导电浆料形成。
US20090108752公开了白色浆料和黑色浆料制成的PDP汇流电极,所述浆料包含金属粉末、黑色着色剂、玻璃料、光致聚合引发剂和可光致聚合的单体。玻璃料的软化点为325-700℃,其低于用于熔融以粘附至基板的焙烧峰值温度。
发明概述
本发明的目的是提供制造具有优异黑度和低电特性的PDP汇流电极的方法。
本发明的一个方面是制造PDP汇流电极的方法,该方法包括以下步骤:(a)将黑色浆料施涂到玻璃基板上,基于黑色浆料的重量计,黑色浆料包含(i)6-20重量%的黑色着色剂,(ii)15-32重量%的具有第一软化点的第一玻璃料,(iii)1-10重量%的具有软化点的第二玻璃料,(iv)1-10重量%的光致聚合引发剂,(v)6-18重量%的可光致聚合的化合物,和(vi)30-55重量%的有机介质;(b)将白色浆料施涂到已施涂的黑色浆料上;(c)将玻璃基板上施涂的黑色浆料和施涂的白色浆料暴露于光照;(d)使暴露的黑色浆料和白色浆料显影;以及(e)焙烧显影的黑色浆料和显影的白色浆料,以分别形成黑色电极和白色电极,其中第一软化点低于焙烧温度,并且其中第二软化点高于焙烧温度。
本发明的另一方面是包括由上述方法形成的汇流电极的PDP前面板。
通过本发明能够形成具有优异黑度和低电特性的PDP汇流电极。
附图简述
图1示出了PDP前面板的结构。
图2A至2E示出了制造PDP汇流电极的方法的一个实施方案。
图3示出了实施例中用以测量线性电阻的汇流电极图案。
图4示出了实施例中用以测量接触电阻的汇流电极图案。
发明详述
PDP汇流电极是在PDP前面板中形成的电极,用以传输电流以及提高显示屏对比度。PDP汇流电极为双层结构,分别为用于确保导电性的白色电极和用于确保对比度的黑色电极。
PDP前面板的一个实施方案示于图1中。在一个实施方案中,PDP前面板包括玻璃基板5、在玻璃基板5上形成的透明电极1以及汇流电极,该汇流电极包括在透明电极1上形成的黑色电极10和在黑色电极10上形成的白色电极7。在一个实施方案中,透明电极1能省略。在另一个实施方案中,PDP前面板还包括一个能被称为“透明釉上层”(TOG)8的介电涂层以覆盖汇流电极,以及在TOG8上的另一个介电涂层11,例如MgO涂层。
电极形成方法及其组分将在下文中分别描述。
形成电极的方法
制造汇流电极的方法将在下文中结合图2A至2E详细说明。该方法包括至少对黑色浆料和白色浆料进行施涂、暴露、显影和焙烧等步骤。
通过例如离子溅射、离子镀膜、化学气相沉积或电沉积技术,施涂SnO2或ITO材料,在玻璃基板5上形成透明电极1。此类透明电极结构和形成方法是PDP技术领域中所熟知的。
黑色浆料10被施涂在玻璃基板5上的透明电极1之上(图2A)。如果省略透明电极1,黑色浆料将直接施涂到玻璃基板5上。在一个实施方案中,只被施涂到玻璃基板上的黑色浆料层的厚度为1-20μm。黑色浆料层10能任选地在烘箱中被干燥。
白色浆料7被施涂到黑色浆料层10上(图2B)。在一个实施方案中,只被施涂到黑色浆料层10上的白色浆料层7的厚度为1-20μm。施涂的白色浆料7能任选地在烘箱中被干燥。
施涂黑色浆料和白色浆料的方式能为丝网印刷,丝网印刷能在短时间内将浆料施涂到基板上。
将黑色浆料层10和白色浆料层7通过具有汇流电极所需图案的光掩模13暴露于光照(图2C)。通过光掩模13照射诸如紫外光的光照。光掩模13和白色浆料层10之间的间隙能够为0-600μm。根据浆料的光敏感性和浆料层7、10的厚度能控制暴露条件。
对于精细图案,在一个实施方案中,累积暴露量为50-2000mJ/cm2,在另一个实施方案中为70-1000mJ/cm2,在另一个实施方案中为100-500mJ/cm2。使黑色浆料层10a和白色浆料层7a中与光掩模13图案一样的暴露区域固化(图2D)。
用水溶液使黑色浆料层10和白色浆料层7显影。例如,水溶液为碱性水溶液,例如0.4重量%碳酸钠溶液。能够将水溶液喷洒在浆料层上以除去浆料层7b、10b的未暴露区域,以便显露出固化图案7a、10a(图2E)。在一个实施方案中,将碱性溶液112以0.1-0.4MPa的压力喷洒5-100秒。
显影后,将图案化的黑色浆料层10a和白色浆料层7a任选地干燥。在一个实施方案中,干燥条件能够是在烘箱或干燥器中于50-250℃下干燥1-60分钟。
通过在暴露于光照下和显影后焙烧黑色浆料层10a和白色浆料层7a,得到包含黑色电极和白色电极的汇流电极。在一个实施方案中,焙烧峰值温度为450-700℃,在一个实施方案中为510-680℃。焙烧峰值温度为当裸露的玻璃基板中心仅设置热电偶时的峰值温度。中心为玻璃基板的上表面的宽度方向和长度方向的交叉点。
在一个实施方案中,峰值温度下的焙烧时间为1-30分钟,在另一个实施方案中为5-20分钟。在一个实施方案中,黑色电极的厚度为0.5-15μm。在一个实施方案中,白色电极的厚度为0.5-15μm。
在焙烧过程中,黑色浆料层中的黑色着色剂能分散在白色浆料层中,这能增大电极电阻并且能破坏电极的黑度。包含Ts高于焙烧峰值温度的第二玻璃料的黑色浆料能降低黑色着色剂在白色浆料层中的分散性,这会导致PDP汇流电极的黑度和电特性的改进,如实施例中所示。
黑色浆料
黑色浆料的材料将在下文中描述。术语“黑色”也能用低于白色浆料或白色电极的L值来表示。
(i)黑色着色剂
黑色着色剂是能使“黑色浆料”和“黑色电极”足够黑以实现对比度的任何材料。要得到足够的黑度,基于黑色浆料的重量计,黑色着色剂为6-20重量%。在另一个实施方案中,基于黑色浆料的重量计,黑色着色剂为8-15重量%。
黑色着色剂能包含氧化钴(Co3O4)、铬-铜-钴(Cr-Cu-Co)氧化物、铬-铜-锰(Cr-Cu-Mn)氧化物、铬-铁-钴(Cr-Fe-Co)氧化物、钌(Ru)氧化物、钌烧绿石、镧氧化物(如,La1-xSrxCoO3)、钒氧化物(如,V2O3、V2O4、V2O5)或它们的混合物。在另一个实施方案中,黑色着色剂为较为廉价并且具有足够黑度的Co3O4。
(ii)第一玻璃料
玻璃料为通过冷却熔融物制成的无机非晶态材料。玻璃料不必为完全非晶态的。也能包含部分晶体化的玻璃料。
基于黑色浆料的重量计,黑色浆料包含15-32重量%的第一玻璃料。基于黑色浆料的重量计,在另一个实施方案中,第一玻璃料为18-30重量%,在另一个实施方案中为20-28重量%,在另一个实施方案中为22-27重量%。包含此类含量的第一玻璃料的黑色浆料能结合到基板上。
第一玻璃料具有低于焙烧峰值温度的第一软化点(Ts)以便在焙烧过程中熔融并粘附到玻璃基板上。在一个实施方案中,第一玻璃料的第一Ts低于焙烧峰值温度至少50℃。在另一个实施方案中,第一玻璃料的第一Ts为350-650℃,在另一个实施方案中为370-630℃,在又一个实施方案中为380-570℃。
第一Ts通过差热分析(DTA)测定。一般来讲,为了通过DTA测定Ts,可将玻璃料样品与基准材料一起加入到熔炉中,以每分钟升温5-10℃的恒定速率加热。检测二者之间的温度差值以研究材料的变化和热吸收。
对于第一玻璃料组合物没有任何限制。只要其Ts低于焙烧峰值温度,含铅玻璃料或无铅玻璃料均能作为第一玻璃料。在另一个实施方案中,鉴于环境负担,第一玻璃料是无铅的。玻璃料包含一种或多种选自以下的氧化物:氧化钡(BaO)、氧化锡(SnO)、氧化钒(V2O3)、氧化磷(P2O5)、氧化锑(Sb2O3)、氧化硅(SiO2)、氧化锌(ZnO)、氧化硼(B2O3)、氧化铝(Al2O3)、氧化铋(Bi2O3)以及它们的混合物。
通过Microtrac测得,在一个实施方案中,第一玻璃料的粒度(D50)为0.1-10μm,在另一个实施方案中为0.3-3μm。此类粒径的第一玻璃料能均匀分散并适当熔融。D50表示有一半玻璃料颗粒小于D50的值并且另一半玻璃料颗粒大于D50的值的点。
(iii)第二玻璃料
第二玻璃料具有高于焙烧峰值温度的第二Ts。包含具有此类Ts的第二玻璃料的黑色浆料能形成具有优异黑度以及电特性的汇流电极,如下文中实施例所述。
在一个实施方案中,第二玻璃料的第二Ts高于焙烧峰值温度至少50℃。在一个实施方案中,第二玻璃料的软化点为550-1100℃,在另一个实施方案中为600-920℃,在又一个实施方案中为650-870℃。第二Ts能够通过DTA以及第一Ts测定。
对于第二玻璃料组合物没有任何限制。只要具有较高的Ts,含铅玻璃料或无铅玻璃料均能作为第一玻璃料。在一个实施方案中,鉴于环境要求,第二玻璃料是无铅的。
在一个实施方案中,第二玻璃料包含一种或多种选自以下的氧化物:氧化硅(SiO2)、氧化硼(B2O3)、氧化铝(Al2O3)、氧化钡(BaO)以及它们的混合物。
在一个实施方案中,基于玻璃料组合物的重量计,第二玻璃料包含50-95重量%范围内的SiO2、CaO和BaO,在另一个实施方案中为55-80重量%,在另一个实施方案中为60-72重量%。在另一个实施方案中,基于玻璃料组合物的重量计,第二玻璃料包含65-95重量%范围内的SiO2、Al2O3和B2O3,在另一个实施方案中为70-89重量%,在另一个实施方案中为75-85重量%。
通过Microtrac测得,在一个实施方案中,第二玻璃料的粒度(D50)为0.1-10μm,在另一个实施方案中为0.5-6μm,在另一个实施方案中为0.5-3μm。此类粒径的第二玻璃料能均匀地分散。
基于黑色浆料的重量计,第二玻璃料为1-10重量%。基于黑色浆料的重量计,在另一个实施方案中,第二玻璃料为1.2-8重量%,在另一个实施方案中为1.5-7重量%。适当含量的第二玻璃料能给如上所述的汇流电极带来优势。
基于玻璃料组合物重量的重量百分比(重量%)计,第一玻璃料组合物和第二玻璃料组合物的示例性实施方案示于表1中。能根据适当的Ts从表1的实施例中选择第一玻璃料和第二玻璃料。
表1
一般来讲,能通过以下方法来制备玻璃料:混合并熔融例如氧化物、氢氧化物、碳酸盐等原料,通过淬火制成碎玻璃,机械粉碎,如果采用湿法粉碎,则进行干燥。之后,如果需要,则根据所需的粒径进行分级。对于玻璃料组合物和玻璃料的制备,US20090042715和US20100167032能以引用方式并入本文。
(iv)光致聚合引发剂
光致聚合引发剂是一种吸收光子能而形成激发态并生成自由基的化合物。光致聚合引发剂在185℃或更低温度下是热惰性的,但当暴露于光化射线中时会生成自由基。在共轭羧酸环体系中具有两个分子内环的化合物能被用作光致聚合引发剂。
在一个实施方案中,光致聚合引发剂选自4-二甲氨基苯甲酸乙酯(EDAB)、二乙基硫杂蒽酮(DETX)、2-甲基-[4-(甲硫基)-苯基]-2-吗啉基-1-丙酮(MMPMP)、9,10-蒽醌、2-甲基蒽醌、2-乙基蒽醌、2-叔丁基蒽醌、1,4-二甲基蒽醌、2,3-二甲基蒽醌、2-苯基蒽醌、2,3-二苯基蒽醌、惹烯醌、7,8,9,10-四氢萘并萘-5,12-二酮、以及它们的混合物。
基于黑色浆料的重量计,光致聚合引发剂为1-10重量%。在另一个实施方案中,基于黑色浆料的重量计,光致聚合引发剂为2-7重量%。
(v)光致聚合化合物
可光致聚合的化合物是一种可化合结合至其它单体或低聚物以形成聚合物的单体或低聚物。在一个实施方案中,光致聚合化合物能包括具有至少一个可聚合的乙烯基团的乙烯不饱和化合物。
光致聚合化合物能选自乙氧基化(3)三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯(甲基)丙烯酸叔丁酯、乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,4-丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、二甘醇二(甲基)丙烯酸酯、己二醇二(甲基)丙烯酸酯、二(甲基)丙烯酸甘油酯、三丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三(甲基)丙烯酸甘油酯、三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、改性的三官能聚醚丙烯酸酯以及它们的混合物。
基于黑色浆料的重量计,可光致聚合的化合物为6-18重量%。在另一个实施方案中,基于黑色浆料的重量计,可光致聚合的化合物为8-16重量%。
(vi)有机介质
诸如黑色着色剂和玻璃料的无机粉末分散在有机介质中,以形成称为“浆料”的粘稠组合物,其具有合适的粘度以在基板上施涂成所需图案。有机介质能在焙烧过程中烧尽。
基于黑色浆料的重量计,有机介质为20-60重量%。在另一个实施方案中,基于黑色浆料的重量计,有机介质为35-50重量%。
在一个实施方案中,有机介质包含有机聚合物并且任选地包含溶剂。有机聚合物由在主框架中包含碳原子的重复结构单元构成。溶剂包含能溶解有机聚合物以调整浆料粘度的任何液体。
在一个实施方案中,有机聚合物包含具有羟基或羧基侧链的丙烯酸类聚合物,该聚合物能溶解于诸如0.4%碳酸钠溶液的碱性溶液中。在一个实施方案中,丙烯酸类聚合物能够是甲基丙烯酸甲酯和甲基丙烯酸的共聚物(MMA-MAA)。也能获得水溶性的纤维素聚合物,诸如羟乙基纤维素、羟丙基纤维素和羟乙基羟丙基纤维素。有机聚合物能为丙烯酸类聚合物和纤维素聚合物的混合物。
诸如酯醇-12和萜品醇的溶剂能用于将黑色浆料的粘度调节为更适合于施涂到基板上。在一个实施方案中,在室温下在Brookfield HBT粘度计上使用14号转子以10rpm的转速测得导电浆料的粘度能为5-300帕秒。
(vii)金属粉末
黑色浆料能任选地包含金属粉末。金属粉末由任何具有电导率的导电性金属制成。
尤其是在透明电极在玻璃基板上形成的情况下,该黑色浆料能包含金属粉末以确保透明电极与白色电极之间的垂直电导率。
基于黑色浆料的重量计,在一个实施方案中,该金属粉末为0.01-3重量%,在另一个实施方案中为0.03-1重量%。
在一个实施方案中,该金属粉末包括金(Au)、银(Ag)、铂(Pt)、钯(Pd)、铜(Cu)、铝(Al)、镍(Ni)、钨(W)、它们的组合或它们的合金。在另一个实施方案中,就电导率而言,该金属粉末为Au、Pt、Ag、Pd、它们的组合或它们的合金。在另一个实施方案中,该金属粉末包括银-钯(Ag-Pd)合金、银-铂(Ag-Pt)合金、Ag-Pt-Pd合金、Pt-Pd合金。
在一个实施方案中,该金属粉末具有0.1-10μm的粒径(D50)。具有此类D50的金属粉末能足够均匀地分散在黑色浆料中,以有助于黑色电极的垂直电导率。
(viii)添加剂
该黑色浆料还能进一步包含添加剂,例如分散剂、稳定剂、增塑剂、剥色剂、表面活性剂和润湿剂。
对于除第二种玻璃料之外的黑色浆料组分,US20090033220、US20090108752和US20100283388能以引用方式并入本文。
白色浆料
术语“白色”也能由L值表示,该值相对高于黑色浆料或黑色电极。在一个实施方案中,白色浆料能包含导电粉末、玻璃料、光致聚合引发剂、可光致聚合的化合物和有机介质。对于白色浆料的组成没有任何限制,因此任何类型的白色浆料均能用于在黑色电极上形成白色电极。
在一个实施方案中,该导电粉末为50-75重量%;玻璃料为2-9重量%;光致聚合引发剂为0.5-4重量%;可光致聚合的化合物为5-12重量%;有机介质为15-29重量%。
对于白色浆料组成,US20100167032、US20080012490和US20110003246能以引用方式并入本文。
实施例
下文使用实施例对本发明进一步详细说明。实施例仅用于说明性目的,并不旨在限制本发明。
1.黑色浆料的制备
在100℃下混合并搅拌酯醇-12和丙烯酸类聚合物以形成有机介质。将4重量%的光致聚合引发剂,即4-二甲基氨基苯甲酸乙酯(EDAB)、二乙基硫杂蒽酮(DETX)和2-甲基-[4-(甲硫基)-苯基]-2-吗啉基-1-丙酮(MMPMP)的混合物,以及0.5重量%的稳定剂加入44.9重量%的有机介质中,该有机介质冷却至75℃。使用40微米的目数过滤该混合物。将12重量%的改性三官能聚醚丙烯酸酯(购自BASF的LR8967)作为可光致聚合的单体加入该混合物并在混合槽中再次混合。
随后将10重量%的氧化钴(Co3O4)粉末、0.1重量%的Ag-Pd合金粉末(购自Ferro的K8015-15:85%银/15%钯粉末)和28.5重量%的玻璃料加入该有机组分混合物。除非特别提及,否则上文的“重量%”是基于黑色浆料的重量计的。
该玻璃料由如表2中所示Ts为460℃的第一玻璃料和Ts为850℃的第二玻璃料A或Ts为800℃的第二玻璃料B构成。基于玻璃料组合物的总重量计,第二玻璃A包含68重量%的SiO2、CaO和BaO。基于玻璃料组合物的总重量计,第二玻璃B包含80重量%的SiO2、Al2O3和B2O3。所有玻璃料的D50为1.2μm。
将所有的黑色浆料混合,直到无机材料被有机材料润湿为止。使用3辊研磨机分散混合物。使用20μm过滤器将所得浆料过滤。此过程在黄色灯下进行。
2.形成电极
采取预防措施避免污垢污染,因为在制备浆料和制造部件的过程中污垢污染会导致缺陷。
2-1.施涂
将黑色电极浆料通过筛网,丝网印刷到在大小为50毫米见方、2.3毫米厚的玻璃基板上形成的ITO层上,以形成40毫米见方的图案。印刷的黑色浆料在120℃下被干燥10分钟。
白色浆料包含基于白色浆料重量计65重量%的银粉、5重量%的玻璃料、2重量%的光致聚合引发剂、8重量%的可光致聚合的单体、20重量%的有机介质,将此白色浆料通过筛网施涂到干燥的黑色浆料上,以形成40毫米见方的图案。印刷的白色浆料也在120℃下被干燥10分钟。
2-2.暴露
使用平行的紫外线辐射源(暴露剂量:200mJ/cm2)通过光掩模使浆料层暴露于365nm波长的紫外线下。该光掩模具有宽100μm,长333mm的S型线条。
2-3.显影
将暴露的浆料层放置在传送装置上进入喷雾显影装置,该显影装置中填充有0.4%的碳酸钠水溶液,溶液保持在30℃的温度下,以0.2MPa的压力向暴露的浆料层喷射40秒。显影之后在玻璃基板5上形成的ITO层5上的图案化浆料层21即为S型线条,如图3所示。
2-4.焙烧
将显影形成的S型线条图案置于熔炉(购自KOYO THERMOSYSTEMS KOREA CO.,LTD的辊底式连续炉)中焙烧以形成PDP电极。玻璃基板上表面的焙烧峰值温度为600℃,由热电偶测量而得。焙烧峰值温度通过焙烧50mm宽、75mm长、2.3mm厚的裸露玻璃基板获得,此时该基板上仅设置有位于上表面中心的热电偶。该中心是宽度方向和长度方向的交叉点,宽度方向为2.5mm,长度方向为3.25mm。
焙烧峰值温度维持10分钟。从进炉到出炉的总焙烧时间为1.5小时。汇流电极具有4.5μm的平均厚度。
3.测量
L值
整个玻璃基板的白色电极表面和黑色电极表面两侧上PDP电极的L值通过使用购自Nippon Denshoku Industry Co.,Ltd的比色计SE2000测量。标准白板用于校正。L值为100表示纯白,为0表示纯黑。
线性电阻
汇流电极两端之间的线性电阻(Ω)通过4端法使用万能表(购自Hewlett-Packard Company的34401A)测量。
接触电阻
除了使用PDP电极测量上述线性电阻外,用于测量接触电阻的PDP电极的特殊线条图案22以上述相同的方式形成,差别在于暴露步骤使用不同的光掩模图案,如图4所示。PDP电极的线条图案22由两条80μm宽和20mm长的线条组成,线条22之间间隔50μm。每个线条22具有2毫米见方的焊盘23。线条图案化电极22之间的接触电阻通过4端法使用万能表(购自Hewlett-Packard Company的34401A)在焊盘23上测量。
结果
实施例1-3中白色电极表面的L值高于(更白)比较实施例1中的该值,实施例1-3中黑色电极表面的L值低于(更黑)比较实施例1中的该值。换句话说,黑色浆料中黑色着色剂向白色电极的分散被阻止。
实施例1-3中的线性电阻和接触电阻均低于比较实施例1中的该值。特别是接触电阻会骤降。
表2
*L值在黑色电极的表面上从玻璃电极一侧测得
**L值在白色电极表面上从玻璃电极另一侧测得
Claims (6)
1.制造PDP汇流电极的方法,所述方法包括以下步骤:
(a)将黑色浆料施涂到玻璃基板上,基于所述黑色浆料的重量计,所述黑色浆料包含
(i)6-20重量%的黑色着色剂,
(ii)15-32重量%的具有第一软化点的第一玻璃料,
(iii)1-10重量%的具有第二软化点的第二玻璃料,
(iv)1-10重量%的光致聚合引发剂,
(v)6-18重量%的可光致聚合的化合物,和
(vi)20-60重量%的有机介质;
(b)将白色浆料施涂到所述施涂的黑色浆料上;
(c)在所述玻璃基板上将所述施涂的黑色浆料和所述施涂的白色浆料暴露于光照;
(d)使所述暴露的黑色浆料和所述白色浆料显影;以及
(e)根据具有焙烧峰值温度的焙烧特征图焙烧所述显影的黑色浆料和所述显影的白色浆料,以分别形成黑色电极和白色电极,
其中所述第一玻璃料的第一软化点低于所述焙烧峰值温度,并且其中所述第二玻璃料的第二软化点高于所述焙烧峰值温度。
2.权利要求1的方法,其中所述第二玻璃料的软化点高于所述焙烧峰值温度至少50℃。
3.权利要求1的方法,其中所述焙烧峰值温度为450-700℃。
4.权利要求1的方法,其中所述第二玻璃料的软化点为550-1100℃。
5.权利要求1的方法,其中所述黑色浆料还包含金属粉末。
6.PDP前面板,所述PDP前面板包括由权利要求1的方法形成的汇流电极。
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