CN103588170A - 一种电子级多晶硅生产中回收氢气的净化处理工艺 - Google Patents
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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CN201310569193.8A CN103588170B (zh) | 2013-11-15 | 2013-11-15 | 一种电子级多晶硅生产中回收氢气的净化处理工艺 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN103588170A true CN103588170A (zh) | 2014-02-19 |
CN103588170B CN103588170B (zh) | 2015-12-09 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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CN201310569193.8A Active CN103588170B (zh) | 2013-11-15 | 2013-11-15 | 一种电子级多晶硅生产中回收氢气的净化处理工艺 |
Country Status (1)
Country | Link |
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CN (1) | CN103588170B (zh) |
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C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
EE01 | Entry into force of recordation of patent licensing contract |
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EE01 | Entry into force of recordation of patent licensing contract |