CN103439529B - 基于片式集成高精度测温结构的硅振梁加速度计 - Google Patents
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CN114280328B (zh) * | 2021-12-24 | 2022-09-13 | 西安交通大学 | 一种基于对称式同模态温度补偿的mems谐振式加速度传感器 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1204051A (zh) * | 1998-07-17 | 1999-01-06 | 清华大学 | 石英谐振式力/称重传感器 |
CN1513228A (zh) * | 2001-06-11 | 2004-07-14 | ض� | 利用拉伸应变调节微机电谐振器谐振频率的方法和设备及其应用 |
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---|---|---|---|---|
CN1204051A (zh) * | 1998-07-17 | 1999-01-06 | 清华大学 | 石英谐振式力/称重传感器 |
CN1513228A (zh) * | 2001-06-11 | 2004-07-14 | ض� | 利用拉伸应变调节微机电谐振器谐振频率的方法和设备及其应用 |
CN1902824A (zh) * | 2004-01-09 | 2007-01-24 | 罗伯特·博世有限公司 | 频率和/或相位补偿的微机电振荡器 |
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硅微谐振式加速度计的温度效应及补偿;裘安萍等;《纳米技术与精密工程》;20120531;第10卷(第3期);全文 * |
硅微陀螺仪器件级真空封装;施芹等;《机械工程学报》;20090228;第45卷(第2期);第1.4部分、图2 * |
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