CN103426118A - 一种机台使用情况统计分析***和方法 - Google Patents

一种机台使用情况统计分析***和方法 Download PDF

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龚丹莉
范荣伟
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Abstract

本发明公开了一种机台使用情况统计分析***，包括一数据库服务器，其中，还包括：一机台端文件采集装置；一解析装置；一匹配装置；一分析与统计装置；以及一报告生成装置。本发明还公开了一种机台使用情况统计分析方法，包括：采集步骤；解析步骤；匹配步骤；分析与统计步骤；报告生成步骤。本发明解决了通过人工切换机台状态分析机台使用情况分布的不准确性，无效性；在统计机台真实使用情况的同时，也解决了助理工程师需时刻都将注意力放在机台状态切换的工作上的问题，确保了助理工程师对主要工作的注意力；同时也便于工程师合理安排产能的同时，合理安排人员及工作量，减少有效资源的浪费。

Description

一种机台使用情况统计分析***和方法
 
技术领域
本发明涉及数据信息统计分析技术领域，尤其涉及一种机台使用情况统计分析***和方法。
 
背景技术
当前机台使用率分析***通过机台切换状态统计机台的使用情况。这种方法需要助理工程师及时并准确的切换机台的真实状态；然而，往往由于测货/扫货（生产）时间过长或其他客观原因，造成助理工程师切换机台状态不及时，或忘记切换。这样便导致机台使用情况统计不准确，对工程师分析及分配资源造成了极大的不便，且无有效性，导致产能浪费。
中国专利（公开号：CN1481008）公开了一种应用植入式可靠度分析***于半导体产品生产，特别是晶圆层级的可靠度分析。主要特征是应用可靠度分析***与相关概念，整合产品发展、制程、测试中所有机台、所有流程与各批晶圆之可靠度讯息于一数据库，并将所有数据分门别类。如此，每当任一机台、任一流程或任一批晶圆有任何变化，便可以立刻藉由与数据库对比判断可能的缺失与解决之道。此外，藉由整合所有的数据（包括良率与可靠度讯息），便可判断对任一机台、任一流程或任一批晶圆的任何变化，对最终产品之可靠度的变化。进而有助于评估新制程技术研究的发展，亦即将先前与目前发展的技术做一比较并建立关系，以用于新产品寿命估计、提出相关可靠度问题及以往的解决方案。
中国专利（公开号：CN 1790312）公开了一种统计制程分析***、计算机执行的用于统计制程分析方法，所述用于统计制程分析的***，其包括一储存装置、一控制装置、及一侦测装置。该储存装置，其是用以储存多个统计制程分析图表，其中该统计制程分析图表是包含在测试期间从一***收集来的数据。该控制装置，其是依据该统计制程分析图表的特征，将该统计制程分析图表区分为多个类型。该侦测装置，其是用以决定上述类型中的统计制程分析图表是否违背一预定规则。本发明可在制造环境中对大量数据进行收集、分析和判断，以实现对制程快速、有效的控制。
上述两个专利均公开了在半导体生产过程中的统计分析***，但并未涉及本发明的对机台使用情况进行统计分析，更没有解决本发明中由于机台使用情况统计不准确，对工程师分析及分配资源造成了极大的不便，且无有效性，导致产能浪费的问题。
 
发明内容
针对上述存在的问题，本发明公开一种机台使用情况统计分析***和方法，以克服现有技术中由于机台使用情况统计不准确，对工程师分析及分配资源造成了极大的不便，且无有效性，导致产能浪费的问题。
为了实现上述目的，本发明采用如下技术方案：
一种机台使用情况统计分析***，包括一数据库服务器，其中，还包括：
一机台端文件采集装置，用于采集机台的机台端程式相关文件；
一解析装置，与所述机台端文件采集装置相连，用于解析所述机台端程式相关文件，以获得所述机台的每个程式的使用信息；
一匹配装置，分别与所述解析装置、所述数据库服务器相连，用于将所述机台的每个程式的使用信息与所述数据库服务器中的数据进行匹配，以得到与所述机台的每个程式的使用信息相匹配的匹配数据；
一分析与统计装置，与匹配装置相连，用于根据所述匹配数据分析所述机台的每个程式的使用情况，并统计所述机台的每个程式的产能；以及
一报告生成装置，与所述分析与统计装置相连，用于根据所述机台的每个程式的使用情况生成分析报告，或者根据所述机台的每个程式的产能生成统计报告。
上述的机台使用情况统计分析***，其中，还包括一查询装置，连接于所述分析与统计装置和所述报告生成装置之间，用于根据生产需要查询所述机台的相关程式的使用情况或所述机台的相关程式的产能，并将查询结果通过所述报告生成装置生成相关报告。
上述的机台使用情况统计分析***，其中，所述数据库服务器用于存储多个机台的所有程式的生产信息数据，所述生产信息数据包括所述多个机台的每个程式生产的晶圆或产品信息数据。
上述的机台使用情况统计分析***，其中，所述晶圆或产品信息数据包括所述多个机台的每个程式生产的晶圆或产品数量信息，以及晶圆或产品在所述多个机台的每个程式下生产的层次信息。
上述的机台使用情况统计分析***，其中，所述机台的每个程式的使用信息包括程式生产晶圆或产品的时间。
一种机台使用情况统计分析方法，采用上述的机台使用情况统计分析***，所述机台使用情况统计分析***包括一数据库服务器，其中，还包括如下步骤：
采集步骤，选取一机台，采集所述机台的机台端程式相关文件；
解析步骤，解析所述机台端程式相关文件，以获得所述机台的每个程式的使用信息；
匹配步骤，将所述机台的每个程式的使用信息与所述数据库服务器中的数据进行匹配，以得到与所述机台的每个程式的使用信息相匹配的匹配数据；
分析与统计步骤，根据所述匹配数据分析所述机台的每个程式的使用情况，并统计所述机台的每个程式的产能； 
报告生成步骤，根据所述机台的每个程式的使用情况生成分析报告，或者根据所述机台的每个程式的产能生成统计报告。
上述的机台使用情况统计分析方法，其中，在所述分析与统计步骤和所述报告生成步骤之间还包括查询步骤，根据生产需要查询所述机台的相关程式的使用情况或所述机台的相关程式的产能，并将查询结果生成相关报告。
上述的机台使用情况统计分析方法，其中，所述数据库服务器用于存储多个机台的所有程式的生产信息数据，所述生产信息数据包括所述多个机台的每个程式生产的晶圆或产品信息数据。
上述的机台使用情况统计分析方法，其中，所述晶圆或产品信息数据包括所述多个机台的每个程式生产的晶圆或产品数量信息，以及晶圆或产品在所述多个机台的每个程式下生产的层次信息。
上述的机台使用情况统计分析方法，其中，所述机台的每个程式的使用信息包括程式生产晶圆或产品的时间。
本发明具有如下优点或者有益效果：
1、本发明通过对机台端程式相关文件进行解析，获得机台的每个程式的使用信息；通过机台的每个程式的使用信息，自动与数据库服务器中的数据匹配获得每个程式生产的晶圆或产品信息数据；然后根据匹配数据分析机台的生产时间、闲置或其他状态，用以分析机台的使用情况和产能，并生成报告；解决了通过人工切换机台状态分析机台使用情况分布的不准确性。
2、通过本发明可以解决现在统计***的不准确性，无效性；在统计机台真实使用情况的同时，也解决了助理工程师需时刻都将注意力放在机台状态切换的工作上的问题，确保了助理工程师对主要工作的注意力；同时也便于工程师合理安排产能的同时，合理安排人员及工作量，减少有效资源的浪费。
 
具体附图说明
通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本发明及其特征、外形和优点将会变得更加明显。在全部附图中相同的标记指示相同的部分。并未可以按照比例绘制附图，重点在于示出本发明的主旨。
图1是本发明第一实施例机台使用情况统计分析***的结构示意图；
图2是本发明第二实施例机台使用情况统计分析***的结构示意图；
图3是本发明第三实施例机台使用情况统计分析方法的流程图；
图4是本发明第四实施例机台使用情况统计分析方法的流程图。
 
具体实施方式
下面结合附图和具体的实施例对本发明作进一步的说明，但是不作为本发明的限定。
本发明的第一实施例涉及一种机台使用情况统计分析***，参见图1，一种机台使用情况统计分析***，包括数据库服务器，还包括：
机台端文件采集装置，用于采集机台的机台端程式相关文件。
解析装置，与机台端文件采集装置相连，用于解析机台端程式相关文件，以获得机台的每个程式的使用信息。
匹配装置，分别与解析装置、数据库服务器相连，用于将机台的每个程式的使用信息与数据库服务器中的数据进行匹配，以得到与机台的每个程式的使用信息相匹配的匹配数据。
分析与统计装置，与匹配装置相连，用于根据匹配数据分析机台的每个程式的使用情况，并统计机台的每个程式的产能。
报告生成装置，与分析与统计装置相连，用于根据机台的每个程式的使用情况生成分析报告，或者根据机台的每个程式的产能生成统计报告。
其中，数据库服务器用于存储多个机台的所有程式的生产信息数据，即数据库服务器中包括对应多个机台的多个数据库，生产信息数据包括多个机台的每个程式生产的晶圆或产品信息数据；晶圆或产品信息数据包括多个机台的每个程式生产的晶圆或产品数量信息，以及晶圆或产品在多个机台的每个程式下生产的层次信息。机台的每个程式的使用信息包括程式生产晶圆或产品的时间。
本实施例中，通过对机台端程式相关文件进行解析，获得机台的每个程式的使用信息；通过机台的每个程式的使用信息，自动与数据库服务器中的数据匹配获得每个程式生产的晶圆或产品信息数据；然后根据匹配数据分析机台的生产时间、闲置或其他状态，用以分析机台的使用情况和产能，并生成报告；解决了通过人工切换机台状态分析机台使用情况分布的不准确性。
值得一提的是，本实施例中所涉及到的各装置均为逻辑模块，在实际应用中，一个逻辑单元可以是一个物理单元，也可以是一个物理单元的一部分，还可以以多个物理单元的组合实现。此外，为了突出本发明的创新部分，本实施例中并没有将与解决本发明所提出的技术问题关系不太密切的单元引入，但这并不表明本实施例中不存在其它的单元。
本发明第二实施例涉及一种机台使用情况统计分析***，参见图2，第二实施例与第一实施例大致相同，主要区别之处在于：在第一实施例中，不存在对分析与统计装置中得到的结果进行查询的装置及功能。而在本发明第二实施例中，还包括查询装置，连接于分析与统计装置和报告生成装置之间，用于根据生产需要查询机台的相关程式的使用情况或机台的相关程式的产能，并将查询结果通过报告生成装置生成相关报告。
本实施例中，工程师可根据自身需求定制化分析机台使用情况及统计机台产能，便于工程师合理安排产能的同时，合理安排人员及工作量，减少有效资源的浪费。
本发明的第三实施例涉及一种机台使用情况统计分析方法，参见图3，还包括如下步骤：
采集步骤，选取一机台，采集机台的机台端程式相关文件。
解析步骤，解析机台端程式相关文件，以获得机台的每个程式的使用信息。
匹配步骤，将机台的每个程式的使用信息与数据库服务器中的数据进行匹配，以得到与机台的每个程式的使用信息相匹配的匹配数据。
分析与统计步骤，根据匹配数据分析机台的每个程式的使用情况，并统计机台的每个程式的产能。
报告生成步骤，根据机台的每个程式的使用情况生成分析报告，或者根据机台的每个程式的产能生成统计报告。
其中，数据库服务器用于存储多个机台的所有程式的生产信息数据，生产信息数据包括多个机台的每个程式生产的晶圆或产品信息数据；晶圆或产品信息数据包括多个机台的每个程式生产的晶圆或产品数量信息，以及晶圆或产品在多个机台的每个程式下生产的层次信息。机台的每个程式的使用信息包括程式生产晶圆或产品的时间。
其中，在分析与统计步骤中，以分割对应时间的方法进行分析与统计，具体地说，分析机台某个程式的生产时间、同时根据匹配数据统计该对应的生产时间内生产的晶圆或产品的数量以及晶圆或产品在该程式下生产的层次，从而得到机台的该程式的使用情况和该程式的产能。
上面各种方法的步骤划分，只是为了描述清楚，实现时可以合并为一个步骤或者对某些步骤进行拆分，分解为多个步骤，只要包含相同的逻辑关系，都在本专利的保护范围内；对算法中或者流程中添加无关紧要的修改或者引入无关紧要的设计，但不改变其算法和流程的核心设计都在该专利的保护范围内。
不难发现，本实施例为与第一实施例相对应的方法实施例，本实施例可与第一实施例互相配合实施。第一实施例中提到的相关技术细节在本实施例中依然有效，为了减少重复，这里不再赘述。相应地，本实施例中提到的相关技术细节也可应用在第一实施例中。
本发明的第四实施例涉及一种机台使用情况统计分析方法，参见图4，第四实施例与第三实施例大致相同，主要区别之处在于：在第三实施例中，不存在对分析与统计步骤中得到的结果进行查询的步骤。而在本发明第四实施例中，在分析与统计步骤和报告生成步骤之间还包括查询步骤，根据生产需要查询机台的相关程式的使用情况或机台的相关程式的产能，并将查询结果生成相关报告。
 由于第二实施例与本实施例相互对应，因此本实施例可与第二实施例互相配合实施。第二实施例中提到的相关技术细节在本实施例中依然有效，在第二实施例中所能达到的技术效果在本实施例中也同样可以实现，为了减少重复，这里不再赘述。相应地，本实施例中提到的相关技术细节也可应用在第二实施例中。
本领域技术人员应该理解，本领域技术人员在结合现有技术以及上述实施例可以实现所述变化例，这样的变化例并不影响本发明的实质内容，在此不予赘述。
以上对本发明的较佳实施例进行了描述。需要理解的是，本发明并不局限于上述特定实施方式，其中未尽详细描述的设备和结构应该理解为用本领域中的普通方式予以实施；任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围情况下，都可利用上述揭示的方法和技术内容对本发明技术方案作出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例，这并不影响本发明的实质内容。因此，凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均仍属于本发明技术方案保护的范围内。

Claims (10)

1.一种机台使用情况统计分析***，包括一数据库服务器，其特征在于，还包括：
一机台端文件采集装置，用于采集机台的机台端程式相关文件；
一解析装置，与所述机台端文件采集装置相连，用于解析所述机台端程式相关文件，以获得所述机台的每个程式的使用信息；
一匹配装置，分别与所述解析装置、所述数据库服务器相连，用于将所述机台的每个程式的使用信息与所述数据库服务器中的数据进行匹配，以得到与所述机台的每个程式的使用信息相匹配的匹配数据；
一分析与统计装置，与匹配装置相连，用于根据所述匹配数据分析所述机台的每个程式的使用情况，并统计所述机台的每个程式的产能；以及
一报告生成装置，与所述分析与统计装置相连，用于根据所述机台的每个程式的使用情况生成分析报告，或者根据所述机台的每个程式的产能生成统计报告。
2.根据权利要求1所述的机台使用情况统计分析***，其特征在于，还包括一查询装置，连接于所述分析与统计装置和所述报告生成装置之间，用于根据生产需要查询所述机台的相关程式的使用情况或所述机台的相关程式的产能，并将查询结果通过所述报告生成装置生成相关报告。
3.根据权利要求1所述的机台使用情况统计分析***，其特征在于，所述数据库服务器用于存储多个机台的所有程式的生产信息数据，所述生产信息数据包括所述多个机台的每个程式生产的晶圆或产品信息数据。
4.根据权利要求3所述的机台使用情况统计分析***，其特征在于，所述晶圆或产品信息数据包括所述多个机台的每个程式生产的晶圆或产品数量信息，以及晶圆或产品在所述多个机台的每个程式下生产的层次信息。
5.根据权利要求1所述的机台使用情况统计分析***，其特征在于，所述机台的每个程式的使用信息包括程式生产晶圆或产品的时间。
6.一种机台使用情况统计分析方法，采用如权利要求1-5所述的机台使用情况统计分析***，所述机台使用情况统计分析***包括一数据库服务器，其特征在于，还包括如下步骤：
采集步骤，选取一机台，采集所述机台的机台端程式相关文件；
解析步骤，解析所述机台端程式相关文件，以获得所述机台的每个程式的使用信息；
匹配步骤，将所述机台的每个程式的使用信息与所述数据库服务器中的数据进行匹配，以得到与所述机台的每个程式的使用信息相匹配的匹配数据；
分析与统计步骤，根据所述匹配数据分析所述机台的每个程式的使用情况，并统计所述机台的每个程式的产能； 
报告生成步骤，根据所述机台的每个程式的使用情况生成分析报告，或者根据所述机台的每个程式的产能生成统计报告。
7.根据权利要求6所述的机台使用情况统计分析方法，其特征在于，在所述分析与统计步骤和所述报告生成步骤之间还包括查询步骤，根据生产需要查询所述机台的相关程式的使用情况或所述机台的相关程式的产能，并将查询结果生成相关报告。
8.根据权利要求6所述的机台使用情况统计分析方法，其特征在于，所述数据库服务器用于存储多个机台的所有程式的生产信息数据，所述生产信息数据包括所述多个机台的每个程式生产的晶圆或产品信息数据。
9.根据权利要求8所述的机台使用情况统计分析方法，其特征在于，所述晶圆或产品信息数据包括所述多个机台的每个程式生产的晶圆或产品数量信息，以及晶圆或产品在所述多个机台的每个程式下生产的层次信息。
10.根据权利要求6所述的机台使用情况统计分析方法，其特征在于，所述机台的每个程式的使用信息包括程式生产晶圆或产品的时间。
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