CN103396005B - 一种用于平板玻璃镀膜的气体均匀分配器 - Google Patents
一种用于平板玻璃镀膜的气体均匀分配器 Download PDFInfo
- Publication number
- CN103396005B CN103396005B CN201310355073.8A CN201310355073A CN103396005B CN 103396005 B CN103396005 B CN 103396005B CN 201310355073 A CN201310355073 A CN 201310355073A CN 103396005 B CN103396005 B CN 103396005B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- dividing plate
- housing
- ultimate
- extreme point
- upper extreme
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
本发明涉及一种用于平板玻璃镀膜的气体均匀分配器,其特征在于:包括壳体(1),壳体(1)的截面成锥体状,在壳体(1)的上端设有进气口(1a),下端设有出气口(1b),进气口(1a)连接进气管(2)。在壳体(1)的下侧设有竖直的下壳体(1c),在下壳体(1c)内均布一组终极隔板(3),中间隔板(3a)的上端点竖直向上延伸一段距离,由中间隔板(3a)向两侧每间隔一个隔板的下一个隔板终极(3)均倾斜向上延伸一段距离,倾斜延伸的终极隔板(3)的上端点所在的水平面均低于中间隔板(3a)的上端点所在的水平面。本发明的优点:本装置制造简单,成本较低,对气体的均匀分配效果好。
Description
技术领域
本发明涉及气体平均分配领域,特别涉及一种用于平板玻璃镀膜的气体均匀分配器。
背景技术
在平板玻璃镀膜过程中,用到了很多种类的气体原料,在使用这些气体时就要用到气体均匀分配器,将气体均匀分配到镀膜玻璃的表面上。现有的气体分配器中有的价格昂贵,有的对其使用的环境要求非常苛刻。经过广泛检索,尚未发现较为的技术方案。
发明内容
本发明的目的是为了解决现阶段气体分配器成本较高,及对使用环境要求苛刻等缺点,而提出的一种用于平板玻璃镀膜的气体均匀分配器。
为了实现上述目的,本发明采用了如下技术方案:
一种用于平板玻璃镀膜的气体均匀分配器,其特征在于:包括壳体,壳体的截面成锥体状,在壳体的上端设有进气口,在进气口上连接进气管;在壳体的下端设有出气口,壳体的下侧为竖直的下壳体。在下壳体内均布一组竖直的终极隔板,处于下壳体中间位置的中间隔板将其平均分割,且上端正对进气口的中间位置,中间隔板的上端点竖直向上延伸到接近进气口的位置。由中间隔板向两侧每间隔一个终极隔板的下一个终极隔板的顶端均倾斜向上延伸一段距离,向上延伸的隔板形成四级隔板,四级隔板的上端点处于同一水平面上。再由中间隔板向两侧每间隔一个四级隔板的下一个四级隔板的顶端继续向上延伸一段距离,形成三级隔板,三级隔板的上端点处于同一水平面。再由中间隔板向两侧每间隔一个三级隔板的下一个三级隔板的顶端继续向上延伸一段距离,形成二级隔板,二级隔板的上端点处于同一水平面。二级隔板的上端点所在的水平面均低于中间隔板的上端点所在的水平面,所以中间隔板又为一级隔板。
所述的每级隔板均焊接在壳体上,每级隔板均为一分二隔板,将其所处的腔体平均分成两个腔体,即一级隔板将总腔体平均分割成二级腔体;二级隔板又将二级腔体平均分割成四级腔体;三级隔板又将四级腔体平均分割成八级腔体;四级隔板又将八级腔体平均分割成十六级腔体;终级隔板最后将十六级腔体平均分割成三十二级腔体。
在上述技术方案的基础上,可以有以下进一步的技术方案:
所述的壳体的下壳体设置成与进气口进气时的气流方向相平行的管状,且出气口为扁平状。
在实际生产中可根据需要在下壳体内均布不同数量的终极隔板,而得到不同数量的出气口,所以出气口的数量与隔板的级数有关,即出气口的数量为2n个,其中为n级、且n为自然数。
本发明的优点在于:本装置制造简单,成本较低,对气体的均匀分配效果好。
附图说明
图1是本发明的基本结构示意图。
具体实施方式
如图1所示,本发明提供的一种用于平板玻璃镀膜的气体均匀分配器,其特征在于:包括壳体1,壳体1的截面成锥体状,在壳体1的上端设有进气口1a,在进气口1a上连接进气管2;在壳体1的下端设有出气口1b,出气口1b为扁平状。
所述的壳体1的下侧为竖直的下壳体1c,下壳体1c设置成与进气口1a处进气的气流方向相平行的管状。在下壳体1c内均匀焊接一组竖直的终极隔板3,处于下壳体1中间位置的中间隔板3a将其平均分割,且上端正对进气口1a的中间位置,中间隔板3a的上端点竖直向上延伸到接近进气口1a的位置。
由中间隔板3a向两侧每间隔一个终极隔板3的下一个终极隔板3的顶端均倾斜向上延伸一段距离,向上延伸的隔板形成四级隔板3b,四级隔板3b的上端点处于同一水平面上。再由中间隔板3a向两侧每间隔一个四级隔板3b的下一个四级隔板3b的顶端继续向上延伸一段距离,形成三级隔板3c,三级隔板的3c上端点处于同一水平面。由中间隔板3a向两侧每间隔一个三级隔板3c的下一个三级隔板3c的顶端继续向上延伸一段距离,形成二级隔板3d,二级隔板3d的上端点处于同一水平面。二级隔板3d的上端点所在的水平面均低于中间隔板3a的上端点所在的水平面。
所述的每级隔板均焊接在壳体1上,中间隔板3a将总腔体4平均分割成二级腔体4a;二级隔板3d又将二级腔体4a平均分割成四级腔体4b;三级隔板3c又将四级腔体4b平均分割成八级腔体4c;四级隔板3b又将八级腔体4c平均分割成十六级腔体4d;终级隔板3最后将十六级腔体4d平均分割成三十二级腔体4e。
Claims (2)
1.一种用于平板玻璃镀膜的气体均匀分配器,其特征在于:包括壳体(1),壳体(1)的截面成锥体状,在壳体(1)的上端设有进气口(1a),在进气口(1a)上连接进气管(2);在壳体(1)的下端设有出气口(1b),壳体(1)的下侧为竖直的下壳体(1c),在下壳体(1c)内均布一组终极隔板(3),处于下壳体中间位置的中间隔板(3a)的上端点竖直向上延伸一段距离,由中间隔板(3a)向两侧每间隔一个终极隔板(3)的下一个终极隔板(3)的顶端均倾斜向上延伸一段距离,倾斜延伸的终极隔板(3)的上端点所在的水平面均低于中间隔板(3a)的上端点所在的水平面,终极隔板(3)和中间隔板(3a)均焊接在壳体(1)上。
2.根据权利要求1所述的一种用于平板玻璃镀膜的气体均匀分配器,所述的下壳体(1c)设置成与进气口(1a)进气的气流方向相平行的管状,且出气口(1b)为扁平状。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201310355073.8A CN103396005B (zh) | 2013-08-15 | 2013-08-15 | 一种用于平板玻璃镀膜的气体均匀分配器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201310355073.8A CN103396005B (zh) | 2013-08-15 | 2013-08-15 | 一种用于平板玻璃镀膜的气体均匀分配器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN103396005A CN103396005A (zh) | 2013-11-20 |
CN103396005B true CN103396005B (zh) | 2016-03-02 |
Family
ID=49559799
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201310355073.8A Active CN103396005B (zh) | 2013-08-15 | 2013-08-15 | 一种用于平板玻璃镀膜的气体均匀分配器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN103396005B (zh) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103951175B (zh) * | 2014-04-11 | 2016-05-18 | 洛阳兰迪玻璃机器股份有限公司 | 一种玻璃加热炉的快速加热方法 |
CN103951176B (zh) * | 2014-04-11 | 2016-06-15 | 洛阳兰迪玻璃机器股份有限公司 | 一种快速加热玻璃板的加热炉 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101842880A (zh) * | 2008-03-27 | 2010-09-22 | 东京毅力科创株式会社 | 气体供给装置、处理装置、处理方法及存储介质 |
CN202090055U (zh) * | 2011-04-29 | 2011-12-28 | 中微半导体设备(上海)有限公司 | 气体输送装置及使用该气体输送装置的反应器 |
CN203419855U (zh) * | 2013-08-15 | 2014-02-05 | 蚌埠玻璃工业设计研究院 | 一种用于平板玻璃镀膜的气体均匀分配器 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05136064A (ja) * | 1991-11-11 | 1993-06-01 | Toshiba Corp | 気相成長装置 |
JPH07142401A (ja) * | 1993-11-18 | 1995-06-02 | Fujitsu Ltd | 半導体デバイス製造用の成膜装置及び半導体装置の製造方法 |
JPH1180959A (ja) * | 1997-09-08 | 1999-03-26 | Sony Corp | 気相成長装置 |
-
2013
- 2013-08-15 CN CN201310355073.8A patent/CN103396005B/zh active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101842880A (zh) * | 2008-03-27 | 2010-09-22 | 东京毅力科创株式会社 | 气体供给装置、处理装置、处理方法及存储介质 |
CN202090055U (zh) * | 2011-04-29 | 2011-12-28 | 中微半导体设备(上海)有限公司 | 气体输送装置及使用该气体输送装置的反应器 |
CN203419855U (zh) * | 2013-08-15 | 2014-02-05 | 蚌埠玻璃工业设计研究院 | 一种用于平板玻璃镀膜的气体均匀分配器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN103396005A (zh) | 2013-11-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN103396005B (zh) | 一种用于平板玻璃镀膜的气体均匀分配器 | |
CN203959848U (zh) | 酸解锅气体分布板 | |
CN204486153U (zh) | 一种电容式触摸屏的水胶贴合装置 | |
CN203419855U (zh) | 一种用于平板玻璃镀膜的气体均匀分配器 | |
CN202929367U (zh) | 可调节时间的沙漏 | |
CN203419854U (zh) | 一种用于平板玻璃镀膜的气体平面均匀分配器 | |
CN202646981U (zh) | 连接变压器放油阀的通用法兰盘 | |
CN203370636U (zh) | 一种均分恒流浆液分配器 | |
CN202880165U (zh) | 一种集成电路元件包装管 | |
CN103396006B (zh) | 一种用于平板玻璃镀膜的气体平面均匀分配器 | |
CN204892910U (zh) | 一种含排气嘴的雨刮器连接臂压铸模具 | |
CN206296079U (zh) | 一种外置式浮选柱分配给矿器 | |
CN202575964U (zh) | 一种双液灌胶计量*** | |
CN210065213U (zh) | 一种可均匀配水装置 | |
CN204021205U (zh) | 一种具有计时功能的航标 | |
CN103742745B (zh) | 一种快速卸料结构 | |
CN204768619U (zh) | 具有流量监测功能的多元共聚物的合成装置 | |
CN203990143U (zh) | 一种炭黑生产用的炭黑收集装置 | |
CN206683700U (zh) | 一种孔板流量计 | |
CN204768618U (zh) | 中间体连续反应的多元共聚物合成装置 | |
CN205745047U (zh) | 一种稳固弹簧 | |
CN204622021U (zh) | 一种弯箍筋承接装置 | |
CN105107454A (zh) | 一种高效液体分布管 | |
CN202129141U (zh) | 绿碳化硅微粉溢流分级用水的稳压*** | |
CN204568090U (zh) | 一种液体产品定量灌装机 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant |