CN103388577A - 液体用容积型泵 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种液体用容积型泵。本发明中，是交替地连续进行以通过使泵室（3）的容积扩大来从吸入通路（9）经吸入侧止回阀（8）以及吸入口（6）向泵室（3）供液的吸入工序和通过使泵室（3）的容积缩小来从泵室（3）经排出口（7）以及排出侧止回阀（10）向排出通路（9）送液的排出工序的方式构成的液体用容积型泵，在对在泵室（3）内产生气泡的液体进行处理的泵中，以由细孔通路（14）将泵室（3）的上部区域和排出通路（9）直接连通连接，在排出工序中通过使泵室（3）内的液体从细孔通路（14）向排出通路（9）微量流出，来将泵室（3）内的气泡排除，使止回阀（8、10）不会产生气锁现象的方式构成。

Description

液体用容积型泵

技术领域

本发明涉及在半导体、液晶市场等作为送液泵使用的波纹管泵等容积型泵，尤其是涉及对具有发泡性的液体（例如，臭氧水、过氧化氢水等具有发泡性的液体）、含有气泡的液体（例如，以高温、高压、空化等为起因，产生气泡的液体）进行处理的液体用容积型泵。

背景技术

作为以往的液体用容积型泵，一般已知具备由可伸缩的波纹管围绕形成，且被构成为可进行扩缩容积动作的泵室、在泵室内开口的吸入口以及排出口、经吸入侧止回阀与吸入口连通连接的吸入通路、经排出侧止回阀与排出口连通连接的排出通路，以交替地连续进行通过扩大泵室的容积来从吸入通路经吸入侧止回阀以及吸入口向泵室供液的吸入工序和通过使泵室的容积缩小来从泵室经排出口以及排出侧止回阀向排出通路送液的排出工序的方式构成的波纹管泵等（例如，参见专利文献1）。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2010-196541号公报

但是，在波纹管泵等容积型泵中，在送液流体为臭氧水，过氧化氢等那样具有发泡性的液体、以高温、高压、空化等为起因含有气泡的液体的情况下，存在产生出现吸入侧止回阀乃至排出侧止回阀工作不良的所谓的气锁现象，不能进行良好的送液这样的故障的可能性。

即、在作为具有发泡性的液体、含有气泡的液体的送液泵乃至循环泵使用波纹管泵等容积型泵的情况下，在吸入工序时在泵室内产生或流入的气泡没有在排出工序时从泵室被排出，而是滞留在泵室内。这样的滞留气泡因反复进行由容积型泵进行的吸入工序和排出工序，而与其它的滞留气泡、在泵室内新产生的气泡合体，成长为大的气泡。另一方面，以排出侧止回阀通过在排出工序中的泵室内的压力上升来使阀芯抵抗弹簧向开阀位置位移，另外，吸入侧止回阀通过在吸入工序中的泵室内的压力下降来使阀芯抵抗弹簧向开阀位置位移的方式构成。因此，若泵室内存在大的气泡，则产生在排出工序中仅仅压缩该气泡，泵室实质上没有缩小，泵室内的压力上升不充分，排出侧止回阀没有恰当工作（阀芯没有向开阀位置位移），另外，在吸入工序中，仅仅是该气泡膨胀，泵室实质上没有扩大，泵室内的压力下降不充分，吸入侧止回阀没有恰当工作（阀芯没有向开阀位置位移）这样的所谓气锁现象。另外，即使在一次工序中在泵室内产生或者滞留的气泡小或者量少，也由于气泡因反复进行该工序而逐渐增加，并巨大化，而存在产生上述那样的气锁现象的可能性。

本发明鉴于这样的情况，以提供一种即使在对具有发泡性的液体、含有气泡的液体进行处理的情况下，也能够预先防止上述的气锁现象的产生，良好地进行吸入工序以及排出工序的液体用容积型泵为目的。

发明内容

本发明提出了一种液体用容积型泵，其中，该液体用容积型泵是具备可进行扩缩容积动作地被构成的泵室、向泵室内开口的吸入口以及排出口、经吸入侧止回阀与吸入口连通连接的吸入通路、经排出侧止回阀与排出口连通连接的排出通路，并以交替地连续进行通过扩大泵室的容积来从吸入通路经吸入侧止回阀以及吸入口向泵室供液的吸入工序和通过缩小泵室的容积来从泵室经排出口以及排出侧止回阀向排出通路送液的排出工序的方式被构成的液体用容积型泵，也就是对在泵室内产生气泡的液体进行处理的液体用容积型泵中，为实现上述目的，尤其是以由细孔通路将泵室的上部区域和排出通路直接地连通连接，在排出工序中通过使泵室内的液体从该细孔通路向排出通路微量流出，从而排除该泵室内的气泡的方式构成。

在该液体用容积型泵中，优选细孔通路是在泵室内向其上部区域开口的细孔通路。另外，优选吸入口是在泵室内至少向其上部区域开口的吸入口，再有，优选在泵室是在水平方向扩缩的泵室的情况下，吸入口被分支为在与泵室的扩缩动作方向正交的方向放射状地开口的多个吸入口部分。

在该液体用容积型泵的优选的实施方式中，也可以在细孔通路上配设允许从泵室向排出通路的液体流动，并且阻止向其反方向的液体流动的止回阀，在吸入行程中隔断该细孔通路对排出通路和泵室的连通。或者，也可以以不设置这样的止回阀，使该细孔通路为总是开放状态，在吸入工序使排出通路内的液体从细孔通路向泵室的上部区域微量流入的方式构成。

另外，虽然本发明可以合适地应用在泵室由在水平方向伸缩自由的有底筒状的波纹管围绕形成的液体用容积型泵，但是，在使细孔通路像上述那样为总是开放状态的情况下，优选在波纹管的周壁是成截面波形的皱褶构造的周壁时，泵室内的细孔通路的开口部是在吸入工序中将从排出通路流入该细孔通路的液体向波纹管的上部侧部分的内周面喷出的开口部。再有，优选细孔通路是在泵室内在多个部位开口的细孔通路，这些开口部以在吸入工序的至少最终阶段向形成在波纹管的周壁内周面的环状凹部喷出液体的方式，在波纹管的伸缩动作方向隔开规定间隔配置成并列状。

发明效果

由于本发明的液体用容积型泵是由细孔通路将泵室的上部区域和排出通路直接连通连接，在排出工序使泵室内的液体从该细孔通路向排出通路微量流出，能够使泵室内的气泡伴随它排除的液体用容积型泵，所以，即使由于工序的反复，也不会在泵室内产生大的气泡，能够预先避免开始时阐述的气锁现象的产生。因此，根据本发明，能够提供一种即使在对具有发泡性的液体（臭氧水，过氧化氢水等）、含有气泡的液体进行处理的情况下，也能够发挥良好的泵功能，极富实用性的液体用容积型泵。

附图说明

图1是表示装备了有关本发明的液体用容积型泵的送液泵的一例的纵剖侧视图。

图2是表示与图1不同的状态的与图1相当的纵剖侧视图。

图3是表示与图1以及图2不同的状态的与图1相当的纵剖侧视图。

图4是将图1的主要部分放大来表示的详图。

图5是沿图1的V-V线的主要部分的纵剖正视图。

图6是表示装备有关本发明的液体用容积型泵的送液泵的变形例的与图1相当的纵剖侧视图。

图7是将图6的主要部分放大表示的详图。

图8是沿图6的VIII-VIII线的主要部分的纵剖正视图。

图9是表示装备有关本发明的液体用容积型泵的送液泵的其它变形例的与图1相当的纵剖侧视图。

图10是将图9的主要部分放大来表示的详图。

图11是沿图10的XI-XI线的主要部分的纵剖后视图。

图12是沿图10的XII-XII线的主要部分的纵剖后视图。

图13是表示装备有关本发明的液体用容积型泵的送液泵的另外的其它变形例的与图10相当的纵剖侧视图。

具体实施方式

根据附图，具体说明用于实施本发明的方式。

图1是表示装备有关本发明的液体用容积型泵的送液泵的一例的纵剖侧视图，图2以及图3分别是表示与图1不同的作用状态的与图1相当的纵剖侧视图，图4是将图1的主要部分放大来表示的详图，图5是沿图1的V-V线的主要部分的纵剖正视图。另外，在下面的说明中，上下、左右是指图1～图3的上下、左右。

图1所示的送液泵是用于对泵内容易滞留气泡的液体（例如，臭氧水，过氧化氢水等那样的具有发泡性的液体、以高温、高压、空化等为起因而含有气泡的液体等）进行送液的送液泵，是将左右一对液体用容积型泵（下面，将左侧的泵称为“第一泵1A”，将右侧的泵称为“第二泵1B”）并列配置而成的复合型泵。

两泵A、B是除做成左右对称构造这点之外，相同构造的泵，分别如图1～图3所示，具备泵壳体2、被配置在泵壳体2内并围绕形成泵室3的波纹管4、使泵室3的容积进行扩缩动作的动作构件5、在泵室3开口的吸入口6以及排出口7、经吸入侧止回阀8与吸入口6连通连接的吸入通路9、经排出侧止回阀10与排出口7连通连接的排出通路11，以交替地进行从吸入通路9向泵室3供液的吸入工序和从泵室3向排出通路11送液的排出工序的方式构成的波纹管泵（波纹管型往复动泵。

泵壳体2如图1～图3所示，是作为两泵1A、1B的泵壳体被共用的两端封闭的圆筒构造体，以其轴线为水平的状态被设置。泵壳体2的内部空间被配置在轴线方向（左右方向）的中间部的圆盘状的通路形成壁2a二分割，在该内部空间的左侧的分割空间部分配置第一泵1A的构成部件，在右侧的分割空间部分配置第二泵1B的构成部件。

各波纹管4如图1～图3所示，是使周壁4a成为截面波型的皱褶构造，在轴线方向（水平方向）可伸缩地被构成的有底圆筒体。各波纹管4的开口端部4b被紧固在通路形成壁2a，构成该波纹管4内被通路形成壁2a封闭的泵室3。虽然各泵室3的容积的扩缩通过使围绕形成它的波纹管4在轴线方向伸缩来进行，但是，两波纹管4、4通过由连结杆13将紧固在其底壁4c、4c的圆盘状的可动板12、12连结，而同步地反方向伸缩动作。即、连结杆13如图1例示的那样，是以在一方的波纹管4处于最缩小状态时，另一方的波纹管4为最伸长状态的方式，将两波纹管4、4联动连结的部件，在一方的波纹管4进行缩小动作时，另一方的波纹管4与之联动地进行伸长动作。

各动作构件5是使波纹管4进行伸缩动作的部件，虽然由活塞·缸机构、曲柄机构等构成，但在该例中，如图1～图3所示，被构成为空气缸机构，以通过从形成在泵壳体2的端部壁2b的供排气口5a向形成在波纹管4以及可动板12和泵壳体2之间的空间供排加压空气5b来使波纹管4进行伸缩动作的方式被构成。从两供排气口5a、5a的供排气被交替地同步进行，通过在从一方的供排气口5a供气的同时，从另一方的供排气口5a排气，反方向同步地进行两波纹管4、4的伸缩动作，即两泵室3、3的扩缩动作。即、第一泵1A的吸入工序（或者排出工序）和第二泵1B的排出工序（或者吸入工序）同步地进行，两泵1A、1B的吸入工序和排出工序的切换被同时进行。另外，图1是表示第一泵1A的吸入工序以及第二泵1B的排出工序的结束状态，图2是表示第一泵1A的排出工序以及第二泵1B的吸入工序的开始状态，图3是表示第一泵1A的排出工序以及第二泵1B的吸入排出工序的进展途中的状态。

各吸入侧止回阀8如图1～图3所示，由阀箱8a、阀座8b、阀芯8c以及弹簧8d构成。阀箱8a是以从通路形成壁2a向泵室3内突出的状态并且以不与波纹管4干涉的状态，将开口端部紧固在通路形成壁2a的有底圆筒状的部件。阀座8b被形成在通路形成壁2a的阀箱安装部分，与成为形成在通路形成壁2a上的吸入通路9的一端部的下游端部连接。吸入通路9的下游端部分支并与两吸入侧止回阀8、8的阀座8b、8b连通。在阀箱8a内置着能够遍及与阀座8b碰撞接合并将它封闭的闭阀位置（第一泵1A中的图2以及图3所示的位置或者第二泵1B中的图1的位置）和从阀座8b离开将它开放的开阀位置（第一泵1A中的图1所示的位置或者第二泵1B中的图2以及图3所示的位置）位移的阀芯8c和将它向闭阀位置弹压的弹簧8d。阀芯8c在排出工序中因背压（泵室3的压力）以及弹簧8d的弹压力而被保持在封闭位置，在吸入工序中因泵室3的压力降低而抵抗弹簧8d的弹压力向开阀位置位移。

各吸入口6如图1～图3所示，形成在阀箱8a的底壁上并向泵室3内开口，经吸入侧止回阀8与吸入通路9的下游端部连通连接。

各排出侧止回阀10如图1～图3所示，由阀箱10a、阀座10b、阀芯10c以及弹簧10d构成。阀箱10a是以从通路形成壁2a向泵室3内突出的状态并且以不与波纹管4干涉的状态，将开口端部紧固在通路形成壁2a的有底圆筒状的部件。阀座10b被形成在阀箱10a的底壁，与成为形成在通路形成壁2a上的排出通路11的一端部的上游端部连接。排出通路11的上游端部分支并在两排出侧止回阀10、10的阀箱10a、10a内开口，与阀座10b、10b连通。在阀箱10a内置着遍及与阀座10b碰撞接合并将它封闭的闭阀位置（第一泵1A中的图1所示的位置或者第二泵1B中的图2以及图3所示的位置）和从阀座10b离开并将它开放的开阀位置（第一泵1A中的图2以及图3所示的位置或者第二泵1B中的图1所示的位置）而能够位移的阀芯10c和将它向闭阀位置弹压的弹簧10d。阀芯10c在吸入工序中因背压（排出通路11的压力）以及弹簧10d的弹压力而被保持在封闭位置，在排出工序中因泵室3的压力上升而抵抗弹簧10d的弹压力向开阀位置位移。

各排出口7如图1～图3所示，是还作为阀座10b的阀孔发挥功能的部件，形成在阀箱10a的底壁上，在泵室3内开口，经排出侧止回阀10与排出通路11的上游端部连通连接。

另外，虽然就波纹管4等泵构成部件中与送液流体接触的部件而言，根据该流体的性状等选定恰当的材质，但在该例中由聚四氟乙烯等氟树脂类的耐腐蚀材料构成。

虽然上述的结构与公知的复合型往复动泵相同，由第一泵1A进行的排出工序和由第二泵1B进行的排出工序被交替连续地进行，能够从送液管线的吸入部分向排出部分连续地送液，但是，对上述第一以及第二泵1A、1B进行了研究，以便按照本发明，通过进一步以下述方式构成来切实地防止各吸入侧止回阀8以及排出侧止回阀10的工作不良（气锁），良好地对臭氧水、过氧化氢水等具有发泡性的液体、以高温、高压、空化等为起因而含有气泡的液体进行送液。

第一，以将各泵室3的上部区域和排出通路11像图1～图5所示那样由截面呈微小径的圆形状的细孔通路14直接地连通连接，在排出工序使该泵室3内的液体从细孔通路14向排出通路11微量流出，且在吸入工序使排出通路11内的液体从细孔通路14向该泵室3的上部区域微量流入的方式构成。

即、各细孔通路14如图4所示，通过是在通路形成壁2a上紧固在波纹管4的轴线方向（水平方向）将它贯通的有底筒状的第一部件15，在该第一部件15的端部嵌合紧固有底筒状的第二部件16，在该第二部件16嵌合紧固圆柱状的第三部件17的基端部，使形成在各部件15、16、17上的通路孔15a、16a、17a在水平方向连通而被形成的。形成在第一部件15上的通路孔15a的一端部在排出通路11内开口，该通路孔15a和第三部件17的通路孔17a经第二部件16的通路孔16a连通。

第三部件17以不与波纹管4的上部侧部分干涉，而与之接近的状态从通路形成壁2a向泵室3内的上部区域水平地突出。该第三部件17的突出量如图1～图3所示，在该第三部件17的前端部在波纹管4进行伸缩动作时不与其底壁4c干涉的范围内，尽量设定得长。另外，第一以及第二部件15、16的一端面与通路形成壁2a的端面（泵室侧的端面）为齐平面，露出于排出通路11的第一部件15的端部和通路形成壁2a的嵌合部分被O形环15b密封。

细孔通路14如图4所示，具有向泵室3内的上部区域开口的多个开口部（喷嘴孔）14a。即、在第三部件17的上面部，在位于泵室3内的部分，在轴线方向隔开规定间隔贯穿设置与通路孔17a连通的多个喷嘴孔14a。喷嘴孔14a的相互间隔例如如图1所示，以各喷嘴孔14a的开口在吸入工序的至少最终阶段与形成在波纹管4的周壁内周面的环状凹部4d相向的方式被设定。

因此，虽然在吸入工序中，排出口7由排出侧止回阀10封闭，但是，排出通路11内的液体从细孔通路14向泵室3内流入（第一泵1A中的图1以及图4所示的状态或者第二泵1B中的图2以及图3所示的状态）。此时，由于细孔通路14的开口部，即、喷嘴孔14a向泵室3内的上部区域开口，所以，从各喷嘴孔14a向该上部区域喷出液体。而且，在吸入工序中，泵室3内产生的气泡向泵室3内的上部区域浮游，与伴随着吸入工序的进展而新产生的气泡合体并成长。但是，由于像上述那样，从各喷嘴孔14a向泵室3内的上部区域喷出液体，所以，气泡的成长被其喷出流阻止，另外，大的气泡被微细地***。通过将各喷嘴孔14a的配置设定成其开口像上述那样在吸入工序的至少最终阶段与形成在波纹管4的周壁内周面的环状凹部4d相向，而能够更有效地进行这样的气泡的成长阻止乃至***作用。

而且，虽然若从吸入工序进入排出工序，则泵室3内的液体从排出口7经排出侧止回阀10向排出流路11排出，但是，同时泵室3内的上部区域的液体从各喷嘴孔14a经细孔通路14向排出通路11微量流出（第一泵1A中的图2以及图3所示的状态或者第二泵1B中的图1以及图4所示的状态）。此时，泵室3内的上部区域中的气泡由于像上述那样在吸入工序被来自各喷嘴孔14a的喷出流阻止成长，并微细地***，所以，伴随着从细孔通路14向排出通路11的流出液，向排出通路11排出。

因此，即使在送液流体是具有发泡性的液体、含有气泡的液体的情况下，也不存在因吸入工序和排出工序的反复，气泡在泵室3内成长得大的情况，能够预先避免开始时阐述的那样的气锁现象的产生，发挥良好的送液功能。另外，细孔通路14的内径在吸入工序中的从细孔通路14向泵室3的流入量乃至排出工序中的从细孔通路14向排出流路11的流出量与从吸入口6的吸入量乃至从排出口7的排出量相比为极其微量，且不会对该泵1A、1B的泵功能（定量性等）造成影响的范围，与泵条件（液体的性状等）相应地被恰当设定，以便良好地发挥上述气泡的成长阻止，***功能以及气泡向泵室外的排出功能。

第二，使各吸入口6像图1～图3以及图5所示那样，在泵室3内向至少其上部区域开口，谋求更有效地进行吸入工序中的气泡的成长阻止、***作用。

即、各吸入口6如图5所示，被分支为在泵室3的扩缩方向（作为波纹管4的伸缩方向的水平方向）正交的方向放射状地开口的多个吸入口部分6a、6b、6c、6d。即、各吸入口6的向泵室3的开口部包括向泵室3内的上部区域开口的吸入口部分6a，被分支为在阀箱8a的周方向隔开等间隔（90度间隔）的四个吸入口部分6a、6b、6c、6d。

因此，在吸入工序中，从吸入口6向泵室3内吸入的液体从各吸入口部分6a、6b、6c、6d包括泵室3的上部区域向四个方向喷出（第一泵1A中的图1以及图5所示的状态或者第二泵1B中的图2以及图3所示的状态），据此，泵室3内的液体被搅拌，阻止气泡的成长、巨大化，或者气泡被微细地***。其结果为，更有效地进行排出工序中的通过伴随从细孔通路14向排出通路11的流出液所进行的气泡的排出。

另外，有关本发明的液体用容积型泵的结构并不限于上述方式，能够在不脱离本发明的基本原理的范围内恰当地进行改进、变更。

例如，细孔通路也可以做成不具有上述喷嘴孔14a，仅贯通通路形成壁2a的通路。即、在图6～图8所示的内容中，在通路形成壁2a形成在水平方向贯通它并将排出通路11和泵室3内的上部区域连通的细孔通路18。该细孔通路18是使截面呈与上述细孔通路14相同径的圆形状的细孔通路。由于图6～图8所示的泵是除上述细孔通路18的结构外，与图1～图5所示的泵呈相同构造的泵，所以，对细孔通路18以外的结构标注与图1～图5相同的符号，省略其说明。

另外，虽然在上述例子中做成使细孔通路14、18总是成为开放状态的结构，但是，也可以像图9～图12所示那样，在细孔通路配设允许从泵室3向排出通路11的液体流动，并且阻止向其反方向的液体流动的止回阀。虽然图9～图12所示的泵像下面阐述的那样，是在细孔通路19上配设了允许从泵室3向排出通路11的液体流动，并且阻止向其反方向的液体流动的止回阀20的泵，但是，除这点外，是与图1～图5所示的泵呈相同构造的泵，因此，通过对细孔通路19以及止回阀20以外的结构标注与图1～图5相同的符号，省略其说明。

即、在图9以及图10所示的第一以及第二泵1A、1B中，在通路形成壁2a的泵侧端面形成在泵室3内的上部区域开口的凹部2c，且在通路形成壁2a中的形成有凹部2c的部分形成在水平方向将它贯通并将排出通路11和泵室3内的上部区域连通的细孔通路19，在构成该细孔通路19的泵室侧端部的凹部2c配设止回阀20。细孔通路19是截面呈与上述细孔通路14、18相同径的圆形状的细孔通路。

止回阀20如图10所示，由在形成于通路形成壁2a的泵室侧端部的凹部2c被埋设的阀箱21、22和被内置在阀箱21、22的阀芯23构成。阀箱由在前端部中心形成有阀孔21a的有底圆筒状的阀箱主体21和在阀箱主体21的基端开口部为将它封闭而被嵌合固定的圆板状的盖体22构成。阀箱以阀孔21a在泵室3内的上部区域开口，并且阀箱主体21的前端面与通路形成壁2a的泵室侧端面为齐平面的方式，通过将形成在阀箱主体21的外周面的阳螺纹部21b旋合在形成于凹部2c的内周面的阴螺纹部2d而被固定在凹部2c。在阀箱主体21的内周面如图10以及图11所示，在周方向隔开等间隔形成在轴线方向（水平方向）延伸的多条（本例中为四条）半圆形槽21c。虽然盖体22的前端侧部分被嵌合在阀箱主体21的基端开口部，但在该前端侧部分，如图10～图12所示，以与各半圆形槽21c一致的状态形成多个（本例中为四个）圆形孔22a。另外，在盖体22的基端侧部分，如图10～图12所示，形成用于使全圆形孔22a和细孔通路19连通的圆形孔22b。阀孔21a如图10所示，是呈与细孔通路19相同或者大致相同的微小径的阀孔，基端侧部分向阀箱主体21内被截头圆锥状地扩径。阀芯23是在阀箱主体21内在轴线方向（水平方向）移动自由地被嵌插的圆柱状的阀芯，前端部被形成为能够与阀孔21a嵌合的尖窄的截头圆锥状。阀芯23在吸入工序中向阀芯23因泵室3内的减压作用而与阀孔21a嵌合并将它封闭的闭阀位置（第一泵1A中的图9以及图10所示的位置）移动，在排出工序中向阀芯23因泵室3内的加压作用而从阀孔21a脱离并将它开放的开阀位置（第二泵1B中的图9以及图10所示的位置）移动。另外，在开阀位置，阀芯23与盖体22碰撞接合。

然后，由于在排出工序中，阀芯23位于开阀位置，阀孔21a被开放，所以，与上述的情况同样，泵室3内的上部区域中的液体从阀孔21a、各半圆形槽21c以及各圆形孔22a、22b经细孔通路19向排出通路11微量流出（第二泵1B中的图9以及图10所示的状态）。此时，泵室3内的上部区域中的气泡伴随从细孔通路19向排出通路11的流出液，向排出通路11被排出。

而且，若从排出工序进入吸入工序，则阀芯23位于闭阀位置，阀孔21a被封闭，泵室3和排出通路11通过细孔通路19进行的连通被隔断。即、进行与没有设置细孔通路19的情况相同的吸入工序。

然后，由于即使送液流体是具有发泡性的液体、含有气泡的液体的情况下，由于在一次的吸入工序中，泵室3内产生或侵入的气泡的量微小且其气泡也小，所以，每次从吸入工序进入排出工序都像上述那样将气泡与来自细孔通路19的排出液一起被排除，据此，不存在泵室3内的气泡成长得大的情况。因此，虽然在图9～图12所示的泵中，将细孔通路19构成为在其上设置止回阀20，仅在排出工序开放，在吸入工序封闭，但是，能够与像上述的细孔通路14、18那样成为总是开放状态的泵同样，预先避免气锁现象的产生，发挥良好的送液功能。另外，由于使各吸入口6与上述泵中的情况同样，在泵室3内至少向其上部区域开口，所以，还能够在吸入工序中有效地进行气泡的成长阻止、***作用。

另外，由于在吸入行程时，液体没有从排出通路11向泵室3流入，所以，能够得到稳定的排出量，且能够避免气锁现象，并切实地得到泵的定量性。

另外，止回阀20也可以如图13所示，不是配设在细孔通路19的泵室侧，而是配设在排出通路侧。即、在图13所示的泵中，将阀箱21、22配置成其盖体22与通路形成壁2a的排出通路侧端面为齐平面。在这种情况下，延长阀箱主体21的前端部，使该延长部分的前端面与通路形成壁2a的泵室侧端面为齐平面，在该延长部分形成从阀孔21a至泵室3内的上部区域开口的细孔通路19。在以这样的方式构成的情况下，也能够发挥与图9～图12所示的泵相同的作用效果。

另外，上述任意一种泵中，都是使吸入口6分支为多个吸入口部分6a、6b、6c、6d，但是，根据送液流体的性状等，仅从吸入口6向泵室3的至少上部区域喷出吸入液，也能够利用泵室3内的上部区域的搅拌作用，阻止气泡的成长、巨大化。即、也能够以仅由在上方开口的吸入口部分6a构成吸入口6的方式构成。再有，在没有设置止回阀20的情况下，也存在根据送液流体的性状等，仅通过吸入工序中的来自细孔通路14的喷嘴孔14a的喷出流或者来自细孔通路18的喷出流就能够阻止气泡的成长、巨大化的情况，在这种情况下，也可以仅设置细孔通路14、18，不对吸入口6下特别的功夫。

另外，本发明也可以恰当地应用在单一的液体用容积型泵、波纹管泵以外的容积型泵（例如，隔膜泵等）中。另外，也可以恰当地应用在上述那样的泵室3的扩缩动作方向不是水平方向，而是上下方向的各种液体用容积型泵中。

符号说明

1A：第一泵（液体用容积型泵）；1B：第二泵（液体用容积型泵）；2：泵壳体2；2a：通路形成壁；2b：端部壁；2c：凹部；2d：阴螺纹部；3：泵室；4：波纹管；4a：波纹管的周壁；4b：开口端部；4c：底壁；4d：形成在波纹管的周壁内周面的环状凹部；5：动作构件；5a：供排气口；5b：加压空气5b；6：吸入口；6a：吸入口部分；6b：吸入口部分；6c：吸入口部分；6d：吸入口部分；7：排出口；8：吸入侧止回阀；8a：阀箱；8b：阀座；8c：阀芯；8d：弹簧；9：吸入通路；10：排出侧止回阀；10a：阀箱；10b：阀座；10c：阀芯；10d：弹簧；11：排出通路；12：可动板；13：连结杆；14：细孔通路；14a：喷嘴孔（细孔通路的开口部）；15：第一部件；15a：通路孔；15b：O形环；16：第二部件；16a：通路孔；17：第三部件；17a：通路孔；18：细孔通路；19：细孔通路；20：止回阀；21：阀箱主体（阀箱）；21a：阀孔；21b：阳螺纹部；21c：半圆形槽；22：盖体（阀箱）；22a：圆形孔；22b：圆形孔；23：阀芯。

Claims (15)

1.一种液体用容积型泵，其中，该液体用容积型泵是具备可进行扩缩容积动作地被构成的泵室、向泵室内开口的吸入口以及排出口、经吸入侧止回阀与吸入口连通连接的吸入通路、经排出侧止回阀与排出口连通连接的排出通路，并且以交替地连续进行通过扩大泵室的容积来从吸入通路经吸入侧止回阀以及吸入口向泵室供液的吸入工序和通过缩小泵室的容积来从泵室经排出口以及排出侧止回阀向排出通路送液的排出工序的方式被构成的液体用容积型泵，也就是对在泵室内产生气泡的液体进行处理的液体用容积型泵，其特征在于，

以由细孔通路将泵室的上部区域和排出通路直接地连通连接，在排出工序中通过使泵室内的液体从该细孔通路向排出通路微量流出，从而排除该泵室内的气泡的方式构成。

2.如权利要求1所述的液体用容积型泵，其特征在于，细孔通路是在泵室内向其上部区域开口的细孔通路。

3.如权利要求1所述的液体用容积型泵，其特征在于，吸入口是在泵室内至少向其上部区域开口的吸入口。

4.如权利要求1所述的液体用容积型泵，其特征在于，细孔通路是在泵室内向其上部区域开口的细孔通路，

吸入口是在泵室内至少向其上部区域开口的吸入口。

5.如权利要求3所述的液体用容积型泵，其特征在于，在泵室是在水平方向扩缩的泵室的情况下，吸入口被分支为在与泵室的扩缩方向正交的方向放射状地开口的多个吸入口部分。

6.如权利要求4所述的液体用容积型泵，其特征在于，在泵室是在水平方向扩缩的泵室的情况下，吸入口被分支为在与泵室的扩缩方向正交的方向放射状地开口的多个吸入口部分。

7.如权利要求1至6中的任一项所述的液体用容积型泵，其特征在于，泵室是由在水平方向伸缩自由的有底筒状的波纹管围绕形成的泵室。

8.如权利要求1至6中的任一项所述的液体用容积型泵，其特征在于，以在吸入工序中使排出通路内的液体从细孔通路向泵室的上部区域微量流入的方式构成。

9.如权利要求1至6中的任一项所述的液体用容积型泵，其特征在于，泵室是由在水平方向伸缩自由的有底筒状的波纹管围绕形成的泵室，

以在吸入工序中使排出通路内的液体从细孔通路向泵室的上部区域微量流入的方式构成。

10.如权利要求1至6中的任一项所述的液体用容积型泵，其特征在于，在细孔通路上配设允许从泵室向排出通路的液体流动，并且阻止向其反方向的液体流动的止回阀。

11.如权利要求1至6中的任一项所述的液体用容积型泵，其特征在于，泵室是由在水平方向伸缩自由的有底筒状的波纹管围绕形成的泵室，

在细孔通路上配设允许从泵室向排出通路的液体流动，并且阻止向其反方向的液体流动的止回阀。

12.如权利要求1至6中的任一项所述的液体用容积型泵，其特征在于，泵室是由在水平方向伸缩自由的有底筒状的波纹管围绕形成的泵室，

以在吸入工序中使排出通路内的液体从细孔通路向泵室的上部区域微量流入的方式构成。

13.如权利要求1至6中的任一项所述的液体用容积型泵，其特征在于，泵室是由在水平方向伸缩自由的有底筒状的波纹管围绕形成的泵室，

在细孔通路上配设允许从泵室向排出通路的液体流动，并且阻止向其反方向的液体流动的止回阀。

14.如权利要求1至6中的任一项所述的液体用容积型泵，其特征在于，泵室是由在水平方向伸缩自由的有底筒状的波纹管围绕形成的泵室，

波纹管的周壁是成截面波形的皱褶构造的周壁，泵室内的细孔通路的开口部是在吸入工序中将从排出通路流入该细孔通路的液体向波纹管的上部侧部分的内周面喷出的开口部，

以在吸入工序中使排出通路内的液体从细孔通路向泵室的上部区域微量流入的方式构成。

15.如权利要求1至6中的任一项所述的液体用容积型泵，其特征在于，泵室是由在水平方向伸缩自由的有底筒状的波纹管围绕形成的泵室，

波纹管的周壁是成截面波形的皱褶构造的周壁，泵室内的细孔通路的开口部是在吸入工序中将从排出通路流入该细孔通路的液体向波纹管的上部侧部分的内周面喷出的开口部，

细孔通路是在泵室内在多个部位开口的细孔通路，这些开口部以在吸入工序的至少最终阶段向形成在波纹管的周壁内周面的环状凹部喷出液体的方式，在波纹管的伸缩方向隔开规定间隔配置成并列状，

以在吸入工序中使排出通路内的液体从细孔通路向泵室的上部区域微量流入的方式构成。

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