CN103386823B - 图案形成装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种图案形成装置，使担载体（BL）上的图案形成区域（Al）与板状的物体（PP）相抵接来进行图案形成，并在图案形成时与图案形成区域（Al）相向的区域（A2）的外侧吸附物体（PP）。具体地说，在吸附板（34）中的在图案形成时与物体（PP）的区域（A2）相向的区域（A3）的外侧形成有被供给负压的槽状的开口（351），进而，在该开口（351）的外侧，设有分别局部吸附物体（PP）的局部吸附部（352）。

Description

图案形成装置

技术领域

本发明涉及通过使担载体与板状的物体相抵接来由物体向担载体形成图案或由担载体向物体形成图案的装置。

背景技术

作为上述这样的装置，以往已知例如专利文献1所记载的发明。在该发明中，在使橡皮布（担载体）与版（物体）相抵接在橡皮布上形成图案层后，使在橡皮布上所形成的图案层与基板（物体）相抵接将图案层转印到基板上。

现有技术文献

专利文献1：日本特开2010-158799号公报

在这样的技术中，虽然需要在使物体在保持在规定的位置的状态下使物体与担载体相抵接，但是专利文献1中关于怎样保持物体没有具体的记载。在此，作为保持物体的方法，能够利用例如吸附技术。这是通过对例如吸附垫等的吸附单元供给负压以形成减压状态来吸附保持物体的技术。然而，通过吸附保持物体，有可能产生以下那样的问题。即，当对版、基板等的板状的物体进行局部吸附保持时，这些被吸附的部分会凹下，有可能不能在该部分进行良好的图案形成。另外，在与担载体的图案形成区域相对的区域中在多个部位吸附板状的物体的情况下，因吸附强度之差而使物体的平面度恶化，从而有可能引起图案形成不良。

发明内容

本发明是鉴于上述问题而提出的，其目的在于，提供一种能够良好地进行图案形成的图案形成装置。

为了实现上述目的，本发明的图案形成装置使担载体上的图案形成区域与板状的物体相抵接来进行形成图案，其特征在于，具有：负压供给单元，用于供给负压；吸附单元，利用由负压供给单元供给的负压来吸附保持物体，吸附单元对物体上的在形成图案时与图案形成区域相向的区域的外侧进行吸附。

根据本发明，板状的物体中的在形成图案时与担载体上的图案形成区域相向的区域（以下称为“有效区域”）的外侧被吸附。即，由于物体的有效区域未被吸附，所以能够防止在有效区域中发生由吸附导致的局部的凹陷和平面度的下降。其结果，能够良好地进行图案形成。

在此，在本发明的图案形成装置中，优选吸附单元具有：吸附板，在该吸附板的用于吸附保持物体的吸附面上的与图案形成区域相向的区域的外侧，设置有由负压供给单元供给负压的开口；多个局部吸附部，在物体上的比图案形成区域更靠外侧的区域，多个局部吸附部分别局部地吸附物体。

这样，通过在吸附板的吸附面中的在形成图案时与图案形成区域相向的区域的外侧形成开口，从而该开口对物体的有效区域的外侧进行吸附。另外，多个局部吸附部吸附图案形成区域的外侧，从而使多个局部吸附部吸附物体的有效区域的外侧。进而，作为吸附单元，包括具有开口的吸附板和能够吸附保持局部区域的多个局部吸附部，从而能够根据各工序适当分开使用吸附保持的方式，从而能够最适当地进行图案形成。

另外，优选多个局部吸附部中的至少一部分局部吸附部是能够在特定方向上发生弹性变形的吸附垫，该特定方向是指，在使物体和担载体相抵接后，使物体和担载体分离的方向。在使物体和担载体相抵接后使物体和担载体分离的剥离时，板状的物体有可能被向担载体侧拉伸而变形，导致物体破损。然而，若做成在剥离时吸附保持物体的多个局部吸附部的至少一部分能够在分离方向上发生弹性变形的吸附垫，则在剥离时物体被向担载体侧拉伸时通过使吸附垫发生弹性变形，能够抑制物体的变形。其结果，能够抑制在剥离时板状的物体发生破损。

另外，优选开口为包围吸附面上的在形成图案时与图案形成区域相向的区域的吸附槽。这样，若将在吸附板上形成的开口做成吸附槽，则能够减小开口面积。其结果，由于能够减少为吸附保持物体而应向吸附板的开口供给的负压量，所以能够进行快速的吸附保持。另外，该吸附槽通过包围吸附板中的在图案形成时与图案形成区域相向的区域，能够通过吸附板稳定地保持物体的有效区域。

另外，优选多个局部吸附部在吸附板上比吸附槽更靠外侧。在利用多个局部吸附部吸附保持板状的物体的情况下，在各局部吸附部之间物体有可能发生弯曲。然而，若将多个局部吸附部配置在吸附槽的外侧，则能够抑制弯曲的影响波及位于吸附槽的内侧的物体的有效区域。因此，能够更加良好地进行图案形成。

根据本发明，板状的物体中的在图案形成时与担载体上的图案形成区域相向的有效区域的外侧被吸附，有效区域不会被吸附。因此，能够防止由吸附导致的有效区域的局部的凹陷和平面度的下降，从而能够良好地进行图案形成。

附图说明

图1是表示配备有本发明的图案形成装置的印刷装置的立体图。

图2是示意性示出图1所示的印刷装置的剖面的图。

图3是示出了图1的装置的电气结构的框图。

图4是示出了图1的印刷装置的整体动作的流程图。

图5是表示吸附单元的配置的立体图。

图6A和图6B是说明版的吸附方法的图。

附图标记的说明

34吸附板

64阀控制部（负压供给单元）

351吸附槽（开口）

352吸附垫（局部吸附部）

BL橡皮布（担载体）

PP版（物体）

SB基板（物体）

V31、V32阀（负压供给单元）

具体实施方式

图1是表示配备有本发明的图案形成装置的印刷装置的概略立体图，为了明确示出装置内部的结构，图示了卸下装置外壳后的状态。另外，图2是示意性示出图1所示的印刷装置的剖面的图。并且，图3是示出了图1的装置的电气结构的框图。就印刷装置100而言，使从装置的正面侧搬入装置内部的橡皮布的上表面，紧贴到从装置的左侧面侧搬入到装置内部的版PP的下表面之后再剥离，由此利用形成在版PP的下表面上的图案来在橡皮布的涂布层上刻画图案以形成图案层（图案刻画处理）。另外，就印刷装置100而言，使进行了图案刻画处理的橡皮布的上表面，紧贴到从装置的右侧面侧搬入到装置内部的基板SB的下表面之后再剥离，由此将形成在该橡皮布上的图案层转印到基板SB的下表面上（转印处理）。此外，在图1及后面说明的各图中，为了明确装置各部的配置关系，将版PP及基板SB的搬送方向设定为“X方向”，将从图1的右侧朝向左侧的水平方向称为“+X方向”，将相反方向称为“-X方向”。另外，将与X方向垂直的水平方向中的装置的正面侧称为“+Y方向”，并且将装置的背面侧称为“-Y方向”。并且，铅垂方向上的上方向及下方向分别称为“+Z方向”及“-Z方向”。

在该印刷装置100中，在石平台1上设置有装置各部（搬送部2、上载物台部3、定位部4、下载物台部5、按压部7、预定位部8、除电部9），通过控制部6对装置各部进行控制。

搬送部2是在X方向上搬送版PP及基板SB的装置，并如下构成。在该搬送部2中，从石平台1的上表面的右后角部及左后角部立设有2个支架（省略图示）。而且，滚珠螺杆机构21以将这两个支架的上端部相互连接的方式在左右方向即X方向上延伸设置。在该滚珠螺杆机构21中，滚珠螺杆（省略图示）在X方向上延伸，滚珠螺杆的一端与往复搬运器水平驱动用马达M21的旋转轴（省略图示）相连接。另外，滚珠螺杆支架（省略图示）螺合在滚珠螺杆的中央部，并且在滚珠螺杆支架的（+Y）侧面安装有在X方向上延伸设置的往复搬运器保持板22。

在该往复搬运器保持板22的（+X）侧端部以能够在铅垂方向Z上升降的方式设置有版用往复搬运器23L，另一方面，在（-X）侧端部以能够在铅垂方向Z上升降的方式设置有基板用往复搬运器23R。由于这些往复搬运器23L及23R除了手部的旋转机构之外具有相同的结构，因而在此说明版用往复搬运器23L的结构，对基板用往复搬运器23R标出相同的附图标记或相当的附图标记而省略结构说明。

往复搬运器23L具有：升降板231，该升降板231在X方向上延伸，并具有与版PP的宽度尺寸（X方向尺寸）相同程度的宽度尺寸或比版PP的宽度尺寸（X方向尺寸）更长一些的宽度尺寸；两个版用手部232、232，从升降板231的（+X）侧端部及（-X）侧端部分别朝向前侧即（+Y）侧延伸设置。升降板231经由滚珠螺杆机构（省略图示）能够升降地安装在往复搬运器保持板22的（+X）侧端部上。即，往复搬运器保持板22的（+X）侧端部上，在铅垂方向Z上延伸设置有滚珠螺杆机构。在该滚珠螺杆机构的下端，连接有版用往复搬运器升降马达M22L（图3）的旋转轴（省略图示）。另外，滚珠螺杆机构上螺合有滚珠螺杆支架（省略图示），并且在该滚珠螺杆支架的（+Y）侧面安装有升降板231。因此，版用往复搬运器升降马达M22L根据来自控制部6的马达控制部63的动作指令来进行工作，由此驱动升降板231在铅垂方向Z上升降。

各手部232、232的前后尺寸（Y方向尺寸）比版PP的长度尺寸（Y方向尺寸）更长，能够用各手部232、232的前端侧（+Y侧）保持版PP。

另外，为了检测出这样用版用手部232、232保持了版PP的情况，从升降板231的中央部朝向（十Y）侧经由传感器支架安装有版检测用的传感器（省略图示）。因此，在两手部232上放置了版PP时，传感器检测出版PP的后端部即（-Y）侧端部，并将检测信号输出至控制部6。

进而，各版用手部232、232经由轴承（省略图示）安装在升降板231上，并且能够以在前后方向（Y方向）上延伸的旋转轴为旋转中心自由旋转。另外，在升降板231的X方向两端上，安装有旋转促动器RA2、RA2（图3）。这些旋转促动器RA2、RA2以加压空气为驱动源进行动作，通过开闭安装在加压空气的供给路径上的阀（省略图示）而能够以180°为单位进行旋转。因此，利用控制部6的阀控制部64来控制上述阀的开闭，由此能够在版用手部232、232的一个主面朝向上方而适于刻画图案前的版PP的手部姿势（下面，称之为“未使用姿势”）和另一主面朝向上方而适于处理图案刻画后的版PP的手部姿势（下面，称之为“已使用姿势”）之间，切换手部姿势。这样，具有手部姿势切换机构这一点是版用往复搬运器23L与基板用往复搬运器23R唯一的不同点。

其次，说明在往复搬运器保持板22上的版用往复搬运器23L及基板用往复搬运器23R的安装位置。在本实施方式中，如图2所示，版用往复搬运器23L及基板用往复搬运器23R在X方向上隔开比版PP或基板SB的宽度尺寸（此外，在实施方式中，版PP和基板SB的宽度尺寸相同）更长的间隔而安装在往复搬运器保持板22上。而且，在使往复搬运器水平驱动马达M21的旋转轴向规定方向旋转时，两个往复搬运器23L、23R在保持上述隔开距离的状态下在X方向上移动。例如在图2中，附图标记XP23表示上载物台部3的正下方位置，往复搬运器23L、23R位于从位置XP23分别向（+X）方向及（-X）方向离开等距离（将该距离称为“间隔移动单位”）的位置XP22、XP24。此外，在本实施方式中，将图2所示的状态称为“中间位置状态”。

另外，在使往复搬运器水平驱动马达M21的旋转轴向规定方向旋转来使往复搬运器保持板22从该中间位置状态向（+X）方向移动间隔移动单位时，基板用往复搬运器23R向（+X）方向移动并移动定位到上载物台部3的正下方位置XP23。此时，版用往复搬运器23L也以一体方式向（+X）方向移动，从而定位在与在印刷装置100的（+X）方向侧配置的版清洗装置（省略图示）靠近的位置XP21。

与此相反，在通过使往复搬运器水平驱动马达M21的旋转轴向与规定方向相反的方向旋转来使往复搬运器保持板22向（-X）方向移动间隔移动单位时，版用往复搬运器23L从中间位置状态向（-X）方向移动并移动定位到上载物台部3的正下方位置XP23。此时，基板用往复搬运器23R也以一体方式向（-X）方向移动，从而定位到与在印刷装置100的（-X）方向侧配置的基板清洗装置（省略图示）靠近的位置XP25。这样，在本说明书中，作为在X方向上的往复搬运器位置，规定了5个位置XP21～XP25。即，版交接位置XP21是版用往复搬运器23L被定位的3个位置XP21～XP23中的最靠近版清洗装置的位置，指在与版清洗装置之间进行版PP的搬入搬出的X方向位置。基板交接位置XP25是基板用往复搬运器23R被定位的3个位置XP23～XP25中的最靠近基板清洗装置的位置，指在与基板清洗装置之间进行基板SB的搬入搬出的X方向位置。另外，位置XP23指上载物台部3的吸附板34在铅垂方向Z上移动来吸附保持版PP或基板SB的X方向位置。在本说明书中，在版用往复搬运器23L位于X方向位置XP23时，将该位置XP23称为“版吸附位置XP23”，并且在基板用往复搬运器23R位于X方向位置XP23时，将该位置XP23称为“基板吸附位置XP23”。另外，将这样利用往复搬运器23L、23R来搬送版PP或基板SB的铅垂方向Z上的位置、即高度位置称为“搬送位置”。

另外，在本实施方式中，为了准确地控制刻画图案时的版PP和橡皮布之间的间隙量以及转印时的基板SB和橡皮布之间的间隙量，需要计测版PP及基板SB的厚度。因此，设置有版厚度计测传感器SN22及基板厚度计测传感器SN23。此外，在本实施方式中，利用具有投光部和受光部的反射式光学传感器两传感器作为SN22、SN23，但也可以利用除该光学传感器之外的传感器。

面向位置XP23配置有上载物台部3。在该上载物台部3中，固定有在铅垂方向Z上延伸设置的滚珠螺杆机构31，该滚珠螺杆机构31的上端部与第1载物台升降马达M31的旋转轴（省略图示）相连接。而且，在滚珠螺杆机构31上螺合有滚珠螺杆支架（省略图示）。在该滚珠螺杆支架上固定有支撑框32，与滚珠螺杆支架一体地在铅垂方向Z升降。进而，在该支撑框32的框面上支撑有另外的滚珠螺杆机构（省略图示）。在该滚珠螺杆机构上设置有螺距比上述滚珠螺杆机构31的滚珠螺杆的螺距更小的滚珠螺杆，其上端部与第2载物台升降马达M32（图3）的旋转轴（省略图示）相连接，并且在中央部螺合有滚珠螺杆支架。

在该滚珠螺杆支架上安装有载物台架33。另外，在载物台架33的下表面安装有例如铝合金等金属制造的吸附板34。由此，载物台升降马达M31、M32根据来自控制部6的马达控制部63的动作指令来进行工作，从而吸附板34在铅垂方向Z上升降移动。另外，在本实施方式中，组合具有不同螺距的滚珠螺杆机构，由此，通过使第1载物台升降马达M31进行工作而以比较宽的螺距使吸附板34升降，即能够使吸附板34高速移动。除此之外，通过使第2载物台升降马达M32进行工作来以比较小的螺距使吸附板34升降，即能够对吸附板34精密地进行定位。

在该吸附板34的下表面，即在吸附保持版PP或基板SB的吸附面上设置有吸附机构，该吸附机构经由负压供给路径与负压供给源相连接。而且，根据来自控制部6的阀控制部64的开闭指令来开闭控制与吸附机构相连接的吸附阀V31、V32（图3），由此能够使吸附机构吸附版PP或基板SB。此外，在本实施方式中，上述的吸附机构以及如后述那样吸附保持橡皮布的吸附机构利用工厂的设备作为负压供给源，但也可以采用在装置100上配备真空泵等负压供给部并从该负压供给部向吸附机构供给负压的结构。

在这样构成的上载物台部3中，利用搬送部2的版用往复搬运器23L来将版从图1的左侧经由搬送空间搬送到上载物台部3的正下方的版吸附位置XP23之后，上载物台部3的吸附板34下降来吸附保持版PP。与此相反，在版用往复搬运器23L位于上载物台部3的正下方位置的状态下，吸附了版PP的吸附板34解除吸附时，版PP被转移放置到搬送部2上。这样，在搬送部2和上载物台部3之间进行版的交接。

另外，基板SB也与版PP同样地保持在上载物台部3上。即，利用搬送部2的基板用往复搬运器23R来将基板SB从图1的右侧经搬送空间搬送至上载物台部3的正下方位置之后，上载物台部3的吸附板34下降来吸附保持基板SB。与此相反，在基板用往复搬运器23R位于上载物台部3的正下方位置的状态下，吸附了基板SB的上载物台部3的吸附板34的吸附解除时，基板SB被转移放置到搬送部2。这样，搬送部2和上载物台部3之间进行基板SB的交接。

在上载物台部3的铅垂方向的下方（下面，称之为“铅垂下方”或“（-Z）方向”），在石平台1的上表面配置定位部4。如图1所示，在该定位部4中，支撑板41以跨过石平台1的凹部的方式配置为水平姿势，并固定在石平台1的上表面上。另外，在该支撑板41的上表面上固定有定位载物台42。而且，在定位部4的定位载物台42上放置下载物台部5，下载物台部5的上表面与上载物台部3的吸附板34相向。该下载物台部5的上表面能够吸附保持橡皮布BL，控制部6通过控制定位载物台42而能够高精度地定位下载物台部5上的橡皮布BL。

定位载物台42具有固定于支撑板41上的载物台基座421、配置在载物台基座421的铅垂上方并支撑下载物台部5的载物台顶部422。这些载物台基座421及载物台顶部422均具有在中央部开口的框缘形状。另外，在这些载物台基座421及载物台顶部422之间，在载物台顶部422的各角部附近配置有例如交叉滚子轴承（crossrollerbearing）等支撑结构423，其中，上述支撑机构423具有以在铅垂方向Z上延伸的旋转轴为旋转中心的旋转方向、X方向及Y方向上的3个自由度。另外，在各支撑结构423上设置有滚珠螺杆机构（省略图示），并且在各滚珠螺杆机构上安装有载物台驱动马达M41（图3）。而且，各载物台驱动马达M41根据来自控制部6的马达控制部63的动作指令来进行工作，由此一边在定位载物台42的中央部形成比较大的空间一边使载物台顶部422在水平面内移动。另外，能够以铅垂轴为旋转中心进行旋转，对下载物台部5的吸附板51进行定位。此外，在本实施方式中利用了具有中空空间的定位载物台42的理由之一，是为了利用拍摄部43对保持在下载物台部5的上表面上的橡皮布BL以及保持在上载物台部3的下表面上的基板SB上所形成的定位标记进行拍摄。

下载物台部5具有吸附板51、柱构件52、载物台基座53及升降销部54。在载物台基座53上，在前后方向Y上并排设置有3个在左右方向X上延伸的长孔形状的开口。而且，以在从上方俯视时使这些长孔开口和定位载物台42的中央开口重叠的方式，将载物台基座53固定在定位载物台42上。另外，在上述长孔开口中松弛地***有拍摄部43的一部分。另外，从载物台基座53的上表面角部在（+Z）上立设有柱构件52，并且各顶部支撑吸附板51。

该吸附板51例如由铝合金等的金属板构成。在吸附板51的上表面设置有吸附机构（省略图示）。吸附机构与正压供给配管（省略图示）的一端相连接，并且正压供给配管的另一端与加压用歧管相连接。进而，在各正压供给配管的中间部安装有加压阀V51（图3）。向该加压用歧管总是供给用调节器对从工厂的设备供给的加压空气进行调压而得到的恒定压力的空气。因此，在根据来自控制部6的阀控制部64的动作指令来选择性地开启所希望的加压阀V51时，向与所选择的加压阀V51相连接的吸附机构供给调压后的加压空气。

另外，向吸附机构的一部分不仅能够选择供给加压空气，还能够选择供给负压。即，特定的各吸附机构与负压供给配管（省略图示）的一端相连接，并且另一端与负压用歧管相连接。进而，在各负压供给配管的中间部之间安装有吸附阀V52（图3）。该负压用歧管与负压供给源经由调节器相连接，从而总是供给规定值的负压。因此，在根据来自控制部6的阀控制部64的动作指令来选择性地开启所希望的吸附阀V52时，向与所选择的吸附阀V52相连接的吸附机构供给调压后的负压。

这样，在本实施方式中，通过对阀V51、V52的开闭控制来使橡皮布BL局部或全面地吸附在吸附板51上，或者能够通过向吸附板51和橡皮布BL之间局部地供给空气来使橡皮布BL局部地膨胀而将该橡皮布BL按压到保持在上载物台部3上的版PP或基板SB上。

在升降销部54中，升降板541设置为在吸附板51和载物台基座53之间能够自由升降。在该升降板541上在多处形成有缺口部，由此防止与拍摄部43发生干涉。另外，从升降板541的上表面在铅垂上方立设有多个升降销542。另一方面，升降板541的下表面与销升降气缸CL51（图3）相连接。而且，控制部6的阀控制部64切换与销升降气缸CL51相连接的阀的开闭，由此使销升降气缸CL51进行工作来使升降板541升降。其结果，所有的升降销542相对于吸附板51的上表面即吸附面而进行进退移动。例如，通过升降销542从吸附板51的上表面向（+Z）方向突出，能够利用未图示的橡皮布搬送机械手来将橡皮布BL放置到升降销542的顶部。而且，放置橡皮布BL之后，接着通过使升降销542后退至吸附板51的上表面的（-Z）方向的一侧，将橡皮布BL转移放置到吸附板51的上表面上。其后，如后述那样在适当的时机，利用配置在吸附板51的附近的橡皮布厚度计测传感器SN51（图3）来计测该橡皮布BL的厚度。

如上所述，在本实施方式中，上载物台部3和下载物台部5在铅垂方向Z上相互相向地配置。而且，在上载物台部3和下载物台部5之间，分别配置从上方按压放置在下载物台部5上的橡皮布BL的按压部7和对版PP、基板SB及橡皮布BL进行预定位的预定位部8。

按压部7通过利用切换机构（省略图示）来使在吸附板51的铅垂上方侧设置的按压构件71在铅垂方向Z上升降，由此能够在2个状态之间进行切换。即，在切换机构使按压构件71下降时，处于吸附板51上的橡皮布BL被按压部7按压的状态（橡皮布按压状态）。另一方面，在切换机构使按压构件71上升时，处于按压部7从橡皮布BL分离而解除了对橡皮布BL的按压的状态（橡皮布按压解除状态）。

在预定位部8中，预定位上部81及预定位下部82在铅垂方向Z上以2层层叠配置。它们中的预定位上部81配置在预定位下部82的铅垂上方侧，从而在与橡皮布BL的紧贴之前，在位置XP23上对利用版用往复搬运器23L来保持的版PP以及利用基板用往复搬运器23R来保持的基板SB进行定位。另一方面，预定位下部82在与版PP或基板SB紧贴之前，对放置在下载物台部5的吸附板51上的橡皮布BL进行定位。此外，预定位上部81和预定位下部82基本上具有相同结构。因此，在下面，说明预定位上部81的结构，而对预定位下部82标注相同或相当的附图标记而省略结构说明。

在预定位上部81中，在框缘状的框结构体811上以移动自如的方式设置有4个上引导件812。即，框结构体811是组合在左右方向X上相互分离并且在前后方向Y上延伸设置的2个水平框和在前后方向Y上相互分离并且在左右方向X上延伸设置的2个水平框而成的。而且，如图2所示，在前后方向Y上延伸设置的2个水平板中的左侧水平板上，在其中央部设置有上引导件812，该上引导件812能够利用省略图示的滚珠螺杆机构在左右方向X上移动自如。而且，与该滚珠螺杆机构相连接的驱动马达M81（图3）根据来自控制部6的马达控制部63的动作指令来进行工作，由此上引导件812在左右方向X上移动。另外，在右侧水平板也与上述同样地，利用驱动马达M81来使上引导件812在左右方向X上移动。进而，在左右方向X上延伸设置的2个水平板中的每个水平板也与上述同样地，利用驱动马达M81来使上引导件812在前后方向Y上移动。这样，4个上引导件812在位置XP23的铅垂下方位置上包围版PP或基板SB，各上引导件812能够独立地与版PP等接近或分离。由此，能够通过控制各上引导件812的移动量来使版PP及基板SB在往复搬运器的手部上水平移动或旋转而进行定位。

另外，在本实施方式中，如在后面说明的那样，将橡皮布BL上的图案层转印到基板SB上之后，将橡皮布BL从基板SB上剥离，但在该剥离阶段产生静电。另外，利用版PP来在橡皮布BL上的涂布层刻画图案之后，将橡皮布BL从版PP剥离时，也产生静电。因此，在本实施方式中，为了除去静电，设置有除电部9。该除电部9具有从（+X）侧向由上载物台部3和下载物台部5夹持的空间照射离子的离子发生器91。

控制部6具有CPU（CentralProcessingUnit）61、存储器62、马达控制部63、阀控制部64、图像处理部65及显示/操作部66，CPU61基于预先存储在存储器62中的程序来控制装置各部，并如图4所示出那样执行图案刻画处理及转印处理。

图4是示出了图1的印刷装置的整体动作的流程图。在该印刷装置100的初始状态下，版用往复搬运器23L及基板用往复搬运器23R分别定位在中间位置XP22、XP24上。然后，与版清洗装置的版搬送机械手（省略图示）搬送版PP的搬送动作同步地执行投入版PP的投入工序（步骤S1），并且与基板清洗装置的基板搬送机械手（省略图示）搬送基板SB的搬送动作同步地执行投入基板SB的投入工序（步骤S2）。此外，由于采用了版用往复搬运器23L及基板用往复搬运器23R以一体方式在左右方向X上移动这样的搬送结构，因而在搬入版PP（步骤S1）之后，搬入基板SB（步骤S2），但也可以更换两者的顺序。

这样，在本实施方式中，在执行图案刻画处理之前，不仅准备版PP，还准备基板SB，从而如在后面详细叙述那样，连续地执行图案刻画处理及转印处理。由此，能够缩短直到将在橡皮布BL上刻画了图案的涂布层转印到基板SB上为止的时间间隔，从而能够执行稳定的处理。

在接下来的步骤S3中，往复搬运器水平驱动马达M21使旋转轴进行旋转，从而使往复搬运器保持板22向（-X）方向移动。由此，版用往复搬运器23L移动并定位到版吸附位置XP23。然后，版用往复搬运器升降马达M22L使旋转轴进行旋转，从而使升降板231向下方向（-Z）移动。由此，版PP在支撑在版用往复搬运器23L上的状态下移动并定位到比搬送位置低的预定位位置。

接着，上引导件驱动马达M81进行工作来使上引导件812移动，各上引导件812与支撑在版用往复搬运器23L上的版PP的端面相抵接，由此将版PP定位到预先设定的水平位置上。此后，各上引导件驱动马达M81向相反的方向进行工作，从而各上引导件812与版PP分离。这样，在版PP的预定位处理结束时，载物台升降马达M31使旋转轴向规定方向旋转，从而使吸附板34向下方向（-Z）下降而与版PP的上表面相抵接。接着，通过开启阀V31、V32来利用上载物台用的吸附机构将版PP吸附到吸附板34上。

在这样对版PP的吸附结束时，载物台升降马达M31向相反的方向旋转，从而吸附板34在吸附保持了版PP的状态下向铅垂上方上升而将版PP移动至版吸附位置XP23的铅垂上方位置。然后，版用往复搬运器升降马达M22L使旋转轴旋转来将升降板231移动至铅垂上方，由此将版用往复搬运器23L从预定位位置移动并定位到搬送位置，即版吸附位置XP23上。此后，往复搬运器水平驱动马达M21通过使旋转轴旋转来使往复搬运器保持板22向（+X）方向移动，从而将变空的版用往复搬运器23L定位到中间位置XP22。

在接下来的步骤S4中，载物台驱动马达M41进行工作来使定位载物台42移动到初始位置。由此，每次的起点处于相同的位置。接着，销升降气缸CL51进行动作来使升降板541上升，从而使升降销542从吸附板51的上表面向铅垂上方突出。这样，在对橡皮布BL的投入准备结束时，省略图示的橡皮布搬送机械手访问（access）装置100并将橡皮布BL放置到升降销542的顶部之后，从装置100退避。接着，销升降气缸CL51进行动作来使升降板541下降。由此，升降销542在支撑了橡皮布BL的状态下下降来将橡皮布BL放置到吸附板51上。于是，下引导件驱动马达M82进行工作来使下引导件822移动，各下引导件822与支撑在吸附板51上的橡皮布BL的端面相抵接，而将橡皮布BL定位在预定的水平位置。

在这样对橡皮布BL的预定位处理结束时，开启吸附阀V52，由此向下载物台用的吸附机构供给调压后的负压来将橡皮布BL吸附到吸附板51上。进而，各下引导件驱动马达M82使旋转轴向相反的方向旋转，从而使各下引导件822与橡皮布BL分离。由此，图案刻画处理的准备结束。

在接下来的步骤S5中，传感器水平驱动气缸CL52（图3）进行动作来使橡皮布厚度计测传感器SN51定位在橡皮布BL的右端部的正上方位置。然后，橡皮布厚度计测传感器SN51将与橡皮布BL的厚度相关的信息输出至控制部6，由此计测橡皮布BL的厚度。此后，上述传感器水平驱动气缸CL52向相反的方向进行动作来使橡皮布厚度计测传感器SN51从吸附板51退避。

接着，第1载物台升降马达M31使旋转轴向规定方向旋转，从而使吸附板34向下方向（-Z）下降来使版PP移动至橡皮布BL的附近。进而，第2载物台升降马达M32使旋转轴旋转，从而使吸附板34以小的螺距升降来准确地调整在铅垂方向Z上的版PP和橡皮布BL之间的间隔，即间隙量。此外，该间隙量是由控制部6基于版PP及橡皮布BL的厚度计测结果来决定的。

然后，使按压部7的按压构件71下降来利用按压构件71按压橡皮布BL的整个周缘部。接着，阀V51、V52进行动作来向吸附板51和橡皮布BL之间局部地供给空气，从而使橡皮布BL局部地膨胀。该浮起部分压紧到保持在上载物台部3的版PP。其结果，橡皮布BL的中央部与版PP紧贴，从而预先形成在版PP的下表面的图案（省略图示）与预先涂布在橡皮布BL的上表面的涂布层相抵接，由此在该涂布层上刻画图案来形成图案层。

在接下来的步骤S6中，第2载物台升降马达M32使旋转轴旋转来使吸附板34上升，从而将版PP从橡皮布BL上剥离。另外，为了进行剥离处理，与使版PP上升的处理并行地，适时切换阀V51、V52的开闭状态来向橡皮布BL施加负压，由此来使吸引橡皮布BL向吸附板51侧靠近。其后，第1载物台升降马达M31使旋转轴旋转来使吸附板34上升，从而将版PP定位在与离子发生器91几乎在同一高度的除电位置。另外，使按压部7的按压构件71上升来解除对橡皮布BL的按压。接着，离子发生器91进行工作来除去在进行上述版剥离处理时产生的静电。在该除电处理结束时，第1载物台升降马达M31使旋转轴旋转，从而使吸附保持了版PP的状态的吸附板34上升至初始位置（比版吸附位置XP23高的位置）为止。

在接下来的步骤S7中，旋转促动器RA2、RA2进行动作来使版用手部232、232选择180°而从原点位置定位到反转位置。由此，手部姿势从未使用姿势切换到已使用姿势，从而接收已使用的版PP的接收准备结束。然后，往复搬运器水平驱动马达M21使旋转轴旋转，由此使往复搬运器保持板22向（-X）方向移动。由此，版用往复搬运器23L移动并定位到版吸附位置XP23。

另一方面，第1载物台升降马达M31使旋转轴旋转，由此使吸附保持了版PP的状态的吸附板34朝向版用往复搬运器23L的手部232、232下降来使版PP位于手部232、232上之后，关闭阀V31、V32，由此解除吸附板34的吸附机构对版PP的吸附，从而在搬送位置上的版PP的交接结束。然后，第1载物台升降马达M31使旋转轴反转，由此使吸附板34上升至初始位置为止。其后，往复搬运器水平驱动马达M21使旋转轴旋转，由此使往复搬运器保持板22向（+X）方向移动。由此，版用往复搬运器23L在保持了已使用版PP的状态下移动并定位到中间位置XP22。

在接下来的步骤S8中，往复搬运器水平驱动马达M21使旋转轴旋转，由此使往复搬运器保持板22向（+X）方向移动。由此，保持处理前的基板SB的基板用往复搬运器23R移动并定位到基板吸附位置XP23。然后，与对版PP的预定位处理及吸附板34对版PP的吸附处理同样地，执行对基板SB的预定位处理及对基板SB的吸附处理。其后，在检测出吸附了基板SB时，载物台升降马达M31使旋转轴旋转，由此使吸附保持了基板SB的状态的吸附板34向铅垂上方上升来使基板SB移动到比基板吸附位置XP23高的位置。然后，基板用往复搬运器升降马达M22R使旋转轴旋转，由此使基板用往复搬运器23R从预定位位置移动并定位到搬送位置。其后，往复搬运器水平驱动马达M21使旋转轴旋转来使往复搬运器保持板22向（-X）方向移动，由此将变空的基板用往复搬运器23R定位到中间位置XP24。

在接下来的步骤S9中，在计测橡皮布厚度，并且执行精密定位之后，执行转印处理。即，与在图案刻画处理中的厚度计测同样地，计测橡皮布BL的厚度。此外，不仅在这样刚要图案刻画之前计测橡皮布BL的厚度，还要在刚要转印之前计测橡皮布BL的厚度，其主要理由在于，橡皮布BL的一部分膨润而使橡皮布BL的厚度随时间发生变化，通过在刚要转印之前计测橡皮布厚度，能够进行高精度的转印处理。

接着，第1载物台升降马达M31使旋转轴向规定方向旋转，由此使吸附板34向下方向（-Z）下降来将基板SB移动至橡皮布BL的附近。进而，第2载物台升降马达M32使旋转轴旋转，由此使吸附板34以小的螺距升降来准确地调整在铅垂方向Z上的基板SB和橡皮布BL之间的间隔，即间隙量。该间隙量是由控制部6基于基板SB及橡皮布BL的厚度计测结果来决定的。然后，与刻画图案（步骤S5）同样地，利用按压构件71按压橡皮布BL的周缘部。

这样，基板SB和橡皮布BL均被预定位，而且隔开适于转印处理的间隔被定位，但为了将形成在橡皮布BL上的图案层准确地转印到基板SB上，需要精密地对两者进行对位。因此，在本实施方式中，拍摄部43对在橡皮布BL上刻画图案而形成的定位标记以及形成在基板SB上的定位标记进行拍摄，并将这些图像输出至控制部6的图像处理部65。然后，控制部6基于这些图像来求出用于使橡皮布BL相对于基板SB进行对位的控制量，并且作成针对定位部4的载物台驱动马达M41的动作指令。而且，载物台驱动马达M41根据上述控制指令来进行工作，由此使吸附板51在水平方向上移动并且围绕在铅垂方向Z延伸的假想旋转轴进行旋转，从而将橡皮布BL精密地与基板SB精密对位（定位处理）。

然后，阀V51、V52进行动作来向吸附板51和橡皮布BL之间局部地供给空气，从而使橡皮布BL局部地膨胀。该浮起部分压紧保持在上载物台部3上的基板SB上。其结果，橡皮布BL与基板SB紧贴。由此，橡皮布BL侧的图案层与基板SB的下表面的图案精密地对位，并被转印到基板SB上。

在接下来的步骤S10中，与版剥离（步骤S6）同样地，执行从橡皮布BL上剥离基板SB、将基板SB定位到除电位置上、解除按压构件71对橡皮布BL的按压、除电。其后，第1载物台升降马达M31使旋转轴旋转，由此使吸附保持了基板SB的状态的吸附板34上升至初始位置（比搬送位置高的位置）为止。

在接下来的步骤S11中，往复搬运器水平驱动马达M21使旋转轴旋转，由此使往复搬运器保持板22向（+X）方向移动。由此，基板用往复搬运器23R移动并定位到基板吸附位置XP23。另一方面，第1载物台升降马达M31使旋转轴旋转，由此使吸附保持了基板SB的状态的吸附板34向基板用往复搬运器23R的手部232、232下降。其后，关闭阀V31、V32，由此解除吸附机构对基板SB的吸附。然后，第1载物台升降马达M31使旋转轴反转，由此使吸附板34上升至初始位置。其后，往复搬运器水平驱动马达M21使旋转轴旋转，由此使往复搬运器保持板22向（-X）方向移动来使保持了该基板SB的状态的基板用往复搬运器23R移动并定位到中间位置XP24。

在接下来的步骤S12中，阀V51、V52进行动作来解除吸附板51对橡皮布BL的吸附。然后，销升降气缸CL51进行动作来使升降板541上升，由此将已使用的橡皮布BL从吸附板51向铅垂上方举起。然后，橡皮布搬送机械手访问装置100来从升降销542的顶部接受已使用的橡皮布BL，并从装置100退避。接着，销升降气缸CL51进行动作来使升降板541下降，由此使升降销542下降至吸附板51的下方向（-Z）。

在接下来的步骤S13中，往复搬运器水平驱动马达M21使旋转轴旋转、往复搬运器保持板22向（+X）方向移动。由此，使版用往复搬运器23L移动并定位到版交接位置XP21。接着，版清洗装置的版搬送机械手从印刷装置100取出已使用的版PP。这样在版PP的搬出结束时，往复搬运器水平驱动马达M21使旋转轴旋转来使往复搬运器保持板22向（-X）方向移动，由此将版用往复搬运器23L定位到中间位置XP22。

在接下来的步骤S14中，往复搬运器水平驱动马达M21使旋转轴旋转，由此使往复搬运器保持板22向（-X）方向移动。由此，基板用往复搬运器23R移动并定位到基板交接位置XP25。接着，基板清洗装置的基板搬送机械手从印刷装置100取出受到转印处理的基板SB。在这样基板SB的搬出结束时，往复搬运器水平驱动马达M21使旋转轴旋转来使往复搬运器保持板22向（+X）方向移动，由此将基板用往复搬运器23R定位到中间位置XP23。由此，印刷装置100返回初始状态。

在以上说明的本实施方式的印刷装置100中，基于图5、图6A及图6B对吸附保持版PP及基板SB的吸附机构进行说明。图5是示出了吸附单元的配置的立体图，图6A及图6B是说明版的吸附方法的图。此外，图6A是从吸附面侧观察吸附保持版PP的吸附板34而得到的图，图6B是以吸附板34的吸附面处于下侧的方式观察图6A的A-A剖面而得到的图。

在本实施方式中，作为构成吸附机构的吸附单元，设置有在吸附面上形成有吸附槽351的吸附板34、及配设在吸附板34上的多个吸附垫352。如图6B所示，吸附槽351经由阀V31与在设置了印刷装置100的工厂中预先装备的负压供给源相连接，另外，各吸附垫352经由阀V32与在设置了印刷装置100的工厂中预先装备的负压供给源相连接。而且，在阀V31根据来自控制部6的阀控制部64的开闭指令而打开时，向吸附槽351供给负压来吸附保持版PP。另外，在阀V32根据来自控制部6的阀控制部64的开闭指令而打开时，向各吸附垫352供给负压来吸附保持版PP。

接下来，针对吸附槽351及吸附垫352的配置，参照图5进行详细说明。图5示意性示出了橡皮布BL吸附保持在吸附板51的上表面，并且版PP位于版吸附位置XP23的状态。此外，省略了版用手部的图示。在图5中，将橡皮布BL中的通过版PP形成图案层的区域作为图案形成区域Al示出，另外，将版PP中的与图案形成区域Al相向的区域作为有效区域A2示出。进而，将吸附板34的吸附面中的与版PP的有效区域A2相向的区域作为相向区域A3示出。即，图案形成区域Al、有效区域A2及相向区域A3在俯视下相互重叠。

吸附槽351及各吸附垫352配置在吸附板34的吸附面中的相向区域A3的外侧。在本实施方式中，吸附槽351形成为包围相向区域A3的环绕状，各吸附垫352配置在比吸附槽351更靠外侧的区域。吸附垫352沿着矩形的吸附板34的各边各设置5个，在角部配置的吸附垫352为各边所共有，总共设置有16个。如图6A所示，在阀V31、V32根据来自控制部6的阀控制部64的开闭指令而打开时，配置在相向区域A3的外侧的吸附槽351及吸附垫352在有效区域A2的外侧的区域吸附版PP。而且，在该状态下使版PP和橡皮布BL加压抵接来进行图案刻画。

如以上所述，在图案刻画时对版PP的有效区域A2的外侧进行吸附，由此版PP的有效区域A2不会由吸附槽351及吸附垫352直接吸附。因此，能够防止在版PP的有效区域A2上发生伴随吸附而产生的局部凹下或平面度的下降，从而能够良好地进行图案刻画。

另外，作为吸附单元，使用多个吸附垫352，由此能够容易使版PP相对于橡皮布BL从由吸附垫352吸附的局部区域附近剥离。这是因为，吸附垫352对版PP的吸附是局部的吸附，因而难以发生真空破坏，而且，通过在多个部位吸附，将真空破坏导致版保持的失败的风险抑制得低，并能够促进从橡皮布BL分离。即，从橡皮布BL剥离版PP容易从由多个吸附垫352吸附的各局部区域的附近进行。另外，除了吸附垫352之外，通过设置能够在大范围吸附保持的吸附槽351，能够将版PP在大范围内更牢固地吸附保持，从而能够稳定地进行图案刻画。此外，在将版PP从橡皮布BL剥离时，若在吸附槽351的一部分产生真空破坏，则该影响有可能波及吸附槽351整体，使吸附力产生大的变动，从而无法进行稳定的剥离。为了避免这样的问题，也能够在剥离时不进行吸附槽351的吸附保持。

另外，在本实施方式中使用了吸附垫352，但是优选在吸附垫352上设置在使版PP从橡皮布BL分离而进行剥离时能够发生弹性变形的部分。若使用这样的吸附垫352，则在剥离时在版PP被向橡皮布BL侧拉伸时使吸附垫352的一部分发生弹性变形，由此能够抑制版PP的变形。其结果，能够抑制在剥离时版PP发生破损。

另外，作为在吸附板34的吸附面所设置的开口而形成有吸附槽351，由此能够减小开口面积。其结果，能够减少为吸附保持版PP而应供给的负压量，因而能够进行快速的吸附保持。

另外，如上述实施方式那样，通过预先将多个吸附垫352配置在吸附槽351的外侧而存在以下那样的优点。在利用多个吸附垫352来吸附保持版PP的情况下，有可能在各吸附垫352之间发生版PP弯曲。然而，根据上述配置，使吸附槽351位于多个吸附垫352和版PP的有效区域A2之间，能够抑制弯曲的影响波及版PP的有效区域A2，从而能够更加良好地进行图案刻画。

以上，对在图案刻画时吸附保持版PP的情况进行了说明，但是在转印图案层时的对基板SB的吸附保持也同样地进行。即，由于在转印时与橡皮布BL的图案形成区域A1相向的基板SB的有效区域在俯视下与版PP的有效区域A2一致，所以通过使用如上所述配置的吸附槽351和吸附垫352，在有效区域的外侧吸附基板SB。另外，通过在对基板SB的吸附保持中利用在上述实施方式说明的吸附机构，从而在转印时也起到上述的各种作用和效果。

在以上的本实施方式中，印刷装置100中的参与图案刻画及转印的工序的部分作为本发明的图案形成装置发挥功能，图案刻画及转印分别相当于本发明的“形成图案”。另外，版PP及基板SB相当于本发明的“物体”，吸附槽351相当于本发明的“开口”，吸附垫352相当于本发明的“局部吸附部”，阀控制部64及阀V31、V32协作作为本发明的“负压供给单元”发挥功能。

此外，本发明并不限定于上述实施方式，能够在不脱离其宗旨的范围内对上述内容施加各种变更。例如，在上述实施方式中，图案形成装置执行图案刻画及转印这两方，但是也可以仅执行任何一方。

另外，作为吸附单元设置有吸附槽351及多个吸附垫352，但是这样设置两种吸附单元并不是必须的要件，吸附单元也可以仅是1种，也可以设置3种以上的吸附单元。另外，在设置多种吸附单元的情况下，在哪个工序中使用哪个吸附单元是能够根据各条件来自由决定的。进而，作为开口未必形成环绕状的吸附槽351，也可以形成除槽以外的方式，其配置和数量也能够适当变更。另外，作为局部吸附部也能够采用除吸附垫以外的方式。例如，作为局部吸附部，也可以采用在吸附板34形成吸附孔并向该吸附孔供给负压的方式。

另外，在上述实施方式中，使用相同的吸附单元来吸附保持版PP及基板SB，但是只要吸附版PP及基板SB的有效区域的外侧，则也能够使用相互不同的吸附单元来吸附保持。

产业上的可利用性

本发明能够适用于通过使担载体与板状的物体相抵接来由物体向担载体形成图案或由担载体向物体形成图案的所有装置。

Claims (3)

1.一种图案形成装置，使担载体上的图案形成区域与板状的物体相抵接来形成图案，具有：

负压供给单元，用于供给负压，

吸附单元，利用由所述负压供给单元供给的负压来吸附保持所述物体，

所述吸附单元对所述物体上的在形成所述图案时与所述图案形成区域相向的区域的外侧进行吸附；

所述吸附单元具有吸附板，在该吸附板的用于吸附保持所述物体的吸附面上的与所述图案形成区域相向的区域的外侧，设置有由所述负压供给单元供给负压的开口，

所述开口为包围所述吸附面上的在形成所述图案时与所述图案形成区域相向的区域的吸附槽，其特征在于，

所述吸附单元还具有多个局部吸附部，在所述物体上的比所述图案形成区域更靠外侧的区域，多个所述局部吸附部分别局部地吸附所述物体，

多个所述局部吸附部在所述吸附板上比所述吸附槽更靠外侧。

2.如权利要求1所述的图案形成装置，其特征在于，

该图案形成装置还具有将所述局部吸附部和所述吸附槽所吸附的所述物体从担载体上剥离的单元。

3.如权利要求1所述的图案形成装置，其特征在于，

多个所述局部吸附部中的至少一部分所述局部吸附部是能够在特定方向上发生弹性变形的吸附垫，该特定方向是指，在使所述物体和所述担载体相抵接后，使所述物体和所述担载体分离的方向。