CN103380091A - 制造光纤玻璃预制件的方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种制造光纤预制件的方法,该方法包括:生产芯棒,所述芯棒具有芯棒直径;将所述芯棒***到玻璃的掺杂氟的中间包覆管中以便形成芯组件,所述中间包覆管具有内直径和外直径,其中所述内直径大于所述芯棒直径,所述内直径和所述芯棒直径之间的径向差限定环形间隙;在所述环形间隙内施加负压力;在维持所述负压力的同时通过加热所述芯组件使所述中间包覆管塌陷在所述芯棒周围,形成芯预制件,其中加热包括在所述中间包覆管外部并且沿所述中间包覆管的轴向移动加热器;和形成包围所述芯预制件的外部包覆区域以便形成光纤预制件。
Description
技术领域
本发明涉及一种制造光纤玻璃预制件的方法,具体地涉及制造玻璃预制件以生产包括掺杂氟的中间包覆区域的光纤的方法。
背景技术
一类掺杂氟的光纤已经被定制用于光纤到房屋(FTTP)应用(包括光纤到家(FTTH)和光纤到建筑物(FTTB)应用),该应用通常需要传输过该光纤的光信号的低的弯曲损失,而且在严格的安装约束下,该严格的安装约束可能强加紧的弯曲半径,例如,由于建筑物中的尖锐的转弯或光纤的压缩。设计用于FTTP应用的光传输光纤通常需要满足限定具有增强的弯曲性能的单模光纤的标准化推荐的标准,特别地由国际电信联盟,ITU电信部门(ITU-T)制定的G.657标准。
通过使包围光纤芯的区域掺杂氟以便合适地成形折射率分布图,可以获得具有低的弯曲损失的光纤。
EP1785754中公开一种掺杂氟的单模光纤,该掺杂氟的单模光纤据说符合ITU-T G.652规格标准并且具有小于-3×10-3的低的相对折射率的环形环区域。所描述的光纤据说优选地通过化学蒸汽沉积技术,特别地通过等离子体化学蒸汽沉积(PCVD)被制造。
典型地使用氟前体(例如,SiF4,SF6,C2F4),通过化学蒸汽沉积(CVD)方法(诸如改进的CVD,MCVD;等离子体CVD,PCVD;等离子体增强的CVD,PMCVD;外部蒸汽沉积,OVD;蒸汽轴向沉积,VAD),可以获得氟并入到用于光纤的预制件中。由于包含氟的流体的存在,这种方法需要特别的设备和安全措施。
用于生产用于制造单模光纤的氟化玻璃预制件的已知的替代方法是所谓的管棒(RIT)方法,也称为“套管方法”。例如,US4,846,867涉及一种RIT方法,该RIT方法通过将芯棒插在由添加有氟的石英玻璃制成的玻璃管中并且使玻璃管塌陷到该棒中用来生产初级玻璃预制件。具体地,US4,846,867阐明,在加热期间,借助包含卤素的化合物通过气相蚀刻,保持玻璃管的内壁和芯棒的外表面清洁。随后,沉积SiO2的烟灰粒子,并且然后,具有该层SiO2粒子的预制件在炉中在包括含氟化合物的气氛中被加热。
例如,如由US6,422,042证明的,当掺杂氟的二氧化硅管塌陷到掺杂氧化锗的二氧化硅棒上时,由此导致的这两个构件之间的界面可能包含许多种子状物,并且许多由此导致的预制件或坯料产生不可用的光纤。种子状物包括诸如气泡和杂质的缺陷,该缺陷可能在由此导致的光纤中产生衰减。
在所述US6,422,042中,在整个组件被加热时,中心线含氯气体流到管的第一端部中并且在管和棒之间,并且离开该管的第二端部。在进行氯清洁步骤的相同的炉中,可以执行管塌陷步骤。
US2008/0260339公开一种用来制造光纤的内部包覆的凹陷指数包覆的方法,其中在两个步骤中制造掺杂氟的内部包覆。第一步骤,使用烟灰形成,优选地通过蒸汽轴向沉积(VAD),产生内部包覆层的最内部分,之后是第二步骤,该第二步骤使用RIT来完成内部包覆层。在组装该棒和管之后,该组合在炉中熔合以产生预制件。
发明内容
本申请人面临制造包括掺杂氟的中间包覆区域的具有折射率分布图的光纤预制件的问题,其中通过使掺杂氟的中间包覆管塌陷在芯棒周围而产生掺杂氟的区域。
除了在塌陷步骤期间可能污染的上述问题外,本申请人已经认识到,当加热相对小的厚度的玻璃管(诸如用于形成中间包覆的氟化玻璃管)以软化和塌陷在芯棒周围时,玻璃/棒界面处的缺陷可能出现。例如,所述缺陷可能由于当玻璃管至少在沿玻璃管长度的一些位置中还没有充分地热以与该芯一起熔化时玻璃管过早塌陷在芯棒上。不均匀的加热分布可能引起缺陷,特别地鉴于氟玻璃管的减小的厚度,可能在加热期间引起管的不稳定,这可产生沿管长度的不一致的塌陷和/或作为结果的预制件的不均匀厚度。
本申请人已经发现,通过使掺杂氟的中间包覆管塌陷在芯棒周围可以没有污染物或缺陷(下面称为种子状物)地生产包括掺杂氟的中间包覆区域的具有折射率分布图的光纤预制件,该管与该棒间隔预定的环形间隙,在该环形间隙中施加负压力,并且用于塌陷步骤的加热由沿管/棒组件轴向移动的加热器提供。
特别地,本申请人已经观察到,如果环形间隙太小,中间包覆管在不足以一致且完全的塌陷的温度下倾斜到芯棒上,因此产生种子状物或者甚至破坏最终产品。如果环形间隙太大,到芯棒上的塌陷不正确地发生。
根据一方面,本发明涉及一种制造光纤预制件的方法,该方法包括以下步骤:生产芯棒,所述芯棒具有芯棒直径;将所述芯棒***到玻璃的掺杂氟的中间包覆管中以便形成芯组件,所述中间包覆管具有内直径和外直径,其中所述内直径大于所述芯棒直径,所述内直径和所述芯棒直径之间的径向差限定环形间隙;在所述环形间隙内施加负压力;在维持所述负压力的同时通过加热所述芯组件使所述中间包覆管塌陷在所述芯棒周围,形成芯预制件,其中加热步骤包括在所述中间包覆管外部并且沿所述中间包覆管的轴向移动加热器;和形成包围所述芯预制件的外部包覆区域以便形成光纤预制件。
优选地,环形间隙的宽度为从1mm到5mm,更优选地为从1.5mm到3mm。
形成掺杂氟的中间包覆区域的掺杂氟的管(在下面也称为中间包覆管)的内直径和外直径分别对应于内半径和外半径。内半径和外半径之间的径向差限定径向厚度。优选地,中间包覆管的径向厚度为从1mm到10mm,更优选地为从2到8mm。
优选地,在根据本发明的过程的掺杂氟的管中,径向厚度为外直径的1/35到1/3.5,更优选地为1/17.5到1/4.4。
优选地,以从20mm/min到40mm/min,更优选地从25到35mm/min的经过速度移动加热器。
优选地,该加热器是氧气/氢气燃烧器。在一些实施例中,该燃烧器是石墨感应炉。
根据一些优选实施例,因为掺杂氟的玻璃管的相对小的径向厚度,通过以相对快的过程将玻璃管组装和热塌陷到芯棒上可以生产芯预制件,因此提高生产效率,同时保证玻璃管和芯棒之间的无缺陷界面。
在一些实施例中,该管热塌陷到该芯上以产生基本上光滑的且没有缺陷的芯预制件可以在沿管的长度的加热器的单程中被执行。
根据本发明的方法适合于制造符合ITU-T标准(诸如G.652和G.657标准)的具有掺杂氟的中间包覆的弯曲不敏感的单模传输光纤。
根据本发明的方法使得可以生产一种光纤,该光纤包括内部包覆,该内部包覆以一定浓度掺杂有氟以便产生基本上负折射率的掺杂有氟的中间包覆区域。
附图说明
现在将在下面参考附图更完整地描述本发明,在附图中示出本发明的一些但不是所有实施例。示出实施例的附图是不按比例的示意图。
为了本描述和所附权利要求的目的,除了另外指示的情况外,表达总量、数量、百分比等等的所有附图标记要被理解为在所有情况下由术语“大约”修饰。而且,所有范围包括公开的最大和最小点,并且包括其中的任何中间范围,该中间范围可以是或不是在这里被具体列举的中间范围。
图1是芯棒轴向地布置在玻璃管内的管棒的透视图。
图2是在芯预制件的形成期间用来组装芯组件的根据本发明的实施例的装配管棒的保持装置的剖视图。
图3是根据本发明的实施例的用来生产芯预制件的设备的剖视图。
图4是报告根据本发明的实施例的光纤预制件的相对折射率分布图(Δn)的曲线图。
具体实施方式
图1示出管棒的透视图,其中芯棒1轴向地插在中间包覆玻璃管2内,该中间包覆玻璃管与芯棒共轴地布置。芯棒优选地已经被加固。中间包覆玻璃管掺杂有氟以在折射率分布图的中间包覆区域中提供典型地相对于未掺杂的硅石(SiO2)的负的相对折射率。玻璃管2具有大于芯棒的直径的内直径使得环形间隙3存在于芯棒1和玻璃管2之间。芯棒和中间包覆管形成芯组件。间隙3将被称为环形间隙并且其径向宽度称为间隙宽度。
在一些实施例中,在芯棒***到中间包覆管中之前,芯棒被清洁以便消除可能存在于其外表面上的可能杂质。通过将芯棒浸在包含HF的水溶液中可以执行清洁。在一些实施例中,至少玻璃管的内壁在形成芯组件之前被化学地洗涤。
保持装置被安装到芯组件上以便在到芯棒上的中间包覆玻璃管的加热和软化期间在一个端部保持芯组件。适合于本发明的方法的保持装置的例子在图2中被示出。为了容易理解并且不为了限制的目的,装配到保持装置中的芯组件的端部将称为上端部,而相对的端部将称为下端部。在图2中,保持装置10包括以常规方式由径向段形成的第一开口环保持器11。第一开口环保持器11布置在芯棒1周围并且被环螺母(未示出)向内挤压以便抓持芯棒的一定长度的部分并且压缩开口环保持器11附近的第一O型环12。芯棒1具有从玻璃管2的下端部突出的长度段。突出的长度段的一部分成形为玻璃球5并且布置在玻璃管的下端部附近,优选地布置在基本上对应于玻璃管2的端部的轴向位置。玻璃球5的直径大于环形间隙3的直径(即,玻璃球直径大于管的内直径)以允许将芯棒支撑在该组件内并且保持芯棒1在玻璃管2内对齐。第二开口环保持器13布置在玻璃管周围并且被向内挤压以抓持该管并且压缩第二O型环14。例如,开口环保持器和O型环可以由聚合物材料(诸如氟碳化合物材料)制成。
带螺纹的金属本体15将开口环保持器11和13以及O型环12和14保持在适当位置。此外,带螺纹的本体15接合到密封盖16并且O型环17被俘获在带螺纹的本体15和密封盖之间。O型环14和17气密地密封芯组件的上端部部分处的带螺纹的本体15和密封盖16。密封盖16具有贯穿通道21,入口连接器20通过该贯穿通道***并且以气密的方式接合。入口连接器20通过吸入导管(未示出)使芯组件7的环形间隙3与真空源连通,该真空源例如常规真空泵。
芯棒同心地布置在玻璃管内。保持装置10易于使芯棒的一个端部居中在玻璃管内并且因此将芯棒同心地布置在该管内。
装配到保持装置10中的芯组件7安装在套管设备上,该套管设备适合于执行以下步骤:加热中间包覆管使该管塌陷在该芯棒周围并且形成芯预制件。
图3是根据本发明的实施例的用来执行使中间包覆管塌陷到芯棒上的过程的竖直套管设备30的图。配合芯组件的上端部的保持装置10(仅仅其一部分在图3中可见)被夹紧在上卡盘39中,该上卡盘由设备30的头座31支撑。上卡盘39与装配装置10的带螺纹的本体15(在图3中仅仅部分地可见)接合使得芯组件的纵向轴线竖直地延伸。通过接合玻璃管的下端部,芯组件的下端部被夹紧在下卡盘40中,该下卡盘由尾座32支撑。优选地,每一个卡盘39和40包括旋转单元(未示出),该旋转单元使芯组件能够绕其纵向轴线旋转,优选地一致地旋转。
加热器33适于沿引导件经过(tranverse)芯组件7的长度使得芯组件的离散的长度部分被加热。例如,加热器33安装在滑架36上,该滑架可以通过常规马达沿引导轴34移动。使加热器滑架沿中间包覆管的轴向以预定速度经过中间包覆管的外表面。
加热器以形成中间包覆管的玻璃的软化点(例如,对于石英玻璃,近似为1900℃)之上的温度加热掺杂氟的中间包覆管。随着玻璃软化,该管开始塌陷到芯棒上。优选地,加热器以从1800℃到2000℃的温度加热中间包覆管。
当芯组件被保持在套管设备中的适当位置时,吸入导管41连接到连接器20以与真空泵37形成连接。在芯组件的旋转期间维持由密封盖16和O型环提供的紧密密封。
在该过程的开始,燃烧器被放置成对应于芯组件的下端部处(例如,下卡盘40附近)的下长度段,并且它被打开以使该管热塌陷到该棒上使得玻璃管的长度段的至少一部分熔化在棒的周围以在芯组件的下端部形成密封。通过密封芯组件的端部并且将另一端部连接到真空源,通过芯组件的环形间隙施加负压力。优选地,负压力为从0.2巴到0.9巴,更优选地从0.4到0.7巴。
此后,燃烧器从芯组件的下端部处的最初位置向上移动以经过芯组件的长度。为了完成掺杂氟的中间包覆管的塌陷,加热器可以以多次经过的方式移动,优选地沿在图中以双箭头35指示的第一轴向(例如,向上地)和与第一轴向相反的第二轴向(例如,向下地)。
通过沿管的长度的加热器的单程,可以实现中间包覆管的热塌陷。
通过芯棒和中间包覆管之间的环形间隙的负压力的施加至少部分地抽空该环形间隙并且辅助芯棒和管之间的无缺陷界面的形成。产生的芯预制件展示具有很低的缺陷密度的光滑界面,这允许制造单模光纤,该单模光纤的光衰减符合ITU-T G.652标准。
根据一些优选实施例,加热器是环形加热器(在图3中仅仅示意性地示出),该环形加热器布置成使得当芯组件被夹紧在套管设备中的适当位置时与中间包覆管圆周地间隔开。芯组件布置成使得它竖直地延伸通过环形加热器。
掺杂氟的中间包覆管的径向厚度相对小,优选地为从1mm到10mm,更优选地为从2mm到8mm。通常,根据由光纤预制件制造的光纤的中间包覆区域的希望宽度选择该径向厚度。
优选地,中间包覆管的径向厚度为其外直径的1/35到1/3.5,更优选地为其外直径的1/17.5到1/4.4。
本申请人已经观察到,由于中间包覆管的相对小的径向厚度,如果加热器的经过速度太高,在管热塌陷到棒上期间种子状物可以形成在管/芯棒界面。特别地,在一些实施例中,已经观察到,如果经过速度高于大约40mm,则在管热塌陷到棒上期间和之后相当大密度的种子状物(特别地为气泡)在管/芯棒界面处可见。经过速度的减小产生在管/芯棒界面不形成种子状物的芯预制件。
优选地,加热器以从20到40mm/min,更优选地从25到35mm/min的速度经过中间包覆管。
优选地,在加热中间包覆管时芯组件以从3到10rpm的旋转速度旋转。
优选地,间隙宽度为从1mm到5mm,更优选地为从1.5mm到3mm。
虽然图3的实施例涉及竖直套管设备,但本发明可以包括通过使用水平套管设备形成芯预制件的方法。在实施例(图中未示出)中,芯组件安装在水平套管设备上,该水平套管设备适合于执行以下步骤:加热中间包覆管使该管塌陷在芯棒周围并且形成芯预制件。环形石墨感应炉适于经过安装在水平套管设备上的芯组件的长度使得芯组件的离散的长度部分被加热。芯组件布置成使得它水平地延伸通过感应炉。例如,感应炉安装在滑架上,该滑架可以通过常规马达沿引导轴移动。加热包括至少沿芯组件的轴向移动感应炉。在完成管塌陷到棒上之前,该炉可以以多次经过的方式沿相反的轴向移动。
在形成芯预制件之后,外部包覆区域形成在芯预制件周围以产生光纤预制件。
优选地,外部包覆区域通过烟灰沉积方法被制备,其中,首先,二氧化硅烟灰被沉积在芯预制件周围,并且其次,涂覆有该烟灰的芯预制件经受玻璃转化温度之上的温度以加固该烟灰并且用于光纤预制件。在一些实施例中,外部包覆区域以本身已知的方式通过外部蒸汽沉积(OVD)过程而产生,其中沉积基于火焰燃烧,其中诸如SiCl4的二氧化硅前体与燃烧气体一起被送过沉积燃烧器,该沉积燃烧器将形成细的且正确的玻璃烟灰粒子的高温的流引到芯预制件周围的旋转的生长目标上。通过沿生长的预制件的表面重复移动燃烧器,预制件的生长沿径向进行。
可选地,在形成外部包覆之前,伸展芯预制件以减小其外直径。
由光纤预制件制造的光纤在对应于芯棒的芯区域和中间包覆区域之间的界面不显示出缺陷。芯棒包括掺杂有增加折射率掺杂剂(诸如锗)的中央芯区域。在一些优选实施例中,芯棒包括中央芯区域和至少一个内部包覆区域。芯棒可以以该技术领域中已知的任何蒸汽沉积方法被制造,诸如蒸汽轴向沉积(VAD),等离子体化学蒸汽沉积(PCVD),外部蒸汽沉积(OVD)或改进的化学蒸汽沉积(MCVD),炉化学蒸汽沉积(FCVD)。
优选地,通过使用内部管沉积过程产生芯棒。根据一些优选实施例,内部管沉积过程是改进的化学蒸汽沉积(MCVD)过程。
图4示出通过本发明的方法可以生产的光纤的折射率分布图的例子。凹陷区域的相对折射率分布图为大约-4.2×10-3。
例子
由纯二氧化硅制成并且具有2.5mm的径向厚度的空心圆柱形基管被安装到MCVD水平车床上。包括形成烟灰的反应物化学物质的气态混合物流到基管的圆柱形腔中。与气态混合物喷射到基管中同时,基管连续地旋转并且其外表面通过沿外表面经过火焰被加热(在大约1950℃的温度下沿相反的轴向以多次经过的方式)。首先,通过使包括SiCl4和O2的气态混合物流动产生内部包覆,并且其次,通过使包括SiCl4、GeCl4和O2的气态混合物流动产生引导芯。由此引起的芯棒包括掺杂锗的芯区域和内部包覆区域,该内部包覆区域包围未掺杂的二氧化硅(SiO2)的芯区域。
掺杂锗的二氧化硅的固体芯棒从MCVD车床被移除以***到中间包覆玻璃管中,该中间包覆玻璃管由以近似恒定的浓度掺杂有氟的二氧化硅制成,该氟为纯二氧化硅提供-3.4×10-3的相对折射率(对应于大约7%的氟浓度)。管长度为1000mm。管的内直径为23mm并且外直径为29mm,并且因此该管具有3mm的径向厚度。
诸如图3中所示以芯组件的上端部连接到真空泵将芯组件安装在套管设备中实现中间包覆管塌陷到该棒中。环形氧气/氢气燃烧器布置在芯组件的下端部附近的中间包覆管的下长度段。燃烧器被打开以产生25slpm的氧气流率和60slpm的氢气流率的环形火焰。在该过程的开始,该火焰经过中间包覆管的下长度段以便将该管密封到对应于这个长度段的芯棒上。一旦管的下端部被封闭到芯棒上,真空泵就产生大约0.6巴的通过该组件的环形间隙的负压力。然后,燃烧器沿玻璃管以35mm/min的速度向上行进以软化该管并且使该管塌陷在该棒周围。在燃烧器的单程之后,中间包覆管热塌陷到该棒上以产生大约27mm直径的芯预制件。在燃烧器的操作期间,芯组件以5rpm旋转。
伸展芯预制件以减小其直径。为此目的,芯预制件被装配在水平可移动的车床中,并且使设置在玻璃软化温度的氧气/氢气燃烧器沿轴向经过芯预制件的长度,同时可移动的车床以比燃烧器的速度低的速度沿相同的轴向移动。以本身已知的方式,通过设置车床速度和燃烧器速度之间的比率,获得伸展的预制件的最后直径。伸展的预制件的直径为大约24mm。
然后,芯预制件被安装在OVD车床上并且二氧化硅烟灰通过标准OVD过程被沉积在旋转的心轴上。继续烟灰沉积,直到获得用来形成外部包覆区域的寻求的重量。然后,在以95:5的比率引入He气体和Cl2气体的同时,烟灰多孔预制件在保持在1550℃的炉中被烧结。加固的光纤预制件具有80mm的外直径。
光纤预制件被移动到拉伸塔并且在2000-2100℃的温度下被拉伸以制造大约125微米的外直径的单模光纤。
根据该例子的方法制造的光纤的折射率分布图包括:相对于由未掺杂的二氧化硅制成的外部包覆区域的5.5×10-3的相对折射率的掺杂锗的中央芯区域;具有大约0×10-3的相对折射率的内部包覆区域(基管);和具有大约-3.4×10-3的负的相对折射率的掺杂氟的中间包覆区域。未掺杂的二氧化硅的外部包覆区域包围中间包覆区域。
Claims (19)
1.一种制造光纤预制件的方法,所述方法包括以下步骤:
生产芯棒,所述芯棒具有芯棒直径;
将所述芯棒***到玻璃的掺杂氟的中间包覆管中以便形成芯组件,所述中间包覆管具有内直径和外直径,其中所述内直径大于所述芯棒直径,所述内直径和所述芯棒直径之间的径向差限定环形间隙;
在所述环形间隙内施加负压力;
在维持所述负压力的同时通过加热所述芯组件使所述中间包覆管塌陷在所述芯棒周围,形成芯预制件,其中加热步骤包括在所述中间包覆管外部并且沿所述中间包覆管的轴向移动加热器;和
形成包围所述芯预制件的外部包覆区域以便形成光纤预制件。
2.根据权利要求1所述的方法,其中,所述环形间隙具有从1mm到5mm的间隙宽度。
3.根据权利要求1或2所述的方法,其中,所述方法还包括:在将所述芯棒***到所述中间包覆管中的步骤和加热步骤之间,布置所述芯组件使得该芯组件沿竖向延伸,并且加热步骤包括至少向上移动所述加热器。
4.根据权利要求3所述的方法,其中,所述加热器是与所述中间包覆管沿周向间隔开的环形加热器,并且所述芯组件布置成使得该芯组件沿竖向延伸通过所述环形加热器。
5.根据权利要求1或2所述的方法,其中,所述加热器是环形加热器,并且所述方法还包括:在将所述芯棒***到所述中间包覆管中的步骤和加热步骤之间,布置所述芯组件使得该芯组件水平地延伸通过所述加热器。
6.根据前述任一项权利要求所述的方法,还包括:与加热步骤同时,使所述芯组件一致地旋转。
7.根据前述任一项权利要求所述的方法,其中,所述加热器是燃烧器,所述燃烧器产生的火焰的温度高于玻璃软化点温度。
8.根据权利要求1所述的方法,其中,所述加热器选自氧气/氢气燃烧器和感应炉。
9.根据前述任一项权利要求所述的方法,其中,使所述加热器以从20mm/min到40mm/min的经过速度移动。
10.根据前述任一项权利要求所述的方法,其中,所述中间包覆管具有从1mm到10mm的径向厚度。
11.根据权利要求1所述的方法,其中,所述中间包覆管具有所述外直径的1/35到1/3.5的径向厚度。
12.根据前述任一项权利要求所述的方法,其中,掺杂氟的内部包覆管跨越其径向厚度掺杂有氟。
13.根据前述任一项权利要求所述的方法,其中,施加负压力包括:
密封所述芯组件的第一端部;和
将所述芯组件的第二端部连接到真空源。
14.根据前述任一项权利要求所述的方法,其中,所述负压力为从0.1巴到0.9巴。
15.根据前述任一项权利要求所述的方法,其中,生产芯棒采用内部管烟灰沉积过程并且包括:
提供空心基管,所述空心基管具有外表面和面向圆柱形腔的内表面;
通过将包括形成烟灰的反应物化学物质的气态混合物喷射到所述圆柱形腔中,将玻璃沉积到所述基管的内表面上;和
通过沿相反的轴向以多次经过的方式沿所述外表面移动加热器,与沉积同时地加热所述基管的外表面。
16.根据权利要求15所述的方法,其中,所述内部管烟灰沉积过程是改进的化学蒸汽沉积过程。
17.根据前述任一项权利要求所述的方法,其中,形成外部包覆区域包括:将玻璃烟灰沉积到所述芯预制件的外表面上,并且通过以高于玻璃转化温度的温度加热涂覆有所述玻璃烟灰的所述芯预制件而加固所述玻璃烟灰。
18.根据权利要求17所述的方法,其中,通过外部蒸汽沉积实现沉积玻璃烟灰。
19.一种制造光纤的方法,所述方法包括以下步骤:
根据权利要求1所述的方法形成光纤预制件;和
拉伸所述光纤预制件以制造光纤。
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