CN103376071B - 三维测量***与三维测量方法 - Google Patents

Abstract

本发明揭露一种三维测量***以及三维测量方法，其设置有两组以上的投影模块，投影模块可利用不同的入射角度将条纹光线投射至测量平面上，随着入射角度的不同，使条纹光线在测量平面上具有不同的投影波长。或是，不同投影模块的光栅单元的光栅条纹彼此不平行，利用各光栅条纹间的偏转角度，使条纹光线在测量平面上具有不同的投影波长。

Description

三维测量***与三维测量方法

技术领域

本发明是有关于一种三维测量***与方法，且特别是有关于一种三维测量***中的光学投影设置。

背景技术

近年来由于元件尺寸缩小，发展出许多自动化高精度检测设备，用来检测电子元件的外观、线路连接、对位关系等是否妥善。其中如自动锡膏检测机(Solder PasteInspection，SPI)已被广泛采用在生产线上精确测量基板上的锡膏尺寸，以作为印刷电路板制程管控的一个必要工具。

同时，为因应上述的需求，SPI相关技术也持续改善，如无阴影技术等。其中，多重频率测量方法(Multi-Frequency Method)是一种用来测试基板上局部板弯的方法，其利用二种不同周期的条纹分别投影至待测物上，不同周期的条纹上各自依相移法推算出相位后，进一步将二者相减计算其波包(Envelope)的相位。

采用多重周期的条纹是因为，若使用单一周期的条纹，当待测物的特定方向的尺寸(如高度)超出单一周期的条纹的2π相位时，则待测物的真实高度便无法分辨，这又称为2π模糊性(2π Ambiguity)。

由于，多重频率测量方法中由两种以上不同周期的条纹整合后的波包等效周期较长，较不易落入2π模糊性的状况，故可用来进行待测物相对于参考平面的距离估算。

形成二种不同周期的条纹的方法已知有二，其中一种为使用不同的投影放大倍率，但容易造成不同长度的光路，或是需要使用不同的镜头而影响光学配置。另外一种，则是使用不同栅距(即对应产生不同周期)的条纹片，亦可达到相同的功能，但实际测量的不同周期条纹片种类有限，无法有弹性的满足各式各样的***需求。

发明内容

为解决上述问题，本发明提出一种三维测量***以及三维测量方法，其设置有两组以上的投影模块，投影模块可利用不同的入射角度将条纹光线投射至测量平面上，随着入射角度的不同，使条纹光线在测量平面上具有不同的投影波长。或是，不同投影模块的光栅单元可具有非平行的光栅条纹，利用各光栅条纹间的偏转角度，亦可使条纹光线在测量平面上具有不同的投影波长。本案中提到产生不同周期条纹的方法不需要改变投影放大倍率亦不影响光学配置，另一方面，本案可采用相同栅距(即对应产生相同周期)的条纹片，仅需移动投影模块改变入射角度或是旋转光栅条纹片即可形成不同的投影波长。

本发明的一方面是在提供一种三维测量***，其包含测量载具、第一投影模块、第二投影模块、取像模块以及控制单元。测量载具用以承载一待测物体，待测物体于测量载具的一测量平面上水平移动。第一投影模块沿一第一光轴朝向待测物体照射一第一条纹光线，第一光轴相对测量平面具有一第一入射角。第二投影模块沿一第二光轴朝向待测物体照射一第二条纹光线，第二光轴相对测量平面具有一第二入射角，第二入射角不同于第一入射角，使第二条纹光线于测量平面上所形成的一第二投影波长不同于第一条纹光线于测量平面上所形成的一第一投影波长。取像模块用以撷取待测物体于第一条纹光线反射下的一第一条纹影像以及于第二条纹光线反射下的一第二条纹影像。控制单元用以控制第一投影模块及第二投影模块，并经由第一条纹影像及第二条纹影像测量待测物体的三维形状。

根据本发明的一实施例中，第一投影模块包含一第一光源以及一第一光栅，第一光源产生一第一光线，第一光栅具有多个第一条纹彼此间隔一第一栅距，并用以转换第一光线为具有第一等效波长的第一条纹光线，第二投影模块包含一第二光源以及一第二光栅，第二光源产生一第二光线，第二光栅具有多个第二条纹彼此间隔一第二栅距，并用以转换第二光线为具有第二等效波长的第二条纹光线。于此实施例中，第一光栅的第一栅距等于第二光栅的第二栅距，且第一等效波长等于第二等效波长。

根据本发明的一实施例中，第一投影模块还包含一光栅移动器用以平移第一光栅，使第一光栅沿与第一条纹垂直的方向移动，借此形成第一条纹光线的各种相位角，取像模块进一步撷取待测物体于第一条纹光线的各种相位角反射形成的多个第一条纹影像。

根据本发明的一实施例中，第二投影模块还包含一光栅移动器用以平移第二光栅，使第二光栅沿与第二条纹垂直的方向移动，借此形成第二条纹光线的各种相位角，取像模块进一步撷取待测物体于第二条纹光线的各种相位角反射形成的多个第二条纹影像。

根据本发明的一实施例中，三维测量***还包含一高度计算模块用以计算待测物体的高度，其中高度计算模块整合第一条纹光线反射下的第一条纹影像以及于第二条纹光线反射下的第二条纹影像，以取得待测物体的一整合高度信息。

本发明的另一方面是在提供一种三维测量方法，用以测量一测量平面上的一待测物体。三维测量方法包含：产生具有一第一等效波长的一第一条纹光线以及具有一第二等效波长的一第二条纹光线；将第一条纹光线沿一第一光轴照射至测量平面上的待测物体，第一光轴相对测量平面具有一第一入射角；将第二条纹光线沿一第二光轴照射至测量平面上的待测物体，第二光轴相对测量平面具有一第二入射角，第二入射角不同于第一入射角，使第二条纹光线于测量平面上所形成的一第二投影波长不同于第一条纹光线于测量平面上所形成的一第一投影波长；基于各种相位角的第一条纹光线而撷取多个第一条纹影像，所述多个第一条纹影像由具有第一投影波长的第一条纹光线经待测物体反射所产生；基于各种相位角的第二条纹光线而撷取多个第二条纹影像，所述多个第二条纹影像由具有第二投影波长的第二条纹光线经待测物体反射所产生；利用第一投影波长下的所述多个第一条纹影像，得到待测物体的一第一相位信息；利用第二投影波长下的所述多个第二条纹影像，得到待测物体的一第二相位信息；以及，基于第一条纹影像与第二条纹影像，计算取得待测物体的一整合高度信息。

根据本发明的一实施例中，整合高度信息是基于第一投影波长与第二投影波长之间的一波长差距、以及第一相位信息与第二相位信息之间的一相对差距而取得。

根据本发明的一实施例中，第一条纹光线是透过一第一栅距的一第一光栅而具有第一等效波长，第二条纹光线是透过一第二栅距的一第二光栅而具有第二等效波长，第一栅距等于第二栅距，第一等效波长等于第二等效波长。

根据本发明的一实施例中，三维测量方法还包含步骤：平移第一光栅，借此形成第一条纹光线的各种相位角；以及，平移第二光栅，借此形成第二条纹光线的各种相位角。

本发明的另一方面是在提供一种三维测量***，其包含测量载具、第一投影模块、第二投影模块、取像模块以及控制单元。测量载具用以承载一待测物体，待测物体于测量载具的一测量平面上水平移动。第一投影模块包含一第一光栅，第一光栅具有多个第一条纹，第一投影模块向待测物体投射第一条纹光线。第二投影模块包含一第二光栅，第二光栅具有多个第二条纹，第一光栅的第一条纹与第二光栅的第二条纹非平行且两者间夹一偏转角度，使第二条纹光线于测量平面上所形成的一第二投影波长不同于第一条纹光线于测量平面上所形成的一第一投影波长。取像模块用以撷取待测物体于第一条纹光线反射下的一第一条纹影像以及于第二条纹光线反射下的一第二条纹影像。控制单元用以控制第一投影模块及第二投影模块，并经由第一条纹影像及第二条纹影像测量待测物体的三维形状。

根据本发明的一实施例中，第一投影模块还包含一第一光源，第一光源产生一第一光线，第一光栅的第一条纹彼此间隔一第一栅距，并用以转换第一光线为具有第一等效波长的第一条纹光线，第二投影模块还包含一第二光源，第二光源产生一第二光线，第二光栅的第二条纹彼此间隔一第二栅距，并用以转换第二光线为具有第二等效波长的第二条纹光线。于此实施例中，其中第一光栅的第一栅距等于第二光栅的第二栅距，且第一等效波长等于第二等效波长。

根据本发明的一实施例中，第一投影模块还包含一光栅移动器用以平移第一光栅，使第一光栅沿与第一条纹垂直的方向移动，借此形成第一条纹光线的各种相位角，取像模块进一步撷取待测物体于第一条纹光线的各种相位角反射形成的多个第一条纹影像。

根据本发明的一实施例中，第二投影模块还包含一光栅移动器用以平移第二光栅，使第二光栅沿与第二条纹垂直的方向移动，借此形成第二条纹光线的各种相位角，取像模块进一步撷取待测物体于第二条纹光线的各种相位角反射形成的多个第二条纹影像。

根据本发明的一实施例中，三维测量***还包含一高度计算模块用以计算待测物体的高度，其中高度计算模块整合第一条纹光线反射下的第一条纹影像以及于第二条纹光线反射下的第二条纹影像，以取得待测物体的一整合高度信息。

附图说明

为让本发明的上述和其他目的、特征、优点与实施例能更明显易懂，所附附图的说明如下：

图1绘示根据本发明的一实施例中一种三维测量***的示意图；

图2绘示于图1的实施例中第一条纹光线与第二条纹光线投射至测量平面上的示意图；

图3绘示于图1的实施例中第一光栅的示意图；

图4绘示于图1的实施例中第二光栅的示意图；

图5绘示根据本发明的一实施例中一种三维测量方法的方法流程图；

图6绘示根据本发明的另一实施例中一种三维测量***的示意图；

图7绘示于图6的实施例中第一光栅的示意图；

图8绘示于图6的实施例中第二光栅的示意图；以及

图9绘示于图6的实施例中第一光栅与第二光栅的相互关系示意图。

【主要元件符号说明】

100，300：三维测量***

120，320：测量载具

122，322：载具平台

124，324：移动单元

140，340：第一投影模块

142，342：第一光栅

142a，342a：第一条纹

144，344，164，364：光栅移动器

146，346：第一光源

148，348：第一条纹光线

149，349：第一条纹影像

160，360：第二投影模块

162，362：第二光栅

162a，342a：第二条纹

166，366：第二光源

168，368：第二条纹光线

169，369：第二条纹影像

200：待测物体

202：物件

204：基板

220：测量平面

180，380：取像模块

182，382：控制单元

184，384：高度测量模块

S100～S108：步骤

具体实施方式

请参阅图1，其绘示根据本发明的一实施例中一种三维测量***100的示意图。如图1所示，三维测量***100包含测量载具120、第一投影模块140、第二投影模块160、取像模块180、控制单元182以及高度测量模块184。

测量载具120包含载具平台122以及移动单元124。载具平台122用以承载待测物体200，移动单元124用以驱动载具平台122水平移动，借此，载具平台122可带动待测物体200于测量平面220上水平移动。

于此实施例中，待测物体200可包含基板204以及基板上的物件202，实际应用中，物件202可为基板204上的锡膏，亦可为线路或其它电子元件。本发明中的三维测量***100可用以测量待测物体200中基板204及基板204上的各种物件202的三维形状。以下为说明上的方便，以待测物体200代表基板204及基板204任意形状的物件202。

请一并参阅图2，图2其绘示于图1的实施例中第一条纹光线148与第二条纹光线168投射至测量平面220上的示意图。

第一投影模块140沿第一光轴X1朝向待测物体200照射第一条纹光线148，第一光轴X1相对测量平面220具有第一入射角θ1。

第二投影模块160沿第二光轴X2朝向待测物体200照射第二条纹光线168，第二光轴X2相对测量平面220具有第二入射角θ2。

如图1与图2所示，第一投影模块140包含第一光栅142、光栅移动器144以及第一光源146。

请一并参阅图3，其绘示于图1的实施例中第一光栅142的示意图。于此实施例中，第一光栅142为具有多个第一条纹142a的条纹片，第一条纹142a彼此间隔第一栅距D1，并用以转换第一光源146产生的第一光线为具有第一等效波长R1的第一条纹光线148(如图2所示)。

另一方面，第二投影模块160包含第二光栅162、光栅移动器164以及第二光源146。请一并参阅图4，其绘示于图1的实施例中第二光栅162的示意图。于此实施例中，第二光栅162为具有多个第二条纹162a的条纹片，第二条纹162a彼此间隔第二栅距D2，并用以转换第二光源146产生的第二光线为具有第二等效波长R2的第二条纹光线168(如图2所示)。

须特别注意的是，于本实施例中，第一投影模块140与第二投影模块160所采用的第一光栅142与第二光栅162可大致相同，也就是说，第一光栅142的第一栅距D1等于第二光栅162的第二栅距D2。如此一来，且第一条纹光线148的第一等效波长R1等于第二条纹光线168的第二等效波长R2。

如图2所示，本实施例中第一条纹光线148相对测量平面220的第一入射角θ1不同于第二条纹光线168相对测量平面220的第二入射角θ2。于此例中，第二入射角θ2不同于第一入射角θ1，使第二条纹光线168于测量平面220上所形成的第二投影波长λ2不同于第一条纹光线148于测量平面220上所形成的第一投影波长λ1。

第一投影波长λ1与第二投影波长λ2关系如下：λ1＝R1·cos^-1θ1，并且λ2＝R2·cos^-1θ2。

其中，第一等效波长R1等于第二等效波长R2，且第一入射角θ1不等于第二入射角θ2，因此，第一投影波长λ1不等于第二投影波长λ2。

如此一来，本实施例中的三维测量***100不需改变条纹片的光栅栅距，仅须使两投影模块可利用不同的入射角度将条纹光线投射至测量平面上，随着入射角度的不同，便可使两组条纹光线在测量平面上具有不同的投影波长。

于此实施例中，第一投影模块140还包含光栅移动器146用以平移第一光栅142，使第一光栅142沿与第一条纹142a垂直的方向移动(即图3中的水平方向)，借此形成第一条纹光线148的各种相位角，取像模块180进一步撷取待测物体200于该第一条纹光线148的各种相位角反射形成的多个第一条纹影像149，透过相位移测量法，便可得到对应第一投影波长λ1(即第一种周期条纹)的第一相位信息。

另一方面，第二投影模块160亦包含光栅移动器166用以平移第二光栅162，使第二光栅162沿与第二条纹162a垂直的方向移动(即图4中的水平方向)，借此形成第二条纹光线168的各种相位角，取像模块180进一步撷取待测物体200于该第二条纹光线168的各种相位角反射形成的多个第二条纹影像169，透过相位移测量法，便可得到对应第二投影波长λ2(即第二种周期条纹)的第二相位信息。

三维测量***100中的高度计算模块149整合第一条纹影像149以及于第二条纹影像169，基于多重频率测量方法(Multi-Frequency Method)，将第一条纹影像149以及于第二条纹影像169各自依相移法推算出相位后，进一步将二者相减计算其波包(Envelope)的相位，以取得该待测物体的一整合高度信息。透过上述多重周期的条纹测量，可解决单一周期的条纹测量时的2π模糊性(2πAmbiguity)问题。

举例来说，本实施例中第一投影波长为λ1而第二投影波长为λ2，两者相减形成波包相位，假设波包相位的等效波包波长为λp，其中等效波包波长λp符合：

由此可知，等效波包波长λp可大于第一投影波长λ1或第二投影波长λ2任一者。在测量待测物体时，第一投影波长λ1及第二投影波长λ2较短，待测物体高度在第一投影波长λ1或第二投影波长λ2的相邻周期(如-2π，0，+2π等)中有多个可能位置。由于，等效波包波长λp较长，待测物体具有可能性的高度位置不易超出等效波包波长λp的单一个2π周期，借此可避免2π模糊性(2πAmbiguity)问题。

如此一来，取像模块180用以撷取待测物体200于第一条纹光线148反射下的第一条纹影像149以及于第二条纹光线168反射下的第二条纹影像169。控制单元182用以控制第一投影模块140及第二投影模块160，并经由第一条纹影像149及第二条纹影像169测量待测物体200的三维形状。

请一并参阅图5，其绘示根据本发明的一实施例中一种三维测量方法的方法流程图，该三维测量方法可配合图1至图4中所绘示的实施例中的三维测量***100使用。用以测量测量平面上的待测物体。

三维测量方法首先执行步骤S100，产生具有第一等效波长的第一条纹光线以及具有第二等效波长的第二条纹光线。于此实施例中，第一等效波长(参考图2中第一条纹光线148的第一等效波长R1)可等于第二等效波长(参考图2中第二条纹光线168的第二等效波长R2)。

接着，分别执行步骤S102、步骤S103至步骤S104，或是，步骤S105、步骤S106至步骤S107。

步骤S102中将第一条纹光线沿第一光轴照射至测量平面上的待测物体，第一光轴相对测量平面具有第一入射角。

步骤S103中，基于各种相位角的第一条纹光线而撷取多个第一条纹影像，所述多个第一条纹影像由具有第一投影波长的第一条纹光线经待测物体反射所产生。

步骤S104中，利用第一投影波长下的所述多个第一条纹影像，可基于相移法推算，以得到待测物体的一第一相位信息。

另一方面，步骤S105中将第二条纹光线沿第二光轴照射至测量平面上的待测物体，第二光轴相对测量平面具有第二入射角。其中，第二入射角不同于第一入射角，使第二条纹光线于测量平面上所形成的第二投影波长(参考图2中λ2)不同于第一条纹光线于测量平面上所形成的第一投影波长(参考图2中λ1)。

步骤S106中，基于各种相位角的第二条纹光线而撷取多个第二条纹影像，所述多个第二条纹影像由具有第二投影波长的第二条纹光线经待测物体反射所产生。

步骤S107中，利用第二投影波长下的所述多个第二条纹影像，可基于相移法推算，以得到待测物体的一第二相位信息。

最后，执行步骤S108，利用多重频率测量方法(Multi-Frequency Method)，基于第一条纹影像与第二条纹影像，计算取得待测物体的一整合高度信息。

其中，整合高度信息是基于第一投影波长与第二投影波长之间的一波长差距、以及第一相位信息与第二相位信息之间的一相对差距而取得。

关于上述方法中光轴、入射角与投影波长的相对关系与详细内容，可参考先前实施例及图1至图4的细部说明，其技术内容大致相同，在此不另赘述。

于上述实施例中，三维测量***是利用入射角度的不同在测量平面上形成不同的投影波长，但本发明并不仅以此为限。

请参阅图6，其绘示根据本发明的另一实施例中一种三维测量***300的示意图。如图6所示，三维测量***300包含测量载具320、第一投影模块340、第二投影模块360、取像模块380、控制单元382以及高度测量模块384。

第一投影模块340包含第一光栅342。第二投影模块360包含第二光栅362。

请参阅图7、图8以及图9。图7绘示于此实施例中第一光栅342的示意图。图8绘示于此实施例中第二光栅362的示意图。图9绘示于此实施例中第一光栅342与第二光栅362的相互关系示意图。

如图7所示，第一光栅342具有多个第一条纹342a，第一条纹342a彼此间隔第一栅距D1，第一光栅342并用以转换第一光源346产生的第一光线为具有第一等效波长的第一条纹光线348。

如图8所示，第二光栅362具有多个第二条纹362a，第二条纹362a彼此间隔第二栅距D2，第二光栅362并用以转换第二光源366产生的第二光线为具有第二等效波长的第二条纹光线368。

于此实施例中，第一光栅342的第一栅距D1等于第二光栅362的第二栅距D2。

如图9所示，第一光栅342的所述多个第一条纹342a与该第二光栅362的所述多个第二条纹362a非平行且两者间夹偏转角度θr。如此一来，第一条纹342a投影到测量平面220时在水平方向上的投影间距(如图7上的X轴方向的投影间距P1)，相异于第二条纹362a投影到测量平面220时在水平方向上的投影间距(如图8上的X轴方向的投影间距P2)。如此一来，使第二条纹光线368于该测量平面220上所形成的第二投影波长将不同于第一条纹光线348于测量平面220上所形成的第一投影波长。

其中，第一光栅342与第二光栅362间的偏转角度θr可利用旋转其中一个光栅条纹片形成，或是在规划光栅条纹片的条纹时直接形成具有偏转角度θr的条纹于光栅条纹片上。

如此一来，本实施例中的三维测量***300不需改变条纹片的光栅栅距，仅须使两投影模块的光栅条纹间具有一偏转角度，便在可使两组条纹光线在测量平面上具有不同的投影波长。

关于一种三维测量***300的其他元件结构与操作原理，可参照先前实施例与图1至图4中三维测量***100的相关说明，其内容大致相同，在此不另赘述。

综上所述，本发明提出一种三维测量***以及三维测量方法，其设置有两组以上的投影模块，投影模块可利用不同的入射角度将条纹光线投射至测量平面上，随着入射角度的不同，使条纹光线在测量平面上具有不同的投影波长。或是，不同投影模块的光栅单元可具有非平行的光栅条纹，利用各光栅条纹间的偏转角度，亦可使条纹光线在测量平面上具有不同的投影波长。本案中提到产生不同周期条纹的方法不需要改变投影放大倍率亦不影响光学配置，另一方面，本发明可采用相同栅距(即对应产生相同周期)的条纹片，仅需移动投影模块改变入射角度或是旋转光栅条纹片即可形成不同的投影波长。

虽然本发明已以实施方式揭露如上，然其并非用以限定本发明，任何熟悉此技艺者，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作各种的更动与润饰，因此本发明的保护范围当视所附的权利要求书所界定的范围为准。

Claims (10)

1.一种三维测量***，其特征在于，包含：

一测量载具，用以承载一待测物体，

一第一投影模块，沿一第一光轴朝向该待测物体照射一第一条纹光线，该第一光轴相对该测量平面具有一第一入射角；

一第二投影模块，沿一第二光轴朝向该待测物体照射一第二条纹光线，该第二光轴相对该测量平面具有一第二入射角，该第二入射角的量值不同于该第一入射角的量值，使该第二条纹光线于该测量平面上所形成的一第二投影波长不同于该第一条纹光线于该测量平面上所形成的一第一投影波长；

一取像模块，用以撷取该待测物体于该第一条纹光线反射下的一第一条纹影像以及于该第二条纹光线反射下的一第二条纹影像；以及

一控制单元，用以控制该第一投影模块及该第二投影模块，并经由该第一条纹影像及该第二条纹影像测量该待测物体的三维形状。

2.根据权利要求1所述的三维测量***，其特征在于，该第一投影模块包含一第一光源以及一第一光栅，该第一光源产生一第一光线，该第一光栅具有多个第一条纹彼此间隔一第一栅距，并用以转换该第一光线为具有该第一等效波长的该第一条纹光线，该第二投影模块包含一第二光源以及一第二光栅，该第二光源产生一第二光线，该第二光栅具有多个第二条纹彼此间隔一第二栅距，并用以转换该第二光线为具有该第二等效波长的该第二条纹光线。

3.根据权利要求2所述的三维测量***，其特征在于，该第一光栅的该第一栅距等于该第二光栅的该第二栅距，且该第一等效波长等于该第二等效波长。

4.根据权利要求2所述的三维测量***，其特征在于，该第一投影模块还包含一光栅移动器用以移动该第一光栅，借此形成该第一条纹光线的各种相位角，该取像模块进一步撷取该待测物体于该第一条纹光线的各种相位角反射形成的多个第一条纹影像。

5.根据权利要求2所述的三维测量***，其特征在于，该第二投影模块还包含一光栅移动器用以移动该第二光栅，借此形成该第二条纹光线的各种相位角，该取像模块进一步撷取该待测物体于该第二条纹光线的各种相位角反射形成的多个第二条纹影像。

6.根据权利要求1所述的三维测量***，其特征在于，还包含一高度计算模块用以计算该待测物体的高度，其中该高度计算模块整合该第一条纹光线反射下的该第一条纹影像以及于该第二条纹光线反射下的该第二条纹影像，以取得该待测物体的一整合高度信息。

7.一种三维测量方法，其特征在于，用以测量一测量平面上的一待测物体，该三维测量方法包含步骤：

产生具有一第一等效波长的一第一条纹光线以及具有一第二等效波长的一第二条纹光线；

将该第一条纹光线沿一第一光轴照射至该测量平面上的该待测物体，该第一光轴相对该测量平面具有一第一入射角；

将该第二条纹光线沿一第二光轴照射至该测量平面上的该待测物体，该第二光轴相对该测量平面具有一第二入射角，该第二入射角的量值不同于该第一入射角的量值，使该第二条纹光线于该测量平面上所形成的一第二投影波长不同于该第一条纹光线于该测量平面上所形成的一第一投影波长；

基于各种相位角的该第一条纹光线而撷取多个第一条纹影像，所述多个第一条纹影像由具有该第一投影波长的该第一条纹光线经该待测物体反射所产生；

基于各种相位角的该第二条纹光线而撷取多个第二条纹影像，所述多个第二条纹影像由具有该第二投影波长的该第二条纹光线经该待测物体反射所产生；

利用该第一投影波长下的所述多个第一条纹影像，得到该待测物体的一第一相位信息；

利用该第二投影波长下的所述多个第二条纹影像，得到该待测物体的一第二相位信息；以及

基于所述第一相位信息与所述第二相位信息，计算取得该待测物体的一整合高度信息。

8.根据权利要求7所述的三维测量方法，其特征在于，该整合高度信息是基于该第一投影波长与该第二投影波长之间的一波长差距、以及该第一相位信息与该第二相位信息之间的一相对差距而取得。

9.根据权利要求7所述的三维测量方法，其特征在于，该第一条纹光线是透过一第一栅距的一第一光栅而具有该第一等效波长，该第二条纹光线是透过一第二栅距的一第二光栅而具有该第二等效波长，该第一栅距等于该第二栅距，该第一等效波长等于该第二等效波长。

10.根据权利要求9所述的三维测量方法，其特征在于，还包含步骤：

移动该第一光栅，借此形成该第一条纹光线的各种相位角；以及

移动该第二光栅，借此形成该第二条纹光线的各种相位角。