CN103375881A - 洁净室的空调控制方法与其装置 - Google Patents

Abstract

本发明的洁净室的空调控制方法与其装置，根据气象数据和实际值来预测外界气体温度和外界气体湿度的变化，并通过根据预测出的外界气体预测温度和外界气体预测湿度来计算预测比焓和外界气体预测露点，从而进行具有冷却盘管的空调外机的运行所需的冷冻机的台数控制，并且，对于所述外界气体预测露点，在导入的外界气体露点低于提供给目的空间的露点的情况下，将冷却盘管的设定温度改变成提供给目的空间的温度，并在外界气体预测温度低于提供温度的情况下，停止冷冻机。

Description

洁净室的空调控制方法与其装置

技术领域

本发明涉及一种构成工业用洁净室等恒温恒湿室的空气调节过程。 

背景技术

对于例如半导体等的电子设备工厂那样、生产环境条件会给产品品质带来较大影响的情况，将该生产设备配置在所谓的洁净室内，使其与外部环境阻断，并进行控制，使得生产环境成为所希望的温度、湿度、压力、洁净度。 

图11示出了半导体工厂中的空气调节过程的代表性结构。 

通常，空气调节过程通过空调外机200及空调内机300来使在洁净室100内流动的气氛空气洁净化、并对洁净室100进行空气调节。所谓的空调外机是用于处理外界气体负荷的空调机。所谓的空调内机是用于处理内部气体负荷的空调机。 

即，通过将洁净室100内的一部分空气导入空调内机300中，从而由空调内机300内的冷却器301将洁净室100内产生的热去除。此外，将制造产品时产生的废气206排出到洁净室100的***外，并从空调外机200引入同等量的空气，由空调外机200内的空气过滤器201对其进行除尘，由冷却盘管202对经清洁化后的空气进行暂时冷却以进行除湿，并由加热器203将除湿后的空气加热到所希望的温度，并进一步由加湿器204将被加热到所希望的温度的空气加湿到所希望的湿度，从而使用空调外机风扇205将其送出到洁净室100侧，并与从空调内机300的冷却器301送出的、除热后的空气进行混合，最终作为目的温度、湿度吹入至洁净室100内。 

洁净室100的空气吹出部101中设置有高性能的过滤器来进行除尘，并且通过将内部压力维持在一定且高于***外的水平，从而确保清洁度。 

另外，对于空调外机200的冷却盘管202、及空调内机300的冷却器301， 连接有对其进行控制用的冷冻机401～401c。此外，空调外机200的加热器203、及加湿器204上连接有对其进行控制用的锅炉500。 

图12是使用冷却水热量的冷冻机的工作台数控制的结构图。 

提供给空调外机200的冷却水由冷却 

水提供***400来制造并提供，对于冷冻机401a～401c的工作台数，在冷冻机运算部402a中，通过设置在冷却水回流配管403中的流量计404来收集冷却水流量；通过设置在冷却水流入二次头405中的温度计406来收集冷却水流入温度，通过设置在冷却水回流头407中的温度计408来收集冷却水回流温度，并且如图13所示的热量与冷冻机台数的关系图那样，根据每一台所构成的冷冻机所能处理的热量、和处理所需的热量来决定冷冻机的工作台数，并对冷冻机的台数进行控制，使得冷却水的温度为一定。 

对于使这种半导体工厂中的洁净室实现节能化的情况，目前，例如在专利文献1中提出了一种具有一般空调设备中的蓄热槽的空调机的节能运行相关、根据外界气体比焓来计算应当提供的冷却水温度，并改变及控制冷冻机的冷却水温度的方案。 

现有技术文献 

专利文献 

专利文献1：日本专利特开平10-292943号公报 

发明内容

发明所要解决的技术问题 

然而，对于根据外界气体比焓来改变冷冻机的冷却水温度的控制，由于冷冻机不会停止，因此需要使冷冻机附带设备配合冷冻机的工作，并持续运行。而且，虽然冷冻机的停止在冷冻机没有热负荷的情况下是有效的，但由于预测冷却水负荷较为困难，且在因急剧的外界气体条件的变化而使得需要冷冻机工作的情况下，冷冻机的启动也会相当耗时，因此，为安全起见，即使在没有热负荷的状况下，也使其继续工作。 

有鉴于上述问题，本发明的目的在于提供一种在洁净室的空调控制中，将外界气体条件考虑在内，并基于此来实现空调机的节能运行、以及空调 机的构成要素即冷冻机的节能运行的洁净室的空调控制方法。 

解决技术问题所采用的技术方案 

本发明的洁净室的空调控制方法的特征在于，在由空调外机将经空气调节后的空气送入洁净室来进行空调控制时，基于所述空调外机所吸入的外界气体的温度和湿度、所述洁净室的设置场所的气象数据的预报值、即预报温度和预报湿度，来计算此后的外界气体预测温度和外界气体预测湿度，根据所述外界气体预测温度和所述外界气体预测湿度来计算预测比焓及外界气体预测露点，根据所述预测比焓和外界气体预测温度及外界气体预测露点，来对向所述空调外机的冷却盘管提供制冷剂的制冷剂提供装置的运行进行控制。 

此外，本发明的洁净室的空调控制装置的特征在于，包括：空调外机，该空调外机具有对外界气体进行冷却的冷却盘管、对通过所述冷却盘管的外界气体进行加热的加热器、以及对通过所述加热器的外界气体进行加湿的加湿器，由此空调外机对外界气体进行空气调节并将其送入洁净室；温度计，该温度计测定所述空调外机吸入的外界气体的温度；湿度计，该湿度计测定所述空调外机吸入的外界气体的湿度；制冷剂提供装置，该制冷剂提供装置具有能进行并行运行的多台冷冻机，并向所述冷却盘管提供制冷剂；气象预报提供***，该气象预报提供***提供所述洁净室的设置场所的气象数据的预报值、即预报温度和预报湿度；以及运算部，该运算部根据从所述温度计和所述湿度计获得的外界气体的温度和湿度、以及从所述气象预报提供***获得的此后的外界气体预测温度和外界气体预测湿度，来计算预测比焓及外界气体预测露点，并且该运算部根据所述预测比焓、外界气体预测温度及外界气体预测露点来决定所述制冷剂提供装置中的所述多台冷冻机的工作台数。 

发明效果 

根据本发明，将外界气体条件考虑在内，并基于此来实现空调机的节能运行、以及空调机的构成要素的节能运行、即冷冻机的节能运行，因此，能以最少的能量来使工业用洁净室等恒温恒湿室的空气调节过程工作。 

附图说明

图1是空气调节***的结构图。 

图2是表示使用外界气体比焓的冷冻机台数控制的空气湿度线图。 

图3是表示空气调节过程中的状态变化的空气湿度线图。 

图4是表示使用外界气体露点的图3中的状态变化的改善效果的空气湿度线图。 

图5是表示无需提供冷却水的外界气体条件的空气湿度线图。 

图6是表示冷冻机台数控制的空气湿度线图。 

图7是预测***的结构图。 

图8是预测***的流程图。 

图9(a)是表示外界气体温度变化的图，图9(b)是表示预报温度变化的图。 

图10是利用预测***的冷冻机增加过程的流程图。 

图11是半导体工厂中的洁净室的空气调节的一般结构图。 

图12是现有的使用冷却水热量的冷冻机的工作台数控制装置的结构图。 

图13是表示冷冻机台数控制的图。 

具体实施方式

参照附图说明本发明的实施方式。 

图1是本发明的实施方式中的空气调节***的结构图。 

实施洁净室100的空调控制的该空气调节***具有空调外机200、和作为制冷剂提供装置的冷却水提供***400及运算部700。 

另外，对于洁净室100，从空气吹出部101将从空调外机200放出的空气放出到室内。一部分的库内空气作为废气206被放出到外部，剩余气体经由空调内机300的冷却器301与空气吹出部101进行循环。 

外界气体经由空调外机200的空气过滤器201与冷却盘管202相接触，并进一步与加热器203相接触，再进一步由加湿器204对其进行加湿，并利用空调外机风扇205送入洁净室100。加热器203和加湿器204与锅炉500相连 接。 

在空调外机200中处理的外界气体的外界气体温度和外界气体湿度由温度计605、湿度计606来进行检测。运算部700从温度计605和湿度计606实时地收集外界气体温度、外界气体湿度，并根据温度（°C）、湿度（％RH）来计算外界气体的比焓（kJ/kg）及外界气体露点（°CDP），并向冷却水提供***400的冷却水提供***控制部402、及空调外机200的温度指示调整计600发出运行指示。冷却水提供***控制部402基于运算部700的指示来使冷却水提供***400的内部运行。 

空调外机200的周边设置有测定进气温度的温度计604、指示进气温度的温度指示调整计602、及测定进气露点的露点计603、和指示进气露点的露点指示计601。 

空调外机200与冷却水提供***400通过向冷却盘管202提供冷却水的提供管线409进行连接。 

冷却水提供***400中连接有多台冷冻机401a、401b、401c、选择性地对冷却水流入主配管和冷却水回流主配管进行并行连接的旁通管线410、411、和冷冻机401a～401c的附带设备即冷却塔412、冷却水泵413。 

基于具体动作来说明运算部700的结构。 

运算部700对输入的信息进行处理，从而对在冷却水提供***400中运行的冷冻机的台数进行控制。具体而言，根据外界气体比焓、外界气体温度及外界气体露点来进行冷冻机台数控制。 

首先，说明外界气体比焓与冷冻机工作台数的关系。 

图2是表示使用外界气体比焓的冷冻机台数控制的空气湿度线图。应当由冷冻机处理的热量并非如图13所示的以往那样、根据冷却水热量计算得出，而是根据应当处理的外界气体的空气热量计算得出。而且，应当处理的外界气体的空气热量根据外界气体比焓计算得出，而外界气体比焓根据外界气体温度、外界气体湿度计算得出，因此，若已知空气热量与冷冻机工作台数的关系，则能将比焓与冷冻机工作台数关联起来。 

为了决定外界气体的空气热量和冷冻机的台数，计算应当处理的外界气体的热量Q（GJ）。对于应当处理的外界气体的热量Q，能由下式进行计 算，即，将根据外界气体温度和外界气体湿度计算出的外界气体比焓HA(kJ/kg)与、由温度指示调整计600所指示的冷却盘管202的冷却盘管出口温度下的比焓HB(kJ/kg)的差乘以应当由空调外机200处理的外界气体风量。通过将由此求得的应当处理的热量Q与每一台冷冻机所能处理的热量Q1（GJ）进行比较，能计算出外界气体的热量Q下的冷冻机台数。 

如上所述，热量Q取决于外界气体比焓HA，因此，通过计算任意热量Q下的外界气体比焓HA，能决定比焓和冷冻机的台数。 

这里，在图2中，将在外界气体比焓下工作的冷冻机的台数、1台、2台、3台表示为区域（1）（2）（3）。例如，点A1表示夏季的外界气体比焓的代表点，在此情况下，冷冻机的工作台数为3台。点B1表示中间期的外界气体比焓的代表点，冷冻机的工作台数为1台。 

图2中，点A2、点A3表示在外界气体温度、外界气体湿度的变化下产生变动的外界气体比焓。对于冷冻机的台数，若外界气体比焓在区域（1）（2）（3）所示的比焓的区域向上方区域移动，则增加冷冻机。若向下方区域移动，则减少冷冻机。 

对于图2的情况，当外界气体比焓从点A2减小到点A3时，冷冻机的工作台数从3台减少到2台。相反，当外界气体比焓从点A3增加到点A2时，冷冻机从2台增加到3台。 

接着，对在上述使用外界气体比焓的冷冻机的台数控制中加入利用外界气体温度及外界气体露点进行的台数控制的、本发明中的使用外界气体比焓、外界气体温度及外界气体露点的、冷冻机的台数控制进行说明。 

图3是示出了空气调节过程中的状态变化的空气湿度线图。点C1是表示图1中、由温度计604的温度指示调整计602所指示的提供温度、以及由露点计603的露点指示调整计601所示的提供露点的点。此外，点C2表示夏季的代表性外界气体温度、外界气体露点的点；点C3表示中间期的高外界气体温度、低外界气体露点的点。 

在空调外机200中，从点C2向点C1进行空气调节时，首先通过冷却盘管202进行冷却（S131）及除湿（S132），以达到温度指示调整计600所指示的温度171，再通过加热器203加热至温度指示调整计602所指示的提供温度 点C1（S133），由此来进行空气调节至向点C1的提供温度、提供露点。 

此外，在从点C3向点C1进行空气调节时，通过冷却盘管202冷却至温度指示调整计600所指示的温度172（S134），再通过加热器203加热至温度指示调整计602所指示的提供温度173（S135），再通过加湿器204加湿至露点指示调整计601所指示的提供露点、即点C1（S136），由此来进行空气调节至点C1的提供温度、提供露点。此时，在冷却盘管202中由温度指示调整计600所指示的温度无论是在点C2或点C3的外界气体条件下均相同（171=172），因此，点C3的冷却（S134）、加热（S135）在172与173的区间内是重复的，造成了能量的浪费（状态C）。 

该现象的产生是由于以往的空气调节过程的冷却盘管202的温度指示始终是固定的，而与外界气体的状态无关。因此，为了消除这种浪费，将外界气体露点和提供露点的状态分为两类并分别设定所需的冷却温度。这里，两个分类是指： 

（a）外界气体露点DPo≥提供露点DPs 

（b）外界气体露点DPo＜提供露点DPs 

对于（a）“DPo≥DPs”、即外界气体露点在提供露点以上的情况，需要在冷却盘管202中对露点进行调整。因此，设定温度取决于提供露点， 

使得温度指示调整计600的设定值171=露点指示调整计601的设定值点C1 

另一方面，对于（b）“DPo＜DPs”、即外界气体露点低于提供露点的情况，需要在冷却盘管202中对温度进行调整。因此，设定温度取决于提供温度， 

使得温度指示调整计600的设定值171=温度指示调整计602的设定值173 

其结果是，与以往的空气调节过程的冷却盘管202相比，在外界气体露点低于提供露点的情况下，冷却温度有所缓和，因此能减少冷却水使用量。 

图4是表示使用外界气体露点的图3中的状态变化的改善效果的空气湿度线图。 

由区域（A）表示（a）“DPo≥DPs”，由区域（B）表示（b）“DPo＜ DPs”。对于点C3，在区域（B）中，如图3的“状态C”那样冷却和加热相重复的部分在图4中得到了改善。 

图5是表示无需提供冷却水的外界气体条件的空气湿度线图。 

由区域（C）表示外界气体露点低于提供露点、且外界气体温度低于提供温度的状态。在从点C4向点C1进行空气调节时，通过加热器203加热至温度指示调整计602所指示的温度173（S151），再通过加湿器204加湿至露点指示调整计601所指示的提供露点、即点C1（S152）。可知在该点C4的外界气体状态下，无需在冷却盘管202中进行除湿、冷却。即，不使用冷却水，因此，即使停止冷却水提供***，气体条件仍属良好。 

图6是表示本发明的、利用外界气体比焓、外界气体温度及外界气体露点进行的冷冻机的台数控制的空气湿度线图，是在图2的使用外界气体比焓的冷冻机的台数控制中添加了图5中的、无需提供冷却水的外界气体温度及外界气体露点的条件的空气湿度线图。 

图6中的区域（0）示出了表示可以停止冷冻机的外界气体条件的区域，由此，可以通过求得外界气体比焓、外界气体温度及外界气体露点来决定冷冻机的台数控制。 

接着，将外界气体预测过程导入至利用外界气体比焓、外界气体温度及外界气体露点进行的冷冻机的台数控制中，并根据此后的预测比焓、外界气体预测温度及外界气体预测露点来预先计算出冷冻机的工作台数。 

图7是预测***的结构图。 

将预测***导入运算部700，并从温度计605收集外界气体温度，从湿度计606收集外界气体湿度。此外，通过气象预报提供***800并经由互联网通信网801来收集该地区的气象数据。 

图8是运算部700中的预测***的流程图。 

对于该预测***的控制周期，为了利用外界气体温度预测和外界气体湿度预测来进行冷冻机的台数控制，以1～10分钟左右的周期来进行处理。 

步骤S1中，由运算部700通过气象预报提供***800来收集预报温度和预报湿度。 

步骤S2中，通过温度计605、湿度计606来收集外界气体温度和外界气 体湿度的实测值。 

步骤S3中，根据步骤S1中收集到的预报温度和预报湿度来计算当前时刻t下的预报温度斜率X（°C/min）和预报湿度斜率Y（％/°C）。 

在步骤S4中进行外界气体预测。图9(a)表示外界气体温度的变化，图9(b)表示预报温度的变化。假设t为当前时刻、Tt为当前时刻t下实际的外界气体温度、Δt为冷冻机启动之前所需的时间（通常为30～60分钟左右）、t₁为希望预测的时刻（t₁=t+Δt），并对时刻t₁下的外界气体预测温度Tt₁的预测方法进行说明。 

根据下式来计算本发明中的外界气体预测温度Tt₁。 

外界气体预测温度Tt₁=Tt+X·Δt（°C） 

由此，根据实际的外界气体温度和预报温度斜率来求得外界气体预测温度Tt₁。 

根据气象预报信息的预报温度随时间变化的数据，将预报温度斜率X设为当前时刻t下的温度变化的斜率。由于气象预报信息每隔一定时间进行发布，因此能通过时间微分方法等来求得当前时刻t附近的两个温度数据。 

由此，能计算希望预测的时刻t₁下的外界气体预测温度。此外，由于外界气体预测湿度也可以采用与上述所示的外界气体温度的预测方法相同的方法来进行计算，故省略其说明。 

步骤S5中，利用外界气体预测温度和外界气体预测湿度并通过运算来计算希望预测的时刻t₁下的预测比焓及外界气体预测露点。 

步骤S6中，利用预测比焓、外界气体预测温度及外界气体预测露点，求出图6中所示的区域，由此来决定冷冻机台数。 

步骤S7中，将信息输出给冷却水提供***控制部402。 

步骤S6中，进一步利用预测到的预测比焓、外界气体预测温度及外界气体预测露点的变动来进行控制，以避免频繁地进行冷冻机工作台数的增加和减少。 

利用图6对增加和减少冷冻机的情况进行说明。 

例如，若当前时刻t下的外界气体比焓为点A3的区域（2），且时刻t₁下的预测比焓变为点A2的区域（3），则将冷冻机从2台增加到3台。 

下面对减少工作台数的情况进行说明。例如，对于当前时刻t下的外界气体比焓为点A2的区域（3），且时刻t₁时、预测比焓变为点A3的区域（2）的情况，在时刻t至时刻t₁之间，不减少冷冻机的工作台数。在减少冷冻机的工作台数的条件满足时刻t至时刻t₁之间预测到的所有预测比焓均为区域（2）、且时刻t₁下的外界气体比焓为区域（2）时，在时刻t₁时减少冷冻机。对于时刻t₁下的外界气体比焓不满足区域（2）的情况，不减少冷冻机。 

由此，对于冷冻机的增加，若预测要增加，则在该时刻立即增加，而对于冷冻机的减少，仅在持续一定时间以上地预测到要减少时、且在所预测到的时刻下外界气体条件也满足减少的情况下才减少冷冻机的台数。由此，能防止冷冻机的冷却能力不足使得冷却水温度上升。另外，对于外界气体比焓、外界气体温度及外界气体露点不稳定、使得反复进行增减的情况，也能防止反复地增加/减少冷冻机工作台数。 

此外，使用上述利用预测比焓、外界气体预测温度及外界气体预测露点的冷冻机的台数控制，来预先地进行增加冷冻机的待机运行，由此能稳定冷却水的提供品质。 

所谓的待机运行是指，通过预先使冷冻机工作，从而以在增加冷冻机之前就能处理冷却水的状态，来预先地将冷却水提供***400（图1）配管内的、温度上升的冷却水处理成提供品质温度。 

增加冷冻机时的待机运行由图1所示的向空调外机提供冷却水的提供管线409、以及将冷却水流入主配管和冷却水回流主配管相连的旁通管线410、411来进行。 

图10是利用预测***的冷冻机增加过程的流程图。 

步骤S1中，通过由运算部700预测到的时刻t₁下的预测比焓、外界气体预测温度及外界气体预测露点来预测冷冻机的工作台数。当在步骤S1中预想为要减少工作台数或工作台数不变时执行步骤S2。 

当在步骤S2中，当前时刻t的工作台数与预测的时刻t₁下的台数相同时，打开提供管线409。这里的打开是指向该管线通入冷却水。 

在步骤S3中关闭旁通管线410。这里的关闭是指不向该管线通入冷却水。 

当在步骤S1中运算部700判断需要增加工作台数时执行步骤S4。 

步骤S4中，向冷却水提供***控制部402发出指示，以使要增加的冷冻机进行待机运行。 

步骤S5中，冷却水提供***控制部402判断当前正在工作的冷冻机的台数。在当前的工作台数为0台的情况下执行步骤S6～步骤S11。 

步骤S6中，由于整个冷却水提供***400的冷却水配管内的冷却水的温度可能会上升，因此关闭提供管线409。 

在步骤S7中打开旁通管线410。 

在步骤S8中，使进行待机运行的冷冻机工作。 

在步骤S9中进行待机运行。当要增加的冷冻机进行待机运行以后，在所预测的时刻t₁下通过冷冻机台数控制发出台数增加的指示时，在步骤S10中使提供管线409打开，在步骤S11中，通过关闭旁通管线410来结束待机运行。 

当在步骤S5中判定当前的工作台数为1台或2台时，执行步骤S12～步骤S17。 

步骤S12中，由于已在向空调外机202提供冷却水，因此打开提供管线409。 

在步骤S13中打开旁通管线411。 

在步骤S14中，使进行待机运行的冷冻机工作。 

步骤S15中，在要增加的冷冻机进行待机运行之后，在所预测的时刻t₁下通过冷冻机台数控制来指示增加台数。 

在步骤S16中打开提供管线409。 

步骤S17中，通过关闭旁通管线411来结束待机运行。 

由此，通过停止冷冻机能同样地使构成冷却水提供***的其它设备（冷却塔412、冷却水泵413，图1）停止，因此，能提供一种能使其以最少的能量来进行工作、而且也能在使冷冻机工作时提供稳定的冷却水的方法。 

另外，上述实施方式中，冷却水提供***400具有多台冷冻机401a、401b、401c，运算部700根据运行条件来对应当在冷却水提供***400中并行运行的冷冻机的台数进行切换，从而根据外界气体的条件，来进行冷冻 机的最小负荷运行及空调外机冷却水负荷的最小运行，而根据运算部700的指示来使能力较大的单个冷冻机的运行能力可变也同样能实现节能。 

工业上的实用性 

本发明能根据外界气体的条件来进行冷冻机的最小负荷运行及空调外机冷却水负荷的最小运行，从而对使用洁净室的各种生产设备的运行经费的削减做出了贡献。 

标号说明 

100洁净室 

101空气吹出部 

200空调外机 

201空气过滤器 

202冷却盘管 

203加热器 

204加湿器 

205空调外机风扇 

206废气 

300空调内机 

301冷却器 

400冷却水提供*** 

401a、401b、401c冷冻机 

402冷却水提供***控制部 

409提供管线 

410、411旁通管线 

412冷却塔 

413冷却水泵 

500锅炉 

600温度指示调整计 

601露点指示调整计 

602温度指示调整计 

603露点计 

604温度计 

605温度计 

606湿度计 

700运算部 

800气象预报提供*** 

801互联网通信网。 

Claims (4)

1.一种洁净室的空调控制方法，在由空调外机将经空气调节后的空气送入洁净室来进行空调控制时，

在对所述空调外机所吸入的外界气体的温度和湿度进行测定后，基于该所测定的温度和湿度、及所述洁净室的设置场所的气象数据的预报值、即预报温度和预报湿度，来计算此后的外界气体预测温度和外界气体预测湿度，

根据所述外界气体预测温度和所述外界气体预测湿度来计算预测比焓及外界气体预测露点，

根据所述预测比焓和外界气体预测温度及外界气体预测露点，来对向所述空调外机的冷却盘管提供制冷剂的制冷剂提供装置的运行进行控制。

2.如权利要求1所述的洁净室的空调控制方法，其特征在于，

将根据所述测定到的温度和湿度计算出的外界气体露点、与在所述空气调节步骤中对洁净室进行空气调节的提供露点进行比较，对于所述冷却盘管的温度设定，

当外界气体露点≤提供露点时，对制冷剂提供装置的运行进行控制，以近似满足温度设定=提供温度；

当外界气体露点＞提供露点时，对制冷剂提供装置的运行进行控制，以近似满足温度设定=提供露点的温度。

3.如权利要求1或2所述的洁净室的空调控制方法，其特征在于，

当所述外界气体预测露点低于向所述洁净室进行空气调节的提供露点、且所述外界气体预测温度低于提供温度时，停止所述制冷剂提供装置的运行，以使得不对所述冷却盘管提供制冷剂。

4.一种洁净室的空调控制装置，包括：

空调外机，该空调外机具有对外界气体进行冷却的冷却盘管、对通过所述冷却盘管的外界气体进行加热的加热器、以及对通过所述加热器的外界气体进行加湿的加湿器，由此该空调外机对外界气体进行空气调节并将其送入洁净室；

温度计，该温度计测定所述空调外机所吸入的外界气体的温度；

湿度计，该湿度计测定所述空调外机所吸入的外界气体的湿度；

制冷剂提供装置，该制冷剂提供装置具有能并行运行的多台冷冻机，并向所述冷却盘管提供制冷剂；

气象预报提供***，该气象预报提供***提供所述洁净室的设置场所的气象数据的预报值、即预报温度和预报湿度；以及

运算部，该运算部根据从所述温度计和所述湿度计获得的外界气体的温度和湿度、和从所述气象预报提供***获得的此后的外界气体预测温度和外界气体预测湿度来计算预测比焓及外界气体预测露点，

并且该运算部根据所述预测比焓、外界气体预测温度及外界气体预测露点来决定所述制冷剂提供装置中的所述多台冷冻机的工作台数。

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