CN103268915B - 一种柔性多铁性器件 - Google Patents
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- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 109
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N iron Substances [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 104
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims abstract description 99
- 230000005690 magnetoelectric effect Effects 0.000 claims abstract description 23
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 26
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims description 7
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 3
- 239000004033 plastic Substances 0.000 claims description 3
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 claims description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 2
- 239000005060 rubber Substances 0.000 claims description 2
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 abstract description 27
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 8
- 239000003302 ferromagnetic material Substances 0.000 description 15
- 239000007775 ferroic material Substances 0.000 description 9
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 description 6
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 6
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 5
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 4
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 4
- 229910000697 metglas Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 4
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 4
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 4
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 4
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 3
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 3
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 3
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 3
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 3
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 230000005621 ferroelectricity Effects 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 3
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000011896 sensitive detection Methods 0.000 description 3
- 229910052712 strontium Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 3
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910001030 Iron–nickel alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002033 PVDF binder Substances 0.000 description 2
- 229910001566 austenite Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 description 2
- JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N bismuth atom Chemical compound [Bi] JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RIVZIMVWRDTIOQ-UHFFFAOYSA-N cobalt iron Chemical compound [Fe].[Co].[Co].[Co] RIVZIMVWRDTIOQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 2
- JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N ferric oxide Chemical compound O=[Fe]O[Fe]=O JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229960005191 ferric oxide Drugs 0.000 description 2
- 230000005307 ferromagnetism Effects 0.000 description 2
- UCNNJGDEJXIUCC-UHFFFAOYSA-L hydroxy(oxo)iron;iron Chemical compound [Fe].O[Fe]=O.O[Fe]=O UCNNJGDEJXIUCC-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N iron oxide Inorganic materials [Fe]=O UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N lanthanum atom Chemical compound [La] FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JQJCSZOEVBFDKO-UHFFFAOYSA-N lead zinc Chemical compound [Zn].[Pb] JQJCSZOEVBFDKO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910001092 metal group alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 2
- 125000002524 organometallic group Chemical group 0.000 description 2
- 229920002981 polyvinylidene fluoride Polymers 0.000 description 2
- 238000011160 research Methods 0.000 description 2
- 229910000938 samarium–cobalt magnet Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 2
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 2
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910020598 Co Fe Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002519 Co-Fe Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910003321 CoFe Inorganic materials 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CWYNVVGOOAEACU-UHFFFAOYSA-N Fe2+ Chemical compound [Fe+2] CWYNVVGOOAEACU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000807 Ga alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001329 Terfenol-D Inorganic materials 0.000 description 1
- CRXSVCPVXXWGCV-UHFFFAOYSA-N [Ca+2].[La+3].[O-][Mn]([O-])(=O)=O Chemical compound [Ca+2].[La+3].[O-][Mn]([O-])(=O)=O CRXSVCPVXXWGCV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NYEWSFOPOMFNLD-UHFFFAOYSA-N [Mn](=O)(=O)([O-])[O-].[Ba+2].[La+3] Chemical compound [Mn](=O)(=O)([O-])[O-].[Ba+2].[La+3] NYEWSFOPOMFNLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YMVZSICZWDQCMV-UHFFFAOYSA-N [O-2].[Mn+2].[Sr+2].[La+3] Chemical compound [O-2].[Mn+2].[Sr+2].[La+3] YMVZSICZWDQCMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MOSURRVHVKOQHA-UHFFFAOYSA-N [Tb].[Dy] Chemical compound [Tb].[Dy] MOSURRVHVKOQHA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 239000004411 aluminium Substances 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052454 barium strontium titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- OQCGPOBCYAOYSD-UHFFFAOYSA-N cobalt palladium Chemical compound [Co].[Co].[Co].[Pd].[Pd] OQCGPOBCYAOYSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AVMBSRQXOWNFTR-UHFFFAOYSA-N cobalt platinum Chemical compound [Pt][Co][Pt] AVMBSRQXOWNFTR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KPLQYGBQNPPQGA-UHFFFAOYSA-N cobalt samarium Chemical compound [Co].[Sm] KPLQYGBQNPPQGA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 238000013500 data storage Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 1
- 239000002305 electric material Substances 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910021389 graphene Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006249 magnetic particle Substances 0.000 description 1
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 description 1
- AJCDFVKYMIUXCR-UHFFFAOYSA-N oxobarium;oxo(oxoferriooxy)iron Chemical compound [Ba]=O.O=[Fe]O[Fe]=O.O=[Fe]O[Fe]=O.O=[Fe]O[Fe]=O.O=[Fe]O[Fe]=O.O=[Fe]O[Fe]=O.O=[Fe]O[Fe]=O AJCDFVKYMIUXCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N palladium Substances [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004549 pulsed laser deposition Methods 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- KERQQAJSJQVHDH-UHFFFAOYSA-N silver;dioxido(dioxo)manganese;lanthanum(3+) Chemical compound [Ag+].[La+3].[O-][Mn]([O-])(=O)=O.[O-][Mn]([O-])(=O)=O KERQQAJSJQVHDH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CIOAGBVUUVVLOB-UHFFFAOYSA-N strontium atom Chemical compound [Sr] CIOAGBVUUVVLOB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000013589 supplement Substances 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002207 thermal evaporation Methods 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
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Abstract
本发明提供了一种新型结构的柔性多铁性器件。该器件包括柔性多铁材料与支撑体;其中,支撑体与柔性多铁材料的接触面分布在柔性多铁材料的底部边缘,并且柔性多铁材料以该接触面为支撑呈悬空状。实验证实,这种结构一方面保证了该器件的“自支撑性”,从而能够避免柔性多铁材料底面直接置于其他刚性支撑体等表面而导致受到钉扎束缚作用大大减弱磁电耦合效应;另一方面保证了该器件的“柔性”,由于柔性多铁材料大部分呈悬空状,使磁电耦合过程中产生的震动被尽可能放大,从而能够实现较大的磁电耦合效应,因此,该器件在磁传感器和能量收集等领域具有广泛的应用前景。
Description
技术领域
本发明涉及多铁性材料技术领域,磁性传感器和能量收集领域,尤其涉及以一种柔性多铁性器件,能够应用磁传感和能量收集设备中。
背景技术
多铁性材料是一种集铁电性、铁磁性和铁弹性于一身的新型多功能材料。由于各种“铁性”之间存在耦合相互作用,多铁性材料具有一些独特的物理效应,比如,通过铁电性与铁磁性之间的耦合作用,可以利用磁场控制铁电性,也可以利用电场控制磁性,包括磁矩取向等。
多铁性材料在微弱磁场探测领域具有重要的应用前景,研究表明,多铁材料磁传感器预期灵敏度高达10-12T以上,甚至可以用于探测生物体所产生的微弱磁场。另外,多铁性材料在电场写入磁场读出式高密度信息存储等方面也具有重要的应用前景。因此,新型多铁性材料的探索、结构的设计、机理的研究对于发展超高灵敏度的磁传感器及能量收集具有重要的意义。
目前,多铁性材料包括刚性多铁材料与柔性多铁材料。刚性多铁材料往往制备在刚性基底表面,或者材料自身具有刚性支撑效果,因此存在难以施加应力、难以大规模制备等缺点。相比而言,柔性多铁材料无基底或者基底为柔性,因此不仅具有柔韧性、便于携带,还大大降低了基底的束缚力,增强了磁电耦合效应。
但是,柔性材料往往具有无定型性,由柔性多铁材料制成柔性多铁性器件使用时,一般需要将柔性多铁材料置于刚性支撑体上,或者是将柔性多铁材料限制在具有刚性作用的封装体内,因此在实际使用中该柔性多铁性器件的磁电耦合效应往往由于刚性支撑体或者封装体的钉扎束缚作用而减弱。
发明内容
本发明的技术目的是针对上述由柔性多铁材料制备柔性多铁性器件时所存在的问题,提供一种柔性多铁性器件,该器件能够降低刚性支撑体或者封装体对柔性多铁材料磁电耦合效应的影响,实现多铁材料中铁电铁磁之间更大的耦合以及在传感器和能量收集方面更为广泛的应用。
本发明实现上述技术目的所采取的技术方案为:一种柔性多铁性器件,主要包括柔性多铁材料,以及与柔性多铁材料底部相接触连接、用于支撑该柔性多铁材料的支撑体,所述的支撑体与柔性多铁材料的接触面分布在该柔性多铁材料的底部边缘,该柔性多铁材料以该接触面为支撑呈悬空状。
所述的柔性多铁材料包括单相多铁材料,或者由具有高居里温度、高磁化强度的铁磁材料与具有高铁电居里温度、高电极化强度的铁电材料构成的铁电/铁磁复合结构,如铁电/铁磁异质结或超晶格体系,即复合型多铁材料。
当柔性多铁材料为铁电/铁磁复合结构时,作为一种实现方式,自下而上依次为:底电极层、柔性铁电基底层、顶电极层、磁性材料层。作为另一种实现方式,自下而上依次为:顶端磁性材料层、底电极层、柔性铁电基底层、顶电极层、底端磁性材料层。
所述的支撑体与柔性多铁材料的接触面可以是闭合的环状结构,包括规则的环状结构,例如,圆环结构、椭圆环结构、中空的N边形结构N(N≥3)等,也包括不规则的环状结构;也可以是由n(n≥2)个彼此独立、无交叠的子接触面组成的整体,该子接触面形状包括规则形状,例如N(N≥3)边形结构,也包括不规则形状。
所述的柔性铁电基底层需要具有压电效应,该衬底包括但不限于单晶衬底、陶瓷衬底、金属衬底、有机物衬底、塑料衬底、铁电衬底等。
所述的顶电极层和底电极层采用非磁性材料构成,包括铂、金、钛、钨、钽、铝、铜、银及其合金等。
所述的支撑体采用非磁性材料构成,包括但不限于玻璃、塑料、橡胶等材料。
所述的铁磁材料层需要具有磁致伸缩效应,其构成包括但不限于磁性金属、磁性金属合金、磁性氧化物、有机磁性材料等。
其中,所述的磁性金属、磁性金属合金、磁性氧化物、有机磁性材料的选用不限,包括铁(Fe)、钴(Co)、镍(Ni)、石墨烯、铁钴合金(Fe-Co)、铁镍合金(Fe-Ni)、钴铬合金(Co-Cr)、钴钯多层膜(Co/Pd)、钴铂多层膜(Co/Pt)、钐钴合金(Sm-Co)、钐钴铬合金(Sm-Co-Cr)、铽镝铁磁致伸缩合金(Terfenol-D)、铁镓合金(Fe-Ga)、钴掺杂的γ相三氧化二铁(Co-γ-Fe2O3)、钴掺杂的四氧化三铁(Co-Fe3O4)、γ相三氧化二铁(γ-Fe2O3)、四氧化三铁(Fe3O4)、钡铁氧体(BaFe2O4)、锶铁氧体(SrFe2O4)、镍铁氧体(Ni Fe2O4)、钴铁氧体(CoFe2O4)、锰酸锶镧(La,Sr)MnO3、锰酸钙镧(La,Ca)MnO3、锰酸钡镧(La,Ba)MnO3、锰酸铅镧(La,Pb)MnO3、锰酸银镧(La,Ag)MnO3、磁性颗粒掺杂的有机聚合物。
所述的铁电(压电)材料层的选用不限,包括钛酸钡(BaTiO3)、钛酸钡的掺杂材料、铅基铁电材料或者单相多铁材料构成;铅基铁电材料可以是钛酸铅(PbTiO3)、锆钛酸铅(Pb(Zr,Ti)O3)、钛酸铅镧((La,Pb)TiO3)、锆钛酸铅镧((La,Pb)(Zr,Ti)O3)、铌镁酸铅(Pb(Mg,Nb)O3)、铌锌酸铅(Pb(Zn,Nb)O3)、铌钪酸铅(Pb(Sc,Nb)O3)、铌镁酸铅-钛酸铅(Pb(Mg,Nb)O3-PbTiO3)、铌锌酸铅-钛酸铅(Pb(Zn,Nb)O3-PbTiO3)或者铌钪酸铅-钛酸铅(Pb(Sc,Nb)O3-PbTiO3)、钛酸钡(BaTiO3)、钛酸锶钡((Ba,Sr)TiO3)、铁酸铋(BiFeO3)等;单相多铁材料可以是铁酸铋(BiFeO3)、有机铁电材料。
本发明柔性多铁性器件的制备方法简单易行,将支撑体固定在柔性多铁材料的底部边缘即可。其中柔性多铁材料的制备技术包括但不限于磁控溅射法、热蒸发法、电子束蒸发法、溶胶凝胶法或者脉冲激光沉积法等。
当柔性多铁材料为铁电/铁磁复合结构时,柔性铁电基底层可以通过购买商业化的柔性铁电基底而得到;也可以利用牺牲层的方法制备柔性铁电基底层。
本发明所述的柔性多铁性器件具有多种用途。例如,将其放置在外界磁场中,即可以构成磁场探测器。在工作状态时,外界施加的偏置场会使器件的磁电耦合的大小发生变化,导致在一定的输入电压下,输出电压发生变化,从而实现对磁场的灵敏探测。
此外,若对本发明所述的柔性多铁性器件加入某个频率的振动,即可以构成能量收集器件。在工作状态时,外加振动可以影响该柔性多铁性器件的振动频率,导致铁电材料的输出发生变化,从而实现能量的收集。
综上所述,本发明提供的柔性多铁性器件包括柔性多铁材料与支撑体,该支撑体与柔性多铁材料的底部接触面积小于该柔性多铁材料的底部面积,并且该柔性多铁材料以接触面为支撑呈悬空状。这种结构一方面保证该柔性多铁性器件的“自支撑性”,即在柔性多铁性器件中提供了与多铁性材料相接触连接、并且接触面尽可能小的支撑体,以支撑该多铁性材料,从而避免柔性多铁材料底面直接置于其他刚性支撑体等表面,导致柔性多铁材料整个底面受到钉扎束缚作用而磁电耦合效应大大减弱;另一方面保证该柔性多铁性器件的“柔性”,即以该接触面为支撑,柔性多铁材料呈悬空状,避免了柔性多铁材料的底部束缚,使磁电耦合过程中产生的震动被尽可能放大,从而实现较大的磁电耦合效应。因此,与现有技术相比,本发明具有如下有益效果:
(1)结构设计简单巧妙,通过对柔性多铁材料施加支撑体,既可以使磁和电之间的相互耦合作用增强,又可以使原本无定形的柔性多铁材料制作成型,并制成各种结构的器件,在实际生活中有广泛的应用价值;
(2)通过对支撑***置与结构的调整,有效提高了该柔性多铁性器件的磁电耦合效应,具有良好的工业实际应用前景;
(3)可扩展性强,并且适用性强,能够应用于电感、多铁性磁传感器、磁记录设备等多种实体中。
附图说明
图1是本发明实施例1柔性多铁性器件中的纵切面剖视图;
图2是图1中支撑体的横截面示意图;
图3是本发明实施例1柔性多铁性器件用于磁场探测器的结构示意图;
图4是本发明实施例1柔性多铁性器件用于能量收集器的结构示意图;
图5是本发明实施例1柔性多铁性器件在外加偏置场下的磁电耦合效应图;
图6是本发明实施例2柔性多铁性器件中的纵切面剖视图;
图7是图6中支撑体的横截面示意图。
具体实施方式
以下结合附图实施例对本发明作进一步详细说明,需要指出的是,以下所述实施例旨在便于对本发明的理解,而对其不起任何限定作用。
图1-7中的附图标记为:底电极1、柔性铁电基底2、顶电极3、顶端铁磁材料层4、底端铁磁材料层5、支撑体6、电极引线及锁相输出7、亥姆霍兹线圈8、柔性多铁材料9。
实施例1:
本实施例中,如图1所示,柔性多铁性器件主要包括柔性多铁材料9,以及与柔性多铁材料9底部相接触连接、用于支撑该柔性多铁材料9的支撑体6。
支撑体6为中空的圆柱状结构,其横截面如图2所示为圆环状,该支撑体6分布在柔性多铁材料9的底部边缘,与柔性多铁材料9的接触面为圆环形。以该接触面为支撑,柔性多铁材料9呈悬空状。
如图1所示,柔性多铁材料9自下往上依次为:底电极1、柔性铁电基底2、顶电极3、顶端铁磁材料层4。其中,柔性铁电基底2为PVDF构成;顶端铁磁材料层4由非晶丝metglas构成,其磁致伸缩系数为60ppm;底电极1和顶电极3均为Al材质。
上述柔性多铁性器件的制备方法如下:
步骤1:在柔性铁电基底2的上下表面分别镀顶电极3与底电极1,然后在顶电极3表面涂环氧树脂胶,将磁性材料层黏贴在顶电极3表面,将粘结好的样品两面分别固定在两个载玻片中间,利用夹子将载玻片固定,放至阴凉通风处,待牢固后取出样品,即得到柔性多铁材料9;
步骤2:选取合适高度和大小的中空圆柱状玻璃支撑体6制作支撑结构,保持该圆柱状支撑体6表面洁净,不带有磁性杂质,同时,保证该圆柱状支撑体6的表面完全平整,用以支撑上述柔性多铁材料9;
步骤3:将制备好的柔性多铁材料9底部边缘粘结在准备好的支撑体6上(利用环氧树脂胶或者502胶),即该支撑体6与柔性多铁材料9的接触面分布在该柔性多铁材料9的底部边缘,使该柔性多铁材料9以该接触面为支撑形成“鼓”式或悬空式结构,并在顶电极3和底电极1两端引出电极及锁相输出7,即得到如图1所示的柔性多铁性器件。
当对上述制得的柔性多铁性器件施加一个交流磁场时,由于顶端铁磁材料层4的磁致伸缩效应,会引起顶端铁磁材料层4的metglas非晶丝的震动,从而带动柔性铁电基底2的震动,进而由于压电效应,产生一个输出电压。由于这种结构的柔性多铁性器件中支撑体6与柔性多铁材料9的接触面位于柔性多铁材料9的底部边缘,并且该接触面远小于柔性多铁材料9的底部面积,同时以该接触面为支撑,柔性多铁材料9呈悬空状,因此有效避免了柔性多铁材料9的底部束缚,使磁电耦合过程中产生的震动被尽可能放大,从而能够实现较大的磁电耦合效应。
如图3所示,将上述制得的柔性多铁性器件放入一个亥姆霍兹线圈8中,探测其电压输出,即可用来做磁传感器。在工作状态时,外界施加的偏置场会使磁电耦合的大小发生变化,导致在一定的输入电压下,输出电压发生变化,从而实现对磁场的灵敏探测。
当对上述制得的柔性多铁性器件加入某个频率的振动,如图4所示,即可以构成能量收集器件。在工作状态时,外加振动可以影响该柔性多铁性器件的振动频率,导致铁电材料的输出发生变化,从而实现能量的收集。
通过磁电耦合测试***测试上述制备得到的柔性多铁性器件,结果如图5所示,可以看出,该柔性多铁性器件具有较大的磁电耦合效应,在外加10Oe偏置场的情况下,其磁电耦合增大至原来的十倍,说明这个器件对外场非常敏感,能够用于微弱磁场探测。
实施例2:
本实施例中,如图6所示,柔性多铁性器件主要包括柔性多铁材料9,以及与柔性多铁材料9底部相接触连接、用于支撑该柔性多铁材料9的支撑体6。
支撑体6为两个完全相同的柱状体组成。其横截面如图7所示为长方形,该支撑体6分布在柔性多铁材料9的底部两端边缘,与柔性多铁材料9的接触面是由两个彼此独立、无交叠、形状为长方形的子接触面组成。以该接触面为支撑,柔性多铁材料9呈悬空状。
如图6所示,柔性多铁材料9自下往上依次为:底端铁磁材料层5、底电极1、柔性铁电基底2、顶电极3、顶端铁磁材料层4。其中,柔性铁电基底2为PVDF构成;底端铁磁材料层5与顶端铁磁材料层4由非晶丝metglas构成,其磁致伸缩系数为60ppm;底电极1和顶电极3均为Al材质。
上述柔性多铁性器件的制备方法如下:
步骤1:在柔性铁电基底2的上下表面分别镀顶电极3与底电极1,然后在顶电极3表面涂环氧树脂胶,将顶端铁磁材料层4黏贴在顶电极3表面,底端铁磁材料层5黏贴在底电极1表面,将粘结好的样品两面分别固定在两个载玻片中间,利用夹子将载玻片固定,放至阴凉通风处,待牢固后取出样品,即得到柔性多铁材料9;
步骤2:选取两个完全相同的横截面为矩形的柱状体作为支撑体6,保持该支撑体6表面洁净,不带有磁性杂质,同时,保证该支撑体6的表面完全平整,用以支撑上述柔性多铁材料9;
步骤3:将制备好的柔性多铁材料9的底部两端边缘粘结在准备好的支撑体6上(利用环氧树脂胶或者502胶),即该支撑体6与柔性多铁材料9的接触面分布在该柔性多铁材料9的底部两端边缘,使该柔性多铁材料9以该接触面为支撑形成悬空式结构,并在顶电极3和底电极1两端引出电极,即得到如图6所示的柔性多铁性器件。
当对上述制得的柔性多铁性器件施加一个交流磁场时,由于铁磁材料层的磁致伸缩效应,metglas非晶丝产生震动,从而带动柔性铁电基底2的震动,进而由于压电效应,产生一个输出电压。由于这种结构的柔性多铁性器件中支撑体6与柔性多铁材料9的接触面位于柔性多铁材料9的底部边缘,并且该接触面远小于柔性多铁材料9的底部面积,同时以该接触面为支撑,柔性多铁材料9呈悬空状,因此有效避免了柔性多铁材料9的底部束缚,使磁电耦合过程中产生的震动被尽可能放大,从而能够实现较大的磁电耦合效应。
类似图3所示,将上述制得的柔性多铁性器件放入一个亥姆霍兹线圈8中,探测其电压输出,即可用来做磁传感器。在工作状态时,外界施加的偏置场会使磁电耦合的大小发生变化,导致在一定的输入电压下,输出电压发生变化,从而实现对磁场的灵敏探测。
类似图4所示,当对上述制得的柔性多铁性器件加入某个频率的振动,即可以构成能量收集器件。在工作状态时,外加振动可以影响该柔性多铁性器件的振动频率,导致铁电材料的输出发生变化,从而实现能量的收集。
通过磁电耦合测试***测试上述制备得到的柔性多铁性器件,结果类似图5所示,可以看出,该柔性多铁性器件具有较大的磁电耦合效应,并且这种磁电耦合效应对外加偏置场以及频率等外在条件非常敏感,能够用于微弱磁场探测。
以上所述的实施例对本发明的技术方案进行了详细说明,应理解的是以上所述仅为本发明的具体实施例,并不用于限制本发明,凡在本发明的原则范围内所做的任何修改、补充或类似方式替代等,均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (8)
1.一种具有大磁电耦合效应的柔性多铁性器件,其特征是:包括柔性多铁材料,以及与柔性多铁材料底部相接触连接、用于支撑该柔性多铁材料的支撑体;所述的柔性多铁材料具有磁电耦合效应;所述的支撑体与柔性多铁材料的接触面分布在该柔性多铁材料的底部边缘,并且所述的柔性多铁材料以该接触面为支撑呈悬空状。
2.根据权利要求1所述的具有大磁电耦合效应的柔性多铁性器件,其特征是:所述的柔性多铁材料包括单相多铁材料与复合型多铁材料。
3.根据权利要求1所述的具有大磁电耦合效应的柔性多铁性器件,其特征是:所述的柔性多铁材料为复合型多铁材料时,其结构自下而上依次为:底电极层、柔性铁电基底层、顶电极层、磁性材料层。
4.根据权利要求1所述的具有大磁电耦合效应的柔性多铁性器件,其特征是:所述的柔性多铁材料为复合型多铁材料时,其结构自下而上依次为:底端磁性材料层、底电极层、柔性铁电基底层、顶电极层、顶端磁性材料层。
5.根据权利要求1至4中任一权利要求所述的具有大磁电耦合效应的柔性多铁性器件,其特征是:所述的支撑体与柔性多铁材料的接触面是闭合的环状结构,或者是由n个彼此独立、无交叠的子接触面组成的整体,所述的n≥2。
6.根据权利要求5所述的具有大磁电耦合效应的柔性多铁性器件,其特征是:所述的环状结构包括圆环结构、椭圆环结构、中空的N边形结构,所述的N≥3。
7.根据权利要求5所述的具有大磁电耦合效应的柔性多铁性器件,其特征是:所述的子接触面形状包括N边形结构,所述的N≥3。
8.根据权利要求1至4中任一权利要求所述的具有大磁电耦合效应的柔性多铁性器件,其特征是:所述的支撑体采用非磁性材料构成,包括玻璃、塑料、橡胶中的一种或两种的混合物。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201310182434.3A CN103268915B (zh) | 2013-05-15 | 2013-05-15 | 一种柔性多铁性器件 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201310182434.3A CN103268915B (zh) | 2013-05-15 | 2013-05-15 | 一种柔性多铁性器件 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN103268915A CN103268915A (zh) | 2013-08-28 |
CN103268915B true CN103268915B (zh) | 2015-09-30 |
Family
ID=49012535
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201310182434.3A Active CN103268915B (zh) | 2013-05-15 | 2013-05-15 | 一种柔性多铁性器件 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN103268915B (zh) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105720188A (zh) * | 2016-03-03 | 2016-06-29 | 天津理工大学 | 一种基于磁电效应的铁电/铁磁复合薄膜的磁电存储元件 |
CN106637092A (zh) * | 2016-12-27 | 2017-05-10 | 苏州思创源博电子科技有限公司 | 一种磁电复合薄膜的制备方法 |
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CN101111099A (zh) * | 2006-07-20 | 2008-01-23 | 星电株式会社 | 压电式电声转换器 |
CN101645484A (zh) * | 2009-03-02 | 2010-02-10 | 中国科学院声学研究所 | 软支撑桥式硅微压电超声换能器芯片及其制备方法 |
CN102427111A (zh) * | 2011-11-28 | 2012-04-25 | 西交利物浦大学 | 一种柔性的层状磁电元件 |
CN203367367U (zh) * | 2013-05-15 | 2013-12-25 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 | 一种柔性多铁性器件 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20050031488A1 (en) * | 2003-08-06 | 2005-02-10 | Hui Ge | Sample array test slide with suspended membrane |
US8993092B2 (en) * | 2011-02-18 | 2015-03-31 | Ut-Battelle, Llc | Polycrystalline ferroelectric or multiferroic oxide articles on biaxially textured substrates and methods for making same |
-
2013
- 2013-05-15 CN CN201310182434.3A patent/CN103268915B/zh active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN101111099A (zh) * | 2006-07-20 | 2008-01-23 | 星电株式会社 | 压电式电声转换器 |
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CN203367367U (zh) * | 2013-05-15 | 2013-12-25 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 | 一种柔性多铁性器件 |
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---|---|
CN103268915A (zh) | 2013-08-28 |
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