CN103219270A - 机械手定位装置 - Google Patents

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姜葳
廉杰
芦佳
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Piotech Inc
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Abstract

机械手定位装置，主要解决现有等离子体增强化学气象沉积设备定位精度不高，效率低下的问题。该装置包括对中块主体，对中块主体的四个边中有三条边制有挡边；上述对中块主体上制有工艺孔，在工艺孔间制有观察孔。上述工艺孔为长方形；上述观察孔为圆形。使用时，当对中块主体的三个挡边与真空机械手手指对齐时，观察孔的圆心也就是手指上放晶圆时的圆心。在定位时，使对中块的观察孔分别与EFEM手指上的圆环，加热盘定位工装上的圆孔同心，则定位完成。本发明的特点在于：不需要准备晶圆来辅助定位，效率提高。操作时只需要观察一个位置，且由于对中块观察孔小，便于观察，精度提高。

Description

机械手定位装置
技术领域
本发明涉及一种机械手定位装置，主要应用于等离子体增强化学气象沉积设备中，用于完成真空机械手在反应腔和加热盘的定位，或在过渡腔和设备前端模块机械手的定位。属于半导体薄膜沉积应用及制备技术领域。
背景技术
在12寸转8寸的PECVD（等离子体增强化学气象沉积）设备中，EFEM机械手的手指是经处理的一头为圆角的平板，该平板在和真空机械手手指交接时，为了避免干涉，真空机械手手指需要做成叉形的。在进行定位时，传统方法是在EFEM的手指上放一片晶圆，伸入LoadLock真空机械手的上方，目视晶圆与下面手指四周的距离大致相等时，定位完成。真空机械手与加热盘定位时，在真空机械手上放一片晶圆，手指伸入加热盘上方，使晶圆与加热盘同心时，定位完成。由于晶圆尺寸较大，两种定位方法都需要反复观察晶圆四周的位置，由于观察角度不同等原因，而造成定位误差较大，其工作效率也不高。
发明内容
本发明以解决上述问题为目的，主要解决现有等离子体增强化学气象沉积设备定位精度不高，效率低下的问题。
为实现上述目的，本发明采用下述技术方案：机械手定位装置，该装置包括对中块主体（1），对中块主体（1）的四个边中有三条边制有挡边，
上述对中块主体（1）上制有工艺孔（3），在工艺孔（3）间制有观察孔（4）。
上述工艺孔（3）为长方形；上述观察孔（4）为圆形。
上述对中块主体（1）的四个边中的挡边，其相对的两个短边上制有长挡边（2），在另外的一条长边上制有短挡边（11）。
上述对中块主体（1）上的观察孔（4）设在两个工艺孔（3）中间的位置。
上述对中块主体上的观察孔的位置是经过精心设计的，当对中块主体的三个挡边与真空机械手手指对齐时，观察孔的圆心也就是手指上放晶圆时的圆心。在定位时，使对中块的观察孔分别与EFEM手指上的圆环，加热盘定位工装上的圆孔同心，则定位完成。
本发明的有益效果是：1、不需要准备晶圆来辅助定位。2、效率提高，只需要观察一个位置。3、由于对中块观察孔小，便于观察，精度提高。
附图说明
图1是本发明的结构示意图。
图2是图1的后视图。
图3是EFEM机械手的手指结构示意图。
图4是真空机械手手指与EFEM手指定位示意图。
图5是真空机械手手指与EFEM手指定位俯视图
图6是真空机械手手指与加热盘定位示意图。
图7是真空机械手手指与加热盘定位俯视图
具体实施方式
实施例：
由图1、图2可见，机械手定位装置，该装置包括对中块主体1，对中块主体1的四个边中有三条边制有挡边，上述对中块主体1上制有工艺孔3，在工艺孔3间制有观察孔4。
上述工艺孔3为长方形；上述观察孔4为圆形。
上述对中块主体1的四个边中的挡边，其相对的两个短边上制有长挡边2，在另外的一条长边上制有短挡边11。
上述对中块主体1上的观察孔4设在两个工艺孔3中间的位置。
所述长挡边2和短挡边11的作用是和真空机械手手指7对齐；工艺孔3的作用减轻结构重量，减少真空机械手手指7的变形；观察孔4的作用是观察、定位。
由图3、图4可见，真空机械手与EFEM手指定位时，将对中块主体1放在真空机械手手指7上并对齐。EFEM手指5从对中块的下方伸入。
由图5可见，对中块主体1上的观察孔4与下方EFEM手指5的圆环6同心时，定位完成。
由图6可见，真空机械手与加热盘定位时，将加热盘定位工装8放在加热盘10上并对齐。对中块主体1放在真空机械手手指7上并对齐。真空机械手手指7伸入加热盘定位工装8和加热盘10之间的空隙。
由图7可见，加热盘定位工装8的圆孔9与下方对中块主体1的观察孔4同心时，定位完成。

Claims (4)

1.一种机械手定位装置，其特征在于：该装置包括对中块主体（1），对中块主体（1）的四个边中有三条边制有挡边，上述对中块主体（1）上制有工艺孔（3），在工艺孔（3）间制有观察孔（4）。
2.如权利要求1所述的机械手定位装置，其特征在于：上述工艺孔（3）为长方形；上述观察孔（4）为圆形。
3.如权利要求1所述的机械手定位装置，其特征在于：所述对中块主体（1）的四个边中的挡边，其相对的两个短边上制有长挡边（2），在另外的一条长边上制有短挡边（11）。
4.如权利要求1所述的机械手定位装置，其特征在于：所述对中块主体（1）上的观察孔（4）设在两个工艺孔（3）中间的位置。
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PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C02 Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001)
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

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