CN103219270A - 机械手定位装置 - Google Patents
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Abstract
机械手定位装置,主要解决现有等离子体增强化学气象沉积设备定位精度不高,效率低下的问题。该装置包括对中块主体,对中块主体的四个边中有三条边制有挡边;上述对中块主体上制有工艺孔,在工艺孔间制有观察孔。上述工艺孔为长方形;上述观察孔为圆形。使用时,当对中块主体的三个挡边与真空机械手手指对齐时,观察孔的圆心也就是手指上放晶圆时的圆心。在定位时,使对中块的观察孔分别与EFEM手指上的圆环,加热盘定位工装上的圆孔同心,则定位完成。本发明的特点在于:不需要准备晶圆来辅助定位,效率提高。操作时只需要观察一个位置,且由于对中块观察孔小,便于观察,精度提高。
Description
技术领域
本发明涉及一种机械手定位装置,主要应用于等离子体增强化学气象沉积设备中,用于完成真空机械手在反应腔和加热盘的定位,或在过渡腔和设备前端模块机械手的定位。属于半导体薄膜沉积应用及制备技术领域。
背景技术
在12寸转8寸的PECVD(等离子体增强化学气象沉积)设备中,EFEM机械手的手指是经处理的一头为圆角的平板,该平板在和真空机械手手指交接时,为了避免干涉,真空机械手手指需要做成叉形的。在进行定位时,传统方法是在EFEM的手指上放一片晶圆,伸入LoadLock真空机械手的上方,目视晶圆与下面手指四周的距离大致相等时,定位完成。真空机械手与加热盘定位时,在真空机械手上放一片晶圆,手指伸入加热盘上方,使晶圆与加热盘同心时,定位完成。由于晶圆尺寸较大,两种定位方法都需要反复观察晶圆四周的位置,由于观察角度不同等原因,而造成定位误差较大,其工作效率也不高。
发明内容
本发明以解决上述问题为目的,主要解决现有等离子体增强化学气象沉积设备定位精度不高,效率低下的问题。
为实现上述目的,本发明采用下述技术方案:机械手定位装置,该装置包括对中块主体(1),对中块主体(1)的四个边中有三条边制有挡边,
上述对中块主体(1)上制有工艺孔(3),在工艺孔(3)间制有观察孔(4)。
上述工艺孔(3)为长方形;上述观察孔(4)为圆形。
上述对中块主体(1)的四个边中的挡边,其相对的两个短边上制有长挡边(2),在另外的一条长边上制有短挡边(11)。
上述对中块主体(1)上的观察孔(4)设在两个工艺孔(3)中间的位置。
上述对中块主体上的观察孔的位置是经过精心设计的,当对中块主体的三个挡边与真空机械手手指对齐时,观察孔的圆心也就是手指上放晶圆时的圆心。在定位时,使对中块的观察孔分别与EFEM手指上的圆环,加热盘定位工装上的圆孔同心,则定位完成。
本发明的有益效果是:1、不需要准备晶圆来辅助定位。2、效率提高,只需要观察一个位置。3、由于对中块观察孔小,便于观察,精度提高。
附图说明
图1是本发明的结构示意图。
图2是图1的后视图。
图3是EFEM机械手的手指结构示意图。
图4是真空机械手手指与EFEM手指定位示意图。
图5是真空机械手手指与EFEM手指定位俯视图
图6是真空机械手手指与加热盘定位示意图。
图7是真空机械手手指与加热盘定位俯视图
具体实施方式
实施例:
由图1、图2可见,机械手定位装置,该装置包括对中块主体1,对中块主体1的四个边中有三条边制有挡边,上述对中块主体1上制有工艺孔3,在工艺孔3间制有观察孔4。
上述工艺孔3为长方形;上述观察孔4为圆形。
上述对中块主体1的四个边中的挡边,其相对的两个短边上制有长挡边2,在另外的一条长边上制有短挡边11。
上述对中块主体1上的观察孔4设在两个工艺孔3中间的位置。
所述长挡边2和短挡边11的作用是和真空机械手手指7对齐;工艺孔3的作用减轻结构重量,减少真空机械手手指7的变形;观察孔4的作用是观察、定位。
由图3、图4可见,真空机械手与EFEM手指定位时,将对中块主体1放在真空机械手手指7上并对齐。EFEM手指5从对中块的下方伸入。
由图5可见,对中块主体1上的观察孔4与下方EFEM手指5的圆环6同心时,定位完成。
由图6可见,真空机械手与加热盘定位时,将加热盘定位工装8放在加热盘10上并对齐。对中块主体1放在真空机械手手指7上并对齐。真空机械手手指7伸入加热盘定位工装8和加热盘10之间的空隙。
由图7可见,加热盘定位工装8的圆孔9与下方对中块主体1的观察孔4同心时,定位完成。
Claims (4)
1.一种机械手定位装置,其特征在于:该装置包括对中块主体(1),对中块主体(1)的四个边中有三条边制有挡边,上述对中块主体(1)上制有工艺孔(3),在工艺孔(3)间制有观察孔(4)。
2.如权利要求1所述的机械手定位装置,其特征在于:上述工艺孔(3)为长方形;上述观察孔(4)为圆形。
3.如权利要求1所述的机械手定位装置,其特征在于:所述对中块主体(1)的四个边中的挡边,其相对的两个短边上制有长挡边(2),在另外的一条长边上制有短挡边(11)。
4.如权利要求1所述的机械手定位装置,其特征在于:所述对中块主体(1)上的观察孔(4)设在两个工艺孔(3)中间的位置。
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Family
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Country Status (1)
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CN (1) | CN103219270A (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN110379741A (zh) * | 2019-07-23 | 2019-10-25 | 沈阳拓荆科技有限公司 | 一种应用于调整两个件同心的工装 |
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2013
- 2013-03-19 CN CN2013100886319A patent/CN103219270A/zh active Pending
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C02 | Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001) | ||
WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20130724 |