CN103217816B - 阵列基板的检测方法、检测台和检测设备 - Google Patents
阵列基板的检测方法、检测台和检测设备 Download PDFInfo
- Publication number
- CN103217816B CN103217816B CN201310112385.6A CN201310112385A CN103217816B CN 103217816 B CN103217816 B CN 103217816B CN 201310112385 A CN201310112385 A CN 201310112385A CN 103217816 B CN103217816 B CN 103217816B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- unit
- pick
- base palte
- array base
- confirmation unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims abstract description 73
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 claims abstract description 69
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims abstract description 39
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims abstract description 26
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 21
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 claims abstract description 19
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 claims description 11
- 238000003491 array Methods 0.000 claims description 9
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 claims description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
本发明公开了一种阵列基板的检测方法，包括：由确认部对检测装置进行检测；根据检测结果判断检测装置的状态是否正常，若是，则由该检测装置对待检测的阵列基板进行检测。本发明还公开了一种检测台和检测设备。在对每一片或每一批阵列基板进行缺陷检测前，使检测装置先通过确认部确认检测装置的状态是否正常，从而可以避免状态异常的检测装置对阵列基板进行检测，进而可以准确地判断阵列基板是否存在缺陷，提高了对阵列基板的检测效率。<!--1-->
Description
技术领域
本发明涉及到液晶面板检测技术领域，特别涉及到一种液晶面板的阵列基板的检测方法、检测台和检测设备。
背景技术
在对阵列基板进行缺陷检测时，现有的设计通常是通过检测装置来模拟TFT-LCD对组后的状况，在检测时，将检测装置安装在所检测的阵列基板上方，并且移动检测装置来检测阵列基板的缺陷。但是，由于通过检测装置检测阵列基板的缺陷时需要距离阵列基板很近，这样，如检测装置本身或阵列基板上有灰尘时，在检测装置在阵列基板上方移动的过程中，如灰尘附着在检测装置上并随着检测装置移动就极有可能对阵列基板及检测装置造成损伤；并且，由于不能在检测前确定检测装置的状态是否正常，因此，即使在检测中发现异常，也无法判断是检测装置自身的问题还是阵列基板存在缺陷，从而造成阵列基板的检测效率较低。
发明内容
本发明的主要目的为提供一种阵列基板的检测方法、检测台和检测设备，旨在避免状态异常的检测装置对待检测阵列基板进行检测，提高阵列基板的检测效率。
本发明提供一种阵列基板的检测方法，包括：
由确认部对检测装置进行检测；
根据检测结果判断检测装置的状态是否正常，若是，则由该检测装置对待检测的阵列基板进行检测。
优选地，在执行所述由确认部对检测装置进行检测之前，还包括：
在检测台上设置至少一确认部。
优选地，所述确认部为至少一个所述待检测的阵列基板的像素单元结构相同的像素单元。
优选地，所述根据检测结果判断检测装置的状态是否正常包括：
当对所述确认部的检测结果为未发现异常时，则判定所述检测装置的状态正常；
当对所述确认部的检测结果为发现异常时，则判定所述检测装置的状态异常。
优选地，在执行所述当对确认部的检测结果为发现异常时，则判定所述检测装置的状态异常之后，还包括：
对检测装置进行维修，并且通过确认部检测维修后的检测装置。
优选地，在执行所述当对确认部的检测结果为发现异常时，则判定所述检测装置的状态异常之后，还包括：
更换检测装置，并且通过确认部检测更换后的检测装置。
本发明还提供一种检测台，该检测台包括用于置放一待检测的阵列基板的检测区以及至少一确认部。
优选地，所述待检测阵列基板具有若干像素单元，所述确认部为至少一与待检测阵列基板的像素单元结构相同的像素单元，且该确认部无缺陷。
优选地，所述确认部设置在所述检测区的一侧。
本发明进一步提供一种检测设备，该检测设备包括用于对待检测阵列基板进行检测的检测装置，还包括检测台，该检测台包括用于置放一待检测的阵列基板的检测区以及至少一确认部；所述确认部用于在检测装置对待检测阵列基板进行检测之前检测所述检测装置的状态是否正常。
本发明在对待检测的阵列基板进行缺陷检测前，首先由确认部对检测装置进行检测，并根据检测结果判断检测装置的状态是否正常；当正常时，才通过检测装置对待检测的阵列基板进行缺陷检测；如不正常，则可立即停机对检测装置进行进一步的确认及维修，或更换检测装置。在对每一片或每一批阵列基板进行缺陷检测前，使检测装置先通过确认部确认检测装置的状态是否正常，从而可以避免状态异常的检测装置对阵列基板进行检测，进而可以准确地判断阵列基板是否存在缺陷，提高了对阵列基板的检测效率。
附图说明
图1为本发明阵列基板的检测方法第一实施例的流程示意图；
图2为本发明阵列基板的检测方法第二实施例的流程示意图；
图3为本发明阵列基板的检测方法判断检测装置的状态是否正常的流程示意图；
图4为本发明检测台较佳实施例的流程示意图。
本发明目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。
具体实施方式
应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
参照图1，图1为本发明阵列基板的检测方法第一实施例的流程示意图。
本实施例所提供的阵列基板的检测方法，包括：
步骤S10，由确认部对检测装置进行检测；
步骤S20，根据检测结果判断检测装置的状态是否正常；若是，则执行步骤S21；
步骤S21，由该检测装置对待检测的阵列基板进行检测。
在检测装置对放置在检测台上待检测的阵列基板进行缺陷检测前，首先在该检测台上所设置的至少一个确认部，对检测装置的状态进行检测，从而判断检测装置的状态是否正常。本实施例中，该确认部为至少一个与待检测的阵列基板的像素单元结构相同的像素单元，确保其状态为合格，即无任何缺陷。在检测装置对待检测的阵列基板进行缺陷检测前，首先将检测装置对准在确认部，并通过检测装置对其进行检测。在对确认部进行检测之后，由于该确认部无任何缺陷，因此，可以根据对确认部的检测结果判断出检测装置的状态是否正常。如检测装置的状态正常，则由该检测装置对待检测的阵列基板进行缺陷检测。
请一并参照图3，图3为本发明阵列基板的检测方法中判断检测装置的状态是否正常的流程示意图。
在本实施例中，步骤S20具体包括：
步骤S201，当对确认部的检测结果为未发现异常时，则判定检测装置的状态正常；执行步骤S21；
步骤S202，当对确认部的检测结果为发现异常时，则判定检测装置的状态异常。
在对确认部进行检测时，由于确认部无任何缺陷，如检测结果为未发现异常时，则判定检测装置的状态正常，此时可进一步通过检测装置对待检测的阵列基板进行缺陷检测，即将检测装置移动至待检测的阵列基板上方，并且使检测装置在阵列基板上方移动，对阵列基板进行缺陷检测，这样，如检测过程中发现异常，由于检测装置状态正常，则可判断出是阵列基板存在缺陷，并记录该缺陷的位置；而如检测结果为发现异常时，由于确认部无任何缺陷，则可以判定检测装置的状态为非正常，此时便可立即停机，对检测装置进行进一步的确认及维修，而不继续进行对待检测的阵列基板进行缺陷检测的流程，或者更换检测装置，然后对维修后或更换后的检测装置执行上述步骤S10至步骤S21。
本发明实施例，在对待检测的阵列基板进行缺陷检测前，首先由确认部对检测装置进行检测，并根据检测结果判断检测装置的状态是否正常；当正常时，才通过检测装置对待检测的阵列基板进行缺陷检测；如不正常，则可立即停机对检测装置进行进一步的确认及维修，或更换检测装置。在对每一片或每一批阵列基板进行缺陷检测前，使检测装置先通过确认部确认检测装置的状态是否正常，从而可以避免状态异常的检测装置对阵列基板进行检测，进而可以准确地判断阵列基板是否存在缺陷，提高了对阵列基板的检测效率。
参照图2，图2为本发明阵列基板的检测方法第二实施例的流程示意图。
基于上述实施例，在执行步骤S10之前，本发明阵列基板的检测方法还包括：
步骤S30，在检测台上设置至少一确认部。
在检测台上设置无缺陷的确认部，该确认部为至少一个与待检测的阵列基板的像素单元结构相同的像素单元，确保其状态为合格，即无任何缺陷。本实施例中，该确认部设置在检测台上用于置放待检测的阵列基板的检测区的一侧，检测装置在对待检测的阵列基板进行检测之前首先经过该确认部，对检测装置的状态进行确认；并且，确认部数量设置为至少一个，也可以设置为与检测装置的检测头的数量相同。
在检测台上的检测区的一侧，设置至少一无缺陷的确认部，使检测装置在对待检测的阵列基板进行检测之前首先经过该确认部，对其状态进行确认，从而可以避免状态异常的检测装置对待检测阵列基板进行检测，进而可以准确地判断阵列基板是否存在缺陷，提高了对阵列基板的检测效率。
本发明还提供一种检测设备，该检测设备包括检测装置和检测台，该检测装置用于检测待检测阵列基板。
参照图4，图4为本发明检测台较佳实施例的结构示意图。
本实施例所提供的检测台具有检测区10，该检测区10用于在其上置放待检测的阵列基板，并且在检测区10的一侧，还设置有确认部20，通过该确认部20对检测装置的状态进行确认。在本实施例中，检测台具有三个确认部20，当然在其他实施例中，其数量设置为一个或多个，也可以设置为与检测装置的数量相同，将其设置在检测区10的一侧，使检测装置在对置于检测区10的待检测的阵列基板进行检测之前首先经过该确认部20，以方便对检测装置的状态进行确认。本实施例中，该确认部20至少为一个与待检测的阵列基板的像素单元结构相同的像素单元，并且确保其状态为合格，即无任何缺陷。在通过检测装置对待检测的阵列基板进行缺陷检测前，首先将检测装置对在检测台上所设置的确认部20，并对其进行检测，以确认检测装置的状态。
在对确认部20进行检测之后，由于该确认部20无任何缺陷，因此，可以根据对确认部20的检测结果判断出检测装置的状态是否正常。如检测装置的状态正常，才通过其对待检测的阵列基板进行缺陷检测，即将检测装置移动至置放在检测台上检测区10的待检测的阵列基板上方，并且使检测装置沿着阵列基板的长度方向移动，对阵列基板进行缺陷检测。这样，如检测过程中发现异常，即可判断出是阵列基板上存在缺陷。
本发明实施例，在对置放于检测区10上的待检测的阵列基板进行缺陷检测前，首先由确认部20对检测装置进行检测，并根据检测结果判断检测装置的状态是否正常；当正常时，才通过检测装置对待检测的阵列基板进行检测；如异常，则可立即停机对检测装置进行进一步确认及维修，或者更换检测装置。在对每一片或每一批阵列基板进行缺陷检测前，都使检测装置先通过确认部20确认检测装置的状态是否正常，从而可以避免状态异常的检测装置对待检测阵列基板进行检测，进而可以准确地判断阵列基板是否存在缺陷，提高了对阵列基板的检测效率。
以上所述仅为本发明的优选实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本发明的专利保护范围。
Claims (8)
1.一种阵列基板的检测方法，其特征在于，包括：
将检测装置对准在确认部，所述确认部为至少一个与所述待检测的阵列基板的像素单元结构相同的像素单元；
所述检测装置检测所述确认部，以得出检测结果；
根据所述检测结果判断检测装置的状态是否正常，若是，则由该检测装置对待检测的阵列基板进行检测。
2.根据权利要求1所述的阵列基板的检测方法，其特征在于，在执行所述由确认部对检测装置进行检测之前，还包括：
在检测台上设置至少一确认部。
3.根据权利要求1或2所述的阵列基板的检测方法，其特征在于，所述根据检测结果判断检测装置的状态是否正常包括：
当对所述确认部的检测结果为未发现异常时，则判定所述检测装置的状态正常；
当对所述确认部的检测结果为发现异常时，则判定所述检测装置的状态异常。
4.根据权利要求3所述的阵列基板的检测方法，其特征在于，在执行所述当对确认部的检测结果为发现异常时，则判定所述检测装置的状态异常之后，还包括：
对检测装置进行维修，并且通过确认部检测维修后的检测装置。
5.根据权利要求3所述的阵列基板的检测方法，其特征在于，在执行所述当对确认部的检测结果为发现异常时，则判定所述检测装置的状态异常之后，还包括：
更换检测装置，并且通过确认部检测更换后的检测装置。
6.一种检测台，其特征在于，该检测台包括用于置放一待检测的阵列基板的检测区以及至少一确认部；所述确认部用于在所述检测装置检测所述阵列基板之前供所述检测装置检测，以确认所述检测装置的状态是否正常；所述确认部为至少一与待检测阵列基板的像素单元结构相同的像素单元，且该确认部无缺陷。
7.根据权利要求6所述的检测台，其特征在于，所述确认部设置在所述检测区的一侧。
8.一种检测设备，其特征在于，该检测设备包括用于对待检测阵列基板进行检测的检测装置，还包括如权利要求6或7所述的检测台。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201310112385.6A CN103217816B (zh) | 2013-04-01 | 2013-04-01 | 阵列基板的检测方法、检测台和检测设备 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201310112385.6A CN103217816B (zh) | 2013-04-01 | 2013-04-01 | 阵列基板的检测方法、检测台和检测设备 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN103217816A CN103217816A (zh) | 2013-07-24 |
| CN103217816B true CN103217816B (zh) | 2016-01-20 |
Family
ID=48815744
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201310112385.6A Expired - Fee Related CN103217816B (zh) | 2013-04-01 | 2013-04-01 | 阵列基板的检测方法、检测台和检测设备 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN103217816B (zh) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105204196B (zh) * | 2015-10-13 | 2018-07-10 | 武汉华星光电技术有限公司 | 基板抽检方法 |
| CN108982552A (zh) * | 2017-06-01 | 2018-12-11 | 群创光电股份有限公司 | 光检测装置以及其操作方法 |
| CN110597106A (zh) * | 2019-08-15 | 2019-12-20 | 浙江工业大学之江学院 | 一种检测线自动控制模块、***及其产品检测线 |
| CN112730434B (zh) * | 2020-12-26 | 2021-10-29 | 深圳市磐锋精密技术有限公司 | 一种应用于aoi检测的数据监测方法 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1204056A (zh) * | 1997-06-30 | 1999-01-06 | 三星电子株式会社 | 用于检测半导体器件测试设备操作错误的方法 |
| JP2006200927A (ja) * | 2005-01-18 | 2006-08-03 | Shimadzu Corp | Ｔｆｔアレイ検査装置、及びデータ抽出方法 |
| CN101393243A (zh) * | 2007-09-18 | 2009-03-25 | 京元电子股份有限公司 | 具有自我检测功能的测试***与方法 |
| CN101770096A (zh) * | 2008-12-30 | 2010-07-07 | 塔工程有限公司 | 阵列测试装置和测量其基板上点位置的方法 |
| JP2010256387A (ja) * | 2009-04-21 | 2010-11-11 | Sony Corp | 欠陥検査システム、表示装置および表示装置の製造方法 |
-
2013
- 2013-04-01 CN CN201310112385.6A patent/CN103217816B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1204056A (zh) * | 1997-06-30 | 1999-01-06 | 三星电子株式会社 | 用于检测半导体器件测试设备操作错误的方法 |
| JP2006200927A (ja) * | 2005-01-18 | 2006-08-03 | Shimadzu Corp | Ｔｆｔアレイ検査装置、及びデータ抽出方法 |
| CN101393243A (zh) * | 2007-09-18 | 2009-03-25 | 京元电子股份有限公司 | 具有自我检测功能的测试***与方法 |
| CN101770096A (zh) * | 2008-12-30 | 2010-07-07 | 塔工程有限公司 | 阵列测试装置和测量其基板上点位置的方法 |
| JP2010256387A (ja) * | 2009-04-21 | 2010-11-11 | Sony Corp | 欠陥検査システム、表示装置および表示装置の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN103217816A (zh) | 2013-07-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN103217816B (zh) | 阵列基板的检测方法、检测台和检测设备 | |
| CN103076344A (zh) | 显示面板的缺陷检测方法及其检测装置 | |
| CN205300625U (zh) | 一种机电设备的检测台 | |
| CN109387961B (zh) | 一种显示面板的检测方法和检测设备 | |
| CN103646886B (zh) | 监控多腔体设备缺陷状况的晶圆作业方法 | |
| CN110428764B (zh) | 显示面板检测方法 | |
| CN108982601A (zh) | 一种焊点检测设备和方法 | |
| CN201984043U (zh) | 一种自动光学检测*** | |
| CN104716069A (zh) | 晶圆可接受性测试机台内部环境的监测方法和监测装置 | |
| CN204528610U (zh) | 叠层检查装置 | |
| CN106154095B (zh) | 接触式ltps的检测方法以及用于该方法的焊盘结构 | |
| CN204013397U (zh) | 一种i-v不均匀性测试工装 | |
| TWI360854B (en) | Carrier wafer position device and examination meth | |
| CN201811705U (zh) | 大型卡车仪表盘横梁总成检具 | |
| CN204854571U (zh) | 适用于电路板的安装孔检测设备 | |
| CN204612644U (zh) | 一种电路板安装孔检测设备 | |
| KR101345213B1 (ko) | 완성타이어 반전장치 | |
| CN204575003U (zh) | 一种螺纹规和ping规检测一体机 | |
| CN101943740A (zh) | 电路基板的双路径检测方法 | |
| CN101424646A (zh) | 玻璃异物气泡检测方法 | |
| CN109283135B (zh) | 一种显示面板检测装置 | |
| CN206211946U (zh) | 一种光伏组件的接地耐压绝缘一体测试机 | |
| CN206447296U (zh) | 一种区分电路板良品与不良品的自动卸料装置 | |
| CN103439334B (zh) | 光伏组件在线外观检验装置 | |
| CN206862806U (zh) | 一种药品片剂硬度自动检测装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20160120 |