CN103205717B - 盖体 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种盖体，其用于盖在一装有膜料的容器上，该盖体包括与容器相对的第一端面以及沿着径向延伸的若干分流道，该第一端面上开设一容置腔，该容置腔内固定有一遮挡网，所述遮挡网用于附着从所述容器中喷出的颗粒物，若干分流道用于容置一定温度范围的液体，从而保持该盖体处于预定的温度范围内。本发明之盖体能够有效附着从所述容器中喷出的颗粒物并形成膜层，同时能够避免膜层脱落会容器内，进而保证基板镀膜的品质。

Description

盖体
技术领域
本发明涉及一种盖设于容器上方的盖体，尤其涉及一种在离子辅助蒸镀中使用的盖体。
背景技术
在离子辅助蒸镀镀膜工艺中，一般将膜料放入钳锅内，并经由电子束打击坩锅内的膜料表面，使其受热熔融后冷却形成平整表面，以供后续真空镀膜使用。膜料在熔化或镀膜过程中常常会喷出微小颗粒(副产物)，通常会先用盖体遮住使其不喷发到被镀基材上。待稳定后再打开盖体，此时膜料被喷发至被镀基材上成膜。
当镀膜时间太长时，盖体上的膜层由于附着太厚而发生脱膜。脱落的膜层掉落到钳锅内而被电子束再次蒸发至被镀基材上，就会造成镀膜的质量降低。同时在镀膜完成后，由于大量水汽灌入腔体，盖体上的膜层吸收水汽后容易脱落至钳锅内，造成钳锅的清洗困难。
发明内容
有鉴于此，有必要提供一种有效防止膜层脱落回钳锅的盖体。
本发明提供一种盖体，其用于盖在一装有膜料的容器上，该盖体包括与容器相对的第一端面以及沿着径向延伸的若干分流道，该第一端面上开设一容置腔，该容置腔内固定有一遮挡网，所述遮挡网用于附着从所述容器中喷出的颗粒物，若干分流道用于容置一定温度范围的液体，从而保持该盖体处于预定的温度范围内。
使用本发明之盖体能够有效附着从所述容器中喷出的颗粒物并形成膜层，同时能够避免膜层脱落会容器内，进而保证基板镀膜的品质。
附图说明
图1为本发明一较佳实施方式盖体的立体图。
图2为图1所示盖体盖设于某一容器上方的立体图。
图3为图1所示盖体III-III方向上的剖面视图。
图4为图1所示盖体IV-IV方向上的剖面视图。
主要元件符号说明
盖体 1
第一端面 11
容置腔 110
遮挡网 112
第二端面 12
第一接头 120
进口流道 122
侧面 13
连接部 130
第二接头 132
出口流道 134
中间孔 14
分流道 15
环流道 16
容器 2
腔体 20
如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本发明。
具体实施方式
参考图1，其示意出一种在离子辅助蒸镀中使用的盖体1，该盖体1用于盖在开设有一腔体20的容器2上方。该腔体20用于放置膜料，如二氧化硅等。在离子辅助蒸镀镀膜工艺中，一般将膜料放入容器2的腔体20内，并经由电子束打击容器2内的膜料表面，使得膜料受热熔融后冷却形成平整表面，以供后续镀膜使用。在熔化膜料或镀膜过程中，膜料容易喷出微小颗粒物于盖体1上并形成膜层。本发明的盖体1能够有效避免膜层脱落而重新落回容器2内，进而影响基板镀膜的品质。
一并参考图2，盖体1为一体成型且大致呈圆盘状，包括第一端面11、与第一端面11背对的第二端面12及位于其间的侧面13。第一端面11上开设有一容置腔110，其中容置腔110与上述容器2腔体20的形状和尺寸相对应。该容置腔110内固定有一遮挡网112，用于有效附着从腔体20喷出的微小颗粒物并在其上形成膜层。第二端面12上凸起有一第一接头120，其中第一接头120上设有一进口流道122。侧面13上凸起有一连接部130和第二接头132，其中第二接头132上开设有一出口流道134。连接部130用于方便用户将盖体1从容器2上取下。
一并参考图3和图4，盖体1还包括与进口流道122连通的一中间孔14、若干分流道15、及与出口流道134连通的一环流道16。若干分流道15沿着盖体1的径向均匀分布，其两端分别与上述中间孔14和环流道16连通。
工作时，第一接头120与装有一定温度液体的管道（图中未示）连接，液体经进口流道122、中间孔14、若干分流道15、环流道16最后流出口流道134，用于使得盖体1的温度维持在一定范围内，进而能够避免在开盖或合盖时盖体1的温度急剧上升或下降导致膜层从盖体1脱落至容器2的腔体20内。
尽管对本发明的优选实施方式进行了说明和描述，但是本领域的技术人员将领悟到，可以作出各种不同的变化和改进，这些都不超出本发明的真正范围。因此期望，本发明并不局限于所公开的作为实现本发明所设想的最佳模式的具体实施方式，本发明包括的所有实施方式都有所附权利要求书的保护范围内。

Claims (7)

1.一种盖体，用于盖在一装有膜料的容器上，该盖体包括与容器相对的第一端面以及沿着径向延伸的若干分流道，该第一端面上开设一容置腔，该容置腔内固定有一遮挡网，所述遮挡网用于附着从所述容器中喷出的颗粒物，若干分流道用于容置一定温度范围的液体，从而保持该盖体处于预定的温度范围内。
2.根据权利要求1所述的盖体，其特征在于：所述盖体为一体成型。
3.根据权利要求1所述的盖体，其特征在于：所述盖体还包括与第一端面背对的第二端面，该第二端面凸起有一第一接头，其中第一接头上开设有与若干分流道连通的进口流道。
4.根据权利要求3所述的盖体，其特征在于：所述盖体还开设有一中间孔，该中间孔分别连通上述进口流道和若干分流道。
5.根据权利要求3所述的盖体，其特征在于：所述盖体还包括连接上述若干分流道的环流道。
6.根据权利要求5所述的盖体，其特征在于：所述盖体还包括位于第一端面和第二端面之间的侧面，该侧面上凸起有一第二接头，该第二接头上开设有与环流道连通的出口流道。
7.根据权利要求6所述的盖体，其特征在于：所述侧面还包括有一连接部。
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