CN103201072B - 磨边装置及磨边方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种磨边装置，其具有吸附板状体的工作台和对在该工作台的吸附面吸附的板状体的周缘部进行磨削的砂轮，在该磨边装置中，所述吸附面由3个以上的吸附区域构成，在各吸附区域至少各设有一个开口部，所述磨边装置具有减压装置，该减压装置从距所述吸附面的中央近的吸附区域朝向距所述吸附面的中央远的吸附区域，依次在每个吸附区域开始各开口部内的减压，从而进行吸附。

Description

磨边装置及磨边方法

技术领域

本发明涉及一种磨边装置及磨边方法。

背景技术

作为玻璃板等板状体的磨边装置，已知有一种磨边装置，其具有吸附板状体的工作台和对在该工作台的上表面吸附的板状体的周缘部进行磨削的砂轮（例如，参照专利文献1）。该磨边装置具有对在工作台的上表面设置的多个开口部内进行减压的减压装置和向多个开口部内供给压缩气体的供气装置。

在该磨边装置中，通过减压装置对多个开口部内进行减压，将板状体吸附于工作台。并且，在吸附前，供气装置向多个开口部内供给压缩气体，所以板状体因压缩气体的风压而处于从工作台浮起的状态，因此能够减轻工作台和板状体的接触压力，从而能够使工作台和板状体容易地对位。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2009-203141号公报

发明内容

发明要解决的问题

然而，虽然上述现有的磨边装置对多个开口部内进行减压而进行吸附，但是没有特别规定开始减压的顺序。因此，根据开始减压的顺序，有时会将板状体在变形的状态下吸附于工作台，在板状体的周缘部的位置产生变动，磨削精度低。

本发明是鉴于上述课题而完成的，其目的在于提供一种磨削精度高的磨边装置及磨边方法。

用于解决问题的手段

为了解决上述课题，本发明提供一种磨边装置，

具有吸附板状体的工作台和对吸附于该工作台的吸附面的板状体的周缘部进行磨削的砂轮，其中，

所述吸附面由3个以上的吸附区域构成，在各吸附区域至少各设置有一个开口部，

所述磨边装置具有减压装置，该减压装置从距所述吸附面的中央近的吸附区域朝向距所述吸附面的中央远的吸附区域，依次对每个吸附区域开始各开口部内的减压，从而进行吸附。

在本发明的磨边装置中，优选的是，所述砂轮的磨削对象为矩形形状的所述板状体的彼此相对的两边，

所述磨边装置还具有在吸附前使所述工作台和所述板状体对位的对位装置，

所述对位装置具有四对能够与所述板状体的四边中的任一边接触的接触体，在两对所述接触体与作为非磨削对象的两边接触而夹住所述板状体之后，剩余的两对所述接触体与作为磨削对象的两边接触而夹住所述板状体，从而进行对位。

在本发明的磨边装置中，优选的是，所述对位装置使另一对接触体朝向固定于所述工作台的一对接触体靠近，以使剩余的两对所述接触体与作为磨削对象的两边接触而夹住所述板状体，

从靠近方向观察，进行靠近的一对所述接触体和作为磨削对象的一边的两个接触位置分别处于固定的一对所述接触体和作为磨削对象的剩余的一边的两个接触位置之间。

并且，本发明提供一种磨边方法，

包括使板状体吸附于工作台的吸附工序和对吸附于所述工作台的吸附面的板状体的周缘部进行磨削的磨削工序，其中，

所述吸附面由3个以上的吸附区域构成，在各吸附区域至少各设置有一个开口部，

在所述吸附工序中，从距所述吸附面的中央近的吸附区域朝向距所述吸附面的中央远的吸附区域，依次对每个吸附区域开始各开口部内的减压，从而进行吸附。

本发明的磨边方法，优选的是，在所述磨削工序中，对矩形形状的所述板状体的彼此相对的两边进行磨削，

所述磨边方法还具有对位工序，该对位工序是在所述吸附工序之前使用四对能够与所述板状体的四边中的任一边接触的接触体来使所述工作台和所述板状体对位的工序，

在所述对位工序中，在两对所述接触体与作为非磨削对象的两边接触而夹住所述板状体之后，剩余的两对所述接触体与作为磨削对象的两边接触而夹住所述板状体，从而进行对位。

本发明的磨边方法，优选的是，在所述对位工序中，使另一对接触体朝向固定于所述工作台的一对接触体靠近，以使所述剩余的两对接触体与作为磨削对象的两边接触而夹住所述板状体，

从靠近方向观察，进行靠近的一对所述接触体和作为磨削对象的一边的两个接触位置分别处于固定的一对所述接触体和作为磨削对象的剩余的一边的两个接触位置之间。

发明效果

根据本发明，能够提供一种磨削精度高的磨边装置及磨边方法。

附图说明

图1是本发明的一实施方式的磨边装置的概略结构图（1）。

图2是本发明的一实施方式的磨边装置的概略结构图（2）。

图3是由减压装置40开始减压时的工作台20的截面图。

图4是由供气装置50供给压缩气体时的工作台20的截面图。

图5是本发明的一实施方式的磨边方法的说明图（1）。

图6是本发明的一实施方式的磨边方法的说明图（2）。

图7是本发明的一实施方式的磨边方法的说明图（3）。

图8是移载机的概略结构图。

具体实施方式

以下，参照附图对用于实施本发明的方式进行说明。

（磨边装置）

图1及图2是本发明的一实施方式的磨边装置的概略结构图。图3是由减压装置40开始减压时的工作台20的截面图。图4是由供气装置50供给压缩气体时的工作台20的截面图。

如图1及图2所示，磨边装置10例如具有工作台20、砂轮30、减压装置40、供气装置50、及对位装置60。

磨边装置10是对板状体100的周缘部进行磨削的装置。例如，磨边装置10对矩形形状的板状体100的彼此相对的两边102、104进行磨削。在此，“矩形形状”除了长方形（包括正方形）之外，还包括长方形的角被切削或修圆后的形状。

此外，在磨边装置10的附近设有与磨边装置10相同的结构且对板状体100的剩余两边106、108进行磨削的装置。相邻的磨边装置10之间的板状体100的交接通过移载机70（参照图8）进行。移载机70为一般的结构即可，例如如图8所示，由支承板状体100的框架（支承体）71等构成。

框架71具有框架主体72及在框架主体72的下表面排列的多个吸附垫73。吸附垫73具有吸附板状体100的吸附面74。在吸附面74上设有吸附孔，并连接于真空泵等吸气源。在板状体100与吸附面74接触的状态下，吸气源进行动作并对吸附孔内进行减压后，将板状体100吸附于吸附面74。从该状态开始，吸气源停止动作并将吸附孔内向大气开放时，吸附被解除。

框架71构成为能够沿水平方向及上下方向移动。作为使框架71沿水平方向移动的驱动源，例如使用伺服马达。为了将伺服马达的旋转运动转换成直线运动并传递至框架71，在伺服马达和框架71之间设置了滚珠丝杠、皮带、或齿条齿轮等。另一方面，作为使框架71沿上下方向移动的驱动源，使用伺服马达、液压缸（例如气压缸、油压缸）等。

（板状体）

板状体100通过在具有两个磨边装置10的制造生产线上流动，对四边102～108进行磨边。进行磨边的顺序没有限制，既可以在对长边进行磨边之后对短边进行磨边，也可以以相反的顺序进行。

板状体100只要是一般的板状体即可，可以为玻璃板（包括夹层玻璃板）、金属板、陶瓷板、树脂板、半导体板、复合材料板等。

（工作台）

如图1所示，工作台20具有吸附板状体100的吸附面22。吸附面22可以为工作台20的上表面。吸附面22由三个以上（在本实施方式中为三个）的吸附区域221～223构成，在各吸附区域221～223至少各设有一个开口部24（在本实施方式中为两个）。

此外，在本实施方式中，吸附面22物理上分成三个吸附区域221～223，相邻的吸附区域分离，但本发明并不限定于此。即，吸附面22可以概念性地分成三个以上的吸附区域，相邻的吸附区域也可以接触。

开口部24具有凹状的形状，在开口部24的内底面设有吸气孔26及供气孔28。吸气孔26及供气孔28在每个开口部24至少各设有一个。

多个开口部24既可以为同一形状也可以为不同的形状。

（砂轮）

如图2所示，砂轮30为对在工作台20的吸附面22吸附的板状体100的周缘部进行磨削的部件。例如，砂轮30设有两个，各自的磨削对象为矩形形状的板状体100的彼此相对的两边102、104中的任一边。

砂轮30构成为能够以与作为磨削对象的一边102、104接触、分离的方式，或者以沿着作为磨削对象的一边102、104移动的方式，相对于工作台20进行相对移动。

砂轮30例如形成为大致圆板状，砂轮30的外周面作为磨削面。砂轮30在与板状体100的周缘部接触时，由电动马达等驱动源驱动而绕自身的中心轴旋转，从而对板状体100的周缘部进行磨削。

（减压装置）

如图1所示，减压装置40为对多个开口部24内进行减压的装置。例如，减压装置40由真空泵等吸气源42、多个开闭阀44、及计算机等控制装置46构成。

开闭阀44例如由电磁阀等构成。开闭阀44在连接吸气源42和多个吸气孔26的连接路径的中途（例如比连接路径的分支点更靠吸气孔26侧）设有多个，开闭连接路径。控制装置46控制吸气源42的输出，控制每个开闭阀44的开闭。

在控制装置46的控制下，吸气源42进行动作，并且各开闭阀44打开时，对与吸气源42连通的开口部24内进行减压。开口部24内的气压比大气压低时，板状体100被按压并吸附于工作台20。

在解除吸附时，在控制装置46的控制下，各开闭阀44关闭，停止各开口部24内的减压。与此呼应，吸气源42停止动作。然后，为了使各开口部24内的气压返回至大气压，在控制装置46的控制下，将与各开口部24连接的漏泄阀向大气开放后，吸附被解除。

减压装置40从距吸附面22的中央近的吸附区域222朝向距吸附面22的中央远的吸附区域221、223，依次在每个吸附区域221～223开始各开口部24内的减压，从而进行吸附。设置于一个吸附区域的多个（在本实施方式中为两个）开口部24内的减压大致同时进行。

如图3所示，例如，减压装置40按照沿左右方向并排的三个吸附区域221～223中的中央的吸附区域222、左右两端的吸附区域221、223的顺序开始各开口部24内的减压。中央的吸附区域222包括吸附面22的中央。或者，减压装置40也可以按照中央的吸附区域222、左端的吸附区域221（或者右端的吸附区域223）、右端的吸附区域223（或者左端的吸附区域221）的顺序开始各开口部24内的减压。这些操作通过将打开多个开闭阀44的时刻错开而实施。

如此，从距吸附面22的中央近的吸附区域222朝向距吸附面22的中央远的吸附区域221、223，依次在每个吸附区域221～223开始开口部24内的减压，从而进行吸附。这样，板状体100的自由端部最后被吸附，所以能够释放到此为止在板状体100上累积的变形的大部分。并且，板状体100的中央部最先被吸附，所以能够缩短直至释放变形为止移动的距离，从而能够抑制变形的累积。由此，能够提高此后进行的磨削的精度。由于板状体100越是大面积化、薄板化，板状体100越容易变形，所以该效果显著。

近年来，不断进行液晶显示（LCD）面板、等离子显示面板（PDP）、有机EL显示（OLED）面板等显示面板的大面积化、薄型化，从而进行构成显示面板的玻璃基板的大面积化、薄板化。因此，有可能对具有1800mm以上的长度、1500mm以上的宽度的玻璃基板进行磨边，也有可能对具有3300mm以上的长度、2800mm以上的宽度的玻璃基板进行磨边。并且，有可能对具有2.8mm以下的板厚的玻璃基板进行磨边。

板状体100越是大面积化，本实施方式的磨边装置10越能达到显著的效果，所以适合具有1800mm以上的长度、1500mm以上的宽度的玻璃基板的磨边，特别适合具有3300mm以上的长度、2800mm以上的宽度的玻璃基板的磨边。并且，板状体100越是薄板化，磨边装置10越能达到显著的效果，所以适合具有2.8mm以下的板厚的玻璃基板的磨边，更适合0.7mm以下，特别适合0.5mm以下。此外，从操作性和生产率的角度来看，玻璃基板的板厚优选0.1mm以上。

（供气装置）

如图1所示，供气装置50为向多个开口部24内供给压缩气体的装置。例如，供气装置50由压气机或储气瓶等压缩气体源52、多个开闭阀54、及控制装置46构成。此外，在本实施方式中，减压装置40和供气装置50共有控制装置46。

开闭阀54在连接压缩气体源52和多个供气孔28的连接路径的中途（例如比连接路径的分支点更靠供气孔28侧）设有多个，开闭连接路径。开闭阀54例如由电磁阀等构成。控制装置46控制压缩气体源52的输出，控制每个开闭阀54的开闭。

在控制装置46的控制下，各开闭阀54打开时，向与压缩气体源52连通的开口部24内供给压缩气体，通过压缩气体的风压，能够减轻工作台20和板状体100的接触压力（参照图4）。由此，能够在吸附前容易地进行工作台20和板状体100的对位。此外，在使用压气机等作为压缩气体源52的情况下，打开各开闭阀54时，使压缩气体源52进行动作。

从该状态开始，关闭各开闭阀54时，不向开口部24内供给压缩气体，所以开口部24内的压力返回至大气压，板状体100与工作台20接触。此外，在使用压气机等作为压缩气体源52的情况下，关闭各开闭阀54时，使压缩气体源52停止动作。

（对位装置）

如图2所示，对位装置60为在吸附前使工作台20和板状体100对位的装置。在对位装置60进行对位期间，供气装置50继续向各开口部24内供给压缩气体。由此，板状体100处于从工作台20浮起的状态，所以能够容易地进行对位。

对位装置60具有四对能够与板状体100的四边102～108中的任一边接触的接触体62～68。各对接触体62～68由两个接触体构成。各接触体分别形成为例如圆板状，具有能够与板状体100的四边102～108中的任一边接触的外周面。

各对接触体62～68在两个部位（例如两点）与任一边接触。通过在两个部位接触，能够降低板状体100的自由度。此外，也可以在构成各对接触体62～68的两个接触体之间配置一个以上同样的结构的接触体。

各对接触体62～68构成为能够以与任一边接触、分离的方式，相对于工作台20进行相对移动。使各对接触体62～68移动的移动装置为一般的结构即可。

例如，使各对接触体62、66移动的移动装置由伺服马达等驱动源、将驱动源的旋转运动转换成直线运动并传递至各对接触体62、66的滚珠丝杠、沿规定方向引导各对接触体62、66的引导部件等构成。引导部件固定于支承工作台20的台座。各对接触体62、66相对于工作台20能够在期望的位置停止。

并且，使各对接触体64、68移动的移动装置由气压缸或油压缸等流体压力缸构成。液压缸的一端与各对接触体64、68连接，液压缸的另一端与支承工作台20的台座连接。各对接触体64、68各自能够相对于工作台20进行往复运动。

本实施方式的对位装置60在两对接触体66、68与作为非磨削对象的两边106、108接触并夹住板状体100之后，剩余的两对接触体62、64与作为磨削对象的两边102、104接触并夹住板状体100，从而进行对位。

如此，首先，若使作为非磨削对象的两边106、108对位，则板状体100的剩余的自由度变少，所以能够提高作为磨削对象的两边102、104的对位的精度，从而能够提高此后进行的磨削的精度。

并且，本实施方式的对位装置60朝向固定于工作台20的一对接触体62，使另一对接触体64沿箭头A方向靠近（参照图6），以使剩余的两对接触体62、64与作为磨削对象的两边102、104接触并夹住板状体100。使固定的一对接触体62移动的移动装置如上述一样由伺服马达等构成，使进行靠近的一对接触体64移动的移动装置如上述一样由流体压力缸等构成。

如图6所示，从靠近方向（箭头A方向）观察，进行靠近的一对接触体64和作为磨削对象的一边104的两个接触位置201、202分别处于固定的一对接触体62和作为磨削对象的剩余的一边102的两个接触位置203、204之间。

因此，进行靠近的一对接触体64施加于一边104的两个推压力能够限制对板状体100施加转矩，从而能够提高此后进行的磨削的精度。

上述两个接触位置201、202相对于一边104的中央对称地配置。同样，上述两个接触位置203、204相对于剩余的一边102的中央对称地配置。由此，能够进一步抑制在板状体100上产生转矩。

在该情况下，若将上述两个接触位置201、202的间隔设为L1（参照图6）[单位mm]、将上述两个接触位置203、204的间隔设为L2（参照图6）[单位mm]，则期望满足2/3≤L1/L2＜1的关系式。

通过使L1/L2小于1，在对位时，能够限制在板状体100上产生转矩。另一方面，使L1/L2小于2/3时，对接触体64的两个推压力F1、F2集中地作用于板状体100，所以板状体100变形成大致V字状。

对位装置60使另一对接触体68向固定于工作台20的一对接触体66靠近，以使两对接触体66、68与作为非磨削对象的两边106、108接触并夹住板状体100。使固定的一对接触体66移动的移动装置如上述一样由伺服马达等构成，使进行靠近的一对接触体68移动的移动装置如上述一样由流体压力缸等构成。

两对接触体66、68和作为非磨削对象的各边106、108的接触位置可以不满足上述关系式。例如，在各边106、108上的两个接触位置相对于各边106、108的中央对称地配置的情况下，将一边106上的两个接触位置的间隔设为L3（参照图6）[单位mm]、将剩余的一边108上的两个接触位置的间隔设为L4（参照图6）[单位mm]时，满足L3/L4＝1的关系式即可。

（磨边方法）

图5～图7是本发明的一实施方式的磨边方法的说明图。以下，除了根据图5～图7之外，还根据图3～图4对使用了上述结构的磨边装置10的磨边方法进行说明。

本实施方式的磨边方法依次具有使工作台20和板状体100对位的对位工序、使板状体100吸附于工作台20的吸附工序、及对板状体100的周缘部进行磨削的磨削工序。

在对位工序中，首先，如图4所示，供气装置50向多个开口部24内供给压缩气体，利用压缩气体的风压减轻工作台20和板状体100的接触压力。随后，对位装置60使用四对能够与板状体100的四边102～108中的任一边接触的接触体62～68来使工作台20和板状体100对位。在对位装置60进行对位期间，供气装置50继续向各开口部24内供给压缩气体。由此，能够容易地进行对位。

在本实施方式的对位工序中，如图5所示，在两对接触体66、68与作为非磨削对象的两边106、108接触并夹住板状体100之后，如图6所示，剩余的两对接触体62、64与作为磨削对象的两边102、104接触并夹住板状体100，从而进行对位。

更详细而言，首先，如图5所示，使一对移动体66在相对于工作台20已对位的基础上进行固定。随后，使另一对移动体68向固定的一对移动体66靠近，从而两对接触体66、68与作为非磨削对象的两边106、108接触并夹住板状体100。夹住板状体100的力能够由使对接触体66移动的移动装置的液压缸的输出进行调整。

然后，同样地，如图6所示，使一对移动体62在相对于工作台20已对位的基础上进行固定。随后，使另一对移动体64向固定的一对移动体62靠近，从而剩余的两对接触体62、64与作为磨削对象的两边102、104接触并夹住板状体100。夹住板状体100的力能够由使对接触体64移动的移动装置的液压缸的输出进行调整。

如此，首先，若使作为非磨削对象的两边106、108对位，则板状体100的剩余的自由度变少，所以能够提高作为磨削对象的两边102、104的对位的精度，从而能够提高此后进行的磨削的精度。

并且，在本实施方式的对位工序中，如上述一样，如图6所示，朝向固定于工作台20的一对接触体62，使另一对接触体64靠近，以使剩余的两对接触体62、64与作为磨削对象的两边102、104接触并夹住板状体100。

从靠近方向（箭头A方向）观察，进行靠近的一对接触体64和作为磨削对象的一边104的两个接触位置201、202分别处于固定的一对接触体62和作为磨削对象的剩余的一边102的两个接触位置203、204之间。

因此，进行靠近的一对接触体64施加于一边104的两个推压力能够限制对板状体100施加转矩，从而能够提高此后进行的磨削的精度。

如此，使工作台20和板状体100对位。对位工序后，供气装置50停止压缩气体的供给，使工作台20和板状体100接触。该操作在吸附工序开始前实施。

在吸附工序中，如图3所示，减压装置40对在工作台20的吸附面22设置的开口部24内进行减压而进行吸附。在本实施方式中，从距吸附面22的中央近的吸附区域222朝向距吸附面22的中央远的吸附区域221、223，依次在每个吸附区域221～223开始各开口部24内的减压。例如，减压装置40按照图3中沿左右方向并排的三个吸附区域221～223中的中央的吸附区域222、左右两端的吸附区域221、223的顺序开始各开口部24内的减压。

如此，若从距吸附面22的中央近的吸附区域222朝向距吸附面22的中央远的吸附区域221、223，依次在每个吸附区域221～223进行开口部24内的减压，则板状体100的自由端部最后被吸附，所以能够释放到此为止在板状体100上累积的变形的大部分。并且，板状体100的中央部最先被吸附，所以能够缩短直至释放变形为止移动的距离，从而能够抑制变形的累积。由此，能够获得板状***置的再现性，并能够提高此后进行的磨削的精度。由于板状体100越是大面积化、薄板化，板状体100越容易变形，所以该效果显著。

吸附工序之后，对位装置60使各对接触体62～68从板状体100分离。此外，该操作也可以在吸附工序之前进行。总之，只要在磨削工序之前进行即可。

在磨削工序中，如图7所示，砂轮30对在工作台20的吸附面22吸附的板状体100的周缘部进行磨削。例如，砂轮30设有两个，分别对矩形形状的板状体100的彼此相对的两边102、104中的任一边进行磨削。

更详细而言，使一个砂轮30在使其外周面与作为磨削对象的一边102接触的状态下，沿一边102移动的同时旋转。同样，使另一个砂轮30在使其外周面与作为磨削对象的剩余的一边104接触的状态下，沿剩余的一边104移动的同时旋转。

如此，对板状体100的彼此相对的两边102、104进行磨削、磨边。磨边既可以是R磨边，也可以是C磨边，并不限制磨边的种类。

磨边后，使砂轮30从板状体100分离，停止砂轮30的旋转。然后，减压装置40使开口部24内的气压返回至大气压时，板状体100向工作台20的吸附被解除。

板状体100在彼此相对的两边102、104被磨边之后，被移送至与磨边装置10相邻的另一磨边装置，并对剩余的两边106、108进行磨边，从而变成产品。

以上，对本发明的一实施方式进行了说明，但本发明并不限制于上述实施方式，能够不超出本发明的范围而对上述实施方式施加各种变形及替换。

例如，上述实施方式的磨边装置10为只对矩形形状的板状体100的彼此相对的两边102、104进行磨边的装置，但也可以为在对两边102、104进行磨边之后使工作台20旋转90°而进一步对剩余的两边106、108进行磨边的装置。

详细地并且参照特定的实施方式对本发明进行了说明，但能够不超出本发明的范围和宗旨而施加各种修改或变更对本领域技术人员来说是显而易见的。本申请基于2010年11月1日提出的日本专利申请2010-245584，并将其内容作为参照引用于此。

标号说明

10       磨边装置

20       工作台

22       吸附面

221～223 吸附区域

24       开口部

30       砂轮

40       减压装置

50       供气装置

60       对位装置

62～68   对接触体

70       移载机

100      板状体

102、104 作为磨削对象的边

106、108 作为非磨削对象的边

Claims (4)

1.一种磨边装置，具有吸附板状体的工作台和对吸附于该工作台的吸附面的板状体的周缘部进行磨削的砂轮，其中，

所述吸附面由3个以上的吸附区域构成，在各吸附区域至少各设置有一个开口部，

所述磨边装置具有减压装置，该减压装置从距所述吸附面的中央近的吸附区域朝向距所述吸附面的中央远的吸附区域，依次对每个吸附区域开始各开口部内的减压，从而进行吸附，

所述砂轮的磨削对象为矩形形状的所述板状体的彼此相对的两边，

所述磨边装置还具有在吸附前使所述工作台和所述板状体对位的对位装置，

所述对位装置具有四对能够与所述板状体的四边中的任一边接触的接触体，在两对所述接触体与作为非磨削对象的两边接触而夹住所述板状体之后，剩余的两对所述接触体与作为磨削对象的两边接触而夹住所述板状体，从而进行对位。

2.根据权利要求1所述的磨边装置，其中，

所述对位装置使另一对接触体朝向固定于所述工作台的一对接触体靠近，以使剩余的两对所述接触体与作为磨削对象的两边接触而夹住所述板状体，

从靠近方向观察，进行靠近的一对所述接触体和作为磨削对象的一边的两个接触位置分别处于固定的一对所述接触体和作为磨削对象的剩余的一边的两个接触位置之间。

3.一种磨边方法，包括使板状体吸附于工作台的吸附工序和对吸附于所述工作台的吸附面的板状体的周缘部进行磨削的磨削工序，其中，

所述吸附面由3个以上的吸附区域构成，在各吸附区域至少各设置有一个开口部，

在所述吸附工序中，从距所述吸附面的中央近的吸附区域朝向距所述吸附面的中央远的吸附区域，依次对每个吸附区域开始各开口部内的减压，从而进行吸附，

在所述磨削工序中，对矩形形状的所述板状体的彼此相对的两边进行磨削，

所述磨边方法还具有对位工序，该对位工序是在所述吸附工序之前使用四对能够与所述板状体的四边中的任一边接触的接触体来使所述工作台和所述板状体对位的工序，

在所述对位工序中，在两对所述接触体与作为非磨削对象的两边接触而夹住所述板状体之后，剩余的两对所述接触体与作为磨削对象的两边接触而夹住所述板状体，从而进行对位。

4.根据权利要求3所述的磨边方法，其中，

在所述对位工序中，使另一对接触体朝向固定于所述工作台的一对接触体靠近，以使所述剩余的两对接触体与作为磨削对象的两边接触而夹住所述板状体，

从靠近方向观察，进行靠近的一对所述接触体和作为磨削对象的一边的两个接触位置分别处于固定的一对所述接触体和作为磨削对象的剩余的一边的两个接触位置之间。