CN103190203A

CN103190203A - 离子发生装置

Info

Publication number: CN103190203A
Application number: CN2011800526401A
Authority: CN
Inventors: 深田佳成
Original assignee: K K KOGANEI
Current assignee: K K KOGANEI; Koganei Corp
Priority date: 2010-12-28
Filing date: 2011-08-29
Publication date: 2013-07-03
Also published as: US20130299717A1; US8890070B2; KR20130143021A; WO2012090550A1

Abstract

在基座（43）设置有具有可挠性的一个放电电极（44），由于向放电电极（44）的固定端（44a）供给高电压而产生的电晕放电的斥力，使得放电电极（44）的自由端（44b）侧以固定端（44a）为中心进行旋转运动。因此，与由多个细线形成的刷状电极相比，能够大幅度减少来自放电电极（44）的自由端（44b）侧的发尘量，并能够延长离子发生装置（30）的维护周期。由于设定了一个放电电极（44），因此能够实现离子发生装置（30）的紧凑化，并能够容易地观察放电电极（44）的状态，实现维护的简化。由于放电电极（44）进行旋转运动，因此能够将生成的空气离子EI输送至包装膜（10）的较宽范围内，从而能够提高离子化效率。

Description

离子发生装置

技术领域

本发明涉及生成用于除去组装电子部件的装配架（jig）、由塑料材料制成的包装用膜等携带的静电的空气离子的离子发生装置。

背景技术

当组装电子部件的装配架、由塑料材料制成的包装用膜等带电时，存在由于静电而使电子部件破损或吸附尘埃等，从而降低组装操作性、包装操作性的情况。因此，为了防止由静电引起操作性降低或为了提高成品率，而使用被称为电离器（イオナイザ）或者离子发生器的离子发生装置。

离子发生装置是生成具有正极性或者负极性的空气离子的装置，其通过将生成的空气离子提供给带电部位，从而中和并除去携带的静电。离子发生装置具有被施加高电压的放电针等电极，向该电极施加数kV（例如7kV）以上的交流电压或者脉冲状的直流电压。通过施加高电压而由电极产生电晕放电，由于该电晕放电使得周围的空气离子化。

作为这种离子发生装置已知有例如专利文献1所记载的技术。在专利文献1记载的技术中，作为电极，使用将多根细线捆成刷状而成的刷状电极（束状電極）。由高压电源向该刷状电极施加高电压，通过施加高电压使得刷状电极的各细线分别带电。于是，由于各细线带电使得各细线彼此相互排斥、刷状电极的前端部形成扩径的放射状，并在该状态下产生电晕放电。在专利文献1记载的这种技术中，通过使用刷状电极，从而既能够实现装置的紧凑化，又能够在很宽的范围内生成空气离子以提高离子化效率。

现有技术文献

专利文献1：日本特开2008-034220号公报（图1）

但是，根据上述专利文献1记载的技术，由于使用将例如100根极细不锈钢制细线捆成刷状的刷状电极，所以产生伴随着电晕放电由各细线排放粉尘的问题。即，如果捆成捆的细线的根数增加，则导致由于根数多出的部分而向装置外排出的发尘量增加。另外，细线上吸附的周围的尘埃使空气离子生成量降低（降低离子化效率）。

并且，捆成捆的多根细线中的、位于中心部分的细线和位于外周部分的细线各自的弯曲变形量差异很大。即，电晕放电时，刷状电极的前端部呈放射状扩径时，位于中心部分的细线基本上笔直且几乎并不弯曲变形，而位于外周部分的细线产生很大弯曲变形（例如弯曲成直角）。因此，担心位于外周部分的细线容易破损（磨损）、需要频繁观察刷状电极的状态等导致维护复杂化。

发明内容

本发明的目的在于提供一种既能够提高离子化效率又能够实现维护简化的离子发生装置。

本发明的离子发生装置是具备一个放电电极的离子发生装置，所述放电电极具有可挠性且包括固定端及自由端，其中，根据通过对所述固定端提供高电压而产生的电晕放电的斥力，所述自由端侧以所述固定端为中心进行旋转运动。

在本发明的离子发生装置中，所述离子发生装置设置有旋转运动控制部件，所述旋转运动控制部件控制所述放电电极的旋转运动状态。

在本发明的离子发生装置中，所述放电电极的直径尺寸被设定为小于等于100μm。

在本发明的离子发生装置中，所述放电电极由钛合金形成。

发明效果

根据本发明的离子发生装置，其具备具有可挠性的一个放电电极，根据通过对放电电极的固定端提供高电压而产生的电晕放电的斥力，放电电极自由端侧以固定端为中心进行旋转运动，因此，与由多个细线形成的刷状电极相比，能够大幅度地减少来自放电电极自由端侧的发尘量（発塵量）。由此，能够延长装置的维护周期。由于放电电极设置为一个，因此能够实现装置的紧凑化、并能够容易地观察放电电极的状态，实现维护的简化。由于放电电极进行旋转运动，因此能够将生成的空气离子输送至除电对象物的很宽范围内，从而能够提高离子化效率。

根据本发明的离子发生装置，由于设置有用于控制放电电极的旋转运动状态的旋转运动控制部件，因此能够根据除电对象物的形状等，任意地对生成的空气离子输送范围的大小进行控制。

根据本发明的离子发生装置，由于放电电极的直径尺寸设定为小于等于100μm，因此能够使放电电极具有充分的柔软性，并将生成的空气离子输送至更宽的范围。

根据本发明的离子发生装置，由于放电电极由钛合金形成，因此例如与钨合金相比，既能够确保高强度又能够减少发尘量，并能够进一步延长装置的维护周期。

附图说明

图1是用于说明本发明所涉及的离子发生装置的应用例的说明图。

图2是用于说明第一实施方式所涉及的离子发生装置的结构的说明图。

图3是用于说明图2的离子发生装置中空气离子的输送范围大小的A箭头视图。

图4是表示离子发生装置的比较例（放电电极固定式样）的与图2对应的说明图。

图5是用于说明图4的离子发生装置（比较例）中的空气离子的输送范围大小的B箭头视图。

图6是用于说明第二实施方式所涉及的离子发生装置的结构的说明图。

图7的（a）、（b）是用于说明图6的离子发生装置的第一调整状态的（输送宽度小）的说明图。

图8的（a）、（b）是用于说明图6的离子发生装置的第二调整状态的（输送宽度中）的说明图。

图9的（a）、（b）是用于说明图6的离子发生装置的第三调整状态的（输送宽度大）的说明图。

图10是用于说明第三实施方式所涉及的离子发生装置的主要部分的说明图。

图11的（a）、（b）、（c）是用于说明第四实施方式至第六实施方式所涉及的离子发生装置的结构的说明图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的第一实施方式进行详细说明。

图1是用于说明本发明所涉及的离子发生装置的应用例的说明图，图2是用于说明第一实施方式所涉及的离子发生装置的结构的说明图，图3是用于说明图2的离子发生装置中的空气离子的输送范围大小的A箭头视图。

图1示出了在提供包装膜（工件（work））10的薄膜供给装置20中应用离子发生装置30的事例，离子发生装置30用于除去作为除电对象物的包装膜10所携带的静电。

如图1及图2所示，离子发生装置30包括：装置主体40，用于生成空气离子EI；电源单元50，向装置主体40提供大约5kV的高电压；电源电缆60，其一端侧与电源单元50电连接，另一端侧与装置主体40电连接。

并且，图2所示的电源单元50虽然记载为提供正的高电压，但有时也提供负的高电压，并且可以准备正的高电压的电源单元和负的高电压的电源单元，以便分别向两个装置主体40提供高电压。

装置主体40是所谓的棒状的电离器，其被安装在形成薄膜供给装置20的支撑框架（未图示）的规定位置，并与移动的包装膜10相对设置。装置主体40通过由电源单元50施加的高电压产生电晕放电，由于该电晕放电而使周围的空气离子化，从而产生正极性或者负极性的空气离子EI。然后，生成的空气离子EI被喷到包装膜10上。

包装膜10由塑料材料制成为薄的片状（sheet），通过一对辊（roller）部件21、22沿图中箭头方向的旋转驱动，从而使得其前端侧向箭头M方向送出。此处，由于包装膜10与各辊部件21、22接触然后分离而使包装膜10携带静电。接着，为了迅速除去携带的静电而防止吸附尘埃等，使包装膜10通过各辊部件21、22之后立刻通过装置主体40部分。

装置主体40具有多个放电喷嘴41，各放电喷嘴41沿着装置主体40的长度方向等间隔排列设置。从各放电喷嘴41分别向包装膜10喷出空气离子EI。接着，从各放电喷嘴41喷出的空气离子EI分别到达包装膜10，以便中和并除去包装膜10所携带的静电（图中阴影部分）。这样，能够从通过装置主体40的包装膜10除去静电。

此处，如图1所示，装置主体40虽然设置成其长度方向与包装膜10的宽度方向（与箭头M方向正交方向）平行，但是在例如包装膜10的宽度尺寸狭窄等情况下，装置主体40也可以设置成其长度方向与包装膜10的送出方向（箭头M方向）平行。这种情况下，由于可以向包装膜10的带电部位长时间输送空气离子EI，因此相应地能够延长除电时间从而更有效地除电。

以下，对包装膜10上携带了负极性（minus）的静电，从各放电喷嘴41喷出用于将其中和的正极性的空气离子EI的情况进行说明。

形成离子发生装置30的装置主体40具有形成为大致长方体形状的壳体42。在壳体42的内部，沿其长度方向大致等间隔地设置有多个基座43。各基座43由塑料等树脂材料形成为大致圆柱形状，从各基座43的图中上端部分别***由电源电缆60分支的另一端侧的端子（未图示）。

在各基座43的图中下端部且在各基座43的中心部分，分别***有形成各放电喷嘴41的各放电电极44的固定端（基端）44a。对应于各基座43，逐个地设置有各放电电极44，由此各放电电极44的固定端44a在各基座43内部分别与电源电缆60的另一端侧的各端子电连接。此外，通过在壳体42内安装各放电喷嘴41，从而各放电电极44在各基座43的内部分别与电源电缆60的另一端侧的各端子电连接。

各放电电极44形成为以钛合金为原料的、截面为圆形形状的线状，其直径尺寸被设定为100μm（0.1mm）以下，例如70μm（0.07mm）。由此，由较高硬度的钛合金形成的各放电电极44具有可挠性且可以弹性变形，各放电电极44的前端侧成为能够向前后左右方向自由动的自由端44b。因此，各放电电极44的自由端44b侧由于施加高电压时产生的电晕放电的斥力，如图中双点划线箭头所示，以在规定角度范围内形成大致圆锥形状的方式以固定端44a为中心进行旋转运动。

此处，根据各放电电极44的刚性、对各放电电极44施加的电压的大小，决定自由端44b侧的旋转运动的大小、即自由端44b侧描绘的圆的大小。例如，通过降低各放电电极44的刚性，使得各放电电极44易于弹性变形，进而能够增大旋转运动的大小。另外，通过增大对各放电电极44施加的电压的大小而增大电晕放电的斥力，进而能够增大旋转运动的大小。

但是，如果仅缩小放电电极44或者增大施加电压的大小，则担心电晕放电时放电电极44的弹性变形量过大、放电电极44破损。因而，在考虑形成放电电极44的原料（钛、钨、不锈钢等）的刚性的基础上，决定放电电极44的最小直径尺寸、对放电电极44施加的电压的大小。本实施方式中，采用具有充分的可挠性以及刚性同时能够将发尘量抑制得较低的钛合金作为最优选的材料。

另外，由于在各基座43中的每个基座43逐个地设置各放电电极44、与各放电电极44接触等妨碍其旋转运动的因素不存在，因此使得各放电电极44沿前后左右方向以相同角度范围产生弹性变形并进行旋转运动。由此，如图3所示，能够使得空气离子EI圆形状地到达包装膜10中直径尺寸d1的输送范围a1。

接着，参照附图，对如上所述形成的第一实施方式所涉及的离子发生装置30的动作进行详细说明。

如图2所示，通过操作未图示的控制器，由电源单元50经由电源电缆60向装置主体40供给约5kV的高电压，则高电压被施加给各放电电极44的固定端44a。由此，从各放电电极44的自由端44b产生电晕放电（未图示）。

电晕放电从各放电电极44的自由端44b向不规则方向（前后左右方向）产生，沿与该电晕放电的产生方向相反的方向产生斥力。基于电晕放电产生的斥力使得各放电电极44的自由端44b侧向与电晕放电的产生方向相反的方向挠曲。由于电晕放电的产生方向不规则地改变，因此如图中双点划线所示，各放电电极44的自由端44b侧以形成大致圆锥形状的方式进行旋转运动。由此，从各放电电极44的自由端44b侧遍及包装膜10的较宽范围地喷出正极性的空气离子EI。

如图3所示，从进行旋转运动的各放电电极44的自由端44b喷出的空气离子EI形成直径尺寸d1的输送范围a1。各放电电极44的各输送范围a1在包装膜10的宽度方向（图中左右方向）上彼此部分重叠。由此，通过包装膜10向箭头M方向移动，从而能够对沿着包装膜10宽度方向的带电部位的整个区域（图中阴影部分）进行除电。

此处，当观察包装膜10的某部分时，薄膜供给装置20的各辊部件21、22的旋转速度（工件输送速度）被设定为该部分通过输送范围a1需花费两秒钟的旋转速度。即，设定为能够充分除去包装膜10携带的静电的工件输送速度。

接着，参照附图对具有非振动的固定型的放电电极的离子发生装置（比较例）进行详细说明。此外，对与上述第一实施方式的离子发生装置30具有相同功能的部分标注相同标记，并省略其说明。

图4是表示离子发生装置的比较例（放电电极固定式样）的与图2对应的说明图，图5是用于说明图4的离子发生装置（比较例）中的空气离子的输送范围大小的B箭头视图。

比较例的离子发生装置70将非振动的固定型的放电针71分别固定于各基座43。各放电针71的直径尺寸例如被设定为2mm，其是基于产生的电晕放电未产生弹性变形（振动）的粗细（刚性）。各放电针71的固定端（基端）71a侧***各基座43，其前端部71b变得尖细而容易产生电晕放电。

如图5所示，由各放电针71的前端部71b生成的空气离子EI形成直径尺寸d2（d2<d1）的输送范围a2，各放电针71的各输送范围a2沿包装膜10的宽度方向（图中左右方向）不存在重叠部分。即，在通过离子发生装置70（装置主体40）的包装膜10，沿其宽度方向部分残留带电部位。

此处，将装置主体40与包装膜10之间的距离设定为L时，图2、图3所示的离子发生装置30（本发明）与图4、图5所示的离子发生装置70（比较例）相比，能够扩大输送范围（a1>a2）。即，为了通过比较例的装置除去包装膜10的带电部位而不发生残留，需要加长装置主体40与包装膜10之间的距离L，从而导致离子发生装置安装空间大型化。另一方面，由于根据本发明装置能够增大输送范围，因而即使是离子发生装置的安装空间不太富余的情况下也能够对应（省空间对应型）。

根据如上所述形成的第一实施方式涉及的离子发生装置30，在基座43设置具有可挠性的一个放电电极44，由于向放电电极44的固定端44a提供高电压而产生的电晕放电的斥力，使得放电电极44的自由端44b侧以固定端44a为中心进行旋转运动，因此，与由多个细线形成的刷状电极相比，能够大幅度减少来自放电电极44的自由端44b侧的发尘量。由此，能够延长离子发生装置30的维护周期。由于放电电极44被设定为一个，因而能够实现离子发生装置30的紧凑化，并能够容易地观察放电电极44的状态，从而能够实现维护的简化。由于放电电极44进行旋转运动，因此生成的空气离子EI能够输送至包装膜10的较宽范围，从而能够提高离子化效率。

并且，根据第一实施方式的离子发生装置30，由于各放电电极44由钛合金形成且其直径尺寸设定为70μm，因此与例如钨合金相比，既能够确保高强度又能够减少发尘量，且能够使其具有充分的柔软性地振动。由此，能够进一步延长离子发生装置30的维护周期，并能够将生成的空气离子EI输送至较宽的范围。

然后，参照附图对本发明的第二实施方式进行详细说明。此外，对与上述第一实施方式具有相同功能的部分标注相同标记，并省略其说明。

图6是用于说明第二实施方式所涉及的离子发生装置的结构的说明图，图7的（a）、（b）是用于说明图6的离子发生装置的第一调整状态的（输送宽度小）的说明图，图8的（a）、（b）是用于说明图6的离子发生装置的第二调整状态的（输送宽度中）的说明图，图9的（a）、（b）是用于说明图6的离子发生装置的第三调整状态的（输送宽度大）的说明图。

如图6所示，第二实施方式所涉及的离子发生装置80与上述第一实施方式所涉及的离子发生装置30相比，具有如下不同点：在安装于装置主体40的壳体42的放电喷嘴41（参照图1）设置有对放电电极44的旋转运动状态进行控制的旋转运动控制部件81，以便能够调整空气离子EI相对于包装膜10的输送范围的宽度。

旋转运动控制部件81由塑料等树脂材料（非导电体）形成为大致圆柱形状，其基端侧沿虚线箭头R方向自由旋转地被安装于基座43。在旋转运动控制部件81，以沿其轴方向的方式从前端侧朝向基端侧地形成有与旋转运动控制部件81的中心部分相对的槽（slit）82。槽82的宽度尺寸被设定为大于放电电极44直径尺寸的尺寸、例如150μm～300μm，由此使得放电电极44在槽82的内部沿槽82的形成方向进行旋转运动。

图7的（a）、图8的（a）以及图9的（a）是图6的C箭头视图，通过在放电电极44的直径尺寸与槽82的宽度尺寸之间设定差值，从而使得放电电极44在槽82的内部以沿箭头S方向旋转的方式移动。因此，通过使旋转运动控制部件81相对于基座43旋转，从而能够对放电电极44相对于包装膜10移动方向（箭头M方向）的旋转运动状态、即放电电极44的旋转运动方向进行控制。

图7的（b）、图8的（b）以及图9的（b）是图6的D箭头视图，如图7所示，将旋转运动控制部件81相对于基座43的相对旋转角度（调整角度）设定为0°且设定为第一调整状态时，放电电极44被旋转运动控制部件81限制沿包装膜10的移动方向M方向进行旋转运动。由此，如图7的（b）所示，能够得到宽度W1的大致椭圆形状的空气离子EI的输送范围a3（输送宽度小）。

并且，如图8所示，将旋转运动控制部件81相对于基座43的相对旋转角度（调整角度）设定为45°且设定为第二调整状态时，放电电极44被旋转运动控制部件81限制以相对于包装膜10的移动方向M偏移45°的状态进行旋转运动。由此，如图8的（b）所示，能够得到宽度W2（W2>W1）的大致椭圆形状的空气离子EI的输送范围a3（输送宽度中）。

此外，如图9所示，将旋转运动控制部件81相对于基座43的相对旋转角度（调整角度）设定为90°且设定为第三调整状态时，放电电极44被旋转运动控制部件81限制以相对于包装膜10的移动方向M偏移90°的状态进行旋转运动。由此，如图9的（b）所示，能够得到宽度W3（W3>W2）的大致椭圆形状的空气离子EI的输送范围a3（输送宽度大）。

即使在如上所述形成的第二实施方式中，也能够获得与上述第一实施方式相同的作用效果。除此之外，在第二实施方式中，由于设置了用于控制放电电极44的旋转运动状态的旋转运动控制部件81，所以能够根据包装膜10、其他除电对象物的形状等，任意地对生成的空气离子EI的输送范围a3的大小、即输送宽度进行控制。

接着，参照附图对本发明的第三实施方式进行详细说明。此外，对与上述第一实施方式具有相同功能的部分标注相同标记，并省略其详细说明。

如图10所示，第三实施方式所涉及的离子发生装置90与上述第一实施方式所涉及的离子发生装置30相比，具有如下不同点：在安装于装置主体40的壳体42的放电喷嘴41（参照图1）设置了放电电极交换单元91，可以通过螺纹连接将该放电电极交换单元91安装于基座43，以便能够与其他式样的放电电极交换单元92交换。

放电电极交换单元91由塑料等树脂材料（非导电体）形成为圆筒状，其具有内径尺寸被设定为d3的旋转运动控制筒部91a。旋转运动控制筒部91a将由放电电极44产生的空气离子EI的输送范围a4的直径尺寸限制为D1。

放电电极交换单元92由塑料等树脂材料（非导电体）形成为圆筒状，其具有内径尺寸被设定为d4（d4>d3）的旋转运动控制筒部92a。旋转运动控制筒部92a将由放电电极44产生的空气离子EI的输送范围a5的直径尺寸限制为D2（D2>D1）。

此处，各旋转运动控制筒部91a、92a构成本发明的旋转运动控制部件。

即使在如上所述形成的第三实施方式中，也能够获得与上述第一实施方式相同的作用效果。除此之外，在第三实施方式中，由于在放电喷嘴41设置了可交换的放电电极交换单元91，所以能够根据包装膜10、其他除电对象物的形状等，容易地从已设置的放电电极交换单元91更换为其他式样的放电电极交换单元92。

接着，参照附图对本发明的第四实施方式至第六实施方式进行详细说明。此外，对与上述第一实施方式具有相同功能的部分标注相同标记，并省略其详细说明。

如图11所示，第四实施方式至第六实施方式所涉及的离子发生装置100～102与上述第一实施方式所涉及的离子发生装置30相比，具有如下不同点：在放电电极44的周围或与放电电极44的自由端44b相对的位置设置有接地的金属制的相对电极100a～102a。

如图11的（a）所示，第四实施方式所涉及的离子发生装置100以从放电电极44的固定端44a侧的周围将其覆盖的方式设置有环状的相对电极100a。由此，能够使由放电电极44产生的电晕放电的方向朝向相对电极100a，进而能够增大放电电极44的旋转运动的角度范围。因而，能够获得与上述第一实施方式相同的作用效果，除此之外，能够进一步增大空气离子EI相对于包装膜10的输送范围。

如图11的（b）所示，第五实施方式所涉及的离子发生装置101以从放电电极44的自由端44b侧的周围将其覆盖的方式设置有环状相对电极101a。由此，能够使由放电电极44产生的电晕放电的方向朝向相对电极101a，进而能够使放电电极44的自由端44b侧沿着相对电极101a的内周稳定地进行旋转运动。因而，能够获得与上述第一实施方式相同的作用效果，除此之外，能够在包装膜10的输送范围内进一步稳定地输送空气离子EI。

如图11的（c）所示，第六实施方式所涉及的离子发生装置102在放电电极44的自由端44b侧的进一步超过包装膜10的前端设置有网状（网眼状）或板状的相对电极102a。由此，能够可靠地使由放电电极44产生的电晕放电的方向朝向包装膜10。

这样，第四实施方式至第六实施方式所涉及的离子发生装置100～102中，能够获得与上述第一实施方式相同的作用效果，除此之外，由于设置有相对电极100a～102a，所以能够引导产生电晕放电的方向，从而即使是低电压也能够由放电电极44产生电晕放电。因而，能够进一步减少来自放电电极44的发尘量，进而能够实现离子发生装置的节电化。并且，由于能够引导产生电晕放电的方向并将空气离子EI高效率地向包装膜10输送，因此能够进一步缩短包装膜10的除电时间（提高除电效率）。由此，能够加快包装膜10的输送速度，并能够实现薄膜供给装置20的高效率化。

本发明并不仅限于上述各实施方式，在不超出其宗旨的范围内当然可以进行各种更改。例如，虽然上述各实施方式中示出钛合金制的放电电极44，但本发明并不仅限于此，也可以根据离子发生装置的除电能力（式样）等，采用钨制、不锈钢制等其他材料的放电电极。

另外，上述各实施方式中，虽然通过缩短放电电极44和包装膜10之间的距离以使空气离子EI到达包装膜10，但本发明并不仅限于此，也可以在离子发生装置连接空气供给源，从各放电喷嘴41向包装膜10供给空气同时将空气离子EI喷到包装膜10上。

此外，在上述各实施方式中，虽然已经对由各放电电极44生成正极性的空气离子EI的情况进行了说明，但本发明并不仅限于此，也可以根据除电对象物的带电状态（正极性/负极性），由各放电电极44生成负极性的空气离子EI、或者由各放电电极44交替地生成正极性或负极性空气离子EI。

工业上的可利用性

离子发生装置可以用于除去组装电子部件的装配架、由塑料材料制成的包装膜等携带的静电。

Claims

1.一种离子发生装置，其是具备一个放电电极的离子发生装置，所述放电电极具有可挠性且包括固定端及自由端，所述离子发生装置的特征在于，

根据通过对所述固定端提供高电压而产生的电晕放电的斥力，所述自由端侧以所述固定端为中心进行旋转运动。

2.根据权利要求1所述的离子发生装置，其特征在于，

所述离子发生装置设置有旋转运动控制部件，所述旋转运动控制部件控制所述放电电极的旋转运动状态。

3.根据权利要求1所述的离子发生装置，其特征在于，

所述放电电极的直径尺寸被设定为小于等于100μm。

4.根据权利要求1所述的离子发生装置，其特征在于，

所述放电电极由钛合金形成。