CN102998295A - 一种微型拉曼光谱仪 - Google Patents

一种微型拉曼光谱仪 Download PDF

Info

Publication number
CN102998295A
CN102998295A CN2011102666776A CN201110266677A CN102998295A CN 102998295 A CN102998295 A CN 102998295A CN 2011102666776 A CN2011102666776 A CN 2011102666776A CN 201110266677 A CN201110266677 A CN 201110266677A CN 102998295 A CN102998295 A CN 102998295A
Authority
CN
China
Prior art keywords
optical path
light
raman spectrometer
path module
light splitting
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN2011102666776A
Other languages
English (en)
Inventor
林志强
吴砺
林磊
李俊梅
代会娜
任策
刘鸿飞
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Photop Technologies Inc
Original Assignee
Photop Technologies Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Photop Technologies Inc filed Critical Photop Technologies Inc
Priority to CN2011102666776A priority Critical patent/CN102998295A/zh
Publication of CN102998295A publication Critical patent/CN102998295A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)

Abstract

本发明公开了一种微型拉曼光谱仪，包括探头光路模块、分光光路模块和电子控制部分，所述探头光路模块为一集成有激光器的准直滤波***；所述分光光路模块集成有入射狭缝、凹面全息反射光栅和CCD探测器，所述CCD探测器位于凹面全息反射光栅的焦平面上；所述入射狭缝与CCD探测器分别处于分光光路的共轭面上。该结构基于平场凹面全息反射光栅分光，采用反射镜将光路折叠，并将拉曼信号的激发光源与整个准直滤波***集成在一个模块中，在保持较高的光谱分辨率的情况下进一步缩小了光路的体积；根据实际光路的特点采用模块化设计，方便了光路的调节，增加了***的可靠性，适合批量化生产；具有体积小、携带方便、成本低等优点。

Description

一种微型拉曼光谱仪
技术领域
本发明涉及光学检测仪器领域，尤其涉及一种微型拉曼光谱仪。 
背景技术
拉曼光谱反映了分子结构中原子的振动特征，被称为分子的指纹光谱。拉曼检测技术作为一种无与伦比的、有力的分析手段，具有无损测量、检测速度快、制样简单、可实现现场检测等优点，有望应用于现实的生产和生活中。但是，由于拉曼散射的强度很弱，其强度是瑞利散射光强度的10-6~10-3倍，因此，拉曼光谱仪的结构一般比较复杂，并且价格昂贵，动辄百万人民币，这些阻碍了拉曼光谱在实际检测中的应用，拉曼光谱仪器的小型化和简单化将是未来的发展方向。
如图1为拉曼光谱仪的工作原理图，各模块按实现的功能可分为：获取拉曼信号的探头光路模块1、分光光路模块2和电子控制部分。拉曼光谱仪的体积主要由探头光路模块1和分光光路模块2决定，因此，拉曼光谱仪的微型化问题主要是解决这两个光路模块的微型化问题。
目前，采用光栅分光的微型拉曼光谱仪得到了一定的发展，较传统的拉曼光谱仪，微型拉曼光谱仪需要解决微型化和集成化的问题。微型化的拉曼光谱仪在工作原理上与传统的光谱仪相同，所以无论以何种形式实现微型化，***都必须包含拉曼光谱仪的基本组成。一般而言，***的微型化有两种途径：第一，将各部分集成加工，仅利用一个或较少的元件来实现所有的功能；第二，采用微型化的元件和***结构来实现整体***的微型化。本发明结合这两种途径的特点，实现光谱仪的微型化设计。 
发明内容
为克服上述问题，本发明提出一种体积小、携带方便、成本低的微型拉曼光谱仪，可广泛应用于食品安全检查、生物医疗、宝石鉴定、文物鉴定、刑事鉴定、公共安全、地质探矿、材料科学和环境监测等领域。
为达到上述目的，本发明所提出的技术方案为：一种微型拉曼光谱仪，包括探头光路模块、分光光路模块和电子控制部分，所述探头光路模块为一集成有激光器的准直滤波***；所述分光光路模块集成有入射狭缝、凹面全息反射光栅和CCD探测器，所述CCD探测器位于凹面全息反射光栅的焦平面上；所述入射狭缝与CCD探测器分别处于分光光路的共轭面上。
进一步的，所述分光光路模块还包括用于折叠光路的反射镜。
进一步的，所述分光光路模块还包括一机械模具，入射狭缝、凹面全息反射光栅和CCD探测器固定于机械模具的相应位置；或者，该分光光路模块为一棱镜结构，所述入射狭缝、凹面全息反射光栅和反射镜加工于该棱镜结构上，所述CCD探测器贴于凹面全息反射光栅的焦平面上。
进一步的，所述棱镜结构为一实心棱镜，或者为多片反射镜胶合的中空结构。
进一步的，信号光在所述实心棱镜内多次反射，该实心棱镜对应于凹面全息反射光栅的次级衍射光的反射面处镀增透膜。或者，信号光在所述中空结构内多次反射，该中空结构对应于凹面全息反射光栅的次级衍射光的角度方向上不设置反射镜，或者在该次级衍射光的反射面处镀增透膜。
进一步的，所述准直滤波***还包括一准直***、45°二向色镜、长波通滤波片、信号收集透镜和聚焦透镜；所述45°二向色镜反射激光器发射的光，透射其他波长的光；所述激光器发射的光经准直***准直后照射到45°二向色镜上，由45°二向色镜反射后经信号收集透镜聚焦后照射到待测样品上；激发出的拉曼信号光经信号收集透镜聚焦收集后透过45°二向色镜和长波通滤波片后，经聚焦透镜会聚进入分光光路模块。
优选的，所述激光器为TO封装的785nm波长的半导体激光器。
本发明的有益效果：本发明的一种微型拉曼光谱仪，基于平场凹面全息反射光栅分光，采用反射镜将光路折叠，并将拉曼信号的激发光源与整个准直滤波***集成在一个模块中，在保持较高的光谱分辨率的情况下进一步缩小了光路的体积；根据实际光路的特点采用模块化设计，方便了光路的调节，增加了***的可靠性，适合批量化生产；具有体积小、携带方便、成本低等优点。
附图说明
图1为本发明中拉曼光谱仪的结构原理图；
图2为本发明的拉曼光谱仪的分光光路模块示意图；
图3为本发明的拉曼光谱仪中光路折叠的分光光路模块示意图；
图4为本发明的拉曼光谱仪的探头光路模块示意图。
标号说明：1.探头光路模块；101.激光器；102.准直***；
103.45°二向色镜；104.信号收集透镜；105.长波通滤波片；
106.聚焦透镜；2.分光光路模块；201.入射狭缝；202.凹面全息反射光栅；203.CCD探测器；204.机械模具；211.入射狭缝；212.凹面全息反射光栅；213.反射镜；214.CCD探测器；215.棱镜结构。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式，对本发明做进一步说明。
本发明的一种微型拉曼光谱仪的工作原理同传统拉曼光谱仪相同，如图1所示，由拉曼激光器发射的激光经镜头聚焦到样品上，从样品发射的拉曼散射光信号和瑞利散射光信号通过镜头的准直作用进入拉曼探头。在拉曼探头内，瑞利散射光被滤除，拉曼散射光信号经过光谱仪模块的分光作用以后，通过光电探测器记录拉曼信号，再经过电子控制部分的控制采集电路、控制/显示模块和输入/输出端口的处理获得拉曼散射光信号数据。本发明将拉曼激光器、镜头和滤波***集成为一个整体模块，作为探头光路模块1；将光谱仪模块和光电探测器集成为一个整体模块，作为分光光路模块2。通过集成化的模块***，使用较少的光学元件，结构简单，性能良好，是一种非常合适的光谱仪微型化的解决方案，而且光路调节简单，成本低，适合批量生产。
如图2所示，为本发明微型拉曼光谱仪中分光光路模块2的一种具体实施方式，该分光光路模块2集成有入射狭缝201、凹面全息反射光栅202和CCD探测器203，该CCD探测器203位于凹面全息反射光栅202的焦平面上；入射狭缝201与CCD探测器203分别处于分光光路的共轭面上。本实施例中，根据具体的光路结构设计有一机械模具204，直接将入射狭缝201、凹面全息反射光栅202和CCD探测器203固定到该机械模具204的相应位置，该结构的光谱仪调节简单，有利于提高***的可靠性，适合批量化生产。在光谱仪中，信号光通过入射狭缝201照射到凹面全息反射光栅202上，经过凹面全息反射光栅202的色散和聚光作用后，被处于凹面全息反射光栅202的焦平面上的CCD探测器203接收。入射狭缝201和CCD探测器203为关于分光***的一对共轭面。由于凹面全息反射光栅202同时具有衍射分光和聚焦成像的作用，在整个光路***中只使用了这一个光学元件，这对于减少***的杂散光非常有利，并且光路结构简单，提高了微型拉曼光谱仪的性能。
为了使***进一步微型化，还可以在光路中加入一反射镜，对凹面全息反射光栅202聚焦成像的光路进行折叠，使结构更加紧凑，进一步缩小分光***的体积。
如图3所示，为本发明微型拉曼光谱仪中分光光路模块2的另一种具体实施方式，同样集成有入射狭缝211、凹面全息反射光栅212和CCD探测器214，还加入一反射镜213对成像光路进行折叠，进一步缩小分光***的体积；该CCD探测器214位于凹面全息反射光栅212的焦平面上；入射狭缝211与CCD探测器214分别处于分光光路的共轭面上。本实施例中，将入射狭缝211、凹面全息反射光栅212和反射镜213加工在一棱镜结构215上，将CCD探测器214贴在凹面全息反射光栅212的焦平面处。其光路原理同图2所示的光路一致，只是在聚焦成像光路中利用反射镜折叠光路，以进一步缩小***体积。该结构可以通过优化棱镜结构215的角度使光路经过一次或者多次的反射，从而在不降低***的分辨率的情况下大幅压缩光路***的体积，而且该结构为整体式的模块化设计，增加了***的可靠性，通过采用高精度的棱镜结构215，***装配时只需进行简单的位置调节，适合用于批量化生产。
图3中的棱镜结构215可以采用实心的光学棱镜，也可以采用多片反射镜胶合而成的中空结构。如果凹面全息反射光栅214的次级衍射光也在棱镜结构215内部多次内反射，将极大的影响***的信噪比，为此，可以通过调节主级衍射和次级衍射的角度，并将棱镜结构215对应于凹面全息反射光栅212的次级衍射光的反射面处镀增透膜，这样便可降低次级衍射光的干扰。如果该棱镜结构215采用的是多片反射镜胶合而成的中空结构，则只需在次级衍射光的角度方向上不设置反射镜即可；或者，也可以在该次级衍射光的反射面处镀增透膜。
图4为本发明微型拉曼光谱仪中探头光路模块1的一种具体实施方式，为一集成有激光器101的准直滤波***，该准直滤波***还包括一准直***102、45°二向色镜103、长波通滤波片105、信号收集透镜104和聚焦透镜106；该45°二向色镜103反射激光器101发射的光，透射其他波长的光；激光器101发射的光经准直***102准直后照射到45°二向色镜103上，由45°二向色镜103反射后经信号收集透镜104聚焦后照射到待测样品上；激发出的拉曼信号光经信号收集透镜104聚焦收集后透过45°二向色镜103和长波通滤波片105后，经聚焦透镜106会聚进入分光光路模块2，作为分光光路模块2的输入信号。本实施例选用的激光器101为TO封装的785nm波长的半导体激光器，该45°二向色镜103对其发射的785nm波长的激光的反射率＞98%，对于其它波长光的透射率＞94%。该***中，散射信号光经过45°二向色镜103和长波通滤波片105的两次滤波，能够比较彻底的滤除了由于漫反射而被信号收集透镜104收集的激光信号和激发样品产生的瑞利散射光信号，使得经过该***得到的拉曼信号具有比较高的信噪比。该结构将拉曼信号的激发光源与探头***集成到一个模块中，进一步缩小光谱仪的整体体积，结构更加紧凑、轻便，有望应用于现实的生产和生活中。
尽管结合优选实施方案具体展示和介绍了本发明，但所属领域的技术人员应该明白，在不脱离所附权利要求书所限定的本发明的精神和范围内，在形式上和细节上对本发明做出的各种变化，均为本发明的保护范围。 

Claims (10)

1.一种微型拉曼光谱仪，包括探头光路模块、分光光路模块和电子控制部分，其特征在于：所述探头光路模块为一集成有激光器的准直滤波***；所述分光光路模块集成有入射狭缝、凹面全息反射光栅和CCD探测器，所述CCD探测器位于凹面全息反射光栅的焦平面上；所述入射狭缝与CCD探测器分别处于分光光路的共轭面上。
2.如权利要求1所述的一种微型拉曼光谱仪，其特征在于：所述分光光路模块还包括用于折叠光路的反射镜。
3.如权利要求1或2所述的一种微型拉曼光谱仪，其特征在于：所述分光光路模块还包括一机械模具，入射狭缝、凹面全息反射光栅和CCD探测器固定于机械模具的相应位置。
4.如权利要求1或2所述的一种微型拉曼光谱仪，其特征在于：所述分光光路模块为一棱镜结构，所述入射狭缝、凹面全息反射光栅和反射镜加工于该棱镜结构上，所述CCD探测器贴于凹面全息反射光栅的焦平面上。
5.如权利要求4所述的一种微型拉曼光谱仪，其特征在于：所述棱镜结构为一实心棱镜。
6.如权利要求5所述的一种微型拉曼光谱仪，其特征在于：信号光在所述实心棱镜内多次反射，该实心棱镜对应于凹面全息反射光栅的次级衍射光的反射面处镀增透膜。
7.如权利要求4所述的一种微型拉曼光谱仪，其特征在于：所述棱镜结构为多片反射镜胶合的中空结构。
8.如权利要求7所述的一种微型拉曼光谱仪，其特征在于：信号光在所述中空结构内多次反射，该中空结构对应于凹面全息反射光栅的次级衍射光的角度方向上不设置反射镜，或者在该次级衍射光的反射面处镀增透膜。
9.如权利要求1所述的一种微型拉曼光谱仪，其特征在于：所述准直滤波***还包括一准直***、45°二向色镜、长波通滤波片、信号收集透镜和聚焦透镜；所述45°二向色镜反射激光器发射的光，透射其他波长的光；所述激光器发射的光经准直***准直后照射到45°二向色镜上，由45°二向色镜反射后经信号收集透镜聚焦后照射到待测样品上；激发出的拉曼信号光经信号收集透镜聚焦收集后透过45°二向色镜和长波通滤波片后，经聚焦透镜会聚进入分光光路模块。
10.如权利要求1或9所述的一种微型拉曼光谱仪，其特征在于：所述激光器为TO封装的785nm波长的半导体激光器。
CN2011102666776A 2011-09-09 2011-09-09 一种微型拉曼光谱仪 Pending CN102998295A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2011102666776A CN102998295A (zh) 2011-09-09 2011-09-09 一种微型拉曼光谱仪

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2011102666776A CN102998295A (zh) 2011-09-09 2011-09-09 一种微型拉曼光谱仪

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN102998295A true CN102998295A (zh) 2013-03-27

Family

ID=47927138

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2011102666776A Pending CN102998295A (zh) 2011-09-09 2011-09-09 一种微型拉曼光谱仪

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN102998295A (zh)

Cited By (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104076022A (zh) * 2014-07-07 2014-10-01 北京理工大学 一种应用凹面光栅的便携式拉曼光谱仪
CN104198462A (zh) * 2014-09-11 2014-12-10 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 一种带定位功能的拉曼光谱仪
CN104422681A (zh) * 2013-09-02 2015-03-18 中国科学院大连化学物理研究所 一种拉曼光谱仪
CN104568910A (zh) * 2015-02-10 2015-04-29 中石化西南石油工程有限公司地质录井分公司 应用于录井现场的狭缝分光拉曼光谱气体分析***
CN104597026A (zh) * 2014-12-31 2015-05-06 苏州优谱德精密仪器科技有限公司 一种增强拉曼光谱的装置
CN104697972A (zh) * 2013-12-04 2015-06-10 北京智朗芯光科技有限公司 一种在线实时检测外延片生长的方法
CN104964964A (zh) * 2015-07-27 2015-10-07 哈尔滨工业大学（威海） 一种基于棱镜分光的便携式激光拉曼光谱仪
CN105659142A (zh) * 2013-07-29 2016-06-08 生物辐射实验室股份有限公司 机械变焦成像装置
CN107884387A (zh) * 2017-11-28 2018-04-06 北京云端光科技术有限公司 光谱仪及光谱检测***
CN108489613A (zh) * 2018-02-05 2018-09-04 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种体全息光栅型空间外差拉曼成像光谱仪光路结构
CN108700461A (zh) * 2015-12-29 2018-10-23 欧克解析公司 紧凑型光谱仪
CN109682791A (zh) * 2019-01-25 2019-04-26 奥谱天成(厦门)科技有限公司 一种基于光空间自由传输的无光纤手持拉曼光谱仪
CN109799221A (zh) * 2019-01-07 2019-05-24 北京青木子科技发展有限公司 一种可拆装的教学用拉曼光谱仪***及其控制方法
CN110454142A (zh) * 2019-05-23 2019-11-15 王恒 一种电缆传输井下激光拉曼测试工具
CN110672583A (zh) * 2019-10-21 2020-01-10 中国工程物理研究院核物理与化学研究所 一种拉曼光谱激发结构及气体分析方法
CN110967958A (zh) * 2019-12-20 2020-04-07 深圳大学 一种基于多狭缝扩展记录频域全息成像的方法及装置
CN113465656A (zh) * 2021-04-30 2021-10-01 潍坊嘉腾液压技术有限公司 一种用于检测流体复合参数的测试仪及数据处理方法

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1388362A (zh) * 2002-05-13 2003-01-01 重庆大学 集成化微型光谱仪
DE102004034354B3 (de) * 2004-07-12 2006-02-09 Friedrich-Schiller-Universität Jena Ultrakompaktes Raman-Spektrometer
US20080024777A1 (en) * 2004-04-30 2008-01-31 Peidong Wang Method and apparatus for conducting Raman spectroscopy
CN101263372A (zh) * 2005-05-17 2008-09-10 霍尼韦尔国际公司 光学微型光谱仪
WO2009012222A1 (en) * 2007-07-13 2009-01-22 Purdue Research Foundation Time-resolved raman spectroscopy
CN101504371A (zh) * 2009-03-05 2009-08-12 中国检验检疫科学研究院 液态奶中三聚氰胺含量的定量检测仪
CN102147368A (zh) * 2010-12-22 2011-08-10 北京理工大学 一种Raman光谱检测***

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1388362A (zh) * 2002-05-13 2003-01-01 重庆大学 集成化微型光谱仪
US20080024777A1 (en) * 2004-04-30 2008-01-31 Peidong Wang Method and apparatus for conducting Raman spectroscopy
DE102004034354B3 (de) * 2004-07-12 2006-02-09 Friedrich-Schiller-Universität Jena Ultrakompaktes Raman-Spektrometer
CN101263372A (zh) * 2005-05-17 2008-09-10 霍尼韦尔国际公司 光学微型光谱仪
WO2009012222A1 (en) * 2007-07-13 2009-01-22 Purdue Research Foundation Time-resolved raman spectroscopy
CN101504371A (zh) * 2009-03-05 2009-08-12 中国检验检疫科学研究院 液态奶中三聚氰胺含量的定量检测仪
CN102147368A (zh) * 2010-12-22 2011-08-10 北京理工大学 一种Raman光谱检测***

Cited By (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105659142A (zh) * 2013-07-29 2016-06-08 生物辐射实验室股份有限公司 机械变焦成像装置
CN105659142B (zh) * 2013-07-29 2018-08-31 生物辐射实验室股份有限公司 机械变焦成像装置
CN104422681A (zh) * 2013-09-02 2015-03-18 中国科学院大连化学物理研究所 一种拉曼光谱仪
CN104697972A (zh) * 2013-12-04 2015-06-10 北京智朗芯光科技有限公司 一种在线实时检测外延片生长的方法
CN104076022A (zh) * 2014-07-07 2014-10-01 北京理工大学 一种应用凹面光栅的便携式拉曼光谱仪
CN104198462A (zh) * 2014-09-11 2014-12-10 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 一种带定位功能的拉曼光谱仪
CN104597026A (zh) * 2014-12-31 2015-05-06 苏州优谱德精密仪器科技有限公司 一种增强拉曼光谱的装置
CN104568910A (zh) * 2015-02-10 2015-04-29 中石化西南石油工程有限公司地质录井分公司 应用于录井现场的狭缝分光拉曼光谱气体分析***
CN104568910B (zh) * 2015-02-10 2018-10-02 中石化西南石油工程有限公司地质录井分公司 应用于录井现场的狭缝分光拉曼光谱气体分析***
CN104964964A (zh) * 2015-07-27 2015-10-07 哈尔滨工业大学（威海） 一种基于棱镜分光的便携式激光拉曼光谱仪
CN108700461A (zh) * 2015-12-29 2018-10-23 欧克解析公司 紧凑型光谱仪
CN107884387A (zh) * 2017-11-28 2018-04-06 北京云端光科技术有限公司 光谱仪及光谱检测***
CN108489613A (zh) * 2018-02-05 2018-09-04 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种体全息光栅型空间外差拉曼成像光谱仪光路结构
CN108489613B (zh) * 2018-02-05 2019-11-05 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种体全息光栅型空间外差拉曼成像光谱仪光路结构
CN109799221A (zh) * 2019-01-07 2019-05-24 北京青木子科技发展有限公司 一种可拆装的教学用拉曼光谱仪***及其控制方法
CN109682791A (zh) * 2019-01-25 2019-04-26 奥谱天成(厦门)科技有限公司 一种基于光空间自由传输的无光纤手持拉曼光谱仪
CN110454142A (zh) * 2019-05-23 2019-11-15 王恒 一种电缆传输井下激光拉曼测试工具
CN110672583A (zh) * 2019-10-21 2020-01-10 中国工程物理研究院核物理与化学研究所 一种拉曼光谱激发结构及气体分析方法
CN110967958A (zh) * 2019-12-20 2020-04-07 深圳大学 一种基于多狭缝扩展记录频域全息成像的方法及装置
CN110967958B (zh) * 2019-12-20 2024-05-24 深圳大学 一种基于多狭缝扩展记录频域全息成像的方法及装置
CN113465656A (zh) * 2021-04-30 2021-10-01 潍坊嘉腾液压技术有限公司 一种用于检测流体复合参数的测试仪及数据处理方法
CN113465656B (zh) * 2021-04-30 2023-08-15 潍坊嘉腾液压技术有限公司 一种用于检测流体复合参数的测试仪及数据处理方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102998295A (zh) 一种微型拉曼光谱仪
CN106546533B (zh) 一种用全孔径角抛物镜收集表面增强拉曼散射光谱的设备
CN106323471B (zh) 一种基于dlp技术和压缩感知理论的超灵敏光谱检测方法及***
US7564541B2 (en) System for obtaining images in bright field and crossed polarization modes and chemical images in raman, luminescence and absorption modes
US20120280144A1 (en) Optical system enabling low power excitation and high sensitivity detection of near infrared to visible upconversion phoshors
CN102359949A (zh) 一种基于mems扫描微镜的高分辨率微型红外光谱仪
CN109507166A (zh) 一种双通道微型拉曼光谱仪
CN105136293B (zh) 一种基于透射光栅的mems微镜微型光谱仪
CN206656801U (zh) 紧凑型ccd阵列光谱仪以及拉曼光谱检测***
US20090316146A1 (en) Three mirror anastigmat spectrograph
CN106124051A (zh) 一种小型拉曼光谱仪
CN211652548U (zh) 基于光电倍增管的高灵敏度拉曼光谱仪
CN103196879A (zh) 一种激光诱导荧光光谱检测装置
JP2022528951A (ja) コヒーレント反ストークスラマン散乱顕微鏡結像装置
CN107167456A (zh) 透射式差动共焦cars显微光谱测试方法及装置
CN106370642A (zh) 一种检测食品和药品专用的便携拉曼光谱仪
US20100014076A1 (en) Spectrometric apparatus for measuring shifted spectral distributions
CN214096364U (zh) 一种基于双复眼透镜组的拉曼探头
CN113552090A (zh) 一种基于微型扫描光栅微镜的近红外荧光光谱仪
CN113566964A (zh) 一种光谱分析装置及***
CN204028004U (zh) 一种基于拉曼滤波的物质检测装置
CN213275352U (zh) 一种基于离轴抛物面反射镜的拉曼信号收集探头
CN110376180A (zh) 一种基于led光源的高光谱分辨率的拉曼测量***及方法
CN109682791A (zh) 一种基于光空间自由传输的无光纤手持拉曼光谱仪
CN212059104U (zh) 一种宽光谱高灵敏度拉曼光谱仪

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C02 Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001)
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Application publication date: 20130327