CN102929058A - 阵列基板及其制造方法、显示装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种阵列基板及其制造方法、显示装置,涉及显示领域,可降低阵列基板与彩膜基板对位偏差对透过率的影响,避免对位偏差导致的漏光,同时还可增强信号线绝缘度,降低面板功耗。所述阵列基板,包括:基板,设置于基板上的薄膜晶体管,像素电极,以及钝化层;钝化层覆盖薄膜晶体管,像素电极设置在钝化层的上方,还包括:图案化的色阻层和黑矩阵;色阻层设置在基板与栅绝缘层之间,并且分布在像素电极对应区域;黑矩阵设置在钝化层上,并且位于色阻层对应区域以外的区域。所述方法包括:形成栅线和栅极;制作色阻层;形成栅绝缘层、有源层、源漏电极层和钝化层;形成黑矩阵;形成像素电极。
Description
技术领域
本发明涉及显示领域,尤其涉及一种阵列基板及其制造方法、显示装置。
背景技术
液晶显示器现已广泛应用于各个显示领域,如家庭、公共场所、办公场及个人电子相关产品等。目前,液晶显示器已经从制作简单、成本低廉但视角较小的扭曲向列(Twisted Nematic,TN)型液晶显示器,发展到多维电场(Advanced Super Dimension Switch,AD-SDS,简称ADS)型液晶显示器,以及基于ADS模式提出的高开口率的HADS型液晶显示器,无论哪一种液晶显示器,其液晶面板的制作工艺都是单独制造阵列(Array)基板和彩膜(Color Filter)基板,然后再将阵列基板和彩膜基板进行对位、成盒(Cell)。
发明人发现:在阵列基板与彩膜基板对位成盒时,由于对位精度的限制,极易出现对位偏差,而对位偏差又会导致漏光、透过率降低等不良;如果将黑矩阵做的足够宽来避免这些问题,又会损失面板的透过率,增加背光成本。
发明内容
本发明所要解决的技术问题在于提供一种阵列基板及其制造方法、显示装置,可降低阵列基板与彩膜基板对位偏差对透过率的影响,避免对位偏差导致的漏光。
为达到上述目的,本发明的实施例采用如下技术方案:
一种阵列基板,包括:基板,设置于所述基板上的薄膜晶体管、像素电极,以及钝化层,所述薄膜晶体管包括栅极、栅绝缘层、半导体层、源极和漏极;所述钝化层覆盖所述薄膜晶体管,所述像素电极设置在所述钝化层的上方,还包括:图案化的色阻层和黑矩阵;
所述色阻层设置在所述基板与所述栅绝缘层之间,并且分布在所述像素电极对应区域;
所述黑矩阵设置在所述钝化层上,并且位于所述色阻层对应区域以外的区域。
具体地,所述钝化层及所述钝化层上的所述黑矩阵,在所述薄膜晶体管的漏极对应位置设置有过孔,所述像素电极经所述过孔连接至所述漏极。
可选地,所述阵列基板,还包括:
公共电极,设置在所述基板与所述栅绝缘层之间,且设置在所述像素电极对应区域。
可选地,所述像素电极为狭缝状。
可选地,所述的阵列基板,还包括:
第二钝化层,覆盖在所述黑矩阵及所述像素电极上;
公共电极,位于所述第二钝化层上方且设置在所述像素电极的对应区域。
所述公共电极为狭缝状。
本发明还提供一种显示装置,包括上述的任一阵列基板。
另一方面,本发明还提供一种阵列基板的制造方法,包括:
在基板上形成栅金属层,采用构图工艺形成栅线和栅极;
在所述像素电极对应区域形成色阻层;
形成栅绝缘层、有源层、源漏电极层和钝化层;
形成黑矩阵层,采用构图工艺在所述色阻层对应区域以外的区域形成黑矩阵;
形成透明导电膜层,采用构图工艺形成像素电极。
本发明提供的第二种阵列基板的制造方法,包括:
在基板上形成第一透明导电膜层,采用构图工艺形成公共电极;
形成栅金属层,采用构图工艺形成栅线和栅极;
在所述像素电极对应区域形成色阻层;
形成栅绝缘层、有源层、源漏电极层和钝化层;
形成黑矩阵层,采用构图工艺在所述色阻层对应区域以外的区域形成黑矩阵;
形成第二透明导电膜层,采用构图工艺形成像素电极。
本发明提供的第三种阵列基板的制造方法,包括:
形成栅金属层,采用构图工艺形成栅线和栅极;
在所述像素电极对应区域形成色阻层;
形成栅绝缘层、有源层、源漏电极层和钝化层;
形成黑矩阵层,采用构图工艺在所述色阻层对应区域以外的区域形成黑矩阵;
形成第一透明导电膜层,采用构图工艺形成像素电极;
形成第二钝化层;
制备第二透明导电膜层,采用构图工艺形成公共电极。
本发明提供的阵列基板及其制造方法、显示装置,涉及一种设置有彩膜色阻和黑矩阵的阵列基板,以及一种将彩膜色阻和黑矩阵形成在阵列基板上的方法,该技术方案通过将图案化的色阻层设置在基板上,黑矩阵设置在钝化层上,降低了阵列基板与彩膜基板对位偏差对透过率的影响,可避免对位偏差导致的漏光,同时钝化层还可以增强黑矩阵与阵列基板之间的粘附性。
另外,色阻层可以作为栅极信号线(栅极线)绝缘层,降低栅极线的负载,保证像素充电;黑矩阵可以作为数据信号线(数据线)的绝缘层,降低数据线负载进而降低面板功耗,这对高分辨率产品尤其重要。
附图说明
图1为本发明实施例一提供的阵列基板的断面结构示意图;
图2为本发明实施例一中阵列基板的平面结构示意图一;
图3为本发明实施例一中阵列基板的平面结构示意图二;
图4为本发明实施例一中阵列基板在栅线附近的截面结构示意图;
图5为本发明实施例一中阵列基板在数据线附近的截面结构示意图;
图6为本发明实施例一中阵列基板制造方法的流程图;
图7为本发明实施例二提供的阵列基板的结构示意图;
图8为本发明实施例二中阵列基板的平面结构示意图;
图9为本发明实施例二中阵列基板的制造方法流程图;
图10为本发明实施例三提供的阵列基板的结构示意图;
图11为本发明实施例三中阵列基板的平面结构示意图;
图12为本发明实施例三中阵列基板的制造方法流程图。
附图标记说明
10-基板,11-钝化层,12-像素电极,13-色阻层,14-黑矩阵,
15-过孔,16-薄膜晶体管,17-数据线,18-栅线,19-公共电极线,
20-公共电极,21-栅极,22-栅绝缘层,23-有源层,24-源极,
25-漏极,26-第二钝化层。
具体实施方式
本发明实施例提供一种阵列基板及其制造方法、显示装置,可降低阵列基板与彩膜基板对位偏差对透过率的影响,避免对位偏差导致的漏光,同时还可增强信号线绝缘度,降低面板功耗。
本发明实施例提供一种阵列基板,该阵列基板包括:基板,设置于基板上的薄膜晶体管,像素电极,以及钝化层,所述薄膜晶体管包括栅极、栅绝缘层、有源层、源极和漏极,钝化层覆盖薄膜晶体管,像素电极设置在钝化层的上方,还包括:图案化的色阻层和黑矩阵;
所述色阻层设置在基板与栅绝缘层之间,并且分布在像素电极对应区域;所述黑矩阵设置在钝化层上,并且位于色阻层对应区域以外的区域。
本实施例所述色阻层指覆盖在像素电极对应区域的红/绿/蓝三原色彩膜,本实施例中将色阻层和黑矩阵设置在阵列基板上,其中,色阻层位于阵列基板的基板上,黑矩阵设置在钝化层上,且位于色阻层对应区域(像素电极)以外的区域,可降低阵列基板与彩膜基板对位偏差对透过率的影响,避免对位偏差导致的漏光,同时钝化层还可以增强黑矩阵与阵列基板之间的粘附性。另外,色阻层及黑矩阵覆盖在信号线(例如栅线或数据线)之上,还可作为信号线的绝缘层,可降低信号线负载,进而降低面板功耗。
下面结合附图对本发明实施例进行详细描述。此处所描述的具体实施方式仅仅用以解释本发明,并不用于限定本发明。
实施例一
如图1所示,本发明实施例提供一种适用于TN产品(TN模式)的阵列基板,该阵列基板包括:基板10,设置于基板10上薄膜晶体管,像素电极12,以及钝化层11,所述薄膜晶体管包括栅极(Gate)21,栅绝缘层(GI)22,有源层(Active)23,源极(Source)24和漏极25(Drain);钝化层11覆盖薄膜晶体管,像素电极设置12设置在钝化层11的上方,此外,还包括:图案化的色阻层13和黑矩阵14;
其中,所述色阻层13设置在基板10与栅绝缘层22之间,并且分布在像素电极12对应区域;所述黑矩阵14设置在钝化层11上,并且位于色阻层13对应区域以外的区域。
本实施例栅绝缘层在像素电极12对应区域的基板上直接设置有红/绿/蓝色块(色阻层13),色阻层13上覆盖有栅绝缘层22,栅绝缘层22上覆盖钝化层11,像素电极12隔着栅绝缘层(GI)22及钝化层11设置在色阻层13的上方。
本实施例所述色阻层13,即为铺设在像素电极12对应区域的红/绿/蓝(R/G/B)色块,又称彩膜色阻层;黑矩阵14设置在钝化层11上,且分布在红/绿/蓝色块对应区域之外的区域。具体地:红/绿/蓝色块(色阻层13)覆盖像素电极12的对应区域,如图2中实线A包围的区域;黑矩阵14设置在红/绿/蓝色块(色阻层13)之外的区域,如图3中两条虚线B围成的区域。具体实施中,为防止漏光,红/绿/蓝色块的覆盖范围一般稍微超出像素电极12的对应区域,与黑矩阵14覆盖区域的相接处存在重叠区域。
本发明实施例提供的阵列基板,色阻层直接设置在基板上,制作时易获得平整、厚薄一致的红/绿/蓝色块,与现有技术中在彩膜基板的基板上制作色阻层一致,无需克服技术难题;另外,黑矩阵设置在钝化层上,因钝化层的粘附作用,黑矩阵能更牢固地粘合在阵列基板上。因此,本实施例的阵列基板因设置有色阻层和黑矩阵,可降低了阵列基板与彩膜基板对位偏差对透过率的影响,避免对位偏差导致的漏光,从而提高显示装置的透过率及显示效果。
另外,如图4所示,为本实施例中TN模式阵列基板在栅线18附近的截面示意图。从图中可知,与现有TN模式阵列基板的结构相比,栅线18上方增加一色阻层13(R/G/B层),并且色阻层18介电常数较小、厚度较厚,从而使得栅线18与正上方公共电极20(位于彩膜基板上)间的电容大幅度减小,从而达到降低栅线18上负载,保证像素充电的目的,这对于高分辨率产品尤为重要。
还有,如图5所示,为本实施例中TN模式阵列基板在数据线17附近的截面示意图。从图中可知,与现有TN模式阵列基板的结构相比,在数据线17上方增加了一层黑矩阵14,并且因黑矩阵14层介电常数小、厚度大,从而使数据线17与正上方公共电极20之间的耦合电容,以及数据线17与像素电极(图中未示出)间的耦合电容大幅度减小,从而使数据线17上的负载降低,进而面板功耗降低。
其中,钝化层11及钝化层11上的黑矩阵14,在薄膜晶体管的漏极25对应位置设置有过孔15,像素电极12经过孔15连接至漏极25,如图1中所示。
本实施例中所述阵列基板上设置有色阻层和黑矩阵,因此阵列基板与彩膜基板对位偏差对透过率的影响得以降低,同时也可避免对位偏差导致的漏光,而且钝化层还可以增强黑矩阵与阵列基板之间的粘附性。另外,色阻层及黑矩阵还可作为信号线的绝缘层,降低信号线负载,进而降低面板功耗。
本发明实施例还提供一种适用于TN产品的阵列基板的制造方法,如图6所示,该方法包括:
步骤101、在基板10上形成栅金属层,采用构图工艺形成栅线18和栅极21(为便于理解,请参照图1-5所示);
本步骤中在基板上形成栅金属层,采用构图工艺形成栅线和栅极,具体形成方法与现有技术一致,在此不再赘述。
步骤102、在像素电极12对应区域形成色阻层13;
本步骤在像素电极对应区域的基板上形成色阻层,即涂覆红/绿/蓝色块,具体形成方法与现有技术一致。
步骤103、按常规流程形成栅绝缘层22、有源层23、源漏电极层(源极24、漏极25及数据线17)、钝化层11;
步骤104、形成黑矩阵层,采用构图工艺在色阻层13对应区域以外的区域形成黑矩阵14;
本步骤中在钝化层上制备黑矩阵,利用钝化层的粘附作用,将黑矩阵更牢固地固定在阵列基板上。
步骤105、制备透明导电膜层,采用构图工艺形成像素电极12。
其中,步骤104中采用构图工艺在色阻层13对应区域以外的区域形成黑矩阵14,具体为:
采用构图工艺在色阻层13对应区域以外的区域形成黑矩阵14,并且在薄膜晶体管的漏极25对应位置设置过孔15,像素电极12经该过孔15连接至漏极25。
具体地,针对现有技术中TN模式常用的5Mask工艺,本实施例提出的阵列基板制造方法主要工艺流程为:
形成栅极及栅线→依次形成R/B/G色阻层(三次曝光)→形成栅绝缘层(不需要曝光工艺)→形成有源层→形成源、漏电极层→形成像素绝缘层(钝化层)→形成黑矩阵层(BM)→形成透明导电膜层(像素电极),共需经过9次曝光工艺。
另外,针对现有技术中TN模式常用的4Mask工艺,本实施例提出的阵列基板制造方法主要工艺流程为:
形成栅极及栅线→依次形成R/B/G色阻层(三次曝光)→形成栅绝缘层(不需要曝光工艺)→形成源、漏电极层→形成像素绝缘层(钝化层)→形成黑矩阵层(BM)→形成透明导电膜层(像素电极),共需经过8次曝光工艺。其中,有源层与源、漏极以及栅线,通过一次曝光,多次刻蚀形成。
本实施例所述阵列基板的制造方法,将色阻层和黑矩阵设置在阵列基板上,可降低阵列基板与彩膜基板对位偏差对透过率的影响,避免对位偏差导致的漏光,同时钝化层还可以增强黑矩阵与阵列基板之间的粘附性。另外,色阻层及黑矩阵还可作为信号线的绝缘层,可降低信号线负载,进而降低面板功耗。
实施例二
本发明实施例提供一种适用于ADS产品(ADS模式)的阵列基板,如图7所示,该阵列基板与实施例一所述阵列基板的区别之处在于,还包括:公共电极20,设置在基板10和色阻层13之间;另外,因ADS模式阵列基板采用多维电场,因此本实施例中的像素电极12为狭缝状,如图8所示。
需要说明的是:像素电极可以为板状或者狭缝状,公共电极也是如此,像素电极和公共电极的上下顺序可颠倒,但是在上的电极必须是狭缝状的,在下的电极是板状的。
具体地,该阵列基板包括:基板10,设置于基板10上的薄膜晶体管16,薄膜晶体管16包括:栅极(Gate)21,栅绝缘层(GI)22,有源层(Active)23,源极(Source)24和漏极25(Drain);公共电极20,图案化的色阻层13,钝化层11,像素电极12。其中,钝化层11覆盖在源极24和漏极25上,像素电极12设置在钝化层11上;色阻层13设置在像素电极12对应区域,位于公共电极20之上;黑矩阵14设置在钝化层11上,并且位于色阻层13对应区域以外的区域;钝化层11和黑矩阵14在漏极25对应位置设置有过孔15,像素电极12通过该过孔15连接至漏极25。
其中,示例性地,所述ADS模式阵列基板中色阻层13和黑矩阵14的分布区域如图8所示,图中实线A所围区域内设置红/绿/蓝色块(色阻层13),图中两条虚线B所围区域内设置黑矩阵14。
本实施例中提供了一种设置有色阻层和黑矩阵的ADS阵列基板,与现有ADS模式阵列基板相比,本实施例中的阵列基板,可降低阵列基板与彩膜基板对位偏差对透过率的影响,避免对位偏差导致的漏光。
而且,与现有ADS模式阵列基板的结构相比,栅线18上方增加一色阻层13(R/G/B层),数据线17上方增加一层黑矩阵14,色阻层13作为栅线18的绝缘层,可降低栅极线的负载,保证像素充电;黑矩阵作为数据线17的绝缘层,可降低数据信号线负载进而降低面板功耗,这对高分辨率产品尤其重要。
另外,本实施例中的公共电极20可以设置在色阻层13和栅绝缘层22之间,因此公共电极20也可以设置在色阻层13上,且位于栅绝缘层22的下方,即:色阻层13和公共电极20的设置位置可上下调换,色阻层13可直接设置在基板上,在色阻层13上再设置公共电极20,不影响本实施例的具体实施效果,因此本实施例对此不做限定。
对应地,本发明实施例还提供一种阵列基板的制造方法,适用于ADS模式阵列基板,如图9所示,该方法包括:
步骤201、在基板上形成第一透明导电膜层,采用构图工艺形成公共电极(为便于理解,以下叙述请参照图7所示);
步骤202、形成栅金属层,采用构图工艺形成栅线21和栅极;
步骤203、制作色阻层13,在像素电极12对应区域形成红/绿/蓝色块:
步骤204、按常规流程形成栅绝缘层22、有源层23、源漏电极层和钝化层11;
步骤205、形成黑矩阵层,采用构图工艺在色阻层13对应区域以外的区域形成黑矩阵14;
步骤206、形成第二透明导电膜层,采用构图工艺形成像素电极12。
本实施例中步骤204形成钝化层11时和步骤205形成黑矩阵14时,均在薄膜晶体管漏极25对应的同一位置设置过孔15,用于像素电极12经该过孔15连接至漏极25。
具体地,针对现有技术中ADS模式常用的1+5Mask工艺,本实施例所述阵列基板制造方法的主要工艺流程为:
形成第一透明导电膜层(公共电极Com)→形成栅极及栅线→依次形成R/B/G色阻层(三次曝光)→形成栅绝缘层(不需要曝光工艺)→形成有源层→形成源、漏电极层→形成像素绝缘层(钝化层)→形成黑矩阵(BM)→形成第二透明导电膜层(像素电极),共需经过10次曝光工艺。
而针对现有技术中ADS模式常用的1+4Mask工艺,本实施例提出的阵列基板制造方法主要工艺流程为:
形成第一透明导电膜层(公共电极Com)→形成栅极及栅线→依次形成R/B/G色阻层(三次曝光)→形成栅绝缘层(不需要曝光工艺)→形成源、漏电极层→形成像素绝缘层(钝化层)→形成黑矩阵(BM)→形成第二透明导电膜层(像素电极),共需经过9次曝光工艺。
其中,上述形成公共电极与形成栅极的曝光顺序可以进行调换。
本实施例中提供了一种设置有色阻层和黑矩阵的ADS阵列基板及其制造方法,与现有ADS模式阵列基板制造工艺一致,不需要对现有工艺做出大的改进(只需增加步骤203和205),制成的阵列基板即可降低阵列基板与彩膜基板对位偏差对透过率的影响,避免对位偏差导致的漏光。
实施例三
本发明实施例提供一种适用于HADS产品(HADS模式)的阵列基板,如图10所示,与实施例一所述阵列基板的区别之处在于,该阵列基板还包括:
第二钝化层26,覆盖在黑矩阵14及像素电极12上;
公共电极20,位于第二钝化层26上方且设置在像素电极12的对应区域。
另外,因HADS模式阵列基板采用的是多维电场,因此上层的公共电极20为狭缝状,如图11所示。
本实施例中HADS模式阵列基板的结构与实施例二中的ADS模式阵列基板大致类似,区别仅在于增加了第二钝化层26,并将公共电极20设置在第二钝化层26之上,在此不再详细叙述。
其中,示例性地,所述HADS模式阵列基板中色阻层13和黑矩阵14的分布范围如图11所示,图中实线A所围区域内设置红/绿/蓝色块(色阻层13),图中两条虚线B所围区域内设置黑矩阵14。
本实施例中提供了一种设置有色阻层和黑矩阵的HADS阵列基板,与现有HADS模式阵列基板相比,本实施例中的阵列基板,可降低阵列基板与彩膜基板对位偏差对透过率的影响,避免对位偏差导致的漏光。而且,本实施例中阵列基板的栅线18上方增设色阻层13(R/G/B层),数据线17上方增设黑矩阵14,色阻层13作为栅线18的绝缘层,可降低栅极线的负载,保证像素充电;黑矩阵作为数据线17的绝缘层,可降低数据信号线负载进而降低面板功耗,这对高分辨率产品尤其重要。
对应地,本发明实施例还提供一种阵列基板的制造方法,适用于HADS模式阵列基板,如图12所示,该方法包括:
步骤301、在基板10上形成栅金属层,采用构图工艺形成栅线21和栅极(为便于理解,以下叙述请参照图10所示);
步骤302、制作色阻层13,在像素电极12对应区域形成红/绿/蓝色块;
步骤303、按常规流程形成栅绝缘层22、有源层23、源漏电极层和钝化层11;
步骤304、形成黑矩阵层,采用构图工艺在色阻层13对应区域以外的区域形成黑矩阵14;
步骤305、形成第一透明导电膜层,采用构图工艺形成像素电极12;
步骤306、形成第二钝化层26;
步骤307、制备第二透明导电膜层,采用构图工艺形成公共电极20。
本实施例中的钝化层11和黑矩阵14上,均在薄膜晶体管漏极25对应的同一位置设置有过孔15,像素电极12经该过孔15连接至漏极25。
具体地,针对现有技术中HADS模式常用的6Mask工艺,本实施例所述阵列基板制造方法的主要工艺流程为:
形成栅极及栅线→依次形成R/B/G色阻层(需三次曝光)→形成栅绝缘层(无需曝光)→形成有源层→形成源、漏电极层→形成钝化层→形成黑矩阵BM→形成第一透明导电膜层(像素电极)→形成第二钝化层(像素绝缘层)→第二透明导电膜层(公共电极),共需经过11次曝光工艺。
而针对现有技术中HADS模式常用的5Mask工艺,本实施例提出的阵列基板制造方法的主要工艺流程为:
形成栅极及栅线→依次形成R/B/G色阻层(需三次曝光)→形成栅绝缘层(无需曝光)→形成源、漏电极层→形成钝化层→形成黑矩阵BM→形成第一透明导电膜层(像素电极)→形成第二钝化层(像素绝缘层)→第二透明导电膜层(公共电极),共需经过10次曝光工艺。
本发明提供的阵列基板制造方法,通过将图案化的色阻层13设置在基板10上,黑矩阵14设置在钝化层11上,并增设第二钝化层26,将公共电极20设置在第二钝化层26之上,将彩膜色阻和黑矩阵形成在HADS模式阵列基板上,降低了阵列基板与彩膜基板对位偏差对透过率的影响,避免对位偏差导致的漏光,同时钝化层还可以增强黑矩阵与阵列基板之间的粘附性。
另外,同理,色阻层可以作为栅极线绝缘层,降低栅极线的负载,保证像素充电,这对高分辨率产品尤其重要;黑矩阵可以作为数据线的绝缘层,降低数据线负载进而降低面板功耗。
本发明实施例提供的阵列基板制造方法用于制造上述实施例提供的阵列基板,实际上并不仅限于以上本实施例所述的方式,此处不再一一介绍。
实施例四
本发明实施例提供了一种显示装置,其包括上述实施例所述的任意一种阵列基板。所述显示装置可以为:液晶面板、手机、平板电脑、电视机、显示器、笔记本电脑、数码相框、导航仪等任何具有显示功能的产品或部件。
所述显示装置因采用阵列基板上设置有彩膜色阻和黑矩阵,因此可降低阵列基板与彩膜基板对位偏差对于透过率的影响,并且红/绿/蓝三原色色阻层作为栅线绝缘层,可降低栅线的负载,对于保证面板充电具有重要意义,黑矩阵作为数据线绝缘层,可降低数据线负载进而降低面板功耗,这对于现在产品低功耗的要求有重要意义。
以上所述,仅为本发明的具体实施方式,但本发明的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内,可轻易想到变化或替换,都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此,本发明的保护范围应所述以权利要求的保护范围为准。
Claims (10)
1.一种阵列基板,包括:基板,设置于所述基板上的薄膜晶体管,像素电极,以及钝化层,所述薄膜晶体管包括栅极、栅绝缘层、有源层、源极和漏极;所述钝化层覆盖所述薄膜晶体管,所述像素电极设置在所述钝化层的上方,其特征在于,还包括:图案化的色阻层和黑矩阵;
所述色阻层设置在所述基板与栅绝缘层之间,并且分布在所述像素电极对应区域;
所述黑矩阵设置在所述钝化层上,并且位于所述色阻层对应区域以外的区域。
2.根据权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,所述钝化层及所述钝化层上的所述黑矩阵,在所述薄膜晶体管的漏极对应位置设置有过孔,所述像素电极经所述过孔连接至所述漏极。
3.根据权利要求1或2所述的阵列基板,其特征在于,还包括:
公共电极,设置在所述基板与所述栅绝缘层之间,且设置在所述像素电极的对应区域。
4.根据权利要求3所述的阵列基板,其特征在于,
所述像素电极为狭缝状。
5.根据权利要求1或2所述的阵列基板,其特征在于,还包括:
第二钝化层,覆盖在所述黑矩阵及所述像素电极上;
公共电极,位于所述第二钝化层上方且设置在所述像素电极的对应区域。
6.根据权利要求5所述的阵列基板,其特征在于,
所述公共电极为狭缝状。
7.一种显示装置,其特征在于,包括权利要求1-6任一项所述的阵列基板。
8.一种阵列基板的制造方法,其特征在于,包括:
在基板上形成栅金属层,采用构图工艺形成栅线和栅极;
在所述像素电极对应区域形成色阻层;
形成栅绝缘层、有源层、源漏电极层和钝化层;
形成黑矩阵层,采用构图工艺在所述色阻层对应区域以外的区域形成黑矩阵;
形成透明导电膜层,采用构图工艺形成像素电极。
9.一种阵列基板的制造方法,其特征在于,包括:
在基板上形成第一透明导电膜层,采用构图工艺形成公共电极;
形成栅金属层,采用构图工艺形成栅线和栅极;
在所述像素电极对应区域形成色阻层;
形成栅绝缘层、有源层、源漏电极层和钝化层;
形成黑矩阵层,采用构图工艺在所述色阻层对应区域以外的区域形成黑矩阵;
形成第二透明导电膜层,采用构图工艺形成像素电极。
10.一种阵列基板的制造方法,其特征在于,包括:
形成栅金属层,采用构图工艺形成栅线和栅极;
在所述像素电极对应区域形成色阻层;
形成栅绝缘层、有源层、源漏电极层和钝化层;
形成黑矩阵层,采用构图工艺在所述色阻层对应区域以外的区域形成黑矩阵;
形成第一透明导电膜层,采用构图工艺形成像素电极;
形成第二钝化层;
制备第二透明导电膜层,采用构图工艺形成公共电极。
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Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014190727A1 (zh) * | 2013-05-30 | 2014-12-04 | 京东方科技集团股份有限公司 | 阵列基板及其制造方法、显示装置 |
CN104297995A (zh) * | 2014-11-03 | 2015-01-21 | 合肥鑫晟光电科技有限公司 | 显示基板及制备方法、显示装置 |
WO2017008370A1 (zh) * | 2015-07-15 | 2017-01-19 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 阵列彩膜集成式液晶显示面板的制作方法及其结构 |
CN107728374A (zh) * | 2017-11-29 | 2018-02-23 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 一种彩色滤光膜基板及其制备方法 |
WO2018090496A1 (zh) * | 2016-11-17 | 2018-05-24 | 华为技术有限公司 | 一种阵列基板及其制备方法、液晶显示面板 |
CN109166895A (zh) * | 2018-08-31 | 2019-01-08 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种阵列基板及显示装置 |
CN111061105A (zh) * | 2019-12-31 | 2020-04-24 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 一种显示面板及其显示装置 |
CN111474784A (zh) * | 2020-05-08 | 2020-07-31 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 像素结构及液晶显示面板 |
CN111580296A (zh) * | 2020-06-17 | 2020-08-25 | 厦门天马微电子有限公司 | 一种阵列基板、显示面板及显示装置 |
CN111999946A (zh) * | 2020-08-28 | 2020-11-27 | 厦门天马微电子有限公司 | 显示面板和显示装置 |
WO2023050515A1 (zh) * | 2021-09-29 | 2023-04-06 | Tcl华星光电技术有限公司 | 显示面板的像素单元及显示面板 |
US11953795B2 (en) | 2021-09-29 | 2024-04-09 | Tcl China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd. | Pixel unit of a display panel and display panel |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20030020852A1 (en) * | 2001-07-25 | 2003-01-30 | Lg. Philips Lcd Co., Ltd. | Liquid crystal display device and fabricating method thereof |
US20080068537A1 (en) * | 2006-09-20 | 2008-03-20 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Array substrate, display panel having the same and method of manufacturing the same |
CN101330060A (zh) * | 2008-07-22 | 2008-12-24 | 友达光电股份有限公司 | 像素结构的制作方法 |
CN202025170U (zh) * | 2011-04-22 | 2011-11-02 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种显示屏及显示装置 |
US8253891B2 (en) * | 2008-10-28 | 2012-08-28 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Thin film transistor substrate and liquid crystal display including the same |
CN202855737U (zh) * | 2012-11-12 | 2013-04-03 | 京东方科技集团股份有限公司 | 阵列基板及显示装置 |
-
2012
- 2012-11-12 CN CN201210452632.2A patent/CN102929058B/zh active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20030020852A1 (en) * | 2001-07-25 | 2003-01-30 | Lg. Philips Lcd Co., Ltd. | Liquid crystal display device and fabricating method thereof |
US20080068537A1 (en) * | 2006-09-20 | 2008-03-20 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Array substrate, display panel having the same and method of manufacturing the same |
CN101330060A (zh) * | 2008-07-22 | 2008-12-24 | 友达光电股份有限公司 | 像素结构的制作方法 |
US8253891B2 (en) * | 2008-10-28 | 2012-08-28 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Thin film transistor substrate and liquid crystal display including the same |
CN202025170U (zh) * | 2011-04-22 | 2011-11-02 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种显示屏及显示装置 |
CN202855737U (zh) * | 2012-11-12 | 2013-04-03 | 京东方科技集团股份有限公司 | 阵列基板及显示装置 |
Cited By (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9874795B2 (en) | 2013-05-30 | 2018-01-23 | Boe Technology Group Co., Ltd. | Array substrate, manufacturing method, and display device thereof |
WO2014190727A1 (zh) * | 2013-05-30 | 2014-12-04 | 京东方科技集团股份有限公司 | 阵列基板及其制造方法、显示装置 |
CN104297995A (zh) * | 2014-11-03 | 2015-01-21 | 合肥鑫晟光电科技有限公司 | 显示基板及制备方法、显示装置 |
WO2017008370A1 (zh) * | 2015-07-15 | 2017-01-19 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 阵列彩膜集成式液晶显示面板的制作方法及其结构 |
WO2018090496A1 (zh) * | 2016-11-17 | 2018-05-24 | 华为技术有限公司 | 一种阵列基板及其制备方法、液晶显示面板 |
CN107728374B (zh) * | 2017-11-29 | 2021-01-29 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 一种彩色滤光膜基板及其制备方法 |
CN107728374A (zh) * | 2017-11-29 | 2018-02-23 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 一种彩色滤光膜基板及其制备方法 |
CN109166895A (zh) * | 2018-08-31 | 2019-01-08 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种阵列基板及显示装置 |
CN111061105A (zh) * | 2019-12-31 | 2020-04-24 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 一种显示面板及其显示装置 |
CN111474784A (zh) * | 2020-05-08 | 2020-07-31 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 像素结构及液晶显示面板 |
CN111474784B (zh) * | 2020-05-08 | 2021-06-01 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 像素结构及液晶显示面板 |
CN111580296A (zh) * | 2020-06-17 | 2020-08-25 | 厦门天马微电子有限公司 | 一种阵列基板、显示面板及显示装置 |
CN111580296B (zh) * | 2020-06-17 | 2022-06-10 | 厦门天马微电子有限公司 | 一种阵列基板、显示面板及显示装置 |
CN111999946A (zh) * | 2020-08-28 | 2020-11-27 | 厦门天马微电子有限公司 | 显示面板和显示装置 |
CN111999946B (zh) * | 2020-08-28 | 2022-07-01 | 厦门天马微电子有限公司 | 显示面板和显示装置 |
WO2023050515A1 (zh) * | 2021-09-29 | 2023-04-06 | Tcl华星光电技术有限公司 | 显示面板的像素单元及显示面板 |
US11953795B2 (en) | 2021-09-29 | 2024-04-09 | Tcl China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd. | Pixel unit of a display panel and display panel |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN102929058B (zh) | 2015-07-08 |
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