CN102897535A - 基板传送***以及基板定位装置 - Google Patents

基板传送***以及基板定位装置 Download PDF

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Abstract

本发明涉及一种基板传送***,包括用于供玻璃基板在其上流动传送的若干滚轮组件、以及控制滚轮组件转动的控制器;该基板传送***还包括基板定位装置,设置在滚轮组件的传送玻璃基板方向的末端;基板定位装置包括定位柱,用于挡止并定位经滚轮组件传送的玻璃基板;以及缓冲定位机构,供定位柱安装,为定位柱提供移动缓冲并带动定位柱复位。通过设置缓冲复位机构来控制定位柱的位置,进而可以消除基板的定位偏差;能够给基板缓冲接触,消除破片风险。

Description

基板传送***以及基板定位装置
技术领域
本发明涉及液晶面板制作领域,更具体地说,涉及一种可用于液晶面板制作的基板传送***以及基板定位装置。
背景技术
在液晶面板制程中,玻璃基板1通常采用基板传送***进行传送。现有的基板传送***通常包括机架5、若干并排设置的滚轮组件、以及控制滚轮组件工作的控制器6。
如图1所示,滚轮组件包括驱动电机2、由驱动电机2带动转动的转轴3、以及套设安装在转轴3上的滚轮4。通过控制器6来控制驱动电机2转动,带动转轴3转动,进而带动滚轮4转动,通过滚轮4的摩擦力来驱动放置在滚轮4上的玻璃基板1前进,进行送片。
如图2所示,为了控制玻璃基板1的传送速度、位置等,在机架5的适当位置处还设置有减速传感器7、定位传感器8等。当玻璃基板1传送至减速传感器7位置处时,被减速传感器7检测到,输出信号至控制器6,由控制器6控制驱动电机2减速,使得玻璃基板1减速继续前行。图中箭头为玻璃基板1的传送方向。
当玻璃基板1继续前行至定位传感器8位置处时,被定位传感器8检测到,输出信号至控制器6,由控制器6控制驱动电机2停止工作,使得玻璃基板1停留在目标位置。
为了防止定位传感器8的检测异常或者驱动电机2的异常,导致玻璃基板1流出目标位置,导致破片,进一步的,在滚轮组件的传送方向的末端还设有限位柱9,利用限位柱9阻挡玻璃基板1,防止玻璃基板1的流片。
进一步的,为了避免出现定位偏差,该基板传送***还可以设置移动机构,用于带动限位柱9移动,在玻璃基板1停止后,通过移动机构带动限位柱9移动,推动玻璃基板1移动至预定位置,实现位置的矫正和确认。
然而,现有基板传送***至少存在以下不足:1、由于限位柱9固定设置,在玻璃基板1碰撞到限位柱9时,撞击容易造成玻璃基板1的破片;2、当玻璃基板1位置超过预设位置时,定位传感器8检不出,造成定位偏差,此种情况下继续流片,有破片风险;3、待玻璃基板1停流后,限位柱9移动过来进行位置矫正和确认,此过程中,玻璃基板1与限位柱9刚性碰撞,有破片风险。
发明内容
本发明要解决的技术问题在于,提供一种可避免定位偏差、消除破片风险的基板传送***。
本发明所要解决的另一技术问题在于,提供一种可避免定位偏差、消除破片风险的基板定位装置。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:构造一种基板传送***,包括用于供玻璃基板在其上流动传送的若干滚轮组件、以及控制所述滚轮组件转动的控制器;
该基板传送***还包括基板定位装置,设置在所述滚轮组件的传送玻璃基板方向的末端;
所述基板定位装置包括定位柱,用于挡止并定位经所述滚轮组件传送的玻璃基板;以及
缓冲定位机构,供所述定位柱安装,为所述定位柱提供移动缓冲并带动所述定位柱复位。
在本发明的基板传送***中,所述定位柱***设有柔软包裹层。
在本发明的基板传送***中,所述基板传送***包括两组并排设置的所述基板定位装置;
在本发明的基板传送***中,所述缓冲定位机构包括固定设置的基座;
滑动板,滑动安装在所述基座上;以及
复位件,可带动所述定位柱复位;
所述定位柱与所述滑动板固定连接,在所述玻璃基板推动定位柱时,带动所述滑动板相对所述基座平移滑动。
在本发明的基板传送***中,所述滑动板与所述基座之间设有滚珠板,所述滚珠板上设有多个滚珠;通过所述滚珠板将所述滑动板可平移滑动安装在所述基座上。
在本发明的基板传送***中,所述基座上设有过孔;
所述定位柱与所述滑动板固定连接的一端向所述基座方向延伸,并***所述过孔;
在所述过孔的侧壁设有压力传感器,用于检测所述定位柱的受力大小及方向。
在本发明的基板传送***中,所述复位件为连接在所述定位柱末端与所述基座之间的拉簧。
在本发明的基板传送***中,所述压力传感器与所述控制器连接,所述控制器根据所述压力传感器的受力大小、方向监测所述滚轮组件的转速及表面磨损状况。
本发明还提供一种基板定位装置,包括定位柱,用于挡止并定位玻璃基板;以及
缓冲定位机构,供所述定位柱安装,为所述定位柱提供移动缓冲并带动所述定位柱复位。
在本发明的基板定位装置中,所述定位柱***设有柔软包裹层;
所述缓冲定位机构包括固定设置的基座;
滑动板,滑动安装在所述基座上;以及
复位件,连接在所述基座与所述定位柱之间;
所述定位柱与所述滑动板固定连接,在所述玻璃基板推动定位柱时,带动所述滑动板相对所述基座平移滑动,并且,所述复位件可带动所述定位柱复位;
所述滑动板与所述基座之间设有滚珠板,所述滚珠板上设有多个滚珠;通过所述滚珠板将所述滑动板可平移滑动安装在所述基座上;
所述基座上设有过孔;
所述定位柱与所述滑动板固定连接的一端向所述基座方向延伸,并***所述过孔;
在所述过孔的侧壁设有压力传感器,用于检测所述定位柱的受力大小及方向;
所述复位件为连接在所述定位柱末端与所述基座之间的拉簧。
实施本发明具有以下有益效果:通过设置缓冲复位机构来控制定位柱的位置,进而可以消除基板的定位偏差;能够给基板缓冲接触,消除破片风险。
另外,可以利用缓冲复位机构的传感器来检测定位柱的受力大小、方向等,可长期监控滚轮组件的驱动电机的转速稳定性和滚轮表面的磨损状况等。
附图说明
图1是现有技术的基板传送***的滚轮组件的示意图;
图2是现有技术的基板传送***的示意图;
图3是本发明基板传送***的一个实施例的示意图;
图4是本发明基板传送***的一个实施例的剖视示意图;
图5是本发明基板传送***的一个实施例的定位柱的剖视示意图;
图6是本发明基板传送***的一个实施例的压力传感器布局的剖视示意图;
图7是本发明基板传送***的一个实施例的定位柱被推动时的局部剖视示意图;
图8是本发明基板传送***的一个实施例的一个压力传感器受力的剖视示意图;
图9是本发明基板传送***的一个实施例的两个压力传感器受力的剖视示意图;
图10是本发明基板传送***的一个实施例的玻璃基板的传送状态示意图。
具体实施方式
下面将结合附图及实施例对本发明作进一步说明。
如图3-10所示,是本发明的基板传送***及基板定位装置的一个实施例,该基板传送***包括滚轮组件11、控制器12、基板定位装置等,可用于液晶面板制程中。可以理解的,该滚轮组件11、控制器12、基板定位装置等,可以安装在同一机架、不同机架或其他设备上。
该滚轮组件11可以采用现有的各种滚轮组件11,用于支撑玻璃基板10在其上传送。而控制器12与滚轮组件11连接,控制滚轮组件11的转速、启停等,来实现对玻璃基板10的传送控制。
在本实施例中,该滚轮组件11包括驱动电机、由驱动电机带动转动的转轴、以及套设安装在转轴上的滚轮等。通过控制器12来控制驱动电机转动,带动转轴转动,进而带动滚轮转动,通过滚轮的摩擦力来驱动放置在滚轮上的玻璃基板10前进,进行送片。
进一步的,在玻璃基板10传送的适当位置处,还可以设置减速传感器13,当玻璃基板10传送至减速传感器13位置处时,被减速传感器13检测到,输出信号至控制器12,由控制器12控制驱动电机减速,使得玻璃基板10减速继续前行。
该基板定位装置设置在滚轮组件11的传送基板方向(如图3箭头所示)的末端,用于挡止玻璃基板10的流片。如图3所示,该基板定位装置为两组,并排设置在滚轮组件11的外侧;当然,基板定位装置的数量可以根据需要进行设置,可以为一组或多组;基板定位装置的设置位置也可以根据玻璃基板10的需要到达位置进行调整。
如图4所示,该基板定位装置包括定位柱14、缓冲定位机构等。该定位柱14用于挡止并定位经滚轮组件11传送过来的玻璃基板10,以防止玻璃基板10的流片;而缓冲定位机构用于供定位柱14安装,为定位柱14提供移动缓冲并带动定位柱14复位。
如图5所示,该定位柱14的***可以设有柔软包裹层15,从而在玻璃基板10接触定位柱14时,避免了刚性接触带来的破片风险。当然,该定位柱14也可以不设置柔软包裹层15,将整个定位柱14采用柔软材质做成,同样可以起到避免刚性接触的作用。
如图4所示,该缓冲定位机构包括基座16、滑动板17、滚珠板18、复位件19、压力传感器20等,为定位柱14提供移动缓冲并带动定位柱14复位。
该基座16作为整个基板定位装置的支撑,可以固定设置在滚轮组件11的外侧。基座16上部设有过孔161,以供定位柱14的末端***。在过孔161的侧壁设有压力传感器20,当定位柱14受力移动时,会压制压力传感器20,从而由压力传感器20来检测定位柱14的受力大小及方向等。并且,检测到的信号可以传送至控制器12,由控制器12对受力大小、方向等进行分析判断,实现对滚轮组件11的转速及表面磨损状况等进行监测,提前发现微小问题,避免问题扩大化造成破片等。
在本实施例中,该压力传感器20可以为微力传感器,可以检测很小的作用力。如图6所示,该压力传感器20为四个,均匀分布在过孔161的圆周。可以理解的,压力传感器20的数量、安装位置等可以根据需要进行设置,例如,可以采用一个环形的压力传感器20、也可以采用一个、两个、三个或更多个压力传感器20,只要能够实现对定位柱14的受力大小、方向进行检测即可。
该复位件19用于在定位柱14受力移动后的复位,在本实施例中,该复位件19为拉簧。拉簧的一端固定在基座16上,另一端与定位柱14固定连接。在定位柱14受力移动时,拉簧被拉伸具有回复力,在滚轮组件11停止后,拉簧弹性恢复,带动定位柱14复位,并由定位柱14推动玻璃基板10到达设定位置。可以理解的,该复位件19也可以采用其他的弹性复位件19,例如弹簧、连杆机构等,只要能够提供定位柱14复位的机构即可。
该滑动板17可滑动地安装在基座16上,并与定位柱14固定连接。在定位柱14被玻璃基板10推动时,带动滑动板17在基座16上平移滑动。可以理解的,复位件19也可以直接作用于滑动板17,带动滑动板17复位,从而带动定位柱14复位。
为了便于滑动板17在基座16上滑动,可以在滑动板17与基座16之间设置滚珠板18,在滚珠板18上设有多个滚珠,利用滚珠分别与滑动板17和基座16接触,使得滑动板17与基座16之间形成滑动摩擦接触,从而使得滑动板17可平移滑动安装在基座16上。可以理解的,滚珠板18也可以采用其他的结构形式,例如直接在基座16或滑动板17上设置滚珠;或者,在滑动板17与基座16之间设置平面轴承,同样可以方便滑动板17在基座16上平移滑动。
如图所示,该定位柱14的上部与玻璃基板10配合,用于挡止玻璃基板10;下部与滑动板17固定连接。定位柱14与滑动板17固定连接的一端向基座16方向延伸,并***基座16的过孔161中,从而在定位柱14受力时,可以将力传递到压力传感器20,并由压力传感器20将压力信号传递至控制器12,由控制器12对滚轮组件11进行控制。
在使用该基板传送***进行玻璃基板10传送时,首先将玻璃基板10放置在滚轮组件11上,由控制器12控制滚轮组件11以匀速传送玻璃基板10。
当玻璃基板10到达减速传感器13的位置处时,由减速传感器13检测到玻璃基板10到达的信号,并传送至控制器12。此时,控制器12控制滚轮组件11减速,使得玻璃基板10减速前行。
当玻璃基板10接触定位柱14时,由于定位柱14外层为柔软包裹层15,对玻璃基板10有一定缓冲保护作用。由于玻璃基板10仍然被滚轮组件11传送,产生横向力推动定位柱14。此时,定位柱14受力带动滑动板17相对于基座16作平移滑动,并且,拉动拉簧产生弹性形变蓄能,如图7所示。当定位柱14接触到压力传感器20时,压力传感器20输出信号至控制器12,由控制器12控制滚轮组件11停止工作,使得玻璃基板10上失去传送的动力。此时,拉簧弹性恢复,带动定位柱14恢复到初始位置。在定位柱14恢复到初始位置的过程中,由定位柱14推动玻璃基板10到达预定定位位置,可准备的定位玻璃基板10。此时,各个压力传感器20均没有受到定位柱14的压力,没有数值的输出。
当个滚轮组件11的动力输出是均匀的,滚轮的磨损是相同时,定位柱14的受力F仅仅是在一个横向方向上,如图8所示;而当滚轮组件11的驱动电机转速不稳定、滚轮表面磨损不一致时,玻璃基板10的传送就会产生偏转,此时,定位柱14就会作用于不同的压力传感器20,此时,压力传感器20可以输出定位柱14受力的大小(F、F1、F2)、方向θ等,如图9所示。
结合两组基板定位装置就可以实现滚轮组件11的驱动电机转速稳定性、滚轮表面磨损状态的长期监控。正常情况下,如图10a所示,两组基板定位装置的压力传感器20的输出数值、方向等是恒定的;如果两组基板定位装置的压力传感器20的输出数值、方向出现变动时,则可以判断滚轮组件11的驱动电机转速不稳定、滚轮表面磨损程度不均匀等,导致玻璃基板10的流偏,如图10b所示。因此可通过观察压力传感器20的输出值大小和方向的变化提前发现微小的问题,避免问题扩大化造成破片。
在本实施例中,通过将压力传感器20与定位柱14合二为一,简化结构,消除定位偏差;同时,玻璃基板10与定位柱14的接触为带缓冲接触,消除破片风险;而且,定位柱14除了定位检知功能,还有接触力大小和方向检知功能,能长期监控滚轮组件11的驱动电机转速稳定性和滚轮表面磨损状况。
可以理解的,以上实施例仅表达了本发明的优选实施方式,其描述较为具体和详细,但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制;应当指出的是,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明构思的前提下,可以对上述技术特点进行自由组合,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本发明的保护范围;因此,凡跟本发明权利要求范围所做的等同变换与修饰,均应属于本发明权利要求的涵盖范围。

Claims (10)

1.一种基板传送***,包括用于供玻璃基板在其上流动传送的若干滚轮组件、以及控制所述滚轮组件转动的控制器;
其特征在于,该基板传送***还包括基板定位装置,设置在所述滚轮组件的传送玻璃基板方向的末端;
所述基板定位装置包括定位柱,用于挡止并定位经所述滚轮组件传送的玻璃基板;以及
缓冲定位机构,供所述定位柱安装,为所述定位柱提供移动缓冲并带动所述定位柱复位。
2.根据权利要求1所述的基板传送***,其特征在于,所述定位柱***设有柔软包裹层。
3.根据权利要求1所述的基板传送***,其特征在于,所述基板传送***包括两组并排设置的所述基板定位装置。
4.根据权利要求1所述的基板传送***,其特征在于,所述缓冲定位机构包括固定设置的基座;
滑动板,滑动安装在所述基座上;以及
复位件,可带动所述定位柱复位;
所述定位柱与所述滑动板固定连接,在所述玻璃基板推动定位柱时,带动所述滑动板相对所述基座平移滑动。
5.根据权利要求4所述的基板传送***,其特征在于,所述滑动板与所述基座之间设有滚珠板,所述滚珠板上设有多个滚珠;通过所述滚珠板将所述滑动板可平移滑动安装在所述基座上。
6.根据权利要求4所述的基板传送***,其特征在于,所述基座上设有过孔;
所述定位柱与所述滑动板固定连接的一端向所述基座方向延伸,并***所述过孔;
在所述过孔的侧壁设有压力传感器,用于检测所述定位柱的受力大小及方向。
7.根据权利要求6所述的基板传送***,其特征在于,所述复位件为连接在所述定位柱末端与所述基座之间的拉簧。
8.根据权利要求6所述的基板传送***,其特征在于,所述压力传感器与所述控制器连接,所述控制器根据所述压力传感器的受力大小、方向监测所述滚轮组件的转速及表面磨损状况。
9.一种基板定位装置,其特征在于,包括定位柱,用于挡止并定位玻璃基板;以及
缓冲定位机构,供所述定位柱安装,为所述定位柱提供移动缓冲并带动所述定位柱复位。
10.根据权利要求9所述的基板定位装置,其特征在于,所述定位柱***设有柔软包裹层;
所述缓冲定位机构包括固定设置的基座;
滑动板,滑动安装在所述基座上;以及
复位件,连接在所述基座与所述定位柱之间;
所述定位柱与所述滑动板固定连接,在所述玻璃基板推动定位柱时,带动所述滑动板相对所述基座平移滑动,并且,所述复位件可带动所述定位柱复位;
所述滑动板与所述基座之间设有滚珠板,所述滚珠板上设有多个滚珠;通过所述滚珠板将所述滑动板可平移滑动安装在所述基座上;
所述基座上设有过孔;
所述定位柱与所述滑动板固定连接的一端向所述基座方向延伸,并***所述过孔;
在所述过孔的侧壁设有压力传感器,用于检测所述定位柱的受力大小及方向;
所述复位件为连接在所述定位柱末端与所述基座之间的拉簧。
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Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104444228A (zh) * 2013-09-19 2015-03-25 天津中电华利电器科技集团有限公司 一种断路器自动隔料台
CN104992919A (zh) * 2015-07-21 2015-10-21 合肥鑫晟光电科技有限公司 定位脚、定位装置及位置归正方法
CN105416973A (zh) * 2015-10-29 2016-03-23 深圳市华星光电技术有限公司 基板传送装置及基板曝边方法
CN105858051A (zh) * 2016-04-22 2016-08-17 深圳市华星光电技术有限公司 液晶面板传送***及其止挡装置
US9581840B2 (en) 2015-01-13 2017-02-28 Boe Technology Group Co., Ltd. Liquid crystal display screen detecting device
CN107176462A (zh) * 2017-07-05 2017-09-19 京东方科技集团股份有限公司 一种导轮装置、监控破片***及基板制造设备
CN108557472A (zh) * 2018-04-09 2018-09-21 深圳市华星光电技术有限公司 定位销机构、基板传输装置及基板传输方法
CN108760628A (zh) * 2018-04-02 2018-11-06 迈克医疗电子有限公司 一种试纸条测试位置定位方法及尿液干化学分析仪
CN108996106A (zh) * 2018-07-17 2018-12-14 中山瑞科新能源有限公司 一种具有在线监测功能的真空设备传动辊
CN109625970A (zh) * 2019-01-23 2019-04-16 深圳市华星光电技术有限公司 基板搬运机械手
CN109850573A (zh) * 2018-12-04 2019-06-07 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 传送机台
CN110626745A (zh) * 2019-08-20 2019-12-31 浙江大华技术股份有限公司 一种过包检测速度调节的方法、设备及安检机
CN110668183A (zh) * 2019-10-09 2020-01-10 陕西神木瑞诚玻璃有限公司 一种玻璃生产线的辊道挡辊装置及其控制方法

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108155139B (zh) * 2018-02-26 2023-09-22 通威太阳能(安徽)有限公司 一种具有限位机构的太阳能电池倒片机
CN113899498A (zh) * 2021-09-26 2022-01-07 浙江水利水电学院 基于大数据的物联网远程控制装置及其控制方法
CN113993004A (zh) * 2021-09-26 2022-01-28 浙江水利水电学院 基于大数据的物联网消防***
CN114182203A (zh) * 2022-01-18 2022-03-15 福建华佳彩有限公司 一种蒸镀破片检测装置及检测方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60258020A (ja) * 1984-06-05 1985-12-19 Central Glass Co Ltd ガラス板のマ−キング装置
JPH01117898A (ja) * 1979-08-31 1989-05-10 Etab Nativelle Sa 新規な14−アジドステロイド誘導体およびその製造方法
EP0367670A2 (fr) * 1988-11-04 1990-05-09 Saint-Gobain Vitrage International Dispositif de positionnement de feuilles de verre
JPH08113345A (ja) * 1994-10-14 1996-05-07 Metsukusu:Kk 薄板状ワークの移送装置
CN1987578A (zh) * 2005-12-22 2007-06-27 中华映管股份有限公司 定位机台

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5913341A (ja) * 1982-07-14 1984-01-24 Toshiba Corp 試料の搬送位置決め方法
JPS60167840A (ja) * 1984-02-08 1985-08-31 Canon Inc 作業片移動装置
CN2519789Y (zh) * 2001-09-05 2002-11-06 神达电脑股份有限公司 具有缓冲功能的输送板挡栓
JP4801640B2 (ja) * 2007-07-31 2011-10-26 株式会社日本設計工業 薄板状材料搬送装置
CN202189752U (zh) * 2011-09-02 2012-04-11 安徽鑫昊等离子显示器件有限公司 一种玻璃基板定位装置
CN102442539A (zh) * 2011-09-06 2012-05-09 安徽科宏玻璃机械有限公司 一种多尺寸玻璃输送转向台

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01117898A (ja) * 1979-08-31 1989-05-10 Etab Nativelle Sa 新規な14−アジドステロイド誘導体およびその製造方法
JPS60258020A (ja) * 1984-06-05 1985-12-19 Central Glass Co Ltd ガラス板のマ−キング装置
EP0367670A2 (fr) * 1988-11-04 1990-05-09 Saint-Gobain Vitrage International Dispositif de positionnement de feuilles de verre
JPH08113345A (ja) * 1994-10-14 1996-05-07 Metsukusu:Kk 薄板状ワークの移送装置
CN1987578A (zh) * 2005-12-22 2007-06-27 中华映管股份有限公司 定位机台

Cited By (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104444228A (zh) * 2013-09-19 2015-03-25 天津中电华利电器科技集团有限公司 一种断路器自动隔料台
US9581840B2 (en) 2015-01-13 2017-02-28 Boe Technology Group Co., Ltd. Liquid crystal display screen detecting device
CN104536171B (zh) * 2015-01-13 2017-04-12 京东方科技集团股份有限公司 一种液晶屏检测装置
US9963297B2 (en) 2015-07-21 2018-05-08 Boe Technology Group Co., Ltd. Positioning foot, positioning device and position correction method
CN104992919B (zh) * 2015-07-21 2017-11-07 合肥鑫晟光电科技有限公司 定位脚、定位装置及位置归正方法
CN104992919A (zh) * 2015-07-21 2015-10-21 合肥鑫晟光电科技有限公司 定位脚、定位装置及位置归正方法
CN105416973A (zh) * 2015-10-29 2016-03-23 深圳市华星光电技术有限公司 基板传送装置及基板曝边方法
CN105858051A (zh) * 2016-04-22 2016-08-17 深圳市华星光电技术有限公司 液晶面板传送***及其止挡装置
CN107176462A (zh) * 2017-07-05 2017-09-19 京东方科技集团股份有限公司 一种导轮装置、监控破片***及基板制造设备
CN108760628A (zh) * 2018-04-02 2018-11-06 迈克医疗电子有限公司 一种试纸条测试位置定位方法及尿液干化学分析仪
CN108760628B (zh) * 2018-04-02 2020-08-28 迈克医疗电子有限公司 一种试纸条测试位置定位方法及尿液干化学分析仪
CN108557472A (zh) * 2018-04-09 2018-09-21 深圳市华星光电技术有限公司 定位销机构、基板传输装置及基板传输方法
CN108996106A (zh) * 2018-07-17 2018-12-14 中山瑞科新能源有限公司 一种具有在线监测功能的真空设备传动辊
CN109850573A (zh) * 2018-12-04 2019-06-07 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 传送机台
WO2020114010A1 (zh) * 2018-12-04 2020-06-11 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 传送机台
CN109625970A (zh) * 2019-01-23 2019-04-16 深圳市华星光电技术有限公司 基板搬运机械手
CN110626745A (zh) * 2019-08-20 2019-12-31 浙江大华技术股份有限公司 一种过包检测速度调节的方法、设备及安检机
CN110668183A (zh) * 2019-10-09 2020-01-10 陕西神木瑞诚玻璃有限公司 一种玻璃生产线的辊道挡辊装置及其控制方法

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Publication number Publication date
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