CN102874531A

CN102874531A - 输送车

Info

Publication number: CN102874531A
Application number: CN2012101295542A
Authority: CN
Inventors: 田中博
Original assignee: ASYST TECHNOLOGIES
Current assignee: Murata Machinery Ltd
Priority date: 2011-07-12
Filing date: 2012-04-27
Publication date: 2013-01-16
Also published as: TW201314827A; JP2013018617A

Abstract

本发明提供高效地修正被输送物的位置偏移的输送车。输送车(1)具备：行驶台车(3)；转台(9)；移载装置(11)，载放盒(W)并沿着规定的伸缩方向伸缩而将盒(W)取出放入；第一位置检测传感器(13)，在移载装置(11)载放有盒(W)时，检测伸缩方向上的盒(W)的第一位置；第三位置检测传感器(17)，在移载装置(11)载放有盒(W)时，检测与伸缩方向在水平面内正交的方向上的盒(W)的第二位置；控制器(19)，在从移载装置(11)取入盒(W)起至到达盒(W)的移送目的地为止的期间，计算盒(W)的位置偏移的修正量，设定考虑了修正量后的行驶台车(3)的移动量、转台(9)的旋转量及移载装置(1)的伸出量。

Description

输送车

技术领域

本发明涉及一种输送车，例如用于在洁净室中对收纳有多张基板的盒等被输送物进行输送。

背景技术

以往已知有对被输送物的位置偏移进行修正的技术。例如专利文献1所记载的移载装置具备：传感器，测定被输送物的沿着进深方向的距离；和控制器，根据传感器所测定的距离，修正支撑被输送物的支撑部的伸出量；修正被输送物的位置偏移而将被输送物移载到正确的位置。

专利文献1：日本特开2010-208816号公报

被输送物的位置偏移在输送工序中被累积而偏移量变大，因此需要如上述那样进行修正以成为规定的位置。另一方面，在半导体、液晶等的制造工序中，还要求使时间损失较少而高效地输送被输送物。因此，期待着高效地修正被输送物的位置偏移。

发明内容

本发明是为了解决上述课题而进行的，其目的在于提供一种能够高效地修正被输送物的位置偏移的输送车。

本发明的输送车，对被输送物进行输送，其特征在于，具备：主体部，设置为能够沿着规定的方向行驶；旋转部，设置为能够相对于上述主体部以上下方向的轴为中心进行旋转；水平多关节臂，设置于上述旋转部，载放上述被输送物，并且仅在一个方向上伸缩而取出放入上述被输送物；第一位置检测机构，在上述水平多关节臂的基部侧且在比载放上述被输送物的载放面靠上方的位置，分离地设置有2个该第一位置检测机构，检测伸缩方向上的上述被输送物的第一位置；以及第二位置检测机构，在上述水平多关节臂设置有1个该第二位置检测机构，检测与上述伸缩方向在水平面内正交的方向上的上述被输送物的第二位置。

在该输送车中，不使位置检测机构移动而能够在与被输送物接近的位置通过最少数量的位置检测机构来高精度地检测被输送物的位置。

在载放上述被输送物的载放范围的俯视内侧，在从中心离开的位置，朝向中心地设置第二位置检测机构。在该方式中，不在输送物的周围设置多余的空间而能够在与被输送物接近的位置检测位置。

水平多关节臂具备：基端部；和一对承受臂，从基端部向移载方向的前侧延伸并具备载放被输送物的载放面；第一位置检测机构设置于基端部的侧方两端部。在该方式中，能够有效地活用基端部侧方的空间而在与被输送物接近的位置检测位置。

第二位置检测机构设置于上述一对承受臂中的一个承受臂。在该方式中，不新设置指示检测机构的部件而能够在与被输送物接近的位置检测位置。

本发明的输送车，对被输送物进行输送，其特征在于，具备：主体部，设置为能够沿着规定的方向行驶；旋转部，设置为能够相对于主体部以上下方向的轴为中心进行旋转；移载装置，设置于旋转部，载放被输送物，并且沿着规定的伸缩方向伸缩而取出放入被输送物；第一位置检测机构，在移载装置载放有被输送物时，检测伸缩方向上的被输送物的第一位置；第二位置检测机构，在移载装置载放有被输送物时，检测与伸缩方向在水平面内正交的方向上的被输送物的第二位置；以及控制部，在从移载装置取入上述被输送物起至到达该被输送物的移送目的地为止的期间，基于第一位置检测机构及第二位置检测机构检测到的被输送物的第一位置及第二位置，计算被输送物的位置偏移的修正量，来设定考虑了该修正量后的主体部的移动量、旋转部的旋转量及移载装置的伸出量。

在该输送车中，在从移载装置取入被输送物起至到达该被输送物的移送目的地为止的期间，计算被输送物的位置偏移的修正量，来设定主体部的移动量、旋转部的旋转量以及移载装置的伸出量。因此，能够对被输送物的位置偏移进行修正。此外，在从取入被输送物起至到达移送目的地为止的期间，计算修正量来设定各动作量，因此与在获取被输送物时或在将被输送物收纳到移送目的地的架子中时计算修正量的情况相比，能够实现时间的缩短。因此，能够高效地修正被输送物的位置偏移。

移载装置具有仅在一个方向上伸缩的水平多关节臂，在水平多关节臂的基部侧且在比载放被输送物的载放面靠上方的位置，设置第一位置检测机构。在该方式中，不使第一位置检测机构移动而能够正确地进行第一位置的检测。

第一位置检测机构能够固定在水平多关节臂的基部。第一位置检测机构固定于水平多关节臂的基部。在该方式中，能够在与被输送物接近的位置对第一位置进行检测，因此能够更正确检测第一位置。

在水平多关节臂的基部，分离地设置有2个第一位置检测机构，在水平多关节臂设置有1个第二位置检测机构。在该方式中，能够通过最少数量的位置检测机构高精度地检测被输送物的位置。

第二位置检测机构设置于旋转部。在该方式中，能够在与被输送物接近的位置对第二位置进行检测，因此能够更正确地检测第二位置。

发明效果

根据本发明，能够高效地修正被输送物的位置偏移。

附图说明

图1是表示一个实施方式的输送车的立体图。

图2(a)是从上方观察移载装置的图，(b)是从横向观察移载装置的图。

图3是表示水平多关节臂伸出的状态的图。

图4是用于说明由位置检测传感器进行的位置检测的图。

图5是表示控制器的功能性结构的框图。

图6是用于说明对盒的偏移进行修正的顺序的图。

图7是表示其他实施方式的输送车的立体图。

附图文字说明

1…输送车，3…行驶台车(主体部)，9…转台(旋转部)，11…移载装置，13…第一位置检测传感器(第一位置检测机构)，15…第二位置检测传感器(第一位置检测机构)，17…第三位置检测传感器(第二位置检测机构)，19…控制器(控制部)，24…水平多关节臂，W…盒(被输送物)。

具体实施方式

以下，参照附图对优选实施方式进行详细说明。另外，在附图的说明中对相同或者相当的要素赋予相同符号，并省略重复的说明。

图1是表示一个实施方式的输送车的立体图。图2(a)是从上方观察移载装置的图，图2(b)是从横向观察移载装置的图。图3是表示水平多关节臂(SCARA Arm，其中SCARA是Selective Compliance Assembly Robot Arm的缩写)伸出的状态的图。

各图所示的输送车1是在配置有多个架子(未图示)的洁净室(cleanroom)内移动而在各架子中进行盒(cassette)(被输送物)W的取出放入的装置。盒W中例如收纳有液晶面板、太阳电池面板所使用的多个玻璃基板(未图示)。

输送车1构成为包括：在洁净室内移动的行驶台车(主体部)3；在该行驶台车3上立起设置的2个支柱装置5a、5b；设置为相对于支柱装置5a、5b能够在上下方向上移动的升降台7；设置在升降台7之上的转台(旋转部)9；设置在转台9之上的移载装置11；第一位置检测传感器(第一位置检测机构)13；第二位置检测传感器(第一位置检测机构)15；以及第三位置检测传感器(第二位置检测机构)17。此外，输送车1具备对该输送车1的动作进行控制的控制器(控制部)19(参照图5)。

行驶台车3设置为能够沿着规定的方向行驶。行驶台车3具有车轮3a，沿着在洁净室内铺设的导轨R进行直线移动。车轮3a被图示的马达进行旋转驱动。通过该行驶台车3，将输送车1设置为能够在洁净室内移动。

支柱装置5a、5b在行驶台车3的行驶方向上对置地设置有一对。在支柱装置5a、5b，沿着上下方向设置有导轨20。在该导轨20上，设置于升降台7两侧的支撑框架22的引导器(未图示)以能够滑动的方式设置。升降台7通过未图示的升降驱动机构，沿着导轨20在支柱装置5a、5b的上下方向上升降。

转台9设置为能够相对于行驶台车3以上下方向的轴为中心进行旋转。转台9设置于升降台7之上，被未图示的马达进行旋转驱动。

移载装置11由水平多关节臂24和设置有该水平多关节臂24的滑动部26构成。水平多关节臂24由基端侧臂28、前端侧臂30以及移载臂32构成。基端侧臂28的基端侧以能够转动的方式设置于基台25。基端侧臂28与前端侧臂30设置为能够相互自由转动，构成自由臂33。此外，前端侧臂30与移载臂32设置为能够相互自由转动。

移载臂32由基端部(基部)32a和从基端部32a向移载方向的前侧延伸的一对承受臂32b、32c构成。承受臂32b、32c的上表面构成对盒W进行载放的载放面。水平多关节臂24中，基台25使基端侧臂28以基台25的中心线对称地进行同步旋转驱动，由此移载臂32在与行驶台车3的行驶方向正交的一个方向(盒W被取出放入的方向)上进行直线移动。

滑动部26在与行驶台车3的行驶方向正交的方向上进行直进移动，从而使水平多关节臂24滑动。滑动部26设置于转台9之上。由此，移载装置11被设置成能够从图1所示的移载臂32的前端的朝向旋转到180°相反的朝向。

第一位置检测传感器13及第二位置检测传感器15，是对水平多关节臂24的伸缩方向上的盒W的位置进行检测的激光传感器。第一及第二位置检测传感器13、15，在水平多关节臂24中以隔着移载臂32的基端部32a相分离的方式设置于该基端部32a。如图4所示，第一位置检测传感器13设置在移载臂32的基端部32a的长边方向的一端侧，第二位置检测传感器15设置在移载臂32的基端部32a的长边方向的另一端侧。第一及第二位置检测传感器13、15设置成比承受臂32b、32c的上表面(载放面)靠上方。

第一及第二位置检测传感器13、15具有对激光进行投射接收的光投射接收部(未图示)，如图4所示，基于朝向水平多关节臂24前端侧投射的光被盒W下部的框架F反射后被接收所花费的时间，来测定距离。第一及第二位置检测传感器13、15，在移载臂32的承受臂32b、32c上载放有盒W时，进行位置的检测。第一及第二位置检测传感器13、15向控制器19输出表示检测到的盒W的位置的第一位置信息及第二位置信息。

第三位置检测传感器17是对行驶台车3的行驶方向即与水平多关节臂24的伸缩方向在水平面内正交的方向上的盒W的位置进行检测的激光传感器。第三位置检测传感器17在水平多关节臂24中被设置于移载臂32的一个承受臂32b。第三位置检测传感器17在盒W所载放的载放范围的俯视内侧，在从中心离开的位置上朝向中心设置。第三位置检测传感器17具有对激光进行投射接收的光投射接收部(未图示)，如图4所示，基于朝向与水平多关节臂24的伸缩方向正交的方向投射的光被盒W下部的框架F反射后被接收所花费的时间，来测定距离。第三位置检测传感器17在移载臂32的承受臂32b、32c上载放有盒W时，进行位置的检测。第三位置检测传感器17向控制器19输出表示检测到的盒W的位置的第三位置信息。

图5是表示控制器的功能性结构的框图。如图5所示，控制器19连接有第一位置检测传感器13、第二位置检测传感器15以及第三位置检测传感器17。控制器19由CPU(Central Processing Unit)、ROM(Read Only Memory)、RAN(Random Access Memory)等构成，通过程序来执行各种控制。

控制器19具备第一修正量计算部190、第二修正量计算部191以及第三修正量计算部192。

第一修正量计算部190计算水平多关节臂24的伸缩方向(图4中的Y方向)上的盒W的位置偏移的修正量，来设定水平多关节臂24的伸出量。第一修正量计算部190若接收到从第一及第二位置检测传感器13、15输出的第一及第二位置信息，则至到达盒W的移送目的地为止，基于第一及第二位置信息计算盒W的Y方向的位置偏移的修正量，基于该修正量来设定水平多关节臂24的伸出量。第一修正量计算部190向驱动器34输出表示所设定的伸出量的伸出量信息。

第二修正量计算部191计算行驶台车3的行驶方向、即与Y方向正交的方向(图4中X方向)上的盒W的位置偏移的修正量，来设定行驶台车3的移动量。第二修正量计算部191若接收到从第一～第三位置检测传感器13、15、17输出的第一～第三位置信息，则至到达盒W的移送目的地为止，基于第一～第三位置信息计算盒W的X方向的修正量，基于该修正量来设定行驶台车3的移动量(输送车1的停止位置)。第二修正量计算部191向驱动器34输出表示所设定的移动量的移动量信息。

第三修正量计算部192计算盒W的旋转方向上的位置偏移的修正量，来设定转台9的旋转量。第三修正量计算部192若接收到从第一及第二位置检测传感器13、15分别输出的第一及第二位置信息，则至到达盒W的移送目的地为止，基于第一及第二位置信息计算盒W的旋转角θ而计算位置偏移的修正量，基于修正量来设定转台9的旋转量。第三修正量计算部192向驱动器34输出表示所设定的旋转量的旋转量信息。

驱动器34是驱动行驶台车3的车轮3a的马达、使转台9旋转的马达、驱动移载装置11的马达等。驱动器34若接收到从控制器19输出的伸出量信息、移动量信息以及旋转量信息，则根据考虑了这些修正量后的各信息来使各机器动作。

接着，说明输送车1的动作。图6是用于说明对盒的偏移进行修正的顺序的图。如图6(a)所示，输送车1首先移动到收纳了盒W的架子前。接下来，如图6(b)所示，输送车1使移载装置11的水平多关节臂24的移载臂32伸长，将水平多关节臂24***至架子所收纳的盒W的下部而将该盒W抬起。

接着，如图6(c)所示，使移载臂32收缩而将盒W取入到输送车1上。此时，通过第一～第三位置检测传感器13、15、17检测盒W相对于移载臂32的位置。然后，将盒W移送到移送目的地的架子。控制器19计算用于在该移动过程中对盒W的偏移进行修正的位置偏移的修正量，来设定伸出量、移动量以及旋转量。

接着，输送车1基于考虑了上述修正量后的移动量来控制行驶台车3，使其移动到架子前。然后，输送车1如图6(d)所示，使移载装置11的水平多关节臂24伸长，将盒W收纳于架子。此时，基于水平多关节臂24的伸出量、转台9的旋转量，来控制移载装置11以及转台9。由此，如图6(e)所示，盒W相对于架子被修正了偏移后被收纳于该架子。

在本实施方式中，控制器19在从移载装置11取入盒W起至到达盒W的移送目的地为止的期间，基于第一～第三位置检测传感器13、15、17检测到的盒W的位置计算盒W的位置偏移的修正量，来设定考虑了该修正量后的行驶台车3的移动量、转台9的旋转量以及水平多关节臂24的伸出量。因此，能够良好地修正盒W的位置偏移。此外，在从取入盒W起至到达移送目的地为止的期间，计算位置偏移的修正量来设定各动作量，因此与在取入盒W时或在将盒W收纳到移送目的地的架子时计算修正量的情况相比，实现了时间的缩短。因此，能够高效地修正盒W的位置偏移。

在此，以往由于是在取入盒W时使水平多关节臂暂时停止，测定盒的位置来计算修正量，因此移载装置的动作要停止大约1～2秒程度。与此相对，在本实施方式中，在盒W的移送过程中计算修正量，设定考虑了该修正量后的伸缩量、移动量以及旋转量，因此能够进行以下那样的动作。

即，在输送车1中，不需要在取入盒W时使移载装置11的动作停止，因此能够交叠地进行移载装置11中的水平多关节臂24的伸缩动作和升降台7的升降动作。因此，能够实现移载时间的缩短。由此，能够修正位置偏移并高效地进行盒W的输送(移载)。

此外，在本实施方式中，将第一及第二位置检测传感器13、15固定于移载臂32的基端部32a。因此，能够以接近的方式检测盒W的位置。由此，能够高精度地检测盒W的位置。

本发明不限定于上述实施方式。例如，在上述实施方式中，第三位置检测传感器17安装于水平多关节臂24的承受臂32b，但第三位置检测传感器17的安装位置不限定于此。如图7所示，也可以是，第三位置检测传感器17设置于转台9。如图7所示，在输送车1A中，第三位置检测传感器17A通过支撑部S安装于转台9。通过这样的结构，在将盒W取入到输送车1上时，第三位置检测传感器17A从盒W的外侧对框架F的位置进行检测。

此外，在上述实施方式中，作为第一～第三位置检测传感器13、15、17例示了激光传感器，但第一～第三位置检测传感器13、15、17也可以是光学式测距传感器或使用了超声波、磁波的传感器。

以上，说明了本发明的一个实施方式，但本发明不限定于上述实施方式，在不脱离本发明宗旨的范围内能够进行各种变更。特别是，本说明书所记载的多个实施方式以及变形例能够根据需要任意组合。

Claims

1.一种输送车，对被输送物进行输送，其特征在于，具备：

主体部，设置为能够沿着规定的方向行驶；

旋转部，设置为能够相对于上述主体部以上下方向的轴为中心进行旋转；

水平多关节臂，设置于上述旋转部，载放上述被输送物，并且仅在一个方向上伸缩而取出放入上述被输送物；

第一位置检测机构，在上述水平多关节臂的基部侧且在比载放上述被输送物的载放面靠上方的位置，分离地设置有2个该第一位置检测机构，检测伸缩方向上的上述被输送物的第一位置；以及

第二位置检测机构，在上述水平多关节臂设置有1个该第二位置检测机构，检测与上述伸缩方向在水平面内正交的方向上的上述被输送物的第二位置。

2.如权利要求1所述的输送车，其特征在于，

在载放上述被输送物的载放范围的俯视内侧，在从中心离开的位置，朝向中心地设置上述第二位置检测机构。

3.如权利要求1或2所述的输送车，其特征在于，

上述水平多关节臂具备：基端部；和一对承受臂，从基端部向移载方向的前侧延伸并具备载放被输送物的载放面；

上述第一位置检测机构设置于基端部的侧方两端部。

4.如权利要求3所述的输送车，其特征在于，

上述第二位置检测机构设置于上述一对承受臂中的一个承受臂。

5.一种输送车，对被输送物进行输送，其特征在于，具备：

主体部，设置为能够沿着规定的方向行驶；

移载装置，设置于上述旋转部，载放上述被输送物，并且沿着规定的伸缩方向伸缩而取出放入上述被输送物；

第一位置检测机构，在上述移载装置载放有上述被输送物时，检测上述伸缩方向上的上述被输送物的第一位置；

第二位置检测机构，在上述移载装置载放有上述被输送物时，检测与上述伸缩方向在水平面内正交的方向上的上述被输送物的第二位置；以及

控制部，在从上述移载装置取入上述被输送物起至到达该被输送物的移送目的地为止的期间，基于上述第一位置检测机构及上述第二位置检测机构检测到的上述被输送物的上述第一位置及第二位置，计算上述被输送物的位置偏移的修正量，来设定考虑了该修正量后的上述主体部的移动量、上述旋转部的旋转量及上述移载装置的伸出量。

6.如权利要求5所述的输送车，其特征在于，

上述移载装置具有仅在一个方向上伸缩的水平多关节臂，

在上述水平多关节臂的基部侧且在比载放上述被输送物的载放面靠上方的位置，设置上述第一位置检测机构。

7.如权利要求6所述的输送车，其特征在于，

上述第一位置检测机构固定于上述水平多关节臂的上述基部。

8.如权利要求6或7所述的输送车，其特征在于，

在上述水平多关节臂的上述基部，分离地设置有2个上述第一位置检测机构，

在上述水平多关节臂设置有1个上述第二位置检测机构。

9.如权利要求5～7中任一项所述的输送车，其特征在于，

上述第二位置检测机构设置于上述旋转部。