CN102851741A - 一种扩散炉及其炉门密闭装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开一种扩散炉及其炉门密闭装置，该装置包括：与炉管的端口面可活动密闭连接的炉门；和支撑旋转杆；将炉门与支撑旋转杆的一端部可转动连接的活动关节；支撑旋转杆的中端部通过第一驱动杆连接有控制炉门开关的开关机构；支撑旋转杆的另一端部通过第二驱动杆连接有保证所述炉门密闭的水平运动机构；以及水平运动机构连接有驱动其沿水平方向运动的气缸组件。该技术方案能更好的防止扩散源泄漏，从而达到提高密闭性能的同时节省成本的目的；炉门与炉管之间的柔性接触，避免了其间的硬碰撞导致零件损坏；通过单独控制炉门密闭气压，避免炉门与炉管冲撞；另外，还可降低炉门安装要求，从而降低了炉门密闭装置的维护时间。
Description
技术领域
本发明涉及炉门密封领域，尤其涉及一种扩散炉及其炉门密闭装置。
背景技术
目前的管式扩散炉门密闭装置与炉管密闭时一般采用硬接触；加上炉门与炉管之间密闭性不是很好，容易漏源形成偏磷酸，导致与炉管连接的整个排气室被污染；另外，管式扩散炉门密闭装置关闭置炉门时，为了达到更好的密闭效果，一般需要人工调整炉门的结构，这样的话，对管式扩散炉门密闭装置的安装要求也较高，同时需要定期调整炉门，且效果不佳。
发明内容
本发明要解决的技术问题在于，针对现有技术具有硬接触、密闭效果不佳和安装复杂的缺陷，提供一种具有柔性接触、密闭效果佳且安装要求低的扩散炉及其炉门密闭装置。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：构造一种炉门密闭装置，其包括：
与炉管的端口面可活动密闭连接的炉门；
和支撑旋转杆；
将所述炉门与所述支撑旋转杆的一端部可转动连接的活动关节；
所述支撑旋转杆的中端部通过第一驱动杆连接有控制所述炉门开关的开关机构；
所述支撑旋转杆的另一端部通过第二驱动杆连接有保证所述炉门密闭的水平运动机构；以及
所述水平运动机构连接有驱动其沿水平方向运动的气缸组件。
在本发明所述的炉门密闭装置中，所述活动关节和所述支撑旋转杆之间设有用于调节所述炉门位置的调节机构。
在本发明所述的炉门密闭装置中，所述第一驱动杆与所述支撑旋转杆的中端部通过第一轴套固定连接。
在本发明所述的炉门密闭装置中，所述第二驱动杆与所述支撑旋转杆的另一端部通过第二轴套固定连接。
在本发明所述的炉门密闭装置中，所述炉门设有用于检测所述炉门位置的多个位置传感器。
在本发明所述的炉门密闭装置中，所述活动关节垂直固定于所述炉门。
在本发明所述的炉门密闭装置中，所述活动关节为支撑柱。
在本发明所述的炉门密闭装置中，所述炉门为石英炉门。
在本发明所述的炉门密闭装置中，所述开关机构还用于定位所述炉门位置并缓冲所述炉门与所述炉管的端口面之间的接触。
本发明还构造一种扩散炉，所述扩散炉包括上述的炉门密闭装置。
实施本发明的技术方案，具有以下有益效果：通过炉门和炉管的可活动密闭连接，能更好的防止扩散源泄漏，从而达到提高密闭性能的同时节省成本的目的；炉门与炉管之间的柔性接触，避免了炉门与炉管之间的硬碰撞导致零件损坏；通过开关机构和水平运动机构单独控制炉门密闭气压，避免炉门与炉管冲撞；另外，该技术方案还可降低炉门安装要求，从而降低了炉门密闭装置的维护时间。
附图说明
下面将结合附图及实施例对本发明作进一步说明，附图中：
图1是本发明炉门密闭装置的正视图。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
应当说明的是，本实施例中的扩散炉包括炉门密闭装置，炉管以及与该炉管连接且用于排放炉管内的气体的排气装置，在此不再赘述。
请参阅图1，图1是本发明炉门密闭装置的正视图，如图1所示，该炉门密闭装置包括：炉门1、活动关节2、调节机构3、支撑旋转杆4、第一驱动杆5、开关机构6、第二驱动杆7、水平运动机构8、气缸组件9、第一轴套10、第二轴套11以及多个位置传感器(图未示)。下面具体介绍各个部分的连接关系及作用：
炉门1与炉管(图未示)的端口面可活动密闭连接，值得注意的是，炉门1和炉管的端口面具有相同的平面度，也就是说，炉管的端口面与炉门1密闭连接时可平行吻合。在本实施例中，所述炉门1为石英炉门，本领域的技术人员应当了解，石英材料具有较好的绝热效果，所以该石英炉门能承受高温，在其他的实施例中，也可采用不锈钢炉门，在此不再赘述。
活动关节2将炉门1通过调节机构3与支撑旋转杆4的一端部可转动连接，在本实施例中，活动关节2垂直固定于炉门1，这样的结构拥有一定的自由度，达到柔性接触的目的，并且，当炉门1关闭时，炉门1首先与炉管部分接触，然后其通过气缸组件9的驱动缓慢闭合，直至完全密封，同时可以避免炉门1与炉管的直接冲撞，达到安全密封的目的。
在其他的实施例中，所述活动关节1为支撑柱，本领域的技术人员应当了解，这里不再赘述。
所述活动关节1和所述支撑旋转杆4之间设有调节机构3，该调节机构3用于调节炉门1的位置。从而使达到炉门1的中心与炉管的中心大致在同一直线上。
固定杆4的中端部通过第一驱动杆5连接有开关机构6，该开关机构6用于控制炉门1的打开和关闭；并且用于定位炉门1位置并缓冲炉门1与炉管的端口面之间的接触炉，也就是说，通过一路气压实现单独控制开关机构6。
支撑旋转杆4的另一端部通过第二驱动杆7连接有水平运动机构8，水平运动机构8连接有驱动其沿水平方向运动的气缸组件9，该水平运动机构8用于保证炉门1的密闭；也就是说，通过驱动气缸组件9控制炉门1密闭所需要的压力，以保证炉门1的密闭，实现一路气压单独控制，另外，通过驱动该气缸组件9可节约运动时间和保证运动平稳，从而避免炉门1冲撞炉管的端口面。
另外，第一驱动杆5与支撑旋转杆4的中端部通过第一轴套10固定连接；第二驱动杆7与支撑旋转杆4的另一端部通过第二轴套11固定连接。
炉门1设有多个位置传感器，所述位置传感器用于检测炉门1的位置，以保证炉门1安全开关。
相较于现有技术，通过炉门和炉管的可活动密闭连接，能更好的防止扩散源泄漏，从而达到提高密闭性能的同时节省成本的目的；炉门与炉管之间的柔性接触，避免了炉门与炉管之间的硬碰撞导致零件损坏；通过开关机构和水平运动机构单独控制炉门密闭气压，避免炉门与炉管冲撞；另外，该技术方案还可降低炉门安装要求，从而降低了炉门密闭装置的维护时间。
以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的权利要求范围之内。
Claims (10)
1.一种炉门密闭装置，其特征在于，其包括：
与炉管的端口面可活动密闭连接的炉门；
和支撑旋转杆；
将所述炉门与所述支撑旋转杆的一端部可转动连接的活动关节；
所述支撑旋转杆的中端部通过第一驱动杆连接有控制所述炉门开关的开关机构；
所述支撑旋转杆的另一端部通过第二驱动杆连接有保证所述炉门密闭的水平运动机构；以及
所述水平运动机构连接有驱动其沿水平方向运动的气缸组件。
2.根据权利要求1所述的炉门密闭装置，其特征在于，所述活动关节和所述支撑旋转杆之间设有用于调节所述炉门位置的调节机构。
3.根据权利要求2所述的炉门密闭装置，其特征在于，所述第一驱动杆与所述支撑旋转杆的中端部通过第一轴套固定连接。
4.根据权利要求3所述的炉门密闭装置，其特征在于，所述第二驱动杆与所述支撑旋转杆的另一端部通过第二轴套固定连接。
5.根据权利要求4所述的炉门密闭装置，其特征在于，所述炉门设有用于检测所述炉门位置的多个位置传感器。
6.根据权利要求5所述的炉门密闭装置，其特征在于，所述活动关节垂直固定于所述炉门。
7.根据权利要求6所述的炉门密闭装置，其特征在于，所述活动关节为支撑柱。
8.根据权利要求6所述的炉门密闭装置，其特征在于，所述炉门为石英炉门。
9.根据权利要求1所述的炉门密闭装置，其特征在于，所述开关机构还用于定位所述炉门位置并缓冲所述炉门与所述炉管的端口面之间的接触。
10.一种扩散炉，其特征在于，所述扩散炉包括上述权利要求1至9任一项所述的炉门密闭装置。
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