CN102768016A - 坐标测量机精度补偿方法及装置 - Google Patents

坐标测量机精度补偿方法及装置 Download PDF

Info

Publication number
CN102768016A
CN102768016A CN2012102711723A CN201210271172A CN102768016A CN 102768016 A CN102768016 A CN 102768016A CN 2012102711723 A CN2012102711723 A CN 2012102711723A CN 201210271172 A CN201210271172 A CN 201210271172A CN 102768016 A CN102768016 A CN 102768016A
Authority
CN
China
Prior art keywords
target
coordinate measuring
measuring machine
laser tracker
adapter rod
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN2012102711723A
Other languages
English (en)
Other versions
CN102768016B (zh
Inventor
刘宁
周姝
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Aipei Instrument Measuring Equipment Co., Ltd.
Original Assignee
API ZC Chengdu Precision Instrument Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by API ZC Chengdu Precision Instrument Co Ltd filed Critical API ZC Chengdu Precision Instrument Co Ltd
Priority to CN201210271172.3A priority Critical patent/CN102768016B/zh
Publication of CN102768016A publication Critical patent/CN102768016A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN102768016B publication Critical patent/CN102768016B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

本发明提供一种坐标测量机精度补偿方法及装置,此坐标测量机精度补偿方法采用激光跟踪法测量坐标测量机的实际运动轨迹,通过计算机比较测量所得的参数与设定的参数得出精度补偿值,对坐标测量机进行补偿。实现此方法的装置包括坐标测量机、计算机、激光跟踪仪、靶标和两根不同长度的适配杆。靶标通过适配杆安装在坐标测量机的悬臂上,通过激光跟踪仪测量并记录靶标的运动轨迹,得到坐标测量机的实际运行参数。使用长度不同的两种适配杆,可以得出向量补偿值,进而对坐标测量机进行更全面、更准确地精度补偿。

Description

坐标测量机精度补偿方法及装置
技术领域
本发明涉及一种坐标测量机精度补偿方法及装置。
背景技术
传统的坐标测量机的误差补偿法是利用坐标测量机的自身的CAD模型预先设定若干个测量点,坐标测量机按照一定的路径在测量点之间运行,当坐标测量机运行到各个测量点时,利用测量设备对每个轴分别进行数据采集,获取误差值,然后输入计算机,计算机通过软件计算出补偿值,并进行误差补偿。这里可以忽略测量设备自身的误差,因为测量设备都是经过有关部门标定的,测量设备通常是使用激光干涉仪,但是由于其中每一项参数都需要单独采集,每次采集需要调整激光干涉仪,并运行相应的测量步骤。如此,便耗费了大量的时间。而且由于每一项参数只能在某一个位置测量,不能够完全表达空间任意点的误差值,数据的准确性得不到保证。而且由于激光干涉仪工作时间过长,热漂移也会影响到数据采集的准确性。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种坐标测量机精度补偿方法,运用此方法可以快速、准确地标定坐标测量机的测量误差并进行补偿,操作时间短,受环境影响小,补偿数据可靠性高。
本发明解决技术问题所采用的技术方案是:该方法包括以下步骤:
步骤1)利用坐标测量机自身的CAD模型,设定若干个测量点,记录每个测量点的坐标参数,并设定途径每个测量点的运行路径;
步骤2)将第一适配杆的一端与悬臂连接,并在所述第一适配杆的另一端安装靶标;
步骤3)固定并启动激光跟踪仪,调节激光跟踪仪的出光方向,使激光束照射在所述靶标上;
步骤4)启动坐标测量机,主机按照控制***的输出命令运行,使靶标按照步骤1)中设定的路径运动,激光跟踪仪跟踪靶标,并在每个测试点记录激光跟踪仪与靶标之间的距离和激光束偏转的角度值;
步骤5)控制***计算出各个测量点之间的设定距离值,得出数据组a1,输入计算机;激光跟踪仪计算出靶标在各个测量点之间运行的测量距离值,得出数据组b1,输入计算机;
步骤6)计算机比较数据组a1与数据组b1,计算出距离精度补偿值,并反馈给控制***进行补偿。
激光跟踪仪始终跟随靶标,实时采集靶标的坐标参数,所有测量点的参数一次性采集完成,减少调整次数,节省时间,而且由于测量时间短,测量环境相对变化小,激光跟踪仪受环境影响,尤其是温度影响小,测量数据更准确。
为得到更全面的精度参数,还包括以下步骤:
步骤7)拆下第一适配杆,换装第二适配杆,重复步骤3)和步骤4);
步骤8)控制***计算出各个测量点之间的设定向量值,得出数据组a2,输入计算机;激光跟踪仪计算出靶标在各个测量点之间的测量向量值,得出数据组b2,输入计算机;
步骤9)计算机比较数组据a2和数据组b2,计算出向量精度补偿值,并反馈给坐标测量机进行补偿。
通过使用两根长度不同的适配杆,得出测量点之间的向量参数,既有距离值,又有角度值,补偿数据更全面,对坐标测量机的补偿更精确。
用于此坐标测量机精度补偿方法的装置,包括坐标测量机和计算机,所述坐标测量机包括主机和控制***,在所述主机上设置有悬臂,还包括激光跟踪仪、靶标和第一适配杆;所述计算机分别与所述控制***和激光跟踪仪连接,所述第一适配杆的一端与所述悬臂连接,另一端与所述靶标连接。
为实现步骤7)至步骤9),还包括第二适配杆,所述第二适配杆的长度与所述第一适配杆的长度不同。
本发明的有益效果是:本坐标测量机精度补偿方法创造性的将激光跟踪技术运用在对坐标测量机的标定上,通过激光跟踪仪、靶标和两根长度不同的适配杆测量出坐标测量机运动到空间内任意一点的位置误差,并通过计算机运算得出精度补偿数据。该方法比传统标定方法的效率有显著提高,并且获得的数据更全面,更能反映真实状况,补偿方法也更科学,更精确。只需在初始点对激光跟组仪和靶标进行校准,中间过程无需调整,所以标定时间短,温度等环境因素对数据采集的误差影响相对较少。
附图说明
图1是用于本发明坐标测量机精度补偿方法的装置的结构示意图。
具体实施方式
坐标测量机的精度补偿方法总体来说是将坐标测量机实际运行的参数标定出来,与程序设定的参数进行比较,通过软件计算得出补偿值。
如图1所示,本发明采用激光跟踪连续标定的方式。在悬臂4上安装第一适配杆7和靶标6,激光跟踪仪5可以设置在主机1的基座上,也可以设置在地面或其他固定位置。激光跟踪仪5和坐标测量机的控制***2均与计算机3连接。靶标6能够以自身的光束反射点为轴在X、Y、Z三个方向上转动。激光跟踪仪5作为测量设备,和传统方法使用的激光干涉仪同样,都不需要考虑自身的误差,经过相关部门标定后,可以作为基准。当然,由于激光跟踪仪5自身的精度极高,和激光跟踪测量原理,激光跟踪仪5的摆放位置局限性小,激光跟踪仪5与靶标6之间距离的远近不会影响测量精度。
通过控制***2在坐标测量机的量程范围内选取若干个测量点,并计算出最佳运行路径,测量点的数量越多,标定和计算误差值越准确,一般会设置200个测量点。固定好并启动激光跟踪仪5后,调整激光跟踪仪5的出光方向,使激光束照射到位于初始位置的靶标6上,并记录此时激光跟踪仪5与靶标6之间的距离值和激光束出光方向的角度值。启动坐标测量机,主机1安装控制***2预先设定的路径运行,靶标6在测量点之间运动时,激光跟踪仪5始终跟踪靶标6,靶标6自动旋转,保证在不同位置时都可以将激光束反射回激光跟踪仪5。每到一个测量点,激光跟踪仪5都会测量并记录激光跟踪仪5与靶标6之间的距离值和激光束偏转的角度值,并计算出两个测量点之间的距离值,得出一个数据组b1。由于测量点的坐标参数是利用坐标测量机自身的CAD模型设定的,所以控制***2可以计算出各个测量点之间设定的距离值,得出另外一个数据组a1,其实数据组a1在设定测量点时就已经得出。将两组数据输入计算机3,计算机3就可以通过软件计算出设定距离值与测量距离值之间的差值,并得出坐标测量机的精度误差值,计算机3根据切比雪夫多项式原理综合分析得出的精度补偿值,并反馈给控制***2进行补偿。
整个标定和测量过程一次性完成,而且激光跟踪仪5始终自动跟随靶标6,中途不需要停机调整,确保了测量数据的连续性和准确性。而且相比于激光干涉仪,激光跟踪仪5受温度等环境因素的影响小,测量所得数据更加准确。采用此方法对坐标测量机进行精度补偿,准确性和效率都大大提高。
为得到更全面的数据,在测量完一组数据后,将第一适配杆7拆下,换装第二适配杆,第二适配杆与第一适配杆7的长度不同。按照上述步骤重复测量一次,由于适配杆的长度发生变化,相当于所有测量点同时向某一个方向平移了同样的距离,激光跟踪仪5根据此次测量得出的数据与数据组b1结合计算出各个测量点之间的测量向量值,得出数据组b2。控制***2计算出各个测量点的设定向量值,得出数据组a2。将数据组a2和数据组b2输入计算机3进行比较,即可得出向量精度补偿值,反馈给控制***2。第一适配杆7与第二适配杆的长度差越大,得出的向量精度补偿值越准确。向量精度补偿值可以更全面、更准确的反映出坐标测量机的精度水平,从而更精确地对坐标测量机进行精度补偿和校正。

Claims (4)

1.坐标测量机精度补偿方法,其特征在于:包括以下步骤:
步骤1)利用坐标测量机自身的CAD模型,设定若干个测量点,记录每个测量点的坐标参数,并设定途径每个测量点的运行路径;
步骤2)将第一适配杆(7)的一端与悬臂(4)连接,并在所述第一适配杆(7)的另一端安装靶标(6);
步骤3)固定并启动激光跟踪仪(5),调节激光跟踪仪(5)的出光方向,使激光束照射在所述靶标(6)上;
步骤4)启动坐标测量机,主机(1)按照控制***(2)的输出命令运行,使靶标(6)按照步骤1)中设定的路径运动,激光跟踪仪(5)跟踪靶标(6),并在每个测试点记录激光跟踪仪(5)与靶标(6)之间的距离和激光束偏转的角度值;
步骤5)控制***(2)计算出各个测量点之间的设定距离值,得出数据组a1,输入计算机(3);激光跟踪仪(5)计算出靶标(6)在各个测量点之间运行的测量距离值,得出数据组b1,输入计算机(3);
步骤6)计算机(3)比较数据组a1与数据组b1,计算出距离精度补偿值,并反馈给控制***(2)进行补偿。
2.根据权利要求1所述的坐标测量机精度补偿方法,其特征在于:还包括以下步骤:
步骤7)拆下第一适配杆(7),换装第二适配杆,重复步骤3)和步骤4);
步骤8)控制***(2)计算出各个测量点之间的设定向量值,得出数据组a2,输入计算机;激光跟踪仪(5)计算出各个测量点之间的测量向量值,得出数据组b2,输入计算机;
步骤9)计算机(3)比较数组据a2和数据组b2,计算出向量精度补偿值,并反馈给坐标测量机进行补偿。
3.用于权利要求1所述坐标测量机精度补偿方法的装置,包括坐标测量机和计算机(3),所述坐标测量机包括主机(1)和控制***(2),在所述主机(1)上设置有悬臂(4),其特征在于:还包括激光跟踪仪(5)、靶标(6)和第一适配杆(7);所述计算机(3)分别与所述控制***(2)和激光跟踪仪(5)连接,所述第一适配杆(7)的一端与所述悬臂(4)连接,另一端与所述靶标(6)连接。
4.用于权利要求3所述坐标测量机精度补偿方法的装置,其特征在于:还包括第二适配杆,所述第二适配杆与所述第一适配杆(7)的长度不同。
CN201210271172.3A 2012-07-31 2012-07-31 坐标测量机精度补偿方法及装置 Active CN102768016B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201210271172.3A CN102768016B (zh) 2012-07-31 2012-07-31 坐标测量机精度补偿方法及装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201210271172.3A CN102768016B (zh) 2012-07-31 2012-07-31 坐标测量机精度补偿方法及装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN102768016A true CN102768016A (zh) 2012-11-07
CN102768016B CN102768016B (zh) 2015-07-15

Family

ID=47095505

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201210271172.3A Active CN102768016B (zh) 2012-07-31 2012-07-31 坐标测量机精度补偿方法及装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN102768016B (zh)

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103512511A (zh) * 2013-09-26 2014-01-15 南京航空航天大学 一种基于激光跟踪仪的大型面自动化测量方法
CN104483891A (zh) * 2014-10-29 2015-04-01 北京工研精机股份有限公司 一种提高机床空间运动精度的方法
CN105091811A (zh) * 2015-08-28 2015-11-25 爱佩仪中测(成都)精密仪器有限公司 保证三维测量精度的立柱支撑结构
CN105666490A (zh) * 2016-01-12 2016-06-15 昆明理工大学 一种机器人的标定***及方法
CN106217175A (zh) * 2015-08-26 2016-12-14 成都森蓝光学仪器有限公司 离子束抛光离子源坐标位置标校***和标校方法
CN107860309A (zh) * 2017-09-14 2018-03-30 东莞中子科学中心 提高激光跟踪仪测量精度的方法和装置
CN108050968A (zh) * 2018-01-09 2018-05-18 山东大学 一种手持式空间物体表面坐标测量仪及测量方法
CN108827185A (zh) * 2018-06-04 2018-11-16 中车青岛四方机车车辆股份有限公司 一种轨道车辆车身的三维重建装置及三维重建方法
CN110220454A (zh) * 2019-06-03 2019-09-10 西安飞机工业(集团)有限责任公司 一种三坐标定位机构的位姿标定方法
CN110806570A (zh) * 2019-10-23 2020-02-18 成都飞机工业(集团)有限责任公司 一种激光跟踪仪温度误差补偿方法
CN112197723A (zh) * 2020-09-29 2021-01-08 中国航发动力股份有限公司 一种坐标测量机的校核标准件及校核方法
CN113029614A (zh) * 2020-10-29 2021-06-25 中国航空工业集团公司北京航空精密机械研究所 高铁轮对测量机几何误差补偿方法及装置

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20050039350A (ko) * 2003-10-24 2005-04-29 현대자동차주식회사 차체 패널 용접용 로봇의 위치 보정 방법
CN1892175A (zh) * 2005-07-08 2007-01-10 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 三坐标测量机床误差补偿***及方法
DE102007051054A1 (de) * 2007-10-19 2009-04-30 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Verfahren zum Korrigieren der Messwerte eines Koordinatenmessgeräts und Koordinatenmessgerät
US20100176270A1 (en) * 2009-01-09 2010-07-15 Lau Kam C Volumetric error compensation system with laser tracker and active target
CN102087096A (zh) * 2010-11-12 2011-06-08 浙江大学 一种基于激光跟踪测量的机器人工具坐标系自动标定装置及方法
CN102506702A (zh) * 2011-09-29 2012-06-20 天津大学 带有激光跟踪的大型三坐标测量方法与装置

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20050039350A (ko) * 2003-10-24 2005-04-29 현대자동차주식회사 차체 패널 용접용 로봇의 위치 보정 방법
CN1892175A (zh) * 2005-07-08 2007-01-10 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 三坐标测量机床误差补偿***及方法
DE102007051054A1 (de) * 2007-10-19 2009-04-30 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Verfahren zum Korrigieren der Messwerte eines Koordinatenmessgeräts und Koordinatenmessgerät
US20100176270A1 (en) * 2009-01-09 2010-07-15 Lau Kam C Volumetric error compensation system with laser tracker and active target
CN102087096A (zh) * 2010-11-12 2011-06-08 浙江大学 一种基于激光跟踪测量的机器人工具坐标系自动标定装置及方法
CN102506702A (zh) * 2011-09-29 2012-06-20 天津大学 带有激光跟踪的大型三坐标测量方法与装置

Cited By (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103512511A (zh) * 2013-09-26 2014-01-15 南京航空航天大学 一种基于激光跟踪仪的大型面自动化测量方法
CN104483891A (zh) * 2014-10-29 2015-04-01 北京工研精机股份有限公司 一种提高机床空间运动精度的方法
CN106217175A (zh) * 2015-08-26 2016-12-14 成都森蓝光学仪器有限公司 离子束抛光离子源坐标位置标校***和标校方法
CN105091811A (zh) * 2015-08-28 2015-11-25 爱佩仪中测(成都)精密仪器有限公司 保证三维测量精度的立柱支撑结构
CN105666490A (zh) * 2016-01-12 2016-06-15 昆明理工大学 一种机器人的标定***及方法
CN105666490B (zh) * 2016-01-12 2018-06-15 昆明理工大学 一种机器人的标定***及方法
CN107860309B (zh) * 2017-09-14 2024-04-02 国科中子医疗科技有限公司 提高激光跟踪仪测量精度的方法和装置
CN107860309A (zh) * 2017-09-14 2018-03-30 东莞中子科学中心 提高激光跟踪仪测量精度的方法和装置
CN108050968A (zh) * 2018-01-09 2018-05-18 山东大学 一种手持式空间物体表面坐标测量仪及测量方法
CN108050968B (zh) * 2018-01-09 2019-06-04 山东大学 一种手持式空间物体表面坐标测量仪及测量方法
CN108827185A (zh) * 2018-06-04 2018-11-16 中车青岛四方机车车辆股份有限公司 一种轨道车辆车身的三维重建装置及三维重建方法
CN110220454A (zh) * 2019-06-03 2019-09-10 西安飞机工业(集团)有限责任公司 一种三坐标定位机构的位姿标定方法
CN110806570A (zh) * 2019-10-23 2020-02-18 成都飞机工业(集团)有限责任公司 一种激光跟踪仪温度误差补偿方法
CN112197723A (zh) * 2020-09-29 2021-01-08 中国航发动力股份有限公司 一种坐标测量机的校核标准件及校核方法
CN112197723B (zh) * 2020-09-29 2022-03-08 中国航发动力股份有限公司 一种坐标测量机的校核标准件及校核方法
CN113029614A (zh) * 2020-10-29 2021-06-25 中国航空工业集团公司北京航空精密机械研究所 高铁轮对测量机几何误差补偿方法及装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN102768016B (zh) 2015-07-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102768016B (zh) 坐标测量机精度补偿方法及装置
CN208239606U (zh) 激光雷达标定装置及激光雷达标定***
Castro et al. Dynamic calibration of the positioning accuracy of machine tools and coordinate measuring machines using a laser interferometer
Chao et al. Calibration of laser beam direction for optical coordinate measuring system
CN102941410B (zh) 一种点扫描三维测量***振镜标定方法
CN103292748B (zh) 一种基于激光测量的多基板拼合检测方法
US20170363403A1 (en) Method and apparatus for inspecting workpieces
CN104296649B (zh) 一种电容式位移传感器的线性度标定方法
CN102095384A (zh) 基于高精度同轴定位的多参数内径测量***与测量方法
CN104374317A (zh) 一种基于激光跟踪仪多点测量技术的机床误差标定方法
CN103090883A (zh) 一种光电跟踪***动态跟踪精度校准装置及方法
CN104303009A (zh) 用于检查工件的方法和设备
CN105269404A (zh) 数控机床刀尖动态特性精度检测装置及其方法
CN108170096B (zh) 一种多激光测头同步检测的方法
CN203024737U (zh) 大型建筑物变形监测装置
US20190011327A1 (en) Cnc machine geometry error and accuracy monitoring and evaluation
CN104634246A (zh) 目标空间坐标的浮动式立体视觉测量***及测量方法
CN104535974A (zh) 一种飞机雷达***校靶装置及其使用方法
CN109062139A (zh) 一种基于数据驱动的机器人直线轴定位误差补偿方法
CN108614519A (zh) 一种基于激光点阵数控机床在线误差测量***与方法
CN102353520B (zh) 一种用于光纤延迟线测量***的延迟量测量方法及其实现装置
EP4015139A1 (en) Connecting rod rotary table and decoupling control method thereof
CN102878933A (zh) 一种基于白光干涉定位原理的比较仪及其检测方法
CN106979750A (zh) 一种机床平动轴几何误差的快速测量方法及其装置
CN203274694U (zh) 一种可伸缩式的大型自由曲面在机测量装置

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CP03 Change of name, title or address

Address after: 610000 Chengdu Economic and Technological Development Zone (Longquanyi District) 333 South Road, Sichuan Province

Patentee after: Aipei Instrument Measuring Equipment Co., Ltd.

Address before: 610021 South Section 333 of Longquanyi Economic Development Zone, Chengdu City, Sichuan Province

Patentee before: A-pex instrument measuring precision instruments Co. Ltd. (Chengdu)

CP03 Change of name, title or address