CN102749185A - 离焦量测试***及测试方法 - Google Patents
离焦量测试***及测试方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN102749185A CN102749185A CN201210232918XA CN201210232918A CN102749185A CN 102749185 A CN102749185 A CN 102749185A CN 201210232918X A CN201210232918X A CN 201210232918XA CN 201210232918 A CN201210232918 A CN 201210232918A CN 102749185 A CN102749185 A CN 102749185A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- beam system
- defocusing amount
- spectroscope
- quasi
- wavefront
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000012360 testing method Methods 0.000 title claims abstract description 35
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims abstract description 20
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims description 12
- 238000010998 test method Methods 0.000 claims description 8
- 230000011514 reflex Effects 0.000 claims description 2
- 230000010354 integration Effects 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 210000001503 joint Anatomy 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
本发明涉及一种离焦量测试***及测试方法，该离焦量测试***包括光源、小口径缩束***、大口径缩束***、自准元件以及波前测试装置；小口径缩束***包括分光镜、准直物镜以及准直目镜；分光镜设置在光源的出射光路上；所述准直物镜设置在经分光镜透射后的透射光路上；大口径缩束***以及自准元件依次设置在经分光镜与准直物镜透射后的透射光路上；透射光依次经过大口径缩束***以及自准元件后形成自准光；自准光依次经过大口径缩束***、准直物镜以及分光镜后并由分光镜反射至准直目镜；波前测试装置设置在经准直目镜透射后的透射光路上。本发明提出了一种集成度高、结构紧凑以及自动化程度高的离焦量测试***及测试方法。
Description
技术领域
本发明属光学检测技术领域，涉及一种离焦量测试***及测试方法，尤其涉及一种激光光学***中所用大口径激光缩束***的离焦量测试***及测试方法。
背景技术
神光Ⅲ主机装置中，主光路中激光束的传输、整形与取样，采用了多组大口径激光缩束***，要保证光束通过大口径激光缩束***后不改变传输激光光束的平行性，大口径激光缩束***对接时离焦量的控制十分重要。
传统的测试方法：由激光平行光管产生标准的平面波，将缩束***置于平行光管的光路出口处，激光束经过缩束***缩束后，由波前测试装置测试缩束***的离焦量。这种方法需要一个标准平行光管，对于大口径激光缩束***，需要一个口径比其更大、波前质量更高的激光平行光管。研制大口径高质量激光平行光管，造价十分昂贵，经济性差。
发明内容
为了解决背景技术中存在的上述问题，本发明提出了一种集成度高、结构紧凑以及自动化程度高的离焦量测试***及测试方法。
本发明的技术解决方案是：本发明提供了一种离焦量测试***，其特殊之处在于：所述离焦量测试***包括光源、小口径缩束***、大口径缩束***、自准元件以及波前测试装置；所述小口径缩束***包括分光镜、准直物镜以及准直目镜；所述分光镜设置在光源的出射光路上；所述准直物镜设置在经分光镜透射后的透射光路上；所述大口径缩束***以及自准元件依次设置在经分光镜与准直物镜透射后的透射光路上；所述透射光依次经过大口径缩束***以及自准元件后形成自准光；所述自准光依次经过大口径缩束***、准直物镜以及分光镜后并由分光镜反射至准直目镜；所述波前测试装置设置在经准直目镜透射后的透射光路上。
上述波前测试装置包括波前传感器以及与波前传感器电性相连的计算机；所述波前传感器设置在经准直目镜透射后的透射光路上。
上述波前传感器是哈特曼波前传感器。
上述自准元件包括但不限于平面反射镜。
上述光源是激光点光源。
一种基于离焦量测试***的离焦量测试方法，其特殊之处在于：所述测试方法包括以下步骤：
1）由光源发出出射光经过小口径缩束***的分光镜、准直物镜透射后准直成平面波；
2）将步骤1）所得到的准直后的平面波依次从大口径缩束***准直目镜后入射至自准元件后形成自准光；
3）自准光依次经过大口径缩束***以及小口径缩束***缩束后形成透射光；
4）将步骤3）所得到的透射光束通过波前测试装置测试此时大口径缩束***的离焦量。
本发明的优点是：
本发明所提供的离焦量测试***将准直物镜、分光镜与准直目镜作为的小口径缩束***，且该小口径缩束***的离焦量为零，当激光点源经分光镜透射后，由小口径缩束***的准直物镜准直成平面波，准直后的平面波从大口径缩束***的准直目镜处正入射，并将扩束后的激光束经准直元件自准，自准激光束经过大口径缩束***缩束后注入到小口径缩束***的准直物镜，经分光镜反射，并经其准直目镜透射后，由计算机控制哈特曼波前传感器测试此时大口径缩束***的离焦量，同时可获取大口径缩束***的透射波前。本发明无需大口径激光平行光管，可快速对大口径激光缩束***离焦量进行测量，经济性好，集成度高，结构紧凑，自动化程度高，适合大口径激光缩束***离线、在线的装调和测试。
附图说明
图1是本发明所提供离焦量测试***的结构示意图；
其中：
1-激光器、2-分光镜、3-准直物镜、4-大口径缩束***、5-平面反射镜、6-准直目镜、7-哈特曼波前传感器、8-计算机。
具体实施方式
参见图1，本发明提供了一种离焦量测试***，该离焦量测试***包括光源、小口径缩束***、大口径缩束***4、自准元件以及波前测试装置；小口径缩束***的准直物镜3设置在光源与分光镜2的透射光路上；大口径缩束***4以及自准元件依次设置在经小口径缩束***的准直物镜3透射后的透射光路上；透射光依次经过大口径缩束***4以及自准元件后形成自准光；自准光依次经过大口径缩束***4以及小口径缩束***缩束后形成透射光；波前测试装置设置在经小口径缩束***的透射光路上，自准元件包括但不限于平面反射镜5，光源是由激光器1所发出的激光点光源。
小口径缩束***包括分光镜2、准直物镜3以及准直目镜6；分光镜2设置在光源的出射光路上；准直物镜3设置在经分光镜2透射后的透射光路上；准直目镜6设置在自准光经分光镜2反射后的反射光路上。
波前测试装置包括波前传感器以及与波前传感器电性相连的计算机8；波前传感器设置在经准直目镜6透射后的透射光路上，波前传感器是哈特曼波前传感器7。
本发明在提供上述测量装置的同时，还提供了缺乏平行光管的离焦量测试方法，该方法的具体工作过程是：
1、准直物镜3、分光镜2与准直目镜6组成的小口径缩束***离焦量为零，需提前标定。
2、将激光点源1经分光镜2透射后，由准直物镜3准直成平面波。
3、将准直后的平面波从大口径缩束***的准直目镜处正入射，并将扩束后的激光束经平面镜5自准，自准激光束经过缩束***4缩束后注入到准直物镜3，经分光镜2反射后，经准直目镜6准直，由计算机8控制哈特曼波前传感器7测试此时大口径缩束***的离焦量，同时可获取大口径缩束***的透射波前。
Claims (6)
1.一种离焦量测试***，其特征在于：所述离焦量测试***包括光源、小口径缩束***、大口径缩束***、自准元件以及波前测试装置；所述小口径缩束***包括分光镜、准直物镜以及准直目镜；所述分光镜设置在光源的出射光路上；所述准直物镜设置在经分光镜透射后的透射光路上；所述大口径缩束***以及自准元件依次设置在经分光镜与准直物镜透射后的透射光路上；所述透射光依次经过大口径缩束***以及自准元件后形成自准光；所述自准光依次经过大口径缩束***、准直物镜以及分光镜后并由分光镜反射至准直目镜；所述波前测试装置设置在经准直目镜透射后的透射光路上。
2.根据权利要求1所述的离焦量测试***，其特征在于：所述波前测试装置包括波前传感器以及与波前传感器电性相连的计算机；所述波前传感器设置在经准直目镜透射后的透射光路上。
3.根据权利要求2所述的离焦量测试***，其特征在于：所述波前传感器是哈特曼波前传感器。
4.根据权利要求1或2或3所述的离焦量测试***，其特征在于：所述自准元件包括但不限于平面反射镜。
5.根据权利要求4所述的离焦量测试***，其特征在于：所述光源是激光点光源。
6.一种基于权利要求1-5任一权利要求所述的离焦量测试***的离焦量测试方法，其特征在于：所述测试方法包括以下步骤：
1）由光源发出出射光经过小口径缩束***的分光镜、准直物镜后准直成平面波；
2）将步骤1）所得到的准直后的平面波依次从大口径缩束***后入射至自准元件后形成自准光；
3）自准光经过依次经过大口径缩束***以及小口径缩束***后形成透射光；
4）将步骤3）所得到的透射光通过波前测试装置测试此时大口径缩束***的离焦量。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201210232918.XA CN102749185B (zh) | 2012-07-06 | 2012-07-06 | 离焦量测试***及测试方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201210232918.XA CN102749185B (zh) | 2012-07-06 | 2012-07-06 | 离焦量测试***及测试方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN102749185A true CN102749185A (zh) | 2012-10-24 |
| CN102749185B CN102749185B (zh) | 2015-01-07 |
Family
ID=47029553
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201210232918.XA Expired - Fee Related CN102749185B (zh) | 2012-07-06 | 2012-07-06 | 离焦量测试***及测试方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN102749185B (zh) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103868680A (zh) * | 2014-04-09 | 2014-06-18 | 中国科学院云南天文台 | 基于斑点干涉成像的地基望远镜离焦像差探测方法 |
| CN106840417A (zh) * | 2017-04-01 | 2017-06-13 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 一种针对甚多束激光靶点波前测试装置及其测试方法 |
| CN109387164A (zh) * | 2018-11-23 | 2019-02-26 | 中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所 | 测量产品光轴偏差的便携式长焦大口径装置及测量方法 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5914777A (en) * | 1997-01-20 | 1999-06-22 | Minolta Co., Ltd. | Apparatus for and method of measuring a distribution of luminous intensity of light source |
| CN102175426A (zh) * | 2011-02-15 | 2011-09-07 | 北京理工大学 | 共焦干涉定焦及曲率半径测量方法 |
| CN102494873A (zh) * | 2011-11-20 | 2012-06-13 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种微透镜阵列焦距的测量方法 |
| CN202710289U (zh) * | 2012-07-06 | 2013-01-30 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 离焦量测试*** |
-
2012
- 2012-07-06 CN CN201210232918.XA patent/CN102749185B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5914777A (en) * | 1997-01-20 | 1999-06-22 | Minolta Co., Ltd. | Apparatus for and method of measuring a distribution of luminous intensity of light source |
| CN102175426A (zh) * | 2011-02-15 | 2011-09-07 | 北京理工大学 | 共焦干涉定焦及曲率半径测量方法 |
| CN102494873A (zh) * | 2011-11-20 | 2012-06-13 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种微透镜阵列焦距的测量方法 |
| CN202710289U (zh) * | 2012-07-06 | 2013-01-30 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 离焦量测试*** |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103868680A (zh) * | 2014-04-09 | 2014-06-18 | 中国科学院云南天文台 | 基于斑点干涉成像的地基望远镜离焦像差探测方法 |
| CN103868680B (zh) * | 2014-04-09 | 2016-09-07 | 中国科学院云南天文台 | 基于斑点干涉成像的地基望远镜离焦像差探测方法 |
| CN106840417A (zh) * | 2017-04-01 | 2017-06-13 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 一种针对甚多束激光靶点波前测试装置及其测试方法 |
| CN106840417B (zh) * | 2017-04-01 | 2023-08-04 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 一种针对甚多束激光靶点波前测试装置及其测试方法 |
| CN109387164A (zh) * | 2018-11-23 | 2019-02-26 | 中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所 | 测量产品光轴偏差的便携式长焦大口径装置及测量方法 |
| CN109387164B (zh) * | 2018-11-23 | 2020-11-24 | 中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所 | 测量产品光轴偏差的便携式长焦大口径装置及测量方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN102749185B (zh) | 2015-01-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN105806479B (zh) | 激光远场焦斑高精度动态诊断装置及诊断方法 | |
| CN202133379U (zh) | 一种自校准型激光收发光轴平行度测量装置 | |
| CN102393255B (zh) | 可解决小视场镜头波像差检测中光轴偏斜问题的***及方法 | |
| CN104034416A (zh) | 高动态范围激光远场焦斑测量装置及方法 | |
| CN105424322A (zh) | 自校准光轴平行性检测仪及检测方法 | |
| CN103399413B (zh) | 基于双螺旋光束的样品轴向漂移检测及补偿方法和装置 | |
| CN103063415B (zh) | 一种基于莫尔条纹匹配的长焦距透镜焦距测量方法 | |
| CN203216702U (zh) | 长焦距光学***的焦距测量装置 | |
| CN111006855B (zh) | 大口径离轴反射式真空平行光管光轴标定方法及装置 | |
| CN102564731A (zh) | 一种透镜焦距及波前畸变测量装置 | |
| CN103033261B (zh) | 在线焦斑能量分布检测方法 | |
| CN202710289U (zh) | 离焦量测试*** | |
| CN102252830B (zh) | 光学鬼像的检测装置及其检测方法 | |
| CN103615971B (zh) | 用于检测圆柱体外表面的光学干涉仪 | |
| CN102749185B (zh) | 离焦量测试***及测试方法 | |
| CN103615972A (zh) | 用于检测空心圆柱内表面的光学干涉仪 | |
| CN205373934U (zh) | 一种测量钢化玻璃表面应力的拉曼光谱仪 | |
| CN103697806A (zh) | 用于检测环形导轨外圆弧面的光学干涉仪 | |
| CN204422749U (zh) | 基于光纤基线的激光测距仪校正*** | |
| CN107727371A (zh) | 同时测量天文光纤透射率和焦比退化的***及测量方法 | |
| CN103105283B (zh) | 单光谱大口径长焦距透镜的焦距测量装置 | |
| CN205719248U (zh) | 激光远场焦斑高精度动态诊断装置 | |
| CN105092212A (zh) | 阵列角反射器指向精度测量***及方法 | |
| CN103033340A (zh) | 大口径取样光栅取样率的测试装置及测试方法 | |
| CN103226059A (zh) | 光学***波前测量装置及测量方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20150107 Termination date: 20170706 |