CN102735273A - 基于法布里珀罗腔的光纤传感器 - Google Patents
基于法布里珀罗腔的光纤传感器 Download PDFInfo
- Publication number
- CN102735273A CN102735273A CN2012102253477A CN201210225347A CN102735273A CN 102735273 A CN102735273 A CN 102735273A CN 2012102253477 A CN2012102253477 A CN 2012102253477A CN 201210225347 A CN201210225347 A CN 201210225347A CN 102735273 A CN102735273 A CN 102735273A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- optical fiber
- fabry perot
- perot cavity
- detection light
- sensor based
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 title claims abstract description 38
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 56
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 24
- 239000000835 fiber Substances 0.000 claims description 30
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 21
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 8
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 6
- 239000004568 cement Substances 0.000 claims description 6
- 239000003292 glue Substances 0.000 claims description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 7
- 230000008901 benefit Effects 0.000 abstract description 4
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 7
- 238000011161 development Methods 0.000 description 5
- 239000003208 petroleum Substances 0.000 description 5
- 230000008859 change Effects 0.000 description 4
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 3
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 3
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 description 3
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 239000003129 oil well Substances 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 238000011160 research Methods 0.000 description 2
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000013500 data storage Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000013007 heat curing Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 239000000700 radioactive tracer Substances 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 230000002277 temperature effect Effects 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Optical Transform (AREA)
Abstract
本发明提供了一种基于法布里珀罗腔的光纤传感器,包括:探测光源;光纤法布里珀罗腔,位于探测光源的光路后端,其腔长随其所承受物理量的变化而变化,探测光在其两侧面多次反射形成干涉条纹,并从其远离探测光源的一端射出;光学探测器,位于光纤法布里珀罗腔的光路后端,用于接收从光纤法布里珀罗腔远离探测光源的一端射出的探测光;以及伺服电路模块,用于控制探测光源发射探测光,并利用光学探测器接收的探测光的强度,反演光纤法布里珀罗腔所承受物理量。本发明中,由于采用强度解调技术,不需要昂贵且大尺寸的波长相关器件,所以简化了整个传感器的尺寸,同时也减低了传感器的成本。
Description
技术领域
本发明涉及光学行业传感器技术领域,尤其涉及一种基于法布里珀罗腔的光纤传感器。
背景技术
当前世界石油工业的发展面临严峻挑战,勘探开发环境越来越恶劣,勘探开发目标越来越复杂。石油公司希望通过测井作业,能够实时的采集数据,更快速的识别目的层的温度和压力等基本物理参数;同时要求测井作业能够在日益复杂的井筒条件下和更恶劣的环境中顺利实施;降低成本的压力,要求测井作业最少的占用井场时间,提高测井效率。正是在这样的需求形势下,随井探测技术作为一种先进的测井技术被广泛运用到人斜度井、多分支井、水平井等各种复杂情况下的石油勘探开发中。
随着石油勘探技术的发展,石油工业对随井探测技术提出了简单高效、低成本、高灵敏度的进一步需求,因此,随井探测仪器正将向着小尺寸、低成本、高灵敏度的方向发展。2012年1月沙特***国家石油公司首次报道了一种基于微型“***”的无线随井探测***,引起了石油探测领域的极大关注,该***的核心器件被称为“tracer”(***),其尺寸直径小于1cm,其中微型化光学传感器属于关键模块。
光纤F-P压力传感器是微型化光学传感器的一种实现方式。基于非本征腔结构的光纤F-P型传感器具有较小的温度和压力交叉敏感度,可长期工作在高温高压环境,且具有测量响应快、可实时检测等优点,是石油勘探测量的研究热点。R.G.May和A.Wang等人从1999年起,将非本征型F-P传感器应用于油井下压力的测量研究中,展示出了该类传感器在油井应用中的广阔前景。2009年,S.H.Aref等人采用机械换能器实现了用于井下高压环境的非本征光纤F-P压力传感器。2011年,P.P.Anish等人采用金属膜片和单模光纤制成非本征F-P压力传感器。2011年,G.Fusiek等人报道了采用光纤和金属丝组成的新型F-P型传感器。如图1所示,现有技术的F-P型传感器中,光纤和金属丝被固定在套管内,光纤和金属丝的光滑端面形成一F-P腔,当外界压力变化时,引起腔长变化,从而使得谐振波长发生变化,通过检测谐振波长的变化可以实现压力测量。
申请人发现现有技术基于F-P传感器的光纤传感器采用波长调制技术,需要可调谐激光器或者光谱仪等波长相关设备,难以实现解调部分微型化。此外,解调信号的传输采用有线传输方式,故障率和成本均较高,并且使用不方便。
发明内容
(一)要解决的技术问题
为解决上述的一个或多个问题,本发明提供了一种基于法布里珀罗腔的光纤传感器,以采用波长调制以外的方式实现物理量测量。
(二)技术方案
根据本发明的一个方面,提供了一种基于法布里珀罗腔的光纤传感器,包括:探测光源;光纤法布里珀罗腔,位于探测光源的光路后端,其腔长随其所承受物理量的变化而变化,探测光在其两侧面多次反射形成干涉条纹,并从其远离探测光源的一端射出;光学探测器,位于光纤法布里珀罗腔的光路后端,用于接收从光纤法布里珀罗腔远离探测光源的一端射出的探测光;以及伺服电路模块,用于控制探测光源发射探测光,并利用光学探测器接收的探测光的强度,反演光纤法布里珀罗腔所承受物理量。
(三)有益效果
从上述技术方案可以看出,本发明基于光纤法布里珀罗腔的光纤传感器具有以下有益效果:
(1)本发明中,由于采用强度解调技术,不需要昂贵且大尺寸的波长相关器件,所以简化了整个传感器的尺寸,同时也减低了传感器的成本;
(2)由于采用了混合集成电路技术,把驱动电路、光电探测电路、数据处理和无线收发电路进行了整合,实现了光信号到电信号的转化,进而摆脱了光纤传感器必须依赖有线传输的工作方式。
附图说明
图1是现有技术基于法布里珀罗腔的光纤传感器的结构示意图;
图2是本发明实施例基于法布里珀罗腔的光纤传感器的结构示意图;
图3是本发明实施例基于法布里珀罗腔的光纤传感器的传感原理示意图。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明白,以下结合具体实施例,并参照附图,对本发明进一步详细说明。
需要说明的是,在附图或说明书描述中,相似或相同的部分都使用相同的图号。且在附图中,以简化或是方便标示。再者,附图中未绘示或描述的实现方式,为所属技术领域中普通技术人员所知的形式。另外,虽然本文可提供包含特定值的参数的示范,但应了解,参数无需确切等于相应的值,而是可在可接受的误差容限或设计约束内近似于相应的值。
为了更好的描述本发明,首先对本发明所涉及的各组成部分、元件编号如下:
1-发光二极管; 2-滤光片;
3-光纤法布里珀罗(F-P)腔; 4-光电探测器;
5-伺服电路模块; 6-灌封胶。
在本发明的一个示例性实施例中,提出了一种基于法布里珀罗(F-P)腔的光纤传感器。图2是本发明实施例基于法布里珀罗腔的光纤传感器的结构示意图。如图2所示,该基于法布里珀罗腔的光纤传感器包括:探测光源,包括发光二极管1和滤光片2,用于产生探测光;光纤法布里珀罗(F-P)腔3,位于探测光源的光路后端,所述探测光在其两侧面多次反射形成干涉条纹,并从其远离探测光源的一端射出,该光纤法布里珀罗(F-P)腔的腔长随其所承受物理量的变化而变化;光学探测器4,位于光纤法布里珀罗腔的光路后端,用于接收从光纤法布里珀罗(F-P)腔远离探测光源的一端射出的探测光;伺服电路模块5,与所述探测光源和所述光学探测器4电性连接,用于控制所述探测光源发射探测光,并利用所述光学探测器4接收的探测光的强度,反演所述光纤法布里珀罗(F-P)腔所承受物理量。
其中,所述探测光源、光纤法布里珀罗(F-P)腔3和光学探测器通过光学胶粘结固定,构成透射式线性结构,该透射式线性结构和所述伺服电路模块通过灌装胶6进行整体封装。
本实施例中,所述物理量为压力、温度或其他物理量。通过检测法布里珀罗(F-P)腔腔长的变化,就可以反演出该光纤传感器周围的温度、压力等参数,从而实现了随井探测,由于采用强度解调技术,不需要昂贵且大尺寸的波长相关器件,所以简化了整个传感器的尺寸,同时也减低了传感器的成本。同时,本发明还具有测量响应快、可实时检测等优点。
以下分别对其中的部件进行详细说明。
如图2所示,探测光源由发光二极管1和滤光片2构成,两者之间通过光学胶进行粘结固定。其中,该发光二极管1所发出的光,其中心波长优选为850nm,带宽35nm,强度1mW。所述滤光片为窄带滤光片,其中心频率为850nm,带宽小于10nm。
光纤法布里珀罗(F-P)腔(3)为基于光纤端面反射形成的弱反射法布里珀罗(F-P)腔。图3是本发明实施例基于法布里珀罗腔的光纤传感器的传感原理示意图。以下结合图3,介绍一下强度解调型的光纤F-P腔传感原理。
如图3左侧所示,在光垂直入射F-P腔时,光经两反射面多次反射形成干涉条纹,透射光的光强表示为:
其中,r1和r2分别是两个界面反射率,φ=4πnd/λ是相邻光束之间的相位差,n为腔内的有效折射率,d为两反射面的间距,λ为入射光的波长。
当外界温度/压力等物理量变化时,引起腔长d的变化,进而改变干涉光强。进一步地,如果界面反射率较低,则式错误!未找到引用源。可以简化为
如图3右侧所示,此时,由光纤法布里珀罗(F-P)腔输出光强随腔长的变化呈单调变化形式,从而可以简化后续伺服电路模块的反演难度。在本发明优选的实施方式中,选择的腔长为0.1mm,腔两端的反射率4%,有效折射率为1.000。
伺服电路模块采用混合集成电路,包括:发光二极管驱动电路、光电探测器电路、数据处理电路和无线收发电路等。其中,发光二极管驱动电路,与发光二极管电性连接,用于为其提供驱动电流;光电探测器电路,与光学探测器相电性连接,用于将外界物理量变化引起的光强信号转化为电学信号;数据处理电路,与光电探测器电路电性连接,用于将电学信号进行数据编码;信号发送电路,用于将编码后的数据传输出去,优选地采用无线的方式。
此外,该伺服电路模块还可以包括:电池单元,用于为发光二极管驱动电路、光电探测器电路、数据处理电路和无线收发电路提供功率;放大单元,位于所述光电探测器电路和数据处理电路之间,用于将微弱的电学信号进行电压放大。
本发明中,为实现传感模块的微型化,首先需要保证器件的小型化,目前上述商用器件的几何尺寸如表1所示。宽带光电二极管和光电探测器采用的是贴片式微型封装,高度都在0.8mm,所有器件无间隔封装,则整个传感器的总长度不到3mm,横向尺寸仅为1.6×0.8mm,如果采用裸片则传感器的尺寸可进一步减小。光学胶不仅用于固定光学器件,同时还具有高的透射率,保证光的传输。商用高性能耐温紫外固化光学胶工作温度可达到150℃,热膨胀系数只有13ppm,可有效降低了温度效应导致的器件间相对位移。
表1 基于F-P腔的光纤传感器中光学组件的几何尺寸
传感器光学组件的集成化封装过程相对简单,首先不同器件在光学显微镜下完成对准,之后在间隙处涂抹紫外光学胶,最后采用紫外光进行固化。由于采用紫外固化方式,因此不存在传统高温热固化时,夹具的热膨胀效应导致的光耦合效率下降的问题。固化后的传感器光学模块预留电学接口,通过焊接与混合集成电路连成一体。混合集成电路根据需要来设计功能,对于该传感器,需要包括供电电源、发光二极管驱动电路,光电探测器电路,放大电路,数据处理电路和无线收发电路等,主要作用是把外界物理量变化引起的光强信号转化为电学信号,并经过信号调理进行数据存储和数据的无线收发。最后,对基于光纤法布里珀罗(F-P)腔的微型传感器进行注胶封装,采用灌封胶对光学和电学部分进行整体密封,提高整个传感器的可靠性。
需要说明的是,上述对各元件的定义并不仅限于实施方式中提到的各种具体结构或形状,本领域的普通技术人员可对其进行简单地熟知地替换。
以上所述的具体实施例,对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明,所应理解的是,以上所述仅为本发明的具体实施例而已,并不用于限制本发明,凡在本发明的精神和原则之内,所做的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种基于法布里珀罗腔的光纤传感器,包括:
探测光源,用于产生探测光;
光纤法布里珀罗腔,位于所述探测光源的光路后端,其腔长随其所承受物理量的变化而变化,所述探测光在其两侧面多次反射形成干涉条纹,并从其远离探测光源的一端射出;
光学探测器,位于所述光纤法布里珀罗腔的光路后端,用于接收从所述光纤法布里珀罗腔远离探测光源的一端射出的探测光;以及
伺服电路模块,与所述探测光源和所述光学探测器电性连接,用于控制所述探测光源发射探测光,并利用所述光学探测器接收的探测光的强度,反演所述光纤法布里珀罗腔所承受物理量。
2.根据权利要求1所述的基于法布里珀罗腔的光纤传感器,其中,所述探测光源、光纤法布里珀罗腔和光学探测器通过光学胶依次粘结固定,构成透射式线性结构。
3.根据权利要求2所述的基于法布里珀罗腔的光纤传感器,其中,所述透射式线性结构和所述伺服电路模块通过灌装胶进行整体封装。
4.根据权利要求1所述的基于法布里珀罗腔的光纤传感器,其中,所述光纤法布里珀罗腔为基于光纤端面反射形成的弱反射法布里珀罗腔。
5.根据权利要求4所述的基于法布里珀罗腔的光纤传感器,其中,所述光纤法布里珀罗腔满足:
其中,r1和r1分别是两个界面反射率,φ=4πnd/λ是相邻光束之间的相位差,n为腔内的有效折射率,d为两反射面的间距,λ为入射光的波长。
6.根据权利要求5所述的基于法布里珀罗腔的光纤传感器,其中:d=0.1mm,r1=r2=4%,n=1.000。
7.根据权利要求1所述的基于法布里珀罗腔的光纤传感器,其中,所述探测光源包括:发光二极管和滤光片,两者通过光学胶进行粘结固定。
8.根据权利要求7所述的基于法布里珀罗腔的光纤传感器,其中,所述伺服电路模块采用混合集成电路,包括:
发光二极管驱动电路,与所述发光二极管电性连接,用于为其提供驱动电流;
光电探测器电路,与所述光学探测器相电性连接,用于将外界物理量变化引起的光强信号转化为电学信号;
数据处理电路,与所述光电探测器电路电性连接,用于将电学信号进行数据编码;以及
信号发送电路,与所述数据处理电路电性连接,用于将编码后的数据传输出去。
9.根据权利要求8所述的基于法布里珀罗腔的光纤传感器,其中:
所述信号发送电路,用于采用无线方式将编码后的数据进行传输出去。
10.根据权利要求1至9中任一项所述的基于法布里珀罗腔的光纤传感器,其中,所述物理量为温度或压力。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201210225347.7A CN102735273B (zh) | 2012-06-29 | 2012-06-29 | 基于法布里珀罗腔的光纤传感器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201210225347.7A CN102735273B (zh) | 2012-06-29 | 2012-06-29 | 基于法布里珀罗腔的光纤传感器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN102735273A true CN102735273A (zh) | 2012-10-17 |
CN102735273B CN102735273B (zh) | 2014-11-05 |
Family
ID=46991195
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201210225347.7A Expired - Fee Related CN102735273B (zh) | 2012-06-29 | 2012-06-29 | 基于法布里珀罗腔的光纤传感器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN102735273B (zh) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016041214A1 (zh) * | 2014-09-15 | 2016-03-24 | 江苏昂德光电科技有限公司 | 一种f-p腔光纤压力传感装置及其解调方法 |
CN107748007A (zh) * | 2017-11-28 | 2018-03-02 | 哈尔滨理工大学 | 基于石墨烯薄膜光纤微腔的光照强度探测器 |
CN108831879A (zh) * | 2018-06-15 | 2018-11-16 | 杭州国翌科技有限公司 | 混合集成型双谱段多光谱短波红外探测器 |
CN109029519A (zh) * | 2018-09-28 | 2018-12-18 | 西安石油大学 | 一种光纤尖端增镀uv胶薄膜的光纤f-p腔传感器的制备方法 |
WO2019028943A1 (zh) * | 2017-08-08 | 2019-02-14 | 江苏弘开传感科技有限公司 | 一种微波谐振腔的腔长测量装置、传感器 |
CN109900667A (zh) * | 2019-03-15 | 2019-06-18 | 电子科技大学 | 一种全光纤激光型选择性超敏生化传感器 |
CN112665724A (zh) * | 2020-12-18 | 2021-04-16 | 中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所 | 一种高稳定的光谱仪波长定标装置 |
US20210164853A1 (en) * | 2019-11-29 | 2021-06-03 | Meggitt Sa | Optical sensor for the measurement of physical parameters in harsh environments and methods of making and using the same |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1993009422A1 (en) * | 1991-10-31 | 1993-05-13 | Valtion Teknillinen Tutkimuskeskus | Sensor |
WO1995020144A1 (en) * | 1994-01-20 | 1995-07-27 | British Telecommunications Public Limited Company | Optical wavelength sensor |
CN101598748A (zh) * | 2009-07-02 | 2009-12-09 | 西北工业大学 | 一种温度补偿型的电流传感头及交变电流测量方法和*** |
CN101614607A (zh) * | 2009-07-31 | 2009-12-30 | 武汉光子科技有限公司 | 光纤f-p压力传感器及其压力液位传感装置 |
CN102003977A (zh) * | 2010-10-14 | 2011-04-06 | 厦门大学 | 基于法布里-珀罗腔的多波长光纤传感器 |
-
2012
- 2012-06-29 CN CN201210225347.7A patent/CN102735273B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1993009422A1 (en) * | 1991-10-31 | 1993-05-13 | Valtion Teknillinen Tutkimuskeskus | Sensor |
WO1995020144A1 (en) * | 1994-01-20 | 1995-07-27 | British Telecommunications Public Limited Company | Optical wavelength sensor |
CN101598748A (zh) * | 2009-07-02 | 2009-12-09 | 西北工业大学 | 一种温度补偿型的电流传感头及交变电流测量方法和*** |
CN101614607A (zh) * | 2009-07-31 | 2009-12-30 | 武汉光子科技有限公司 | 光纤f-p压力传感器及其压力液位传感装置 |
CN102003977A (zh) * | 2010-10-14 | 2011-04-06 | 厦门大学 | 基于法布里-珀罗腔的多波长光纤传感器 |
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
徐富国: "光纤法珀微干涉仪解调方法研究及应用", 《工程科技Ⅱ辑》 * |
杨杞: "光纤法布里—珀罗应变传感器的研究", 《信息科技辑》 * |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016041214A1 (zh) * | 2014-09-15 | 2016-03-24 | 江苏昂德光电科技有限公司 | 一种f-p腔光纤压力传感装置及其解调方法 |
WO2019028943A1 (zh) * | 2017-08-08 | 2019-02-14 | 江苏弘开传感科技有限公司 | 一种微波谐振腔的腔长测量装置、传感器 |
CN107748007A (zh) * | 2017-11-28 | 2018-03-02 | 哈尔滨理工大学 | 基于石墨烯薄膜光纤微腔的光照强度探测器 |
CN108831879A (zh) * | 2018-06-15 | 2018-11-16 | 杭州国翌科技有限公司 | 混合集成型双谱段多光谱短波红外探测器 |
CN108831879B (zh) * | 2018-06-15 | 2020-01-07 | 杭州国翌科技有限公司 | 混合集成型双谱段多光谱短波红外探测器 |
CN109029519A (zh) * | 2018-09-28 | 2018-12-18 | 西安石油大学 | 一种光纤尖端增镀uv胶薄膜的光纤f-p腔传感器的制备方法 |
CN109029519B (zh) * | 2018-09-28 | 2020-07-28 | 西安石油大学 | 一种光纤尖端增镀uv胶薄膜的光纤f-p腔传感器的制备方法 |
CN109900667A (zh) * | 2019-03-15 | 2019-06-18 | 电子科技大学 | 一种全光纤激光型选择性超敏生化传感器 |
US20210164853A1 (en) * | 2019-11-29 | 2021-06-03 | Meggitt Sa | Optical sensor for the measurement of physical parameters in harsh environments and methods of making and using the same |
CN112665724A (zh) * | 2020-12-18 | 2021-04-16 | 中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所 | 一种高稳定的光谱仪波长定标装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN102735273B (zh) | 2014-11-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN102735273B (zh) | 基于法布里珀罗腔的光纤传感器 | |
CN103697954B (zh) | 一种微腔干涉流速压差敏感结构及微腔干涉光纤流速流量传感器 | |
CN101839759A (zh) | 一种少模光纤倾斜光栅振动传感*** | |
JP2012504199A5 (zh) | ||
CN108731841B (zh) | 调频连续波激光干涉光纤温度传感器 | |
CN101650235B (zh) | 微型光纤内集成的光纤干涉式温度传感器及其制作方法 | |
CN103808692B (zh) | 一种马赫-曾德干涉仪与微腔级联的强度探测型传感器 | |
US10466117B2 (en) | Temperature sensor and temperature sensing system based on active phase-shifted fibre grating | |
CN102494874B (zh) | 一种可调激光型光纤光栅波长解调装置 | |
CN103017687A (zh) | 正交偏振光纤光栅矢量扭转传感装置及其检测方法 | |
Del Villar et al. | Optical Fibre Sensors: Fundamentals for Development of Optimized Devices | |
CN105022004A (zh) | 基于表面等离激元的波导磁场/电流传感器及其装置 | |
US8973445B2 (en) | Multi-mode holographic pressure sensor | |
CN105044628A (zh) | 一种光纤f-p腔磁敏感器及磁定位测井装置 | |
CN204630604U (zh) | 一种sms型并联多路复用光纤传感器 | |
CN103234590B (zh) | 一种油田井下光纤流量传感器 | |
CN101907495B (zh) | 含有长周期光纤光栅萨格奈克环的光纤光栅波长解调*** | |
CN201749080U (zh) | 基于分布反馈光纤激光器的光声光谱气体检测*** | |
CN203811538U (zh) | 马赫-曾德干涉仪与微腔级联的强度探测型传感器 | |
CN101750590A (zh) | 一种环境温度变化和磁感应强度的测量方法及装置 | |
CN105806511B (zh) | 基于球锥串联结构的微光纤超小型温度传感器 | |
CN105783996A (zh) | 一种可同时测量声波与压力的光纤传感器 | |
CN103759853A (zh) | 一种半导体光纤温度传感器的探头装置 | |
WO2022166378A1 (zh) | 一种检测条纹对比度变化的迈克尔逊干涉光纤温度传感器 | |
CN100363714C (zh) | 基于激光回馈的光纤传感器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20141105 |