CN102734379B - 基于电磁与静压气浮复合支撑的主动隔振装置 - Google Patents

基于电磁与静压气浮复合支撑的主动隔振装置 Download PDF

Info

Publication number
CN102734379B
CN102734379B CN2012102012841A CN201210201284A CN102734379B CN 102734379 B CN102734379 B CN 102734379B CN 2012102012841 A CN2012102012841 A CN 2012102012841A CN 201210201284 A CN201210201284 A CN 201210201284A CN 102734379 B CN102734379 B CN 102734379B
Authority
CN
China
Prior art keywords
intermediate sleeve
pressure air
static pressure
electromagnetism
pedestal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN2012102012841A
Other languages
English (en)
Other versions
CN102734379A (zh
Inventor
王雷
谭久彬
闻荣伟
赵勃
杨远源
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Harbin Institute of Technology
Original Assignee
Harbin Institute of Technology
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Harbin Institute of Technology filed Critical Harbin Institute of Technology
Priority to CN2012102012841A priority Critical patent/CN102734379B/zh
Publication of CN102734379A publication Critical patent/CN102734379A/zh
Priority to US14/376,412 priority patent/US9145945B2/en
Priority to PCT/CN2013/071884 priority patent/WO2013181950A1/en
Priority to GB1412177.6A priority patent/GB2515660B/en
Application granted granted Critical
Publication of CN102734379B publication Critical patent/CN102734379B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16F—SPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
    • F16F15/00—Suppression of vibrations in systems; Means or arrangements for avoiding or reducing out-of-balance forces, e.g. due to motion
    • F16F15/02—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems
    • F16F15/023—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems using fluid means
    • F16F15/0232—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems using fluid means with at least one gas spring
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16F—SPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
    • F16F15/00—Suppression of vibrations in systems; Means or arrangements for avoiding or reducing out-of-balance forces, e.g. due to motion
    • F16F15/02—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems
    • F16F15/023—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems using fluid means
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16F—SPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
    • F16F15/00—Suppression of vibrations in systems; Means or arrangements for avoiding or reducing out-of-balance forces, e.g. due to motion
    • F16F15/02—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems
    • F16F15/03—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems using magnetic or electromagnetic means
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16F—SPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
    • F16F15/00—Suppression of vibrations in systems; Means or arrangements for avoiding or reducing out-of-balance forces, e.g. due to motion
    • F16F15/02—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems
    • F16F15/022—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems using dampers and springs in combination
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16F—SPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
    • F16F15/00—Suppression of vibrations in systems; Means or arrangements for avoiding or reducing out-of-balance forces, e.g. due to motion
    • F16F15/02—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems
    • F16F15/023—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems using fluid means
    • F16F15/027—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems using fluid means comprising control arrangements

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Aviation & Aerospace Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Vibration Prevention Devices (AREA)

Abstract

基于电磁与静压气浮复合支撑的主动隔振装置属于超精密测量与超精密加工装备，该装置包括隔离平台、中间套筒和基座；隔离平台支撑负载对象，中间套筒支撑隔离平台，基座支撑中间套筒，基座放置在固定基础上，各部分之间采用磁浮与静压气浮复合作用的支撑方式；本发明利用静压气浮的大承载以及磁浮的负刚度特点，通过速度闭环控制方法使该隔振装置机构刚度的调节实现自动化，且对来自外界环境振动与负载扰动产生的内部振动有抑制作用。

Description

基于电磁与静压气浮复合支撑的主动隔振装置
技术领域
本发明属于超精密测量与超精密加工装备，主要涉及一种基于电磁与静压气浮复合支撑的主动隔振器。
背景技术
在超精密计量测试和超精密加工领域中，具有高质量水平姿态的平台是进行精密测量和大规模集成电路制造的基本保证。高质量水平姿态气浮隔振平台的应用十分广泛。在生物科学、电子光学、精密机械加工、理化试验及其研究相关的工厂中，平台的水平姿态控制会影响到机器设备的测量实验结果和仪表器械的使用性能，并且会直接影响气浮隔振平台对振动的抑制性能。随着超精密测量仪器和超精密加工制造设备的精度等级的提高，环境振动对仪器设备的影响越来越大。气浮隔振平台作为新兴的隔振设备也随着精密仪器制造业的发展而发展，特别是随着超大规模集成电路制造业的高速发展以及对测量精度和测量稳定性要求的不断提高。
对于超精密测量仪器和超精密加工制造装备产生干扰的振动频率主要在0.8～100Hz内的低频振动；同时作为干扰振源主要包括两类，分别是来自外界环境的振动和来自被控对象本身产生的振动。被动隔振器从原理上依靠降低其固有频率，滤掉来自外界的振动，隔振效果取决于其固有频率的大小。但是固有频率与隔振器刚度算术平方根成正比，即固有频率越小刚度越小。对于负载带来的扰动振源被动隔振器是无法抑制的。主动控制的隔振***对于解决超低频微幅隔振非常有效，同时选择合适的结构和控制策略可实现对负载带来的扰动进行抑制。基于负刚度原理的隔振器在保证***承载能力的同时，有效降低了机构的刚度，从而使得整个隔振器的固有频率降低，隔振频带加宽，提高了隔振能力。采用电磁执行器的负刚度结构的隔振器，电磁执行器采用速度或电流闭环控制方法，可实现隔振器机构刚度的自动调节，即机构刚度由小到无穷大的调节。这样通过对隔振器机构刚度的调节，可兼顾两种类型的振源的抑制。日本埼玉大学的Taksehi Mizuno等人提出基于零功率控制的主动控制方法及负刚度结构实现了隔振器的刚度无穷大，解决了隔振器负载扰动引入的振动抑制问题。但是该隔振器和方法无法实现对外界环境振动的抑制；其装置中支撑元件采用的是机械弹簧和电磁执行器，受到体积大小的限制，隔振器的承载能力差，无法提供大承载；采用机械弹簧和电磁铁作用隔振器位置精度控制达不到微米以及亚微米量级，对于超精密隔振特别是极大规模集成电路加工制造的隔振要求隔振器具有优异的隔振性能的同时还要具有超精密位置控制精度。目前基于主动或被动的隔振装置均存在一个共性的问题，就是存在着结构复杂，制造成本高，需要性能优异的传感器和作动器等不利特点。
发明内容
本发明的目的就是针对上述现有技术存在的问题，提出一种基于电磁与静压气浮复合支撑的主动隔振装置，该装置采用静压气浮与电磁磁浮复合支撑的结构，利用静压气浮的大承载以及磁浮的负刚度特点，通过速度闭环控制实现隔振装置机构刚度的调节，在满足隔振性能的条件下实现大承载。
本发明的目的是这样实现的：
一种基于电磁与静压气浮复合支撑的主动隔振装置，所述装置由隔离平台、中间套筒和基座构成；在基座内配装带有环形气腔的中间套筒，在基座内位于中间套筒下方之间设有柱形气腔，非接触式垂直位移传感器B配装在柱形气腔内，在基座侧壁上设有与柱形气腔连通的基座进气孔；在中间套筒上配置隔离平台，在中间套筒内侧壁上设置与隔离平台相配合的内侧静压气浮节流孔，外侧静压气浮节流孔和中间套筒进气孔设置在中间套筒的外侧壁上，且外侧静压气浮节流孔与基座相配合，在中间套筒底侧壁面和隔离平台底侧壁面上分别相对配装电磁线圈和永磁体；在中间套筒上端面配装非接触式垂直位移传感器A。
本发明的特点和效果：
1)本发明利用静压气浮的大承载以及磁浮的负刚度特点，在满足隔振性能的条件下实现大承载，这是本方案区别于现有技术的特点之一；
2)本发明通过速度闭环控制方法使该隔振装置机构刚度的实现自动控制，对来自外界环境振动与负载扰动产生的内部振动均有抑制作用，这是本方案明显区别于现有技术的特点之二。
附图说明
附图是基于电磁与静压气浮复合支撑的主动隔振器总体结构示意图。
图中件号：1-隔离平台；2-中间套筒；3-基座；4-永磁体；5-电磁线圈；6-内侧静压气浮节流孔；7-非接触式垂直位移传感器A；8-外侧静压气浮节流孔；9-非接触式垂直位移传感器B；10-基座进气孔；11-中间套筒进气孔；12-柱形气腔；13-环形气腔。
具体实施方式
下面结合附图对本发明作进一步详细说明：
一种基于电磁与静压气浮复合支撑的主动隔振装置，所述装置由隔离平台1、中间套筒2和基座3构成；在基座3内配装带有环形气腔13的中间套筒2，在基座3内位于中间套筒2下方之间设有柱形气腔12，非接触式垂直位移传感器B9配装在柱形气腔12内，在基座3侧壁上设有与柱形气腔12连通的基座进气孔10；在中间套筒2上配置隔离平台1，在中间套筒2内侧壁上设置与隔离平台1相配合的内侧静压气浮节流孔6，外侧静压气浮节流孔8和中间套筒进气孔11设置在中间套筒2的外侧壁上，且外侧静压气浮节流孔8与基座3相配合，在中间套筒2底侧壁面和隔离平台1底侧壁面上分别相对配装电磁线圈5和永磁体4；在中间套筒2上端面配装非接触式垂直位移传感器A7。
所述的基于电磁与静压气浮复合支撑的主动隔振装置，非接触式垂直位移传感器A7和非接触式垂直位移传感器B9包括光学位移传感器、涡流位移传感器或电容位移传感器。
所述的基于电磁与静压气浮复合支撑的主动隔振装置，永磁体4采用铷铁硼材料。
所述的基于电磁与静压气浮复合支撑的主动隔振装置，经中间套筒进气孔11进入中间套筒2的环形气腔13内的高压气体压强为0.4～0.6MPa。
基于电磁与静压气浮复合支撑的主动隔振装置，隔离平台1与中间套筒2和中间套筒2与基座3之间静压气浮形成的气膜厚度为7μm。
该装置可以同时抑制外界环境的振动和负载自身的振动。该装置可以单独用于支撑负载，也可多个共同支撑一个负载平台，大型或结构复杂的***可以放置在该负载平台上，从而起到对***保护的作用。
隔离平台1和中间套筒2采用是磁浮与静压气浮复合作用的支撑方式。隔离平台1垂向采用磁浮的方式，永磁体4安置于隔离平台1底部；电磁线圈5布置于中间套筒2内部底端；电磁线圈5和永磁体4共同产生的斥力在垂向支撑隔离平台1与中间套筒2。电磁线圈5和永磁体4产生的斥力承载隔离平台1，斥力的大小由电磁线圈5的匝数和永磁体4体积尺寸大小决定；永磁体采用铷铁硼材料。
中间套筒2和基座3之间为径向静压气浮支撑。外侧静压气浮节流孔8等间隔的分布于中间套筒2内壁，喷射的气体由环形气腔13提供；高压气体经中间套筒进气孔11进入环形气腔13内，高压气体的压强在0.4～0.6Mpa之间，具体值的大小由隔振装置的负载重量决定。
基座3为本发明最外层，放置在固定基础上，并且通过柱形气腔12内的高压气体在垂向支撑中间套筒2。柱形气腔12内气压压强和中间套筒2底部的面积决定本发明的承载能力。气体由基座进气孔10流入柱形气腔12内，实时补偿柱形气腔12内气体的流失，并保证压强的稳定。
非接触式垂直位移传感器A7和非接触式垂直位移传感器B9可采用光学、涡流或电容型传感器，非接触式垂直位移传感器A7监测隔离平台1相对于中间套筒2的位移，非接触式垂直位移传感器B9监测基座3相对于中间套筒2的位移。利用位移变化量控制电磁线圈输入电流，使其输出磁场大小改变，实现隔振装置基于速度闭环的主动控制，即可以实现负刚度。如果隔离平台1自身干扰力为F方向向下，隔离平台1与中间套筒2通过主动控制实现负刚度，相对位移为正，隔离平台1相对中间套筒2上升；中间套筒2与基座3之间静压气浮支撑为正刚度，相对位移为负，中间套筒2相对基座3下降；最终隔离平台1相对于基座3的位移变化可以忽略，这样干扰力F对于隔离平台的扰动被抑制。如果电磁线圈不进行速度闭环控制，仅提供固定磁场用于平衡负载重量时，该装置中的静压气浮与磁浮相当于被动隔振原理，起到抑制外界振动的作用。

Claims (5)

1.一种基于电磁与静压气浮复合支撑的主动隔振装置，所述装置由隔离平台(1)、中间套筒(2)和基座(3)构成；在基座(3)内配装带有环形气腔(13)的中间套筒(2)，其特征在于在基座(3)内位于中间套筒(2)下方之间设有柱形气腔(12)，非接触式垂直位移传感器B(9)配装在柱形气腔(12)内，在基座(3)侧壁上设有与柱形气腔(12)连通的基座进气孔(10)；在中间套筒(2)上配置隔离平台(1)，在中间套筒(2)内侧壁上设置与隔离平台(1)相配合的内侧静压气浮节流孔(6)，外侧静压气浮节流孔(8)和中间套筒进气孔(11)设置在中间套筒(2)的外侧壁上，且外侧静压气浮节流孔(8)与基座(3)相配合，在中间套筒(2)底侧壁面和隔离平台(1)底侧壁面上分别相对配装电磁线圈(5)和永磁体(4)；在中间套筒(2)上端面配装非接触式垂直位移传感器A(7)。
2.根据权利要求1所述的基于电磁与静压气浮复合支撑的主动隔振装置，其特征在于非接触式垂直位移传感器A(7)和非接触式垂直位移传感器B(9)包括光学位移传感器、涡流位移传感器或电容位移传感器。
3.根据权利要求1所述的基于电磁与静压气浮复合支撑的主动隔振装置，其特征在于永磁体(4)采用铷铁硼材料。
4.根据权利要求1所述的基于电磁与静压气浮复合支撑的主动隔振装置，其特征在于经中间套筒进气孔(11)进入中间套筒(2)的环形气腔(13)内的高压气体压强为0.4～0.6MPa。
5.根据权利要求1所述的基于电磁与静压气浮复合支撑的主动隔振装置，其特征在于隔离平台(1)与中间套筒(2)和中间套筒(2)与基座(3)之间静压气浮形成的气膜厚度为7μm。
CN2012102012841A 2012-06-09 2012-06-09 基于电磁与静压气浮复合支撑的主动隔振装置 Expired - Fee Related CN102734379B (zh)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2012102012841A CN102734379B (zh) 2012-06-09 2012-06-09 基于电磁与静压气浮复合支撑的主动隔振装置
US14/376,412 US9145945B2 (en) 2012-06-09 2013-02-26 Active vibration isolation device based on electromagnetic and aerostatic floatation
PCT/CN2013/071884 WO2013181950A1 (en) 2012-06-09 2013-02-26 Active vibration isolation device based on electromagnetic and aerostatic floatation
GB1412177.6A GB2515660B (en) 2012-06-09 2013-02-26 Active vibration isolation device based on electromagnetic and aerostatic floatation

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2012102012841A CN102734379B (zh) 2012-06-09 2012-06-09 基于电磁与静压气浮复合支撑的主动隔振装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN102734379A CN102734379A (zh) 2012-10-17
CN102734379B true CN102734379B (zh) 2013-12-11

Family

ID=46990435

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2012102012841A Expired - Fee Related CN102734379B (zh) 2012-06-09 2012-06-09 基于电磁与静压气浮复合支撑的主动隔振装置

Country Status (4)

Country Link
US (1) US9145945B2 (zh)
CN (1) CN102734379B (zh)
GB (1) GB2515660B (zh)
WO (1) WO2013181950A1 (zh)

Families Citing this family (88)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102734379B (zh) * 2012-06-09 2013-12-11 哈尔滨工业大学 基于电磁与静压气浮复合支撑的主动隔振装置
CN103062307B (zh) * 2012-12-19 2015-04-22 哈尔滨工业大学 共面气浮正交解耦与二维柔性铰链角度解耦的电涡流阻尼隔振器
CN103032515B (zh) * 2012-12-19 2015-05-06 哈尔滨工业大学 滑动关节轴承角度解耦的零刚度隔振器与隔振***
CN103062288B (zh) * 2012-12-19 2014-10-29 哈尔滨工业大学 二维柔性铰链角度解耦的电磁阻尼零刚度隔振器
CN103062291B (zh) * 2012-12-19 2015-03-25 哈尔滨工业大学 滚动关节轴承角度解耦的电磁阻尼零刚度隔振器
CN103062289B (zh) * 2012-12-19 2015-04-22 哈尔滨工业大学 双层气浮正交解耦与滚动关节轴承角度解耦的电磁阻尼隔振器
CN103062292B (zh) * 2012-12-19 2015-04-22 哈尔滨工业大学 双层气浮正交解耦与滑动关节轴承角度解耦的电磁阻尼隔振器
CN103062296B (zh) * 2012-12-19 2015-07-29 哈尔滨工业大学 二维柔性铰链角度解耦的磁浮零刚度隔振器与隔振***
CN103062318B (zh) * 2012-12-19 2015-04-22 哈尔滨工业大学 共面气浮正交解耦与二维柔性铰链角度解耦的零刚度隔振器
CN103047351B (zh) * 2012-12-19 2014-04-02 哈尔滨工业大学 共面气浮正交解耦与柔性膜角度解耦的磁浮零刚度隔振器
CN103047348B (zh) * 2012-12-19 2015-02-11 哈尔滨工业大学 共面气浮正交解耦与滑动关节轴承角度解耦的磁浮隔振器
CN103047342B (zh) * 2012-12-19 2015-03-25 哈尔滨工业大学 共面气浮正交解耦与柔性膜角度解耦的磁悬浮平面驱动定位隔振器
CN103062311B (zh) * 2012-12-19 2015-04-22 哈尔滨工业大学 双层气浮正交解耦与气浮球轴承角度解耦的电涡流阻尼隔振器
CN103062317B (zh) * 2012-12-19 2014-11-12 哈尔滨工业大学 二维柔性铰链角度解耦与磁悬浮平面驱动定位的隔振器
CN103062298B (zh) * 2012-12-19 2015-06-17 哈尔滨工业大学 共面气浮正交解耦与气浮球轴承角度解耦的电磁阻尼隔振器
CN103047341B (zh) * 2012-12-19 2014-06-11 哈尔滨工业大学 气浮球轴承角度解耦与磁悬浮平面驱动定位的隔振器
CN103062283B (zh) * 2012-12-19 2014-10-29 哈尔滨工业大学 气浮球轴承角度解耦的零刚度隔振器与隔振***
CN103062302B (zh) * 2012-12-19 2014-10-29 哈尔滨工业大学 共面气浮正交解耦与气浮球轴承角度解耦的磁浮隔振器
CN103062306B (zh) * 2012-12-19 2015-02-11 哈尔滨工业大学 双层气浮正交解耦与二维柔性铰链角度解耦的电涡流阻尼隔振器
CN103047353B (zh) * 2012-12-19 2015-02-11 哈尔滨工业大学 滚动关节轴承角度解耦的电涡流阻尼零刚度隔振器
CN104235260B (zh) * 2012-12-19 2017-10-20 哈尔滨工业大学 共面气浮正交解耦与滚动关节轴承角度解耦的磁悬浮平面驱动定位隔振器
CN103062299B (zh) * 2012-12-19 2015-09-16 哈尔滨工业大学 滑动关节轴承角度解耦的磁浮零刚度隔振器与隔振***
CN103062295B (zh) * 2012-12-19 2015-04-22 哈尔滨工业大学 共面气浮正交解耦与二维柔性铰链角度解耦的磁浮隔振器
CN103062286B (zh) * 2012-12-19 2014-10-29 哈尔滨工业大学 柔性膜角度解耦的零刚度隔振器及由其构成的隔振***
CN103047358B (zh) * 2012-12-19 2014-12-24 哈尔滨工业大学 共面气浮正交解耦与滑动关节轴承角度解耦的电涡流阻尼隔振器
CN103047352B (zh) * 2012-12-19 2014-06-11 哈尔滨工业大学 二维柔性铰链角度解耦的电涡流阻尼零刚度隔振器
CN103062297B (zh) * 2012-12-19 2015-04-22 哈尔滨工业大学 共面气浮正交解耦与滚动关节轴承角度解耦的磁浮隔振器
CN103062320B (zh) * 2012-12-19 2015-05-06 哈尔滨工业大学 共面气浮正交解耦与滚动关节轴承角度解耦的零刚度隔振器
CN103062319B (zh) * 2012-12-19 2015-05-06 哈尔滨工业大学 二维柔性铰链角度解耦的零刚度隔振器与隔振***
CN103062308B (zh) * 2012-12-19 2015-07-29 哈尔滨工业大学 双层气浮正交解耦与滚动关节轴承角度解耦的电涡流阻尼隔振器
CN103062316B (zh) * 2012-12-19 2015-03-25 哈尔滨工业大学 柔性膜角度解耦的电涡流阻尼零刚度隔振器
CN103062294B (zh) * 2012-12-19 2015-04-22 哈尔滨工业大学 双层气浮正交解耦与二维柔性铰链角度解耦的磁浮隔振器
CN103047338B (zh) * 2012-12-19 2015-04-22 哈尔滨工业大学 双层气浮正交解耦与二维柔性铰链角度解耦的电磁阻尼隔振器
CN103047339B (zh) * 2012-12-19 2015-02-11 哈尔滨工业大学 共面气浮正交解耦与滑动关节轴承角度解耦的电磁阻尼隔振器
CN103047360B (zh) * 2012-12-19 2014-04-02 哈尔滨工业大学 双层气浮正交解耦与滚动关节轴承角度解耦的零刚度隔振器
CN103047356B (zh) * 2012-12-19 2015-02-11 哈尔滨工业大学 柔性膜角度解耦的电磁阻尼零刚度隔振器
CN103062300B (zh) * 2012-12-19 2015-04-22 哈尔滨工业大学 滚动关节轴承角度解耦与磁悬浮平面驱动定位的隔振器
CN103062293B (zh) * 2012-12-19 2015-04-22 哈尔滨工业大学 共面气浮正交解耦与气浮球轴承角度解耦的磁悬浮平面驱动定位隔振器
CN103062321B (zh) * 2012-12-19 2015-05-06 哈尔滨工业大学 共面气浮正交解耦与滑动关节轴承角度解耦的零刚度隔振器
CN103047349B (zh) * 2012-12-19 2014-06-11 哈尔滨工业大学 共面气浮正交解耦与滑动关节轴承角度解耦的磁悬浮平面驱动定位隔振器
CN103062282B (zh) * 2012-12-19 2015-06-17 哈尔滨工业大学 共面气浮正交解耦与气浮球轴承角度解耦的零刚度隔振器
CN103047346B (zh) * 2012-12-19 2014-06-11 哈尔滨工业大学 滚动关节轴承角度解耦的磁浮零刚度隔振器与隔振***
CN103062284B (zh) * 2012-12-19 2015-02-11 哈尔滨工业大学 双层气浮正交解耦与柔性膜角度解耦的零刚度隔振器
CN103062313B (zh) * 2012-12-19 2015-03-25 哈尔滨工业大学 气浮球轴承角度解耦的电涡流阻尼零刚度隔振器
CN103047359B (zh) * 2012-12-19 2014-07-16 哈尔滨工业大学 滑动关节轴承角度解耦的电涡流阻尼零刚度隔振器
CN103047345B (zh) * 2012-12-19 2015-04-22 哈尔滨工业大学 双层气浮正交解耦与气浮球轴承角度解耦的电磁阻尼隔振器
CN103062315B (zh) * 2012-12-19 2015-03-25 哈尔滨工业大学 共面气浮正交解耦与柔性膜角度解耦的电涡流阻尼隔振器
CN103062290B (zh) * 2012-12-19 2015-06-17 哈尔滨工业大学 共面气浮正交解耦与滚动关节轴承角度解耦的电磁阻尼隔振器
CN103062303B (zh) * 2012-12-19 2015-07-29 哈尔滨工业大学 气浮球轴承角度解耦的磁浮零刚度隔振器与隔振***
CN103032514B (zh) * 2012-12-19 2014-11-12 哈尔滨工业大学 双层气浮正交解耦与滑动关节轴承角度解耦的零刚度隔振器
CN103047350B (zh) * 2012-12-19 2015-03-25 哈尔滨工业大学 双层气浮正交解耦与柔性膜角度解耦的磁浮零刚度隔振器
CN103047357B (zh) * 2012-12-19 2014-12-24 哈尔滨工业大学 双层气浮正交解耦与滑动关节轴承角度解耦的电涡流阻尼隔振器
CN103062310B (zh) * 2012-12-19 2015-04-01 哈尔滨工业大学 气浮球轴承角度解耦的电磁阻尼零刚度隔振器
CN103062314B (zh) * 2012-12-19 2015-03-25 哈尔滨工业大学 双层气浮正交解耦与柔性膜角度解耦的电涡流阻尼隔振器
CN103047343B (zh) * 2012-12-19 2015-06-17 哈尔滨工业大学 滑动关节轴承角度解耦的电磁阻尼零刚度隔振器
CN103047355B (zh) * 2012-12-19 2015-02-11 哈尔滨工业大学 共面气浮正交解耦与柔性膜角度解耦的电磁阻尼隔振器
CN103062287B (zh) * 2012-12-19 2015-02-11 哈尔滨工业大学 共面气浮正交解耦与二维柔性铰链角度解耦的电磁阻尼隔振器
CN103047344B (zh) * 2012-12-19 2015-07-08 哈尔滨工业大学 双层气浮正交解耦与滚动关节轴承角度解耦的磁浮隔振器
CN103047340B (zh) * 2012-12-19 2015-03-25 哈尔滨工业大学 滑动关节轴承角度解耦与磁悬浮平面驱动定位的隔振器
CN103062312B (zh) * 2012-12-19 2015-03-25 哈尔滨工业大学 共面气浮正交解耦与气浮球轴承角度解耦的电涡流阻尼隔振器
CN103047354B (zh) * 2012-12-19 2014-11-12 哈尔滨工业大学 双层气浮正交解耦与柔性膜角度解耦的电磁阻尼隔振器
CN103062309B (zh) * 2012-12-19 2015-07-29 哈尔滨工业大学 共面气浮正交解耦与滚动关节轴承角度解耦的电涡流阻尼隔振器
CN103226361A (zh) * 2013-04-28 2013-07-31 上海宏力半导体制造有限公司 通过主动隔振***控制光学平台z方向的方法及结构
CN103808251B (zh) * 2014-02-14 2015-07-08 哈尔滨工业大学 航空发动机转子装配方法与装置
WO2017089085A1 (en) 2015-11-23 2017-06-01 Asml Netherlands B.V. Vibration isolation device, lithographic apparatus and method to tune a vibration isolation device
NL2018296A (en) * 2016-03-03 2017-09-07 Asml Netherlands Bv Vibration isolator, lithographic apparatus and device manufacturing method
CN106195574B (zh) * 2016-07-25 2018-07-06 杨田花 一种简易的设备支撑台装置
CN106195544B (zh) * 2016-07-25 2018-07-03 北京聚能鼎力科技股份有限公司 一种智能控制的设备支撑台组件
CN106181929B (zh) * 2016-07-25 2018-08-24 泰州华龙电子有限公司 一种稳定性高的设备支撑台机构
US20180068773A1 (en) * 2016-09-07 2018-03-08 The Hong Kong Polytechnic University Apparatus for Negative Stiffness
CN106768540A (zh) * 2016-12-23 2017-05-31 苏州东菱智能减振降噪技术有限公司 一种减振效率测试平台
CN108494165B (zh) * 2018-03-09 2024-01-26 西安工业大学 超精密直驱气浮静压导轨组件
CN108547899B (zh) * 2018-05-22 2023-06-27 中国船舶重工集团公司第七一九研究所 限位保护器
CN108758185B (zh) * 2018-08-03 2024-02-23 合肥联宝信息技术有限公司 一种减震脚垫及电子设备
CN109163050A (zh) * 2018-11-16 2019-01-08 集美大学 一种磁流变弹性体半主动式高静低动隔振器
CN109613823B (zh) * 2018-11-27 2020-12-18 清华大学 一种非线性隔振与抗冲击控制***及方法
EP3667696A1 (en) * 2018-12-14 2020-06-17 ASML Netherlands B.V. Stage apparatus suitable for electron beam inspection apparatus
CN109932150B (zh) * 2018-12-28 2020-11-10 中国机械工业集团有限公司 一种高耸悬浮检测结构微振动控制装置
CN111413031B (zh) * 2019-01-07 2021-11-09 哈尔滨工业大学 基于动力学振动响应特性的大型高速回转装备深度学习调控与装配方法和装置
CN111413030B (zh) * 2019-01-07 2021-10-29 哈尔滨工业大学 基于刚度矢量空间投影极大化的大型高速回转装备测量与神经网络学习调控方法及其装置
US11293175B2 (en) * 2019-09-20 2022-04-05 Dalian University Of Technology Self-resetting tuned mass damper based on eddy current and shape memory alloy technology
CA3153484A1 (en) * 2019-10-02 2021-04-08 Carl BOUCHARD Coupling systems
CN113833765B (zh) * 2021-10-14 2024-02-06 江苏集萃精凯高端装备技术有限公司 一种刚度可调的气浮导轨
CN114362471B (zh) * 2021-12-10 2023-07-14 浙江大学杭州国际科创中心 双级多自由度空间位置精密稳定***
CN115217889B (zh) * 2022-07-15 2023-11-24 哈尔滨工业大学 大型精密设备气磁隔振与主被动阻尼转运装置
CN115388091B (zh) * 2022-08-24 2024-05-24 电子科技大学 一种稳定性好的气体静压轴承***装置
CN115727093B (zh) * 2022-12-27 2023-06-06 大连地拓电子工程技术有限公司 一种刚度可调的双自由度主被动防微振基座
CN117128276A (zh) * 2023-09-18 2023-11-28 大连地拓电子工程技术有限公司 一种新型三自由度准零刚度隔振器

Family Cites Families (45)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4159464A (en) * 1976-07-06 1979-06-26 Western Geophysical Co. Of America Geophone with damping coil
US4363217A (en) * 1981-01-29 1982-12-14 Venuti Guy S Vibration damping apparatus
JPS57169212A (en) * 1981-04-13 1982-10-18 Kokka Kogyo Kk Vibration suppressing device
DE3314335A1 (de) * 1983-04-20 1984-10-31 Tillmann 6108 Weiterstadt Freudenberg Motorlager
US4860543A (en) * 1986-08-08 1989-08-29 Helix Technology Corporation Vibration isolation system for a linear reciprocating machine
FR2666858B2 (fr) * 1990-01-30 1992-12-31 Hutchinson Perfectionnements aux dispositifs antivibratoires hydrauliques.
DE4116270C2 (de) * 1990-05-18 2002-01-17 Toyo Tire & Rubber Co Dämpfungseinrichtung
US5129232A (en) * 1991-06-03 1992-07-14 General Electric Company Vibration isolation of superconducting magnets
FR2688844B1 (fr) * 1992-03-20 1994-06-10 Hutchinson Perfectionnements aux dispositifs antivibratoires hydrauliques.
US5439082A (en) * 1994-04-01 1995-08-08 Bell Helicopter Textron Inc. Hydraulic inertial vibration isolator
US5450375A (en) * 1994-07-20 1995-09-12 Shaw Industries Limited Geophone shock absorber
KR100399812B1 (ko) * 1994-10-11 2003-12-01 가부시키가이샤 니콘 스테이지용진동방지장치
FR2744190B1 (fr) * 1996-01-30 1998-04-03 Hutchinson Perfectionnements aux disposiifs antivibratoires hydrauliques
DE19631384C1 (de) * 1996-08-02 1997-10-16 Clouth Gummiwerke Ag Elektrische Maschine in einem Antriebsstrang, z. B. eines Kraftfahrzeuges
US5726512A (en) * 1996-10-04 1998-03-10 The University Of Houston System Vibration-free levitated platform
US5957440A (en) * 1997-04-08 1999-09-28 Lord Corporation Active fluid mounting
US6378672B1 (en) * 1998-10-13 2002-04-30 Canon Kabushiki Kaisha Active vibration isolation device and its control method
JP4445600B2 (ja) * 1998-12-24 2010-04-07 株式会社ブリヂストン 防振装置
NZ500681A (en) * 1999-10-21 2002-06-28 Fisher & Paykel Appliances Ltd A linear compressor with gas bearing passages between cylinder and cylinder lining
JP2002021922A (ja) * 2000-07-11 2002-01-23 Delta Tooling Co Ltd 磁気回路を利用した除振機構
JP2002221249A (ja) * 2000-11-27 2002-08-09 Canon Inc 能動制振装置、その制御方法および能動制振装置を備えた露光装置
US6740992B2 (en) * 2002-02-19 2004-05-25 Siemens Vdo Automotive Inc. Electric motor torsional decoupling
AU2003304209A1 (en) * 2002-09-24 2005-01-04 Bell Helicopter Textron Inc. Piezoelectric liquid inertia vibration eliminator
CN2607508Y (zh) * 2003-03-11 2004-03-24 上海亿奥信息光学科技有限公司 承重载大型高稳定自动平衡隔振工作台
GB2404716B (en) * 2003-08-08 2007-07-25 Ultra Electronics Ltd A vibration isolation mount and method
CN1849467A (zh) * 2003-09-11 2006-10-18 独立行政法人科学技术振兴机构 除振方法及其装置
US6938889B2 (en) * 2003-10-15 2005-09-06 Pao-An Chuang Shock absorbing and magnetic levitating cushion
TWI228574B (en) * 2003-12-09 2005-03-01 Ching-Yi Lin Multiple effect combined magnetic levitation shock absorber
DE102004019242A1 (de) * 2004-04-16 2005-11-17 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Schnittstelle mit Schubableitung zum Dämpfen mechanischer Schwingungen
CN1318775C (zh) * 2005-01-18 2007-05-30 哈尔滨工业大学 带有电磁阻尼器的空气弹簧隔振基础
GB0506990D0 (en) * 2005-04-06 2005-05-11 Bae Systems Plc Vibration isolation
EP1803965B1 (de) * 2005-12-30 2015-03-18 Integrated Dynamics Engineering GmbH Isolatorgeometrie eines Schwingungsisolationssystems
US8282281B2 (en) * 2007-02-14 2012-10-09 Integrated Dynamics Engineering Gmbh Air bearing with consideration of high-frequency resonances
JP2008256155A (ja) * 2007-04-06 2008-10-23 Canon Inc 除振装置、演算装置、露光装置及びデバイス製造方法
JP2008286362A (ja) * 2007-05-21 2008-11-27 Aisin Seiki Co Ltd サスペンション装置
US8973724B2 (en) * 2007-07-17 2015-03-10 Honeywell International Inc. Vibration isolators and isolation systems
KR100843333B1 (ko) * 2008-01-09 2008-07-03 주식회사 예일엠앤씨 공중부양 방식의 지지유닛
ES2524116T3 (es) * 2008-02-08 2014-12-04 Kayaba Industry Co., Ltd. Dispositivo de suspensión
CN101324255B (zh) * 2008-07-11 2011-03-09 嘉兴学院 带空气阻尼腔的可控式永磁磁悬浮减振弹簧
CN101382178B (zh) * 2008-10-16 2010-06-09 上海微电子装备有限公司 主动减振隔振装置及主动减振隔振***
US8177041B2 (en) * 2009-06-23 2012-05-15 Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. Damper assemblies and vehicles incorporating the same
US8820492B1 (en) * 2009-08-31 2014-09-02 Advanced Materials And Devices, Inc. Soft matrix magnetorheological mounts for shock and vibration isolation
CN201679901U (zh) * 2009-11-26 2010-12-22 重庆师范大学 一种精密隔振装置
US8882091B2 (en) * 2011-11-11 2014-11-11 Textron Innovations Inc. Vibration isolation system
CN102734379B (zh) * 2012-06-09 2013-12-11 哈尔滨工业大学 基于电磁与静压气浮复合支撑的主动隔振装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN102734379A (zh) 2012-10-17
GB2515660A (en) 2014-12-31
US20140374565A1 (en) 2014-12-25
GB2515660B (en) 2018-12-19
US9145945B2 (en) 2015-09-29
WO2013181950A1 (en) 2013-12-12
GB201412177D0 (en) 2014-08-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102734379B (zh) 基于电磁与静压气浮复合支撑的主动隔振装置
GB2519272B (en) Magnetically suspended vibration isolator with zero stiffness whose angle degree of freedom is decoupled with a joint ball bearing
CN104343885B (zh) 高精密磁悬浮主动减震设备
CN103062283B (zh) 气浮球轴承角度解耦的零刚度隔振器与隔振***
US9429209B2 (en) Magnetically suspended and plane-drove vibration isolator
RU172016U1 (ru) Многокоординатная активная виброизолирующая платформа
CN103062291A (zh) 滚动关节轴承角度解耦的电磁阻尼零刚度隔振器
CN103062303B (zh) 气浮球轴承角度解耦的磁浮零刚度隔振器与隔振***
CN103062302B (zh) 共面气浮正交解耦与气浮球轴承角度解耦的磁浮隔振器
CN103062299B (zh) 滑动关节轴承角度解耦的磁浮零刚度隔振器与隔振***
CN103032515B (zh) 滑动关节轴承角度解耦的零刚度隔振器与隔振***
CN103047344A (zh) 双层气浮正交解耦与滚动关节轴承角度解耦的磁浮隔振器
CN103062300B (zh) 滚动关节轴承角度解耦与磁悬浮平面驱动定位的隔振器
CN103062293B (zh) 共面气浮正交解耦与气浮球轴承角度解耦的磁悬浮平面驱动定位隔振器
CN103062316A (zh) 柔性膜角度解耦的电涡流阻尼零刚度隔振器
CN103047361A (zh) 滚动关节轴承角度解耦的零刚度隔振器与隔振***
CN103062313A (zh) 气浮球轴承角度解耦的电涡流阻尼零刚度隔振器
CN103062282B (zh) 共面气浮正交解耦与气浮球轴承角度解耦的零刚度隔振器
CN103062296B (zh) 二维柔性铰链角度解耦的磁浮零刚度隔振器与隔振***
CN103062286B (zh) 柔性膜角度解耦的零刚度隔振器及由其构成的隔振***
CN103047353A (zh) 滚动关节轴承角度解耦的电涡流阻尼零刚度隔振器
CN103047340A (zh) 滑动关节轴承角度解耦与磁悬浮平面驱动定位的隔振器
CN103047343A (zh) 滑动关节轴承角度解耦的电磁阻尼零刚度隔振器
CN103047356A (zh) 柔性膜角度解耦的电磁阻尼零刚度隔振器
CN103062297A (zh) 共面气浮正交解耦与滚动关节轴承角度解耦的磁浮隔振器

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20131211