CN102638236A - 压电振动片的制造方法、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种提高掩模对位的操作性并提高对位精度、能容易且高精度地形成压电板、电极的压电振动片的制造方法、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟。包括：检测圆片侧标记组(71)和电极掩模侧标记组(52)的电极标记组检测工序；以及将圆片侧标记组(71)和电极掩模侧标记组(52)对位并在圆片上配置电极膜用掩模的电极掩模配置工序，圆片侧标记组(71)及电极掩模侧标记组(52)分别以彼此大小不同的标记(51a～71d)构成，将各自最小的圆片侧标记(71d)及电极掩模侧标记(52d)用作为彼此的标记对位，将除此以外的圆片侧标记(71a～71c)及电极掩模侧标记(52a～52c)利用到电极标记组检测工序中。

Description

压电振动片的制造方法、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟

技术领域

本发明涉及压电振动片的制造方法、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟。

背景技术

近年来，在便携电话或便携信息终端设备上采用具有压电振动片的压电振动器，该压电振动片利用水晶(石英)等作为时刻源、控制信号的定时源、参考信号源等。作为这种压电振动片，具备由压电材料构成的压电板和被施加电压时使压电板振动的电极部。在此，利用由压电材料的水晶构成的圆片一次制造多个压电振动片。

更具体地说，首先从保护膜上开始对圆片(wafer)的表面和背面涂敷抗蚀剂膜，在该抗蚀剂膜上配置用于形成压电板的外形形状的掩模。接着，隔着该掩模对抗蚀剂膜照射紫外线，在抗蚀剂膜曝光蚀刻图案(抗蚀剂图案)。在取下掩模后，将抗蚀剂膜显影从而除去曝光部分，其后进行金属蚀刻而从曝光部分除去露出的保护膜。而且，除去抗蚀剂膜，并且进行水晶蚀刻而对从保护膜的除去部分露出的圆片进行蚀刻，其后除去保护膜，从而形成压电板的外形形状。

接着，将电极材料对形成有压电板的外形形状的圆片蒸镀、溅镀等，从而形成电极膜，在其上形成抗蚀剂膜。然后，在该抗蚀剂膜上配置所希望的电极以及形成有布线图案的掩模，照射紫外线而将蚀刻图案(抗蚀剂图案)在抗蚀剂膜上曝光。然后，将抗蚀剂膜显影而除去曝光部分，使电极膜的表面露出，且蚀刻其露出面而使圆片的表面露出，从而将电极膜极化，得到希望的电极及布线。

在此，配置在圆片的表面和背面的掩模，边目视确认边进行对位，以使各自形成的蚀刻图案完全重叠。此时，各掩模的蚀刻图案完全相同，因此在两掩模间容易产生错位。为此，公开了在各掩模形成多个相同形状的对准标记，通过使彼此的对准标记对位来防止各掩模间的错位的技术(例如，参照专利文献1)。

专利文献1：日本特开2003-186210号公报

可是想要利用对准标记来防止掩模的错位时，对准标记的大小对于对位的操作性、对位的精度产生影响。

即，当对准标记较大时，相应地操作者容易确定对准标记，提高对位的操作性，但会降低对位精度。另一方面，当对准标记较小时，相应地能提高对位精度，但操作音会难以确定对准标记，对位的操作性会降低。

此外，这在压电板上形成电极时所利用的掩模的对位也同样。即，即便在圆片和用于形成电极的掩模上分别形成对准标记，也会随着该对准标记的大小而对位的操作性下降，或者对位精度恶化。

发明内容

于是，本发明鉴于上述情况而构思，提供一种能够提高掩模对位的操作性、并提高对位的精度、容易且高精度地形成压电板、电极的压电振动片的制造方法、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟。

为了解决上述课题，本发明的压电振动片的制造方法，其中压电振动片具备压电板、和当被施加电压时使所述压电板振动的电极部，所述制造方法的特征在于，包括：外形形成工序，在对由压电材料构成的圆片的两面涂敷压电板形成用掩模材料之后，配置为形成所述压电板而准备的一对外形掩模，其后，隔着这些外形掩模照射光以形成所述压电板的外形；以及抗蚀剂图案形成工序，在对形成有所述压电板的外形形状的所述圆片涂敷电极膜掩模材料之后，配置为电极膜而准备的电极膜用掩模，然后，隔着所述电极膜用掩模照射光以形成抗蚀剂图案，所述抗蚀剂图案形成工序包括：电极标记组检测工序，检测形成在所述圆片的圆片侧标记组(群)、和形成在所述电极膜用掩模的电极掩模侧标记组；以及电极掩模配置工序，使所述圆片侧标记组与所述电极掩模侧标记组对位，并对所述圆片配置所述电极膜用掩模，所述圆片侧标记组由大小彼此不同的至少2个圆片侧标记构成，所述电极掩模侧标记组由大小彼此不同的至少2个电极掩模侧标记构成，将各自最小的圆片侧标记及电极掩模侧标记用作为彼此的标记对位，将最小的圆片侧标记、除电极掩模侧标记以外的所有圆片侧标记、以及电极掩模侧标记，用于所述电极标记组检测工序。

通过这样的方法，从最大的圆片侧标记以及最大的电极掩模侧标记依次确定，能够将最小的圆片侧标记以及最小的电极掩模侧标记迅速确定。此外，利用最小的圆片侧标记以及最小的电极掩模侧标记进行各掩模的对位，从而能够高精度地进行该对位。因此，能够容易且高精度进行抗蚀剂图案形成工序。

本发明的压电振动片的制造方法，其特征在于，各圆片侧标记以及各电极掩模侧标记分别以既定的排列图案配置。

通过这样的方法，在确定最大的圆片侧标记以及最大的电极掩模侧标记的时刻，能够容易预测最小的圆片侧标记以及最小的电极掩模侧标记的位置，因此能够进一步提高在确定最大的圆片侧标记以及最大的电极掩模侧标记之后确定最小的圆片侧标记以及最小的电极掩模侧标记为止的操作效率。

本发明的压电振动片的制造方法，其特征在于，各圆片侧标记在最大的圆片侧标记的形成范围内，配置有其它圆片侧标记，并且各电极掩模侧标记在最大的电极掩模侧标记的形成范围内，配置有其它电极掩模侧标记。

通过这样的方法，能够进一步容易确定最小的圆片侧标记以及最小的电极掩模侧标记。因此，能够进一步提高各掩模对位的操作性。

本发明的压电振动片的制造方法，其中压电振动片具备压电板、和当被施加电压时使所述压电板振动的电极部，所述制造方法的特征在于，包括：外形形成工序，在由压电材料构成的圆片的两面涂敷压电板形成用掩模材料后，配置为形成所述压电板而准备的一对外形掩模，然后，隔着这些外形掩模照射光以形成所述压电板的外形；以及抗蚀剂图案形成工序，在形成有所述压电板的外形形状的所述圆片涂敷电极膜掩模材料后，配置为电极膜而准备的电极膜用掩模，然后，隔着所述电极膜用掩模照射光以形成抗蚀剂图案，所述外形形成工序包括：外形标记组检测工序，检测形成在各外形掩模的外形掩模侧标记组；以及外形掩模配置工序，使各外形掩模的外形掩模侧标记组的位置对齐并在所述圆片配置各外形掩模，所述外形掩模侧标记组由彼此大小不同的至少2个外形掩模侧标记构成，将形成在各外形掩模的最小的外形掩模侧标记用作为彼此的标记对位，将除最小的外形掩模侧标记以外的所有外形掩模侧标记，利用到所述外形标记组检测工序中。

通过这样的方法，能够从最大的外形掩模侧标记起依次进行确定，从而能够迅速地确定最小的外形掩模侧标记。此外，利用最小的外形掩模侧标记进行各掩模的对位，从而能够高精度地进行该对位。因此，能够容易且高精度地进行外形形成工序。

本发明的压电振动片的制造方法，其特征在于，各外形掩模侧标记分别以既定的排列图案配置。

通过这样的方法，能够在确定最大的外形掩模侧标记的时刻容易预测最小的外形掩模侧标记的位置，因此能够提高从确定最大的外形掩模侧标记之后确定最小的外形掩模侧标记为止的操作效率。

本发明的压电振动片的制造方法，其特征在于，各外形掩模侧标记在最大的外形掩模侧标记的形成范围内，配置有其它外形掩模侧标记。

通过这样的方法，能进一步容易确定最小的外形掩模侧标记。因此，能够进一步提高各掩模对位的操作性。

本发明的压电振动器，其特征在于，利用本发明第一方面至第六方面的任一项中记载的压电振动片的制造方法来制造。

通过这样构成，能够提供这样的压电振动器，即能够提高各掩模对位的操作性，并且提高对位精度、容易且高精度地形成压电板或电极。

本发明的振荡器，其特征在于，本发明第七方面所记载的压电振动器，作为振子与集成电路电连接。

通过这样构成，能够有效率地制造高品质的振荡器，并且能够谋求该振荡器的低成本化。

本发明的电子设备，其特征在于，本发明第七方面所记载的压电振动器与计时部电连接。

通过这样构成，能够有效率地制造高品质的电子设备，并能谋求该电子设备的低成本化。

本发明的电波钟，其特征在于，本发明第七方面所记载的压电振动器与滤波部电连接。

通过这样构成，能够有效率地制造高品质的电波钟，并能谋求该电波钟的低成本化。

(发明效果)

依据本发明，从最大的圆片侧标记以及最大的电极掩模侧标记起依次进行确定，从而能够迅速确定最小的圆片侧标记以及最小的电极掩模侧标记。此外，利用最小的圆片侧标记以及最小的电极掩模侧标记进行各掩模的对位，从而能高精度地进行该对位。因此，能够容易且高精度地进行抗蚀剂图案形成工序。

此外，从最大的外形掩模侧标记起依次进行确定，从而能迅速地确定最小的外形掩模侧标记。此外，利用最小的外形掩模侧标记进行各掩模的对位，从而能高精度地进行该对位。因此，能够容易且高精度地进行外形形成工序。

附图说明

图1是从盖基板侧观察本发明实施方式中的压电振动器的外观立体图。

图2是在拆下盖基板的状态下俯视本发明实施方式中的压电振动片的图。

图3是沿着图2的A-A剖线的压电振动器的剖视图。

图4是本发明实施方式中的压电振动器的分解立体图。

图5是本发明实施方式中的压电振动片的俯视图。

图6是本发明实施方式中的压电振动片的仰视图。

图7是沿着图5的B-B剖线的剖视图。

图8是本发明实施方式中的外形掩模的概略平面图。

图9是本发明实施方式中的电极膜用掩模的概略平面图。

图10是本发明实施方式中的工件托盘的概略平面图。

图11是本发明实施方式中的各标记组的详细图。

图12是本发明实施方式中的压电振动片的制造方法的流程图。

图13是本发明实施方式中的外形形成工序中抗蚀剂图案形成工序的工序图。

图14是本发明实施方式中的外形掩模侧标记组的操作工序图，其中(a)～(d)示出各工序的动态。

图15是本发明实施方式中的结束外形形成工序后的圆片的平面图。

图16是本发明实施方式中的抗蚀剂图案形成工序的工序图，其中(a)～(c)示出各工序的动态。

图17是本发明实施方式中的用于对圆片侧标记组进行电极掩模侧标记组的对位的操作工序图。

图18是本发明实施方式中的振荡器的结构图。

图19是本发明实施方式中的便携信息设备的结构图。

图20是示出本发明实施方式中的电波钟的一实施方式的结构图。

图21是本发明实施方式中的各标记组的其它实施方式的详细图。

具体实施方式

(压电振动器)

下面，根据附图就本发明的实施方式进行说明。

图1是从盖基板侧观察压电振动器的外观立体图；图2是压电振动器的内部结构图，并且是在拆下盖基板的状态下俯视压电振动片的图；图3是沿着图2的A-A剖线的压电振动器的剖视图；图4是压电振动器的分解立体图。

如图1～图4所示，压电振动器1具有基底基板2和盖基板3经接合材料35阳极接合的箱状的封装件(package)5，并且是在该封装件5内部的空腔C内密封了压电振动片4的表面安装型的压电振动器。此外，在图4中为了方便观看附图而省略了后述的激振电极15、引出电极19、20、装配电极16、17及重锤金属膜21的图示。

图5是构成压电振动器的压电振动片的俯视图；图6是压电振动片的仰视图；图7是沿着图5的B-B剖线的剖视图。

如图5～图7所示，压电振动片4在被施加既定电压时振动，具备由水晶、钽酸锂、铌酸锂等压电材料形成的音叉型压电板24。

该压电板24具有：平行配置的一对振动臂部10、11；以及将一对振动臂部10、11的基端一侧固定成一体的基部12。此外，在压电板24的外表面上，设有使一对振动臂部10、11振动的由第一激振电极13及第二激振电极14构成的激振电极15、与第一激振电极13及第二激振电极14电连接的装配电极16、17。

此外，在压电板24形成有在一对振动臂部10、11的两主表面上沿着振动臂部10、11的长边方向分别形成的槽部18。该槽部18从振动臂部10、11的基端侧形成至大致中间附近。

由第一激振电极13、第二激振电极14构成的激振电极15，是使一对振动臂部10、11在彼此接近或分离的方向上以既定的频率振动的电极，在一对振动臂部10、11的外表面上，分别以电性切断的状态构图而形成。

具体而言，第一激振电极13主要形成在一个振动臂部10的槽部18上和另一振动臂部11的两侧面上。此外，第二激振电极14主要形成在一个振动臂部10的两侧面上和另一振动臂部11的槽部18上。

而且，第一激振电极13及第二激振电极14，在基部12的两主表面上分别经由引出电极19、20电连接到装配电极16、17。压电振动片4经由该装配电极16、17而被施加电压。

此外，在一对振动臂部10、11的外表面上被覆盖频率调整用的重锤金属膜21，以使本身的振动状态在既定频率的范围内振动。该重锤金属膜21例如用银(Ag)或金(Au)来形成，被分为粗调频率时使用的粗调膜21a和微调时使用的微调膜21b。利用这粗调膜21a及微调膜21b的重量进行频率调整，从而能够使一对振动臂部10、11的频率收敛在器件的目标频率范围内。

这样构成的压电振动片4，如图3及图4所示，利用金等的凸点(bump)B，凸点接合到基底基板2的上表面。更具体地说，在基底基板2上表面上所构图的后述迂回电极36、37上所形成的2个凸点B上，使一对装配电极16、17分别接触的状态进行凸点接合。

由此，压电振动片4以从基底基板2的上表面浮起的状态被支撑，并且成为与装配电极16、17和迂回电极36、37分别电连接的状态。

如图1、图3、图4所示，盖基板3是由玻璃材料、例如碱石灰玻璃构成的透明绝缘基板，并且呈板状地形成。在接合基底基板2的接合面一侧，形成有收纳压电振动片4的矩形状的凹部3a。该凹部3a是在叠合两基板2、3时成为收容压电振动片4的空腔C的空腔用的凹部。

在盖基板3的整个下表面，形成有阳极接合用的接合材料35。具体而言，接合材料35遍及与基底基板2的接合面以及凹部3a的整个内表面而形成。本实施方式的接合材料35由Si膜形成，但接合材料35也可用Al形成。再者作为接合材料，也可以用通过掺杂等来低电阻化的Si块材。然后，以使凹部3a与基底基板2一侧相向的状态，将接合材料35和基底基板2阳极接合，从而空腔C被气密密封。

如图1～图4所示，基底基板2是与盖基板3同样地用玻璃材料、例如碱石灰玻璃构成的透明绝缘基板，并且以能对盖基板3叠合的大小呈板状地形成。在该基底基板2形成有贯通基底基板2的一对贯通孔30、31。这时，一对贯通孔30、31被形成为收纳于空腔C内。

更详细地说，贯通孔30、31之中，一个贯通孔30形成在与所装配的压电振动片4的基部12一侧对应的位置。此外，另一贯通孔31形成在与振动臂部10、11的前端侧对应的位置。此外，这些贯通孔30、31形成为从基底基板2的下表面起朝着上表面其直径逐渐缩小的剖面锥状。

此外，在本实施方式中，就各贯通孔30、31形成为剖面锥状的情况进行了说明，但并不限于此，也可以是笔直地贯通基底基板2的贯通孔。总之贯通基底基板2即可。

然后，在这一对贯通孔30、31中，形成有以填埋各贯通孔30、31的方式形成的一对贯通电极32、33。

如图3所示，这些贯通电极32、33由经烧成而对贯通孔30、31固定成一体的筒体6以及芯材部7形成。各贯通电极32、33完全堵塞贯通孔30、31而维持空腔C内的气密性，并且起到使后述的外部电极38、39和迂回电极36、37导通的作用。

筒体6是膏状的玻璃料被烧成而成的部件。筒体6形成为两端平坦且与基底基板2大致相同厚度的圆筒状。然后，在筒体6的中心，以贯通筒体6的方式配置有芯材部7。此外，在本实施方式中筒体6的外形形成为圆锥状(剖面锥状)，以与贯通孔30、31的形状吻合。然后，该筒体6在被埋入贯通孔30、31内的状态下烧成，从而对这些贯通孔30、31牢固地固接。

芯材部7是用金属材料呈圆柱状形成的导电性芯材，与筒体6同样地，形成为两端平坦且厚度与基底基板2的厚度大致相同。芯材部7位于筒体6的中心孔6c，因筒体6的烧成而对筒体6牢固地固接。此外，贯通电极32、33通过导电性芯材部7而确保电导通性。

如图1～图4所示，在基底基板2的上表面侧(接合盖基板3的接合面一侧)，用导电性材料(例如铝)构图有一对迂回电极36、37。一对迂回电极36、37被构图成为使一对贯通电极32、33中的一个贯通电极32与压电振动片4的一个装配电极16电连接，并且使另一贯通电极33和压电振动片4的另一装配电极17电连接。

更详细地说，一个迂回电极36以位于压电振动片4的基部12正下方的方式形成在一个贯通电极32的正上方。此外，另一迂回电极37形成为从与一个迂回电极36相邻接的位置沿着振动臂部10、11迂回到这些振动臂部10、11的前端侧之后，位于另一贯通电极33的正上方。

然后，在这一对迂回电极36、37上分别形成凸点B，利用该凸点B装配压电振动片4。由此，压电振动片4的一个装配电极16经由一个迂回电极36与一个贯通电极32导通。此外，另一装配电极17经由另一迂回电极37与另一贯通电极33导通。

如图1、图3、图4所示，在基底基板2的下表面形成有与一对贯通电极32、33分别电连接的外部电极38、39。即，一个外部电极38经由一个贯通电极32以及一个迂回电极36而与压电振动片4的第一激振电极13电连接。

此外，另一外部电极39经由另一贯通电极33及另一迂回电极37而与压电振动片4的第二激振电极14电连接。

在使这样构成的压电振动器1动作时，对形成在基底基板2的外部电极38、39施加既定的驱动电压。由此，能够在由压电振动片4的第一激振电极13及第二激振电极14构成的激振电极15中有电流流过，并能使一对振动臂部10、11在接近/分离的方向上以既定的频率振动。然后，利用该一对振动臂部10、11的振动，能够作为时刻源、控制信号的定时源、参考信号源等而加以利用。

(压电振动器的制造方法)

接着，对用由压电材料构成的圆片S(参照图11)形成压电振动片4的方法进行说明。

首先，根据图8～图11，对该制造方法中所使用的压电振动片的制造装置40进行说明。

图8是外形掩模的概略平面图；图9是电极膜用掩模的概略平面图；图10是工件托盘的概略平面图。

如图8～图10所示，制造装置40具备：用于在圆片S上形成压电板24(参照图5、图6)的外形形状的外形掩模41；用于在压电板24上形成激振电极15(参照图5、图6)的电极膜用掩模42；以及承载圆片S的工件托盘43。

这些掩模41、42具备：各自内部成为曝光区域41a、42a的框状部41b、42b；以及配置在曝光区域41a、42a并且通过未图示的连结部与框状部41b、42b连结的多个覆盖部41c、42c。此外，为了便于观看附图，图8以后图示的各覆盖部41c、42c简化了形状和数量。

在此，2个外形掩模侧标记组51以夹持外形掩模41的中央部而位于两侧的方式形成在外形掩模41的框状部41b上。另一方面，2个电极掩模侧标记组52以夹持电极换用掩模42的中央部而位于两侧的方式形成在电极膜用掩模42的框状部42b上。即，各标记组51、52形成在彼此对应的位置。这些标记组51、52是用于各自对应的掩模41、42的对位的对准标记(随后详述)。

图11是各标记组的详细图。此外，各标记组51、52都以同一形状构成，因此利用同一附图(图11)说明各标记组51、52。

如该图所示，外形掩模侧标记组51由多个(该实施方式中4个)外形掩模侧标记51a～51d构成。各标记51a～51d形成为十字状，其大小分别不同。即，从最大的外形掩模侧标记51a到最小的外形掩模侧标记51d为止，在它们之间存在的外形掩模侧标记51b、51c以依次减小地形成。

此外，除最大的外形掩模侧标记51a以外的3个外形掩模侧标记51b、51c、51d被配置在最大的外形掩模侧标记51a的形成范围W1内。然后，各标记51a～51d以既定的排列图案配置。既定的排列图案以既定的规则排列即可，例如，在图11中配置成从最大的外形掩模侧标记51a起从大的标记顺序逐渐朝图11的右下方错开。

另一方面，电极掩模侧标记组52也与外形掩模侧标记组51同样地构成。即，电极掩模侧标记组52由多个(该实施方式中4个)电极掩模侧标记52a～52d构成，这些电极掩模侧标记52a～52d的大小彼此不同。然后，除最大的电极掩模侧标记52a以外3个电极掩模侧标记52b、52c、52d在最大的外形掩模侧标记52a的形成范围W1内以既定的排列图案配置。

接着，根据图12～图15就利用这样构成的制造装置40的形成压电振动片4的压电振动片的制造方法进行说明。

图12是压电振动片的制造方法的流程图。

如图12所示，首先以既定的角度对水晶的朗伯(Lambert)原矿石进行切片，做成固定厚度的圆片S。接着，研磨该圆片S而进行粗加工后，利用蚀刻来除掉加工变质层，其后进行抛光(polish)等的镜面研磨加工，做成既定厚度的圆片S(S10)。

接着，进行在研磨后的圆片S形成多个压电板24的外形形状的外形形成工序(S20)。

此时，首先利用例如蒸镀法或溅镀法等，在圆片S的两面成膜由层叠例如铬层和金层等而成的未图示的保护膜(S21)。

其次，在保护膜上成膜光刻胶膜(压电板形成用掩模材料)(S22)。

接着，进行用于在光刻胶膜上形成所希望的抗蚀剂图案的抗蚀剂图案形成工序(S23)。以下，详述外形形成工序中的抗蚀剂图案形成工序。

图13是外形形成工序中的抗蚀剂图案形成工序的工序图。

如图8、图12、图13所示，首先，向下侧的外形掩模44a(41)上输送圆片S(S24)。然后，针对下侧的外形掩模44a(41)进行圆片S的粗定位(S25)。在圆片S中设有在其一侧形成的切口状的定向平面(Orientation Flat)61，因此利用该定向平面61进行粗定位也可。

在进行粗定位后，在圆片S的上表面，即，与下侧的外形掩模44a相反一侧的面配置上侧的外形掩模44b，进行上下外形掩模44a、44b的对位(S26，外形掩模配置工序)。

该对位是利用形成在各外形掩模44a、44b的外形掩模侧标记组51来进行的。即，配置在下侧的外形掩模44a上的圆片S，能够从其上表面视觉辨认形成在下侧的外形掩模44a的外形掩模侧标记组51。因此，操作者利用未图示的显微镜等，对形成在下侧的外形掩模44a的外形掩模侧标记组51上，叠合形成在上侧的外形掩模44b的外形掩模侧标记组51，从而进行两外形掩模44a、44b的对位。

图14(a)至图14(d)是示出形成在两外形掩模44a、44b的外形掩模侧标记组51的对位方法的操作工序图。

在此，外形掩模侧标记组51由多个(该实施方式中4个)外形掩模侧标记51a～51d构成(参照图11)。因此，首先如图14(a)所示，确定形成在下侧的外形掩模44a的外形掩模侧标记组51中的最大的外形掩模侧标记51a的位置(外形标记组检测工序)。

此时，也可确定较小的外形掩模侧标记51c、51d的位置，但是因为这些外形掩模侧标记51c、51d较小，所以其视觉辨认相应地困难。因此，通过以确定最大的外形掩模侧标记51a的方式进行操作，即便小的外形掩模侧标记51c、51d处在未图示的显微镜的视野H1范围外，也能容易确定最大的外形掩模侧标记51a的位置。

接着，如图14(b)所示，从最大的外形掩模侧标记51a的位置确定最小的外形掩模侧标记51d的位置。

另一方面，对于形成在上侧的外形掩模44b的外形掩模侧标记组51，也能以与形成在下侧的外形掩模44a的外形掩模侧标记组51同样的顺序确定最小的外形掩模侧标记51d的位置。即，首先确定最大的外形掩模侧标记51a，从该外形掩模侧标记51a确定最小的外形掩模侧标记51d的位置。

接着，如图14(c)所示，使形成在上侧的外形掩模44b的最小的外形掩模侧标记51d靠近形成在下侧的外形掩模44a的最小的外形掩模侧标记51d。

然后，如图14(d)所示，使形成在各外形掩模44a、44b的最小的外形掩模侧标记51d、51d彼此的位置对齐，完成上下外形掩模44a、44b的对位(S26)。如此，通过利用最小的外形掩模侧标记51d，能高精度地进行上下外形掩模44a、44b的对位。即，将最小的外形掩模侧标记51d用于各标记组51、51的对位，将包括外形掩模侧标记51d在内的所有的外形掩模侧标记51a～51d用于外形标记组检测工序中。

如图12所示，在圆片S配置外形掩模44a、44b后，在圆片S的两面上隔着外形掩模44a、44b，对未图示的光刻胶膜曝光刻胶图案(S27a)。若结束曝光就取下外形掩模44a、44b，然后进行光刻胶膜的显影，除去曝光部分(S27b)。

然后，进行金属蚀刻而除去从曝光部分露出的保护膜，进而除去抗蚀剂膜(S28)。

然后，进行水晶蚀刻而蚀刻从保护膜的除去部分露出的圆片S(S29)，其后，除去保护膜，从而结束外形形成工序(S20)。

图15是结束外形形成工序后的圆片的平面图。

如该图所示，在结束外形形成工序(S20)的圆片S，形成有压电板24的外形形状。更具体地说，存在于圆片S的外周部S1内侧的板形成区域S2内，形成有压电板24的外形形状。

板形成区域S2是从外形掩模41的曝光区域41a露出的部分，在板形成区域S2中，压电板24的外形形状以及除去连结该外形形状和外周部S1的未图示的连结部的部分被水晶蚀刻而除去。

在此，在外形掩模41形成有外形掩模侧标记组51。因此，与压电板24的外形形状同时在圆片S中与2个外形掩模侧标记组51对应的部位形成圆侧标记组71。圆片侧标记组71也经过与压电板24同样的工序(外形形成工序(S20))而形成，因此形成为与外形掩模侧标记组51相同的形状。

即，如图11所示，圆片侧标记组71形成为十字状，由大小彼此不同的多个圆片侧标记71a～71d构成。此外，圆片侧标记组71是沿厚度方向贯通圆片S的贯通孔，或者由形成在圆片S的表面上的凹部构成。

如图5～图7及图12所示，在进行外形形成工序(S20)之后，进行在一对振动臂部10、11形成槽部18的槽部形成工序(S30)，然后，进行在形成有压电板24的外形形状的圆片S形成激振电极15及重锤金属膜21的电极形成工序(S40)。

此时，首先利用例如蒸镀法或溅镀法等，在成膜压电板24上成膜成为电极的金属膜(未图示)(S41)。

接着，在金属膜上成膜光刻胶膜(电极膜掩模材料)(S42)。

接着，进行用于在光刻胶膜形成成为电极形状的抗蚀剂图案的抗蚀剂图案形成工序(S43)。以下，详述电极形成工序中的抗蚀剂图案形成工序。

图16(a)～图16(c)是电极形成工序中的抗蚀剂图案形成工序的工序图。

如图12、图16所示，首先，将圆片S输送到制造装置40的工件托盘43上(S44，参照图16(a)、图16(b))。然后，对工件托盘43进行圆片S的粗定位(S45)。此时，利用设有圆片S的定向平面61等进行粗定位。

在进行粗定位后，在圆片S的上表面，即在与工件托盘43相反一侧的面配置电极膜用掩模42(参照图9)，进行该电极膜用掩模42的对位(S46，电极掩模配置工序)。

该对位是利用形成在圆片S的圆片侧标记组71和形成在电极膜用掩模42的电极掩模侧标记组52来进行了。在此，圆片侧标记组71和电极掩模侧标记组52的对位，与形成在上述的下侧的外形掩模44a的外形掩模侧标记组51和形成在上侧的外形掩模44b的外形掩模侧标记组51的对位相同。

图17是用于对形成在圆片S的圆片侧标记组71进行形成在电极膜用掩模42的电极掩模侧标记组52的对位的操作工序图。即，首先如图17(a)所示，确定圆片侧标记组71中的最大的圆片侧标记71a的位置(电极标记组检测工序)。

其次，如图17(b)所示，从最大的圆片侧标记71a的位置确定最小的圆片侧标记71d的位置。

另一方面，对于形成在电极膜用掩模42的电极掩模侧标记组52，也与圆片侧标记组71同样的顺序确定最小的电极掩模侧标记52d的位置。即，首先确定最大的电极掩模侧标记52a，从该电极掩模侧标记52a确定最小的电极掩模侧标记52d的位置。

接着，如图14(c)所示，使最小的电极掩模侧标记52d靠近最小的圆片侧标记71d。

然后，如图14(d)所示，将这些圆片侧标记71d和电极掩模侧标记52d的位置对齐，完成电极膜用掩模42对圆片S的对位(S46)。如此，利用最小的圆片侧标记71d和最小的电极掩模侧标记52d，能高精度地进行电极膜用掩模42的对位。即，利用最小的电极掩模侧标记52d及圆片侧标记71d，作为电极掩模侧标记组52和圆片侧标记组71的对位用标记，并将包括电极掩模侧标记52d及圆片侧标记71d在内的所有电极掩模侧标记52a～52d及圆片侧标记71a～71d利用到电极标记组检测工序中。

如图12所示，在圆片S配置电极膜用掩模42后，隔着该电极膜用掩模42对未图示的光刻胶膜曝光蚀胶图案(S47a)。若结束曝光就拆下电极膜用掩模42，然后进行光刻胶膜的显影，除去曝光部分(S47b)。

然后，以残存的光刻胶膜为掩模进行金属蚀刻而进行构图。其后除去作为掩模的光刻胶膜，从而形成激振电极15及重锤金属膜21，结束电极形成工序(S40)。

在进行电极形成工序(S40)后，对形成在圆片S上的所有振动臂部10、11、12进行粗调谐振频率的粗调工序(S51)。

这是例如对重锤金属膜21的粗调膜21a(参照图5、图6)照射激光，使加在一对振动臂部10、11前端的重量减轻，从而粗调频率的工序。

接下来，切断连结圆片S和压电振动片4的未图示的连结部，从而进行从圆片S切离出多个压电振动片4而小片化的切断工序(S52)。由此，能够从圆片S一次制造多个形成有激振电极15、装配电极16、17、引出电极19、20及重锤金属膜21的压电振动片4。

(效果)

因而，依据上述的实施方式，通过将用于外形掩模41的对位的对准标记定为由多个外形掩模侧标记51a～51d构成的外形掩模侧标记组51，将用于圆片S和电极膜用掩模42的对位的对准标记定为各自由多个圆片侧标记71a～71d构成的圆片侧标记组71、以及由多个电极掩模侧标记52a～52d构成的电极掩模侧标记组52，分别以从最大的标记51a、52a、71a到最小的标记51d、52d、71d顺序进行确定，从而能够迅速地确定最小的标记51d、52d、71d。此外，通过在对位上利用最小的标记51d、52d、71d，进一步确定外形形成工序(S20)、电极形成工序(S40)，则能够容易且高精度地进行抗蚀剂图案形成工序(S23、S43)。

此外，各标记51a～71d中，除了最大的标记51a～71a以外3个标记51b～71d配置在最大的标记51a～71a的形成范围W1内。除此之外，在既定的排列图案中各标记51a～71d配置成为从最大的标记51a～71a起标记变小地毗连而在图11中的右下侧依次错开。

因此，在确定最大的标记51a～71a的时刻，能够容易预测最小的标记51d～71d的位置，因此能够提高在确定最大的标记51a～71a后确定最小的标记51d～71d为止的操作效率。

此外，通过将各标记51a～71d形成为十字状，能够在最大的标记51a～71a的形成范围W1配置其它标记51b～71d。

即，例如，在将各外形掩模侧标记51a～51d定为圆形状的情况下，难以在最大的外形掩模侧标记51a的圆的内侧形成其它外形掩模侧标记51b～51d。因此，需要较大地确保配置多个外形掩模侧标记51a～51d的范围。

但是，通过将外形掩模侧标记51a～51d形成为十字状，能够在最大的外形掩模侧标记51a的形成范围W1，形成其它外形掩模侧标记51b～51d，因此能够谋求节省配置外形掩模侧标记51a～51d的范围的空间。同样地，也能谋求节省配置各标记52a～71d的范围的空间。

(振荡器)

接着，基于图18，对本发明的振荡器的一实施方式进行说明。

图18是振荡器的结构图。

如该图所示，振荡器100将压电振动器1构成为电连接至集成电路101的振子。该振荡器100具备安装了电容器等的电子部件102的基板103。在基板103安装有振荡器用的上述集成电路101，在该集成电路101的附近安装有压电振动器1。这些电子部件102、集成电路101及压电振动器1通过未图示的布线图案分别电连接。此外，各构成部件通过未图示的树脂来模制(mould)。

在这样构成的振荡器100中，对压电振动器1施加电压时，该压电振动器1内的压电振动片4振动。通过压电振动片4所具有的压电特性，将该振动转换为电信号，以电信号方式输入至集成电路101。通过集成电路101对输入的电信号进行各种处理，以频率信号的方式输出。从而，压电振动器1作为振子起作用。

此外，根据需求有选择地设定集成电路101的结构，例如RTC(实时时钟)模块等，除了钟表用单功能振荡器等之外，还能够附加控制该设备或外部设备的工作日期、时刻或者提供时刻、日历等的功能。

(效果)

因而，依据上述的振荡器100，由于具备低成本化的可靠性高的压电振动器1，所以振荡器100本身也同样能谋求低成本化。而且，除此之外，能够得到长期稳定的高精度的频率信号。

(电子设备)

接着，基于图19，就本发明的电子设备的一实施方式进行说明。此外作为电子设备，举例说明了具有上述压电振动器1的便携信息设备110。

图19是作为电子设备的便携信息设备的结构图。

如该图所示，便携信息设备110例如以便携电话为代表，发展并改良了现有技术中的手表。外观类似于手表，在相当于字符盘的部分配有液晶显示器，能够在该画面上显示当前的时刻等。此外，在作为通信机而利用的情况下，从手腕取下，通过内置于表带内侧部分的扬声器和麦克风而能够进行与现有技术的便携电话相同的通信。然而，与现有的便携电话相比较，明显小型化且轻型化。

(便携信息设备)

下面，对本实施方式的便携信息设备110的结构进行说明。该便携信息设备110具备压电振动器1和供电用的电源部111。电源部111例如由锂二次电池构成。进行各种控制的控制部112、进行时刻等的计数的计时部113、与外部进行通信的通信部114、显示各种信息的显示部115、和检测各功能部的电压的电压检测部116与该电源部111并联连接。而且，通过电源部111来对各功能部供电。

控制部112控制各功能部，进行声音数据的发送及接收、当前时刻的测量、显示等的整个***的动作控制。此外，控制部112具备预先写入程序的ROM、读取写入到该ROM的程序并执行的CPU、和作为该CPU的工作区使用的RAM等。

计时部113具备压电振动器1和内置了振荡电路、寄存器电路、计数器电路及接口电路等的集成电路。对压电振动器1施加电压时压电振动片4振动，通过水晶所具有的压电特性，该振动转换为电信号，以电信号的方式输入到振荡电路。振荡电路的输出被二值化，通过寄存器电路和计数器电路来计数。然后，通过接口电路，与控制部112进行信号的发送与接收，在显示部115显示当前时刻或当前日期或者日历信息等。

通信部114具有与现有的便携电话相同的功能，具备无线电部117、声音处理部118、切换部119、放大部120、声音输入输出部121、电话号码输入部122、来电音发生部123及呼叫控制存储器部124。

通过天线125，无线电部117与基站进行收发声音数据等各种数据的交换。声音处理部118对从无线电部117或放大部120输入的声音信号进行编码及解码。放大部120将从声音处理部118或声音输入输出部121输入的信号放大到既定电平。声音输入输出部121由扬声器或麦克风等构成，扩大来电音或受话声音，或者将声音拢音。

此外，来电音发生部123响应来自基站的呼叫而生成来电音。切换部119仅在来电时，通过将连接在声音处理部118的放大部120切换到来电音发生部123，在来电音发生部123中生成的来电音经由放大部120输出至声音输入输出部121。

此外，呼叫控制存储器部124存放与通信的呼叫及来电控制相关的程序。此外，电话号码输入部122具备例如0至9的号码键及其它键，通过按压这些号码键等，输入通话目的地的电话号码等。

电压检测部116在通过电源部111对控制部112等的各功能部施加的电压小于既定值时，检测其电压下降后通知控制部112。这时的既定电压值是作为使通信部114稳定动作所需的最低限的电压而预先设定的值，例如，3V左右。从电压检测部116收到电压降的通知的控制部112禁止无线电部117、声音处理部118、切换部119及来电音发生部123的动作。特别是，停止耗电较大的无线电部117的动作是必需的。而且，显示部115显示通信部114由于电池余量的不足而不能使用的提示。

即，能够由电压检测部116和控制部112禁止通信部114的动作并在显示部115显示该提示。该显示可以是文字消息，但作为更直观的显示，也可以在显示于显示部115的显示面的上部的电话图标打“×(叉)”标记。

此外，通过具备能够有选择地截断与通信部114的功能相关的部分的电源的电源截断部126，能够更加可靠地停止通信部114的功能。

(效果)

因而，依据上述的便携信息设备110，由于具备低成本化的可靠性高的压电振动器1，所以便携信息设备本身也同样能谋求低成本化。而且，除此以外，能够显示长期稳定的高精度的时钟信息。

(电波钟)

接着，基于图20，就本发明的电波钟的一实施方式进行说明。

图20是示出电波钟的一实施方式的结构图。

如该图所示，本实施方式的电波钟130具备电连接到滤波部131的压电振动器1，是接收包含时钟信息的标准电波，并具有自动修正为正确的时刻并加以显示的功能的钟表。

在日本国内，在福岛县(40kHz)和佐贺县(60kHz)有发送标准电波的发送站(发送局)，分别发送标准电波。40kHz或60kHz这样的长波兼有沿地表传播的性质和在电离层和地表一边反射一边传播的性质，因此其传播范围宽，且由上述的两个发送站覆盖整个日本国内。

以下，对电波钟130的功能性结构进行详细说明。

天线132接收40kHz或60kHz长波的标准电波。长波的标准电波对被称为定时码的时刻信息实施AM调制成为40kHz或60kHz的载波。所接收的长波的标准电波由放大器133放大，由具有多个压电振动器1的滤波部131滤波并调谐。

本实施方式中的压电振动器1分别具备与上述载波频率相同的40kHz及60kHz的谐振频率的水晶振动器部138、139。

而且，滤波后的既定频率的信号通过检波、整流电路134来检波并解调。接着，经由波形整形电路135而抽出定时码，由CPU136计数。在CPU136中，读取当前的年、累积日、星期、时刻等的信息。被读取的信息反映于RTC137，显示出正确的时刻信息。

由于载波为40kHz或60kHz，所以水晶振动器部138、139优选具有上述的音叉型结构的振动器。

此外，虽然上述的说明由日本国内的示例表示，但长波的标准电波的频率在海外是不同的。例如，在德国使用77.5KHz的标准电波。所以，在将即使在海外也能够对应的电波钟130装入便携设备的情况下，还需要与日本的情况不同的频率的压电振动器1。

(效果)

因而，依据上述的电波钟130，由于具备低成本化的可靠性高的压电振动器1，所以电波钟本身也同样能谋求低成本化。而且，除此之外，能够长期稳定且高精度地对时刻进行计数。

此外，本发明的技术范围并不局限于上述实施的方式，在不超出本发明的宗旨的范围内可做各种变更。

例如，在上述的实施方式中，对于以下情况进行了说明，即在制造压电振动器1时所使用的外形掩模41上，形成外形掩模侧标记组51作为对准标记，并且在电极膜用掩模42上形成电极掩模侧标记组52作为对准标记，这些标记组51、52由十字状的标记51a～52d构成。此外，还说明了以下情况，即在图11中，各标记51a～52d被配置成为从最大的标记51a、52a起由大到小的标记的顺序逐渐向右下方错开。但是，并不限于此，各标记组51、52由不同大小的至少2个标记构成即可，并不限于十字形状。此外，各标记按既定的排列图案配置即可，各标记的排列图案并不限于图11所示的排列图案。

更具体地说，例如为如图21所示那样的标记组81也可。

图21是各标记组的其它实施方式的详细图。

如该图所示，标记组81由多个(例如4个)标记81a～81d构成。各标记81a～81d形成为四边形的边框状，其大小分别不同。然后，从最大的标记81a到最小的标记81d，朝着图21中的右方向依次排列配置。

利用这样构成的标记组81进行外形掩模41的对位以及电极膜用掩模42的对位，也能发挥与上述的实施方式同样的效果。

附图标记说明

1压电振动器；4压电振动片；13第一激振电极；14第二激振电极；15激振电极(电极部)；24压电板；41外形掩模；42电极膜用掩模；51外形掩模侧标记组；51a最大的外形掩模侧标记；51b、51c外形掩模侧标记；51d最小的外形掩模侧标记；52电极掩模侧标记组；52a最大的电极掩模侧标记；52b、52c  电极掩模侧标记；52d最小的电极掩模侧标记；71圆片侧标记组；71a  最大的圆片侧标记；71b、71c  圆片侧标记；71d  最小的圆片侧标记；81标记组；81a最大的标记；81b、81c标记；81d最小的标记；100振荡器；101集成电路；110便携信息设备(电子设备)；113时计部；130电波钟；131滤波部；S圆片。

Claims (6)

1.一种压电振动片的制造方法，其中压电振动片具备压电板、和当被施加电压时使所述压电板振动的电极部，所述制造方法的特征在于，包括：

外形形成工序，在对由压电材料构成的圆片的两面涂敷压电板形成用掩模材料之后，配置为形成所述压电板而准备的一对外形掩模，其后，隔着这些外形掩模照射光以形成所述压电板的外形；以及

抗蚀剂图案形成工序，在对形成有所述压电板的外形形状的所述圆片涂敷电极膜掩模材料之后，配置为电极膜而准备的电极膜用掩模，然后，隔着所述电极膜用掩模照射光以形成抗蚀剂图案，

所述抗蚀剂图案形成工序包括：

电极标记组检测工序，检测形成在所述圆片的圆片侧标记组、和形成在所述电极膜用掩模的电极掩模侧标记组；以及

电极掩模配置工序，使所述圆片侧标记组与所述电极掩模侧标记组对位，并对所述圆片配置所述电极膜用掩模，

所述圆片侧标记组由大小彼此不同的至少2个圆片侧标记构成，

所述电极掩模侧标记组由大小彼此不同的至少2个电极掩模侧标记构成，

将各自最小的圆片侧标记及电极掩模侧标记用作为彼此的标记对位，将最小的圆片侧标记、除电极掩模侧标记以外的所有圆片侧标记、以及电极掩模侧标记，用于所述电极标记组检测工序。

2.根据权利要求1所述的压电振动片的制造方法，其特征在于，

各圆片侧标记以及各电极掩模侧标记分别以既定的排列图案配置。

3.根据权利要求2所述的压电振动片的制造方法，其特征在于，

各圆片侧标记在最大的圆片侧标记的形成范围内，配置有其它圆片侧标记，并且

各电极掩模侧标记在最大的电极掩模侧标记的形成范围内，配置有其它电极掩模侧标记。

4.一种压电振动片的制造方法，其中压电振动片具备压电板、和当被施加电压时使所述压电板振动的电极部，所述制造方法的特征在于，包括：

外形形成工序，在由压电材料构成的圆片的两面涂敷压电板形成用掩模材料后，配置为形成所述压电板而准备的一对外形掩模，然后，隔着这些外形掩模照射光以形成所述压电板的外形；以及

抗蚀剂图案形成工序，在形成有所述压电板的外形形状的所述圆片涂敷电极膜掩模材料后，配置为电极膜而准备的电极膜用掩模，然后，隔着所述电极膜用掩模照射光以形成抗蚀剂图案，

所述外形形成工序包括：

外形标记组检测工序，检测形成在各外形掩模的外形掩模侧标记组；以及

外形掩模配置工序，使各外形掩模的外形掩模侧标记组的位置对齐并在所述圆片配置各外形掩模，

所述外形掩模侧标记组由彼此大小不同的至少2个外形掩模侧标记构成，

将形成在各外形掩模的最小的外形掩模侧标记用作为彼此的标记对位，将除最小的外形掩模侧标记以外的所有外形掩模侧标记，利用到所述外形标记组检测工序中。

5.根据权利要求4所述的压电振动片的制造方法，其特征在于，各外形掩模侧标记分别以既定的排列图案配置。

6.根据权利要求5所述的压电振动片的制造方法，其特征在于，各外形掩模侧标记在最大的外形掩模侧标记的形成范围内，配置有其它外形掩模侧标记。

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