CN102601724B - 一种主动驱动研磨装置 - Google Patents

一种主动驱动研磨装置 Download PDF

Info

Publication number
CN102601724B
CN102601724B CN201210054958.XA CN201210054958A CN102601724B CN 102601724 B CN102601724 B CN 102601724B CN 201210054958 A CN201210054958 A CN 201210054958A CN 102601724 B CN102601724 B CN 102601724B
Authority
CN
China
Prior art keywords
gear
fixed
abrasive disk
finishing ring
powershift
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201210054958.XA
Other languages
English (en)
Other versions
CN102601724A (zh
Inventor
文东辉
***
林云
王扬渝
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Zhejiang University of Technology ZJUT
Original Assignee
Zhejiang University of Technology ZJUT
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Zhejiang University of Technology ZJUT filed Critical Zhejiang University of Technology ZJUT
Priority to CN201210054958.XA priority Critical patent/CN102601724B/zh
Publication of CN102601724A publication Critical patent/CN102601724A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN102601724B publication Critical patent/CN102601724B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)

Abstract

本发明公开了一种主动驱动研磨装置,包括修整环、基盘和研磨盘,还包括驱动电机、输出齿轮、3个受力齿轮和能自由转动的辅助齿轮;所述驱动电机安装在机座上,所述输出齿轮连接在驱动电机上且与所述受力齿轮相啮合;所述受力齿轮通过螺栓固定连接在所述修整环上,所述修整环通过修整环固定件固定在所述研磨盘上且能绕固定中心线转动;所述基盘卡在所述修整环内;所述研磨盘中间设有螺纹孔;所述辅助齿轮位于3个受力齿轮的中心且均与所述受力齿轮相啮合,所述辅助齿轮下方通过所述螺纹孔固定在所述研磨盘上。本发明提高了加工的效率和质量;同时,调节电机转速,加工效率可灵活调整,是一种研磨精度高、成本低的新型驱动机构。

Description

一种主动驱动研磨装置
技术领域
本发明属于研磨装置领域,具体涉及一种主动驱动研磨装置。
背景技术
国内外研磨机种类繁多,主要有双轴式、直线式、摇摆式和在线修整式。在线修整的加工方法是修整环依靠与基盘的相对运动,产生摩擦力自转,从而驱动工件运动,是一种非主动驱动的机构。
一般认为当工件转速ωw与研磨盘转速ωp相等,即ωw=ωp时,被加工表面材料去除均匀性最好。原因是,根据Preston方程RR=kPV,工件被加工表面上一点的材料去除率RR与加工载荷P和相对速度V成正比。当ωw=ωp时,工件与研磨盘的相对速度大小相等,在工件上各点加工载荷相同的条件下,可认为材料去除均匀。实际加工中,研磨盘外边的线速度大,内边的线速度小。故外边靠摩擦力带动基盘和修整环的速度也越大。修整环和基盘处在研磨盘的内边和外边由摩擦力产生的速度不同而进行自转。
根据实际工作经验发现如果只靠修整环与研磨盘之间的摩擦力带动修整环转动会出现两种情况:1)并不是每一个修整环都能转动;2)修整环都转动,但转动速度大小不相同。在很多情况下,只能依靠调正修整环位置或研磨盘表面来使其转动,不仅浪费时间、精力,更重要的是加工不稳定,会导致工件质量差、加工效率低。
发明内容
为了克服现有的在线修整驱动研磨装置的非主动驱动、研磨精度较低、成本高的不足,本发明提供一种主动驱动、研磨精度高、成本低的主动驱动研磨装置,使得修整环同步、主动运动。
本发明采用的技术方案是:
一种主动驱动研磨装置,包括修整环、基盘和研磨盘,其特征在于:还包括驱动电机、输出齿轮、3个受力齿轮和能自由转动的辅助齿轮;所述驱动电机安装在机座上,所述输出齿轮连接在驱动电机上且与所述受力齿轮相啮合;所述受力齿轮通过螺栓固定连接在所述修整环上,所述修整环通过修整环固定件固定在所述研磨盘上且能绕固定中心线转动;所述基盘卡在所述修整环内;所述研磨盘中间设有螺纹孔;所述辅助齿轮位于3个受力齿轮的中心且均与所述受力齿轮相啮合,所述辅助齿轮下方通过所述螺纹孔固定在所述研磨盘上。
进一步,所述辅助齿轮固定在轴上,所述轴与固定轴通过轴承连接在一起,且所述辅助齿轮通过固定轴经由所述螺纹孔固定在所述研磨盘上,所述辅助齿轮围绕所述固定轴自由转动。
进一步,所述输出齿轮的中心位于所述研磨盘的外侧,方便驱动电机的安装和拆卸。
进一步,所述输出齿轮、受力齿轮和辅助齿轮的轴心线相互平行。
本发明使用时,输出齿轮的中心位于研磨盘的外侧,方便驱动电机的安装,当输出齿轮转动时,在辅助齿轮的配合下,3个固定于修整环上的受力齿轮会以相同的速率运动,运动方向与原运动方向相同。基盘卡在修整环内,由于修整环具有相同速度,那么固定在基盘(基盘与修整环相连,速度相同)下的工件与研磨盘的相对速度相同,从而保证了相同的材料去除量,工件加工的均匀性,提高了加工的效率和质量。
本发明中,所述受力齿轮与修整环通过螺栓完全固定,保证了受力齿轮与修整环同速,用螺栓固定连接安全可靠。辅助齿轮固定在轴上,轴与固定轴通过轴承连接在一起,保证了辅助齿轮能够围绕固定轴自由转动。根据工作经验,研磨盘中间有个螺纹孔,恰好使固定轴方便的固定于研磨盘上。
本发明的有益效果体现在:
1、可以使工件得到较好的表面粗糙度和平面度、加工时间可控;
2、修整环稳定的在线修整研磨盘,提高了研磨盘质量;
3、输出齿轮可以根据需要调整转速从而使工件表面获得更好的质量;
4、机器设备成本低,加工条件简单,可以获得较高的加工精度和加工效率,具有广泛的应用前景;
5、与其他研磨设备相比,本研磨装置时不会产生很大的噪音。
附图说明
图1是本发明主动驱动研磨装置的结构示意图。
图2是本发明主动驱动研磨装置的剖面图。
具体实施方式
参照图1和图2,一种主动驱动研磨装置,包括修整环5、基盘6和研磨盘11,还包括驱动电机、输出齿轮1、3个受力齿轮2和能自由转动的辅助齿轮3;所述驱动电机安装在机座上,所述输出齿轮1连接在驱动电机上且与所述受力齿轮2相啮合;所述受力齿轮2通过螺栓固定连接在所述修整环5上,所述修整环5通过修整环固定件4固定在所述研磨盘11上且能绕固定中心线转动;所述基盘6卡在所述修整环5内;所述研磨盘11中间设有螺纹孔;所述辅助齿轮3位于3个受力齿轮2的中心且均与所述受力齿轮2相啮合,所述辅助齿轮3下方通过所述螺纹孔固定在所述研磨盘11上。
进一步,所述辅助齿轮3固定在轴8上,所述轴8与固定轴10通过轴承9连接在一起,且所述辅助齿轮3通过固定轴10经由所述螺纹孔固定在所述研磨盘11上,所述辅助齿轮3围绕所述固定轴10自由转动。
进一步,所述输出齿轮1的中心位于所述研磨盘11的外侧,方便驱动电机的安装和拆卸。
进一步,所述输出齿轮1、受力齿轮2和辅助齿轮3的轴心线相互平行。
本发明使用时,输出齿轮1的中心位于研磨盘11的外侧,方便驱动电机的安装,当输出齿轮1转动时,在辅助齿轮3的配合下,3个固定于修整环5上的受力齿轮2会以相同的速率运动,运动方向与原运动方向相同。基盘6卡在修整环5内,由于修整环5具有相同速度,那么固定在基盘6(基盘与修整环相连,速度相同)下的工件7与研磨盘11的相对速度相同,从而保证了相同的材料去除量,工件加工的均匀性,提高了加工的效率和质量。
本发明中,所述受力齿轮1与修整环5通过螺栓完全固定,保证了受力齿轮2与修整环5同速,用螺栓固定连接安全可靠。辅助齿轮3固定在轴8上,轴8与固定轴10通过轴承9连接在一起,保证了辅助齿轮3能够围绕固定轴10自由转动。根据工作经验,研磨盘11中间有个螺纹孔,恰好使固定轴10方便的固定于研磨盘11上。
本说明书实施例所述的内容仅仅是对发明构思的实现形式的列举,本发明的保护范围的不应当被视为仅限于实施例所陈述的具体形式,本发明的保护范围也及于本领域技术人员根据本发明构思所能够想到的等同技术手段。

Claims (4)

1.一种主动驱动研磨装置,包括修整环、基盘和研磨盘,其特征在于:还包括驱动电机、输出齿轮、3个受力齿轮和能自由转动的辅助齿轮;所述驱动电机安装在机座上,所述输出齿轮连接在驱动电机上且与所述受力齿轮相啮合;所述受力齿轮通过螺栓固定连接在所述修整环上,所述修整环通过修整环固定件固定在所述研磨盘上且能绕固定中心线转动;所述基盘卡在所述修整环内;所述研磨盘中间设有螺纹孔;所述辅助齿轮位于3个受力齿轮的中心且均与所述受力齿轮相啮合,所述辅助齿轮下方通过所述螺纹孔固定在所述研磨盘上方。
2.如权利要求1所述的一种主动驱动研磨装置,其特征在于:所述辅助齿轮固定在轴上,所述轴与固定轴通过轴承连接在一起,且所述辅助齿轮通过固定轴经由所述螺纹孔固定在所述研磨盘上,所述辅助齿轮围绕所述固定轴自由转动。
3.如权利要求2所述的一种主动驱动研磨装置,其特征在于:所述输出齿轮的中心位于所述研磨盘的外侧,方便驱动电机的安装和拆卸。
4.如权利要求3所述的一种主动驱动研磨装置,其特征在于:所述输出齿轮、受力齿轮和辅助齿轮的轴心线相互平行。
CN201210054958.XA 2012-03-05 2012-03-05 一种主动驱动研磨装置 Active CN102601724B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201210054958.XA CN102601724B (zh) 2012-03-05 2012-03-05 一种主动驱动研磨装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201210054958.XA CN102601724B (zh) 2012-03-05 2012-03-05 一种主动驱动研磨装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN102601724A CN102601724A (zh) 2012-07-25
CN102601724B true CN102601724B (zh) 2015-05-27

Family

ID=46519690

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201210054958.XA Active CN102601724B (zh) 2012-03-05 2012-03-05 一种主动驱动研磨装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN102601724B (zh)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103144040A (zh) * 2013-03-15 2013-06-12 上海华力微电子有限公司 化学机械研磨设备
CN105215820A (zh) * 2015-10-16 2016-01-06 宿迁新耀科技有限公司 一种研磨机
CN106312818A (zh) * 2016-09-23 2017-01-11 江苏吉星新材料有限公司 一种研磨用陶瓷盘的修整方法
CN108608274A (zh) * 2018-06-12 2018-10-02 常州市润昌光电科技有限公司 一种超精密环抛机
CN111941284B (zh) * 2020-07-27 2022-01-07 西安理工大学 一种辊环复合平面研磨修整装置
CN113941954B (zh) * 2021-12-20 2022-03-18 唐山国芯晶源电子有限公司 一种大面积石英晶片研磨装置及其研磨方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB783990A (en) * 1954-03-29 1957-10-02 Crane Packing Co Improvements in or relating to lapping machines
US3110991A (en) * 1962-04-16 1963-11-19 Speedlap Corp Device for feeding an abrasive mixture to a lapping machine
GB947142A (en) * 1962-10-10 1964-01-22 Speedlap Corp Improvements in or relating to lapping machines
CN101704221A (zh) * 2009-11-02 2010-05-12 浙江工业大学 主动驱动研磨装置的修正环驱动机构
CN202540130U (zh) * 2012-03-05 2012-11-21 浙江工业大学 一种主动驱动研磨装置

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5813301B2 (ja) * 1979-07-12 1983-03-12 神谷 茂男 角形時計額面ガラス等の斜面カットブラッシュ研磨装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB783990A (en) * 1954-03-29 1957-10-02 Crane Packing Co Improvements in or relating to lapping machines
US3110991A (en) * 1962-04-16 1963-11-19 Speedlap Corp Device for feeding an abrasive mixture to a lapping machine
GB947142A (en) * 1962-10-10 1964-01-22 Speedlap Corp Improvements in or relating to lapping machines
CN101704221A (zh) * 2009-11-02 2010-05-12 浙江工业大学 主动驱动研磨装置的修正环驱动机构
CN202540130U (zh) * 2012-03-05 2012-11-21 浙江工业大学 一种主动驱动研磨装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN102601724A (zh) 2012-07-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102601724B (zh) 一种主动驱动研磨装置
CN102513915B (zh) 一种精密圆柱形零件的加工方法
CN105058216A (zh) 一种多级传动式光饰机
CN105773403B (zh) 一种具有无理转速比的研磨抛光机驱动装置
CN105127879B (zh) 龙门式蓝宝石晶片双面研磨/抛光机及研磨抛光的方法
CN102941357B (zh) 一种超精密气浮主轴结构
CN107081483A (zh) 机器人关节用rv减速器摆线轮精密磨床
CN107932304B (zh) 一种可以实现无级变速的研磨抛光加工方法
CN203804733U (zh) 一种盘类件双面同步磨削装置
CN103894916B (zh) 一种圆锥抛光装置
CN101704221B (zh) 主动驱动研磨装置的修正环驱动机构
CN202540130U (zh) 一种主动驱动研磨装置
CN101817033B (zh) 倒立式梅花收线机上的小车部件
CN206780096U (zh) 一种可调角度玻璃磨边机
CN202877555U (zh) 超精密气浮主轴结构
CN101508094B (zh) 锥齿轮传动四工位平面研磨机
CN205237549U (zh) 面齿轮传动的精密数控回转工作台
CN201244764Y (zh) 一种表面打磨抛光装置
CN205765295U (zh) 一种适用于多内径宽的管道外圆打磨装置
CN201325004Y (zh) 锥齿轮传动二工位平面研磨机
CN204868546U (zh) 一种稳压式磨床
CN205465483U (zh) 精密刀具研磨机
CN205033021U (zh) 一种刀架磨头
CN204321820U (zh) 一种研磨机
CN103612182A (zh) 平面带式磨床

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant