CN102566527A - 半导体制造设备前端模块的传输控制平台化实现方法 - Google Patents

半导体制造设备前端模块的传输控制平台化实现方法 Download PDF

Info

Publication number
CN102566527A
CN102566527A CN2010106166021A CN201010616602A CN102566527A CN 102566527 A CN102566527 A CN 102566527A CN 2010106166021 A CN2010106166021 A CN 2010106166021A CN 201010616602 A CN201010616602 A CN 201010616602A CN 102566527 A CN102566527 A CN 102566527A
Authority
CN
China
Prior art keywords
module
subsystem
semiconductor manufacturing
steering order
manufacturing facility
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN2010106166021A
Other languages
English (en)
Other versions
CN102566527B (zh
Inventor
于海斌
徐皑冬
张吉龙
刘明哲
胡静涛
李正
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shenyang Institute of Automation of CAS
Original Assignee
Shenyang Institute of Automation of CAS
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shenyang Institute of Automation of CAS filed Critical Shenyang Institute of Automation of CAS
Priority to CN201010616602.1A priority Critical patent/CN102566527B/zh
Priority to US13/072,791 priority patent/US20120173011A1/en
Publication of CN102566527A publication Critical patent/CN102566527A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN102566527B publication Critical patent/CN102566527B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00—Programme-control systems
    • G05B19/02—Programme-control systems electric
    • G05B19/418—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM]
    • G05B19/4185—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM] characterised by the network communication
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
    • Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Quality & Reliability (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • General Factory Administration (AREA)

Abstract

本发明涉及一种半导体制造设备前端模块的传输控制平台化实现方法，步骤为：建立相应的子***管理模块、通讯接口模块、解析模块和网络通讯模块；通讯接口模块接收到半导体制造设备控制***发送的控制指令，转发给子***管理模块；子***管理模块对控制指令进行解析，分发给相应的子***模块，子***模块通过网络通讯模块向控制器发送指令，多个子***模块可并行执行控制指令；解析模块对接收到的控制器消息进行解析，将指令运行结果反馈给相应的子***模块，再由通讯接口模块反馈给半导体制造设备控制***。本发明为半导体制造设备前端模块提供了标准化的软件接口，有利于不同IC装备控制***标准化；提高了***的生产效率，提高了***的适应性。

Description

半导体制造设备前端模块的传输控制平台化实现方法
技术领域
本发明属于控制***平台化技术，具体地说是一种半导体制造设备前端模块的传输控制平台化实现方法。
背景技术
半导体制造设备前端模块，是一种重要的晶圆装载和传输设备，通常包括晶圆盒的装卸载、传输机械手、对中单元、洁净微环境控制等，被广泛应用在半导体制造设备中，作为一种典型的集散控制***，其功能十分强大。
不同公司的半导体制造设备前端模块产品都有其各自的通讯协议，对于不同型号的产品其通讯协议也不尽相同，这给设备集成制造商带来了很大的麻烦，往往更换不同的半导体制造设备前端模块产品就要对其控制软件重新开发，且***缺少统一的指令接口，这对于加快产品化生产造成了阻碍，无法满足半导体生产过程中生产线快速投入使用的需要。
目前国内外市场上没有出现通用的产品软件，因而结合不同厂家设备的特点，对其共性部分进行分层抽象，进而建立一套接口统一、可配性强的半导体制造设备前端模块控制***平台就显得尤为重要。而目前接口统一、可配性强的半导体制造设备前端模块控制***平台尚未见报道。
发明内容
针对现有技术中半导体制造设备前端模块控制***软件通用性差等不足之处，本发明要解决的问题是提供一种统一指令接口、配置灵活的半导体制造设备前端模块的传输控制平台化实现方法。
为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是：
本发明半导体制造设备前端模块的传输控制平台化实现方法包括以下步骤：
根据不同厂商的半导体制造设备前端模块的特点建立相应的子***管理模块、通讯接口模块、解析模块和网络通讯模块；
通讯接口模块接收到半导体制造设备控制***发送的控制指令，转发给子***管理模块；
子***管理模块对接收到控制指令进行解析，分发给相应的子***模块，子***模块根据当前状态通过网络通讯模块向控制器发送指令，多个子***模块可并行执行控制指令；
解析模块对接收到的控制器消息进行解析，将指令运行结果反馈给相应的子***模块，再由通讯接口模块反馈给半导体制造设备控制***。
所述子***管理模块通过以下过程建立：
根据不同厂商的半导体制造设备前端模块的特点建立相应的各子***模块，建立各自的指令表；
依据用户不同需求选择不同子***模块，生成相应的子***模块表，构成子***管理模块。
所述通讯接口模块为根据半导体制造设备控制***的特点，建立半导体制造设备前端模块的接收控制指令和发送反馈结果的指令接口。
所述解析模块通过以下过程建立：
根据不同厂商的半导体制造设备前端模块通讯协议建立相应的解析规则；
依据解析规则，实现半导体制造设备前端模块控制器和子***模块之间的指令及信息的有效传输。
所述网络通讯模块为与控制器建立连接，将合成的控制指令发送给半导体制造设备前端模块控制器，同时监听其反馈结果。
子***管理模块对接收到控制指令进行解析，分发给相应的子***模块，子***模块根据当前状态执行操作，多个子***模块可并行执行控制指令，包括以下步骤：
子***管理模块接收到控制指令，在各子***模块指令表中查找；
判断控制指令是否在子***模块指令表中查找成功；
如果查找成功，将控制指令分发给待控制的子***模块；
判断该待控制的子***模块是否处于空闲状态；
如果处于空闲状态，通过子***模块指令表，利用双向命名转换映射合成最终发给控制器的指令字符串；
通过网络通讯模块将合成的控制指令发送给半导体制造设备前端模块控制器，同时记录接收该指令的子***模块信息，结束一次控制过程；
子***管理模块将控制指令分发给该待控制的子***模块后，继续监听和分发控制指令，实现子***模块的并行调度管理；
如果待控制的子***模块不处于空闲状态，则通过通讯接口模块向半导体制造设备控制***发送设备状态不满足结果；返回***管理模块通过接口模块接收控制指令步骤；
如果查找指令不成功，则通过通讯接口模块向半导体制造设备控制***发送指令参数错误结果，返回***管理模块通过接口模块接收控制指令步骤。
利用双向命名转换映射合成最终发给控制器的指令字符串，包括以下步骤：
创建半导体制造设备控制***的控制指令参数同半导体制造设备前端模块控制器的控制指令参数的正向转换映射表；
创建半导体制造设备前端模块控制器的控制指令参数同半导体制造设备控制***的控制指令参数的反向转换映射表；
根据接收到的控制指令，子***管理模块在正向转换映射表中查找对应的半导体制造设备前端模块控制器的控制指令参数；
由控制指令和查找到的指令参数生成最终发给控制器的指令字符串。
解析模块对接收到的控制器消息进行解析，将指令运行结果反馈给相应的子***模块，再由通讯接口模块反馈给半导体制造设备控制***，包括以下步骤：
解析模块接收到半导体制造设备前端模块控制器的反馈结果，进行解析；
解析后的结果反馈给子***管理模块，由子***管理模块在各子***模块表中查找处于等待反馈结果状态的子***模块；
在满足要求的子***模块中依据控制指令确定对应的子***模块，同时将该子***模块置成空闲状态；
通过通讯接口模块将执行结果反馈给半导体制造设备控制***。
本发明具有以下有益效果及优点：
1.本发明为半导体制造设备前端模块提供了标准化的软件接口，有利于不同IC装备控制***标准化；通过采用控制指令并行执行机制，提高了***的生产效率。
2.本发明采用模块化设计方法，可对不同厂家、不同结构的半导体制造设备前端模块快速构建传输控制***，缩短了控制***的开发周期和成本，保证生产提前启动的需要；各模块可根据用户需求灵活配置，提高了***的适应性。
3.本发明通过双向命名转换映射机制，实现了半导体制造设备控制***的控制指令参数同半导体制造设备前端模块控制器的控制指令参数的双向转换，保证了***接口的统一性。
附图说明
图1为半导体制造设备前端模块的传输控制平台组成图。
图2为控制指令接收及发送流程图。
图3为双向命名转换映射建立原理图。
图4为反馈结果接收流程图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明作进一步详细说明。
本发明半导体制造设备前端模块的传输控制平台化实现方法包括以下步骤：
1)根据不同厂商的半导体制造设备前端模块的特点建立相应的子***管理模块、通讯接口模块、解析模块和网络通讯模块。
如图1所示，为半导体制造设备前端模块的传输控制平台组成图。本实施例包括主控器子***模块1个、机械手子***模块1个、晶圆盒装卸载子***模块3个、对中单元子***模块1个，建立各自的指令表；
依据所选子***模块，生成相应的子***模块表，构成子***管理模块；
通讯接口模块，采用基于socket网络通讯协议方式，建立半导体制造设备前端模块的接收控制指令和发送反馈结果的指令接口；
解析模块，依据半导体制造设备前端模块通讯协议建立解析规则，实现半导体制造设备前端模块控制器和子***模块之间的指令及信息的有效传输；
网络通讯模块，基于TCP/IP网络协议，包括建立、关闭连接，发送、接收数据功能；
传输控制平台通过通讯接口模块同半导体制造设备控制***通讯连接，各子***模块及解析模块可以同半导体制造设备前端模块控制器通讯连接。
2)通讯接口模块接收到半导体制造设备控制***发送的控制指令，转发给子***管理模块；子***管理模块对接收到控制指令进行解析，分发给相应的子***模块，子***模块根据当前状态通过网络通讯模块向控制器发送指令，多个子***模块可并行执行控制指令。
如图2所示，为控制指令接收及发送流程图。所述控制指令接收及发送流程包括以下步骤：
通讯接口模块接收到半导体制造设备控制***发送的控制指令，转发给子***管理模块；
子***管理模块接收到控制指令，在各子***模块指令表中查找；
判断控制指令是否在子***模块指令表中查找成功；
如果查找成功，将控制指令分发给待控制的子***模块；
否则通过通讯接口模块向半导体制造设备控制***发送指令参数错误结果，返回***管理模块通过接口模块接收控制指令步骤；
判断该待控制的子***模块是否处于空闲状态；
如果处于空闲状态，通过子***模块指令表，利用双向命名转换映射合成最终发给控制器的指令字符串；
否则通过通讯接口模块向半导体制造设备控制***发送设备状态不满足结果；返回***管理模块通过接口模块接收控制指令步骤；
通过网络通讯模块将合成的控制指令发送给半导体制造设备前端模块控制器，同时记录接收该指令的子***模块信息，结束一次控制过程；
子***管理模块将控制指令分发给该待控制的子***模块后，继续监听和分发控制指令，实现子***模块的并行调度管理。
3)利用双向命名转换映射生成最终发给控制器的指令字符串。
如图3所示，为双向命名转换映射图，设备控制***的控制指令参数包括EFEM.FOUPA，EFEM.FOUPB，EFEM.FOUPC，EFEM.COOL，EFEM.ALIGN，EFEM.ARM1，EFEM.ARM2等，对应半导体制造设备前端模块控制器的控制指令参数为P1，P2，P3，DP101，ALIGN，ARM1，ARM2等。包括以下步骤：
创建半导体制造设备控制***的控制指令参数同半导体制造设备前端模块控制器的控制指令参数的正向转换映射表；
创建半导体制造设备前端模块控制器的控制指令参数同半导体制造设备控制***的控制指令参数的反向转换映射表；
根据接收到的控制指令，子***管理模块在正向转换映射表中查找对应的半导体制造设备前端模块控制器的控制指令参数；
由控制指令和查找到的指令参数合成最终发给控制器的指令字符串。
4)解析模块对接收到的控制器消息进行解析，将指令运行结果反馈给相应的子***模块，再由通讯接口模块反馈给半导体制造设备控制***。
如图4所示，为反馈结果接收流程图。所述反馈结果接收流程包括以下步骤：
解析模块接收到半导体制造设备前端模块控制器的反馈结果，进行解析；
解析后的结果反馈给子***管理模块，由子***管理模块在各子***模块表中查找处于等待反馈结果状态的子***模块；
在满足要求的子***模块中依据控制指令确定对应的子***模块，同时将该子***模块置成空闲状态；
通过通讯接口模块将执行结果反馈给半导体制造设备控制***。

Claims (10)

1.一种半导体制造设备前端模块的传输控制平台化实现方法，其特征在于包括以下步骤：
根据不同厂商的半导体制造设备前端模块的特点建立相应的子***管理模块、通讯接口模块、解析模块和网络通讯模块；
通讯接口模块接收到半导体制造设备控制***发送的控制指令，转发给子***管理模块；
子***管理模块对接收到的控制指令进行解析，分发给相应的子***模块，子***模块根据当前状态通过网络通讯模块向控制器发送指令，多个子***模块可并行执行控制指令；
解析模块对接收到的控制器消息进行解析，将指令运行结果反馈给相应的子***模块，再由通讯接口模块反馈给半导体制造设备控制***。
2.按权利要求1所述的半导体制造设备前端模块的传输控制平台化实现方法，其特征在于：所述子***管理模块通过以下过程建立：
根据不同厂商的半导体制造设备前端模块的特点建立相应的各子***模块，建立各自的指令表；
依据用户不同需求选择不同子***模块，生成相应的子***模块表，构成子***管理模块。
3.按权利要求1所述的半导体制造设备前端模块的传输控制平台化实现方法，其特征在于：所述通讯接口模块为根据半导体制造设备控制***的特点，建立半导体制造设备前端模块的接收控制指令和发送反馈结果的指令接口。
4.按权利要求1所述的半导体制造设备前端模块的传输控制平台化实现方法，其特征在于：所述解析模块通过以下过程建立：
根据不同厂商的半导体制造设备前端模块通讯协议建立相应的解析规则；
依据解析规则，实现半导体制造设备前端模块控制器和子***模块之间的指令及信息的有效传输。
5.按权利要求1所述的半导体制造设备前端模块的传输控制平台化实现方法，其特征在于：所述网络通讯模块为与控制器建立连接，将合成的控制指令发送给半导体制造设备前端模块控制器，同时监听其反馈结果。
6.按权利要求1所述的半导体制造设备前端模块的传输控制平台化实现方法，其特征在于：子***管理模块对接收到控制指令进行解析，分发给相应的子***模块，子***模块根据当前状态执行操作，多个子***模块可并行执行控制指令，包括以下步骤：
子***管理模块接收到控制指令，在各子***模块指令表中查找；
判断控制指令是否在子***模块指令表中查找成功；
如果查找成功，将控制指令分发给待控制的子***模块；
判断该待控制的子***模块是否处于空闲状态；
如果处于空闲状态，通过子***模块指令表，利用双向命名转换映射合成最终发给控制器的指令字符串；
通过网络通讯模块将合成的控制指令发送给半导体制造设备前端模块控制器，同时记录接收该指令的子***模块信息，结束一次控制过程；
子***管理模块将控制指令分发给该待控制的子***模块后，继续监听和分发控制指令，实现子***模块的并行调度管理。
7.按权利要求6所述的半导体制造设备前端模块的传输控制平台化实现方法，其特征在于：如果待控制的子***模块不处于空闲状态，则通过通讯接口模块向半导体制造设备控制***发送设备状态不满足结果；返回***管理模块通过接口模块接收控制指令步骤。
8.按权利要求6所述的半导体制造设备前端模块的传输控制平台化实现方法，其特征在于：如果查找指令不成功，则通过通讯接口模块向半导体制造设备控制***发送指令参数错误结果，返回***管理模块通过接口模块接收控制指令步骤。
9.按权利要求6所述的半导体制造设备前端模块的传输控制平台化实现方法，其特征在于：利用双向命名转换映射合成最终发给控制器的指令字符串，包括以下步骤：
创建半导体制造设备控制***的控制指令参数同半导体制造设备前端模块控制器的控制指令参数的正向转换映射表；
创建半导体制造设备前端模块控制器的控制指令参数同半导体制造设备控制***的控制指令参数的反向转换映射表；
根据接收到的控制指令，子***管理模块在正向转换映射表中查找对应的半导体制造设备前端模块控制器的控制指令参数；
由控制指令和查找到的指令参数生成最终发给控制器的指令字符串。
10.按权利要求1所述的半导体制造设备前端模块的传输控制平台化实现方法，其特征在于：解析模块对接收到的控制器消息进行解析，将指令运行结果反馈给相应的子***模块，再由通讯接口模块反馈给半导体制造设备控制***，包括以下步骤：
解析模块接收到半导体制造设备前端模块控制器的反馈结果，进行解析；
解析后的结果反馈给子***管理模块，由子***管理模块在各子***模块表中查找处于等待反馈结果状态的子***模块；
在满足要求的子***模块中依据控制指令确定对应的子***模块，同时将该子***模块置成空闲状态；
通过通讯接口模块将执行结果反馈给半导体制造设备控制***。
CN201010616602.1A 2010-12-30 2010-12-30 半导体制造设备前端模块的传输控制平台化实现方法 Active CN102566527B (zh)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201010616602.1A CN102566527B (zh) 2010-12-30 2010-12-30 半导体制造设备前端模块的传输控制平台化实现方法
US13/072,791 US20120173011A1 (en) 2010-12-30 2011-03-28 Implementation of Transmission and Control Platform for Equipment Front End Module of Semiconductor Production System

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201010616602.1A CN102566527B (zh) 2010-12-30 2010-12-30 半导体制造设备前端模块的传输控制平台化实现方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN102566527A true CN102566527A (zh) 2012-07-11
CN102566527B CN102566527B (zh) 2015-06-10

Family

ID=46381457

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201010616602.1A Active CN102566527B (zh) 2010-12-30 2010-12-30 半导体制造设备前端模块的传输控制平台化实现方法

Country Status (2)

Country Link
US (1) US20120173011A1 (zh)
CN (1) CN102566527B (zh)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103777618A (zh) * 2014-02-20 2014-05-07 北京七星华创电子股份有限公司 半导体工艺的指令执行的控制方法
CN104679496A (zh) * 2013-11-28 2015-06-03 中国科学院沈阳自动化研究所 一种半导体搬运***天车运动表现方法
CN105045246A (zh) * 2015-08-20 2015-11-11 京东方科技集团股份有限公司 Cim***及控制方法、生产信息化***
CN106033191A (zh) * 2015-03-16 2016-10-19 佛山市顺德区美的电热电器制造有限公司 家电设备的控制方法及装置
CN109525638A (zh) * 2018-10-15 2019-03-26 苏州创腾软件有限公司 一种实时发送实验数据的方法、电子设备和存储介质
CN109976245A (zh) * 2019-03-19 2019-07-05 珠海格力智能装备有限公司 设备型号的切换方法及装置、生产线
CN110134074A (zh) * 2018-02-02 2019-08-16 华中科技大学 一种生产线控制***及其控制方法

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104635506B (zh) * 2013-11-07 2017-06-30 中国科学院沈阳自动化研究所 一种半导体生产线搬运***设备仿真方法
CN116775255B (zh) * 2023-08-15 2023-11-21 长沙伊士格信息科技有限责任公司 一种支持广泛集成场景的全域集成***

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5469361A (en) * 1991-08-08 1995-11-21 The Board Of Regents Acting For And On Behalf Of The University Of Michigan Generic cell controlling method and apparatus for computer integrated manufacturing system
US5561770A (en) * 1992-06-12 1996-10-01 The Dow Chemical Company System and method for determining whether to transmit command to control computer by checking status of enable indicator associated with variable identified in the command
US20040210348A1 (en) * 2003-04-04 2004-10-21 Raphael Imhof Building system with network operation monitoring
US20060161688A1 (en) * 2004-12-29 2006-07-20 Danfeng Hong Systems and methods for efficient operations of components in a wireless communications device
CN1873570A (zh) * 2006-05-25 2006-12-06 天津大学 模块化可重构的网络化开放式数控***
US20080155448A1 (en) * 2003-11-10 2008-06-26 Pannese Patrick D Methods and systems for controlling a semiconductor fabrication process
CN101236412A (zh) * 2008-02-27 2008-08-06 浙江工业大学 通用监控***的界面控制***
US20100106278A1 (en) * 2005-10-14 2010-04-29 Globalfoundries Inc. Product-related feedback for process control
CN101893875A (zh) * 2009-05-18 2010-11-24 中国石化集团南京化学工业有限公司 基于状态的机械设备一体化综合管理***

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3223355B2 (ja) * 1998-11-12 2001-10-29 株式会社エヌ・ティ・ティ・ドコモ 通信制御方法、通信制御装置、記録媒体およびデータ端末
AU5025600A (en) * 1999-05-17 2000-12-05 Foxboro Company, The Process control configuration system with parameterized objects
US6671570B2 (en) * 2000-10-17 2003-12-30 Brooks Automation, Inc. System and method for automated monitoring and assessment of fabrication facility
US7031783B2 (en) * 2001-06-29 2006-04-18 Agilent Technologies, Inc. Virtualized generic equipment model data and control router for factory automation
WO2004044596A2 (en) * 2002-11-12 2004-05-27 Fei Company Defect analyzer
US7171190B2 (en) * 2003-06-25 2007-01-30 Oracle International Corporation Intelligent messaging
US7516244B2 (en) * 2003-07-02 2009-04-07 Caterpillar Inc. Systems and methods for providing server operations in a work machine
EP1889163A1 (en) * 2005-05-27 2008-02-20 Delphi Technologies, Inc. System and method for bypassing execution of an algorithm
JP2007156779A (ja) * 2005-12-05 2007-06-21 Hitachi Ltd センサネットシステム、基地局及びセンシングデータの中継方法
US7720560B2 (en) * 2007-07-26 2010-05-18 International Business Machines Corporation Semiconductor manufacturing process monitoring
US20100162265A1 (en) * 2008-12-23 2010-06-24 Marco Heddes System-On-A-Chip Employing A Network Of Nodes That Utilize Logical Channels And Logical Mux Channels For Communicating Messages Therebetween
US8127060B2 (en) * 2009-05-29 2012-02-28 Invensys Systems, Inc Methods and apparatus for control configuration with control objects that are fieldbus protocol-aware

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5469361A (en) * 1991-08-08 1995-11-21 The Board Of Regents Acting For And On Behalf Of The University Of Michigan Generic cell controlling method and apparatus for computer integrated manufacturing system
US5561770A (en) * 1992-06-12 1996-10-01 The Dow Chemical Company System and method for determining whether to transmit command to control computer by checking status of enable indicator associated with variable identified in the command
US20040210348A1 (en) * 2003-04-04 2004-10-21 Raphael Imhof Building system with network operation monitoring
US20080155448A1 (en) * 2003-11-10 2008-06-26 Pannese Patrick D Methods and systems for controlling a semiconductor fabrication process
US20060161688A1 (en) * 2004-12-29 2006-07-20 Danfeng Hong Systems and methods for efficient operations of components in a wireless communications device
US20100106278A1 (en) * 2005-10-14 2010-04-29 Globalfoundries Inc. Product-related feedback for process control
CN1873570A (zh) * 2006-05-25 2006-12-06 天津大学 模块化可重构的网络化开放式数控***
CN101236412A (zh) * 2008-02-27 2008-08-06 浙江工业大学 通用监控***的界面控制***
CN101893875A (zh) * 2009-05-18 2010-11-24 中国石化集团南京化学工业有限公司 基于状态的机械设备一体化综合管理***

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104679496A (zh) * 2013-11-28 2015-06-03 中国科学院沈阳自动化研究所 一种半导体搬运***天车运动表现方法
CN104679496B (zh) * 2013-11-28 2017-09-22 中国科学院沈阳自动化研究所 一种半导体搬运***天车运动表现方法
CN103777618A (zh) * 2014-02-20 2014-05-07 北京七星华创电子股份有限公司 半导体工艺的指令执行的控制方法
CN106033191A (zh) * 2015-03-16 2016-10-19 佛山市顺德区美的电热电器制造有限公司 家电设备的控制方法及装置
CN106033191B (zh) * 2015-03-16 2019-07-02 佛山市顺德区美的电热电器制造有限公司 家电设备的控制方法及装置
CN105045246A (zh) * 2015-08-20 2015-11-11 京东方科技集团股份有限公司 Cim***及控制方法、生产信息化***
CN105045246B (zh) * 2015-08-20 2017-12-29 京东方科技集团股份有限公司 Cim***及控制方法、生产信息化***
CN110134074A (zh) * 2018-02-02 2019-08-16 华中科技大学 一种生产线控制***及其控制方法
CN109525638A (zh) * 2018-10-15 2019-03-26 苏州创腾软件有限公司 一种实时发送实验数据的方法、电子设备和存储介质
CN109525638B (zh) * 2018-10-15 2022-04-15 苏州创腾软件有限公司 一种实时发送实验数据的方法、电子设备和存储介质
CN109976245A (zh) * 2019-03-19 2019-07-05 珠海格力智能装备有限公司 设备型号的切换方法及装置、生产线
CN109976245B (zh) * 2019-03-19 2021-09-03 珠海格力智能装备有限公司 设备型号的切换方法及装置、生产线

Also Published As

Publication number Publication date
US20120173011A1 (en) 2012-07-05
CN102566527B (zh) 2015-06-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102566527B (zh) 半导体制造设备前端模块的传输控制平台化实现方法
CN102811452B (zh) 一种分布式无线网关***及通信方法
CN102945597B (zh) 可更新的红外转发***及其更新方法
CN105607626B (zh) 一种输送机分布式控制***及控制方法
CN1832610A (zh) 移动通信***中远程子***升级的方法
CN202159138U (zh) 基于网络的分布式雷达监控***
CN1901727A (zh) 实现天线设备集中管理的***及方法
CN113540954A (zh) 一种激光器及总线型激光控制***
CN104378137A (zh) 中继器及其信息传输方法
CN109769237A (zh) 一种基于蓝牙和Lora双模式升级的方法及***
CN104636986A (zh) 一种基于服务的调度远程安全遥控校核的方法
CN108081265B (zh) 机器人、机器人控制***、控制方法、控制装置及介质
CN102246469B (zh) 数据传送方法、设备、***及通信维持处理电路
US20180147722A1 (en) Method and system for managing wireless networking of units inside robot
CN105306442A (zh) 代理服务器及其指令传输方法
CN205354070U (zh) 一种基于以太网供电的晶圆传送装置无线射频读写器
CN201322872Y (zh) 用于自动化电力***的智能通讯管理装置
CN212331053U (zh) 一种机器人联网的电路
CN111049939A (zh) 本地协议配置的远程调试***、方法及电子设备
CN105871559A (zh) 交换机供电控制方法及控制装置
CN105159219A (zh) 一种工业微波电源的集中控制***
CN201919011U (zh) 智能电源控制装置
CN112135369A (zh) 一种基于多组模块的无线物联网智能网关
CN110798390A (zh) 一种用于海底观测网供配电***的通讯***及通讯方法
CN104796268A (zh) 管理和保障通信顺畅的供电控制方法、装置和***

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant