CN102557410A - 制造并密封真空玻璃中排气口的方法及*** - Google Patents

Abstract

一种制造并密封真空玻璃中排气口的方法，利用激光直接在平板玻璃中逐层三维雕刻形成排气口，利用激光在玻璃块上三维雕刻形成玻璃密封塞，在塞体与排气口之间敷设密封剂，然后利用激光对塞体与排气口进行焊接密封。一种制造并密封真空玻璃中排气口的***，包括激光雕刻装置、激光焊接装置、真空吸盘和玻璃密封塞安装装置，激光雕刻装置由激光器、激光电源控制器和第一振镜***以及计算机构成，激光焊接装置由一个激光***和第二振镜***构成，真空吸盘通过连接管与一个真空泵相连，真空吸盘的顶部设置有电磁线圈，玻璃密封塞安装装置由磁铁驱动装置构成。密合精度高，无表面凸起，提高了真空密封性能和安全性能。易于在线实施，提高了工作效率。

Description

制造并密封真空玻璃中排气口的方法及***

技术领域：

本发明涉及物理领域，尤其涉及光学技术，特别涉及激光加工技术，具体的是一种制造并密封真空玻璃中排气口的方法及***。

背景技术：

真空平板玻璃具有优良的绝热性和隔声性能，比目前广泛使用的中空玻璃好很多，是最好的节能玻璃。真空平板玻璃是将四周焊接密封的两块玻璃间的间隙抽成真空状态来制成的。两块玻璃间的空隙很小，只有0.1～0.3mm，为使玻璃在真空状态下能承受外界大气压力，需在两块玻璃之间放有许多支撑物，目前国内外生产的真空玻璃中的支撑物直径为0.3～0.6mm，用金属片制作，外形有圆形、环形、C形、方形等，一般情况下对玻璃透光性能没有影响。

1913年，就有了第一个平板真空玻璃专利申请，但因种种原因没有实现产业化。这一技术最早在上世纪末在日本板硝子公司得以产业化，在国内科技人员努力下，真空玻璃技术在中国取得很多突破性的进展，以北京新立基为先导，使中国真空玻璃产业化发展处于领先地位，可以预见的是真空玻璃将在建筑，节能家电，平板太阳能、铁路飞机船舶制造等许多领域得到广泛应用。真空平板玻璃质量主要取决于下列因素：封边质量；排气口密封；吸气剂的选择等。相关的数据表明，目前真空玻璃使用寿命已经可以达到25年以上。

现有技术中，通常将一段细玻璃管作为抽气通道对真空玻璃进行抽真空，抽完真空后，再将细玻璃管加热熔封。这种抽气密封方法具有可靠性高的优点，新立基、亨达和日本板硝子至今采用此封口设计。但熔封后细玻璃管的封口部位会突出于平板玻璃的表面之上。为了保护易于损坏的抽气口，必须安置保护帽加以保护。这样真空玻璃的表面出现突出物，不仅在搬运、安装、擦拭过程中易损坏，而且影响真空玻璃美观。另外，该技术无法在小于2mm的平板玻璃中使用。

现有技术中，为了解决抽气孔密封凸口问题，进行了许多研究，如现有专利：专利“以微珠为支撑物抽气口多层密封的真空玻璃”(CN200620166649.1)，在真空玻璃制造过程中，通过设置在真空室中的注入设备完成真空玻璃的抽空操作后适时注入固体封堵物、密封剂、弹性密封层和铝箔保护膜，形成抽气口的多层密封，操作工艺复杂，对于超薄玻璃更是无法实现。另外，密封材料膨胀系数不同，会造成真空密封效果差。

专利“真空玻璃”(CN02214441.2)，专利“真空玻璃排气通孔封口装置”(CN02253744.9)，直接使用密封剂封住排气口，工艺虽然简单，但密封效果更差，易漏气，无法长期应用。

发明内容：

本发明的目的在于提供一种制造并密封真空玻璃中排气口的方法，所述的这种制造并密封真空玻璃中排气口的方法要解决现有技术中真空玻璃排气口密封口易损坏、影响美观、密封效果差的技术问题。

本发明的这种制造并密封真空玻璃中排气口的方法包括一个在真空玻璃中制作排气口的过程、一个制作玻璃密封塞的过程和一个利用所述的玻璃密封塞密封所述的排气口的过程，在所述的在真空玻璃中制作排气口的过程中，利用激光直接在平板玻璃中逐层三维雕刻形成通孔，在所述的制作玻璃密封塞的过程中，利用激光在玻璃块上三维雕刻形成塞体，所述的塞体的形状与所述的通孔的形状匹配，在所述的利用玻璃密封塞密封排气口的过程中，将塞体放入通孔内，然后利用激光对塞体与通孔进行焊接密封，在制作玻璃密封塞的过程中，在塞体表面敷设密封剂，或者在利用玻璃密封塞密封排气口的过程中，在塞体与通孔之间敷设密封剂。

进一步的，在所述的在真空玻璃中制作排气口的过程中，激光的波长范围在200nm到2000nm之间，激光的脉冲宽度在0.1ns和100ns之间。

进一步的，构成玻璃密封塞的玻璃的物理性能与构成真空玻璃的玻璃的物理性能相同或者接近。

进一步的，所述的排气口的轴向截面形状是锥型、或者T型、或者楔型，所述的玻璃密封塞的轴向截面形状相应地为锥型、或者T型、或者楔型。

进一步的，所述的密封剂是低熔点金属合金、或者低熔点玻璃微粉。

进一步的，所述的密封剂是锡锌合金、或者氧化硼-氧化钛-氧化锌玻璃微粉。

进一步的，在所述的制作玻璃密封塞的过程完成之后，将所述的低熔点金属合金、或者低熔点玻璃微粉利用镀膜或喷涂方法直接成膜于玻璃密封塞表面。

进一步的，在所述的利用玻璃密封塞密封排气口的过程中，将激光从真空玻璃的背面透过玻璃在真空状态下焊接密封排气口。

进一步的，在所述的利用玻璃密封塞密封排气口的过程中，用于焊接的激光选用特定波长，波长范围300nm到2500nm。

进一步的，在所述的利用玻璃密封塞密封排气口的过程中，以真空玻璃排气口为中心在真空玻璃上设置一个真空吸盘，在所述的真空吸盘的顶部设置一个电磁线圈，将玻璃密封塞胶合安装在一个磁棒的下端，将磁棒和玻璃密封塞设置在真空吸盘的内腔中，将玻璃密封塞对准排气口，利用真空吸盘对排气口产生真空，利用电磁线圈通电驱动磁棒向下运动，使玻璃密封塞准确塞入排气口中。

进一步的，在所述的利用玻璃密封塞密封排气口的过程中，利用一个振镜***控制焊接激光束沿密封路径高速运动，均匀加热密封剂，减少热应力。

本发明还提供了一种实现上述制造并密封真空玻璃中排气口的方法的***，所述的这种***包括激光雕刻装置、激光焊接装置、真空吸盘和玻璃密封塞安装装置，其中，所述的激光雕刻装置由激光器、激光电源控制器和第一振镜***以及计算机构成，所述的激光焊接装置由一个激光***和第二振镜***构成，所述的真空吸盘内侧设置有空腔，所述的玻璃密封塞安装装置由一个支架和一个磁棒构成，所述的磁棒通过滑动副与所述的支架连接，玻璃密封塞安装装置设置在真空吸盘内侧的空腔中，真空吸盘通过连接管与一个真空泵相连，真空吸盘的顶部设置有电磁线圈，所述的激光焊接装置设置在真空吸盘和玻璃密封塞安装装置的下方。

进一步的，所述的真空吸盘由不锈钢材料制成，真空吸盘的底部周边设置有真空橡皮密封。

本发明的工作原理是：首先，利用激光雕刻设备直接在平板玻璃中一层层进行三维雕刻加工，激光光束在玻璃内部进行聚焦，造成多光子电离损伤破坏，从而一层层剥落玻璃材料，形成所需要的三维立体结构的排气口。该技术最大的优势在于，钻孔的截面能根据钻孔的深度不断变化，钻孔的任何长宽比也能自己设定。尤其适合深度钻孔、异型孔、高精度微孔和超薄玻璃钻孔。经过进一步研究发现激光波长越短，激光脉冲宽度越短，开口质量越好。

其次，利用激光雕刻设备同样直接在其它平板玻璃中一层层进行三维雕刻加工，完成同种型状玻璃封塞加工。不同于激光开孔，激光雕刻玻璃封塞，如同凸雕一般刻蚀玻璃其他部分，最终形成玻璃密封塞。

最后，用这个型状完全匹配的玻璃密封塞，通过激光和密封剂精密密封真空玻璃排气口。

具体的，制造玻璃密封塞的玻璃物理性能与真空玻璃的玻璃物理性能接近，最好采用同种玻璃。

具体的，排气口可以为锥型、T型和锲型等型状。所述的玻璃密封塞的型状为相应的锥型、T型和锲型等型状。

具体的，低熔点金属合金或者低熔点玻璃微粉等适合真空环境中材料可被用作密封剂，它们可以是锡锌合金、氧化硼-氧化钛-氧化锌玻璃微粉等。

具体的，低熔点金属合金或者低熔点玻璃微粉利用超声沉积技术、真空镀膜技术或者喷涂技术直接成膜于玻璃密封塞表面，这样易于下一步的大规模自动化密封操作。

具体的，用于焊接激光从真空玻璃背面透过玻璃在真空状态下焊接密封排气口，密封材料不氧化，焊接质量高，而且激光焊接产生的热影响区小。

具体的，用于焊接的激光选用特定波长，使真空玻璃对它吸收小而密封材料大，从而迅速有效地加热密封剂，实现选择性吸收焊接。

具体的，利用激光焊接装置、真空吸盘和玻璃密封塞安装装置完成排气孔密封，过程如下：玻璃密封塞安装装置以真空玻璃排气口为中心被安装在真空玻璃上，在玻璃密封塞安装装置中间安装有磁棒，玻璃密封塞则通过胶合安装在磁棒下端，真空吸盘也以真空玻璃排气口为中心罩住玻璃密封塞安装装置抽取真空，激光焊接装置位于真空玻璃反面，与真空吸盘和玻璃密封塞安装装置相对。当真空玻璃抽取真空完毕，设在真空吸盘顶部的电磁线圈通电，玻璃密封塞安装装置中磁棒向下运动，使玻璃密封塞准确塞入排气口中，然后激光焊接装置启动，激光在焊接时，通过振镜***控制激光束高速沿着密封路径运动，均匀加热密封剂，减少热应力。另外激光是从真空玻璃背面透过玻璃焊接密封排气口的。激光焊接在真空下完成，密封材料不氧化，焊接质量高，而且激光焊接产生的热影响区小。

具体的，本发明中所述的激光雕刻装置、激光焊接装置、激光器、激光电源控制器、第一振镜***、激光***和第二振镜***均可采用现有技术中的公知方案，有关上述公知技术方案，本领域的技术人员均已了解，在此不再赘述。

本发明和已有技术相比较，其效果是积极和明显的。本发明利用激光在真空玻璃中加工特殊型状的排气口，同时利用激光加工与该型状完全匹配的玻璃密封塞，利用配对玻璃密封塞，通过激光和密封剂精密密封真空玻璃排气口，密合精度高，无表面凸起，大大提高了真空密封性能和安全性能。本发明易于在生产线集成通过计算机控制激光雕刻机实施，可以不需要任何辅料加工排气孔和密封玻璃塞。另外由于排气口和密封塞为同种材料精密配对生产，密合精度高，大大提高了真空密封性能。而且密封材料是直接成膜于玻璃密封塞上，成功满足现场要求的在线安装，提供安全、快捷和低成本的加工生产，提高了工作效率。

附图说明：

图1是本发明一个实施例中的真空玻璃中排气口和玻璃密封塞的示意图。

图2是本发明另一个实施例中的真空玻璃中排气口和玻璃密封塞的示意图。

图3是本发明中的制造并密封真空玻璃中排气口的***的示意图。

图4是本发明中的激光雕刻装置的示意图

图5是本发明一个实施例中的玻璃密封塞的外形图。

具体实施方式：

实施例1：

如图1、图2、图3、图4和图5所示，本发明的制造并密封真空玻璃中排气口3的方法，包括一个在真空玻璃中制作排气口3的过程、一个制作玻璃密封塞4的过程和一个利用所述的玻璃密封塞4密封所述的排气口3的过程，在所述的在真空玻璃中制作排气口3的过程中，利用激光直接在平板玻璃中逐层三维雕刻形成通孔，在所述的制作玻璃密封塞4的过程中，利用激光在玻璃块上三维雕刻形成塞体，所述的塞体的形状与所述的通孔的形状匹配，在所述的利用玻璃密封塞4密封排气口3的过程中，将塞体放入通孔内，在塞体与通孔之间敷设密封剂5，然后利用激光对塞体与通孔进行焊接密封。

进一步的，在所述的在真空玻璃中制作排气口3的过程中，激光的波长范围在200nm到2000nm之间，激光的脉冲宽度在0.1ns和100ns之间。

进一步的，构成玻璃密封塞4的玻璃的物理性能与构成真空玻璃的玻璃的物理性能相同或者接近。

进一步的，所述的排气口3的轴向截面形状是锥型、或者T型、或者楔型，所述的玻璃密封塞4的轴向截面形状相应地为锥型、或者T型、或者楔型。如图5所示，玻璃密封塞4的轴向截面形状为T型。

进一步的，所述的密封剂5是低熔点金属合金、或者低熔点玻璃微粉。

进一步的，所述的密封剂5是锡锌合金、或者氧化硼-氧化钛-氧化锌玻璃微粉。

进一步的，在所述的制作玻璃密封塞4的过程完成之后，将所述的低熔点金属合金、或者低熔点玻璃微粉利用镀膜或喷涂方法直接成膜于玻璃密封塞4表面。

进一步的，在所述的利用玻璃密封塞4密封排气口3的过程中，将激光从真空玻璃的背面透过玻璃在真空状态下焊接密封排气口3。

进一步的，在所述的利用玻璃密封塞4密封排气口3的过程中，用于焊接的激光选用特定波长，波长范围300nm到2500nm。

进一步的，在所述的利用玻璃密封塞4密封排气口3的过程中，以真空玻璃排气口3为中心在真空玻璃上设置一个真空吸盘12，在所述的真空吸盘12的顶部设置一个电磁线圈11，将玻璃密封塞4胶合安装在一个磁棒8的下端，将磁棒8和玻璃密封塞4设置在真空吸盘12的内腔中，将玻璃密封塞4对准排气口3，利用真空吸盘12对排气口3产生真空，利用电磁线圈11通电驱动磁棒8向下运动，使玻璃密封塞4准确塞入排气口3中。

进一步的，在所述的利用玻璃密封塞4密封排气口3的过程中，利用一个振镜***15控制焊接激光束沿密封路径高速运动，均匀加热密封剂5，减少热应力。

本发明还提供了一种实现上述方法的***，所述的这种***包括激光雕刻装置18、激光焊接装置16、真空吸盘12和玻璃密封塞安装装置7，其中，所述的激光雕刻装置18由激光器19、激光电源控制器22和第一振镜***20以及计算机21构成，所述的激光焊接装置16由一个激光***17和第二振镜***15构成，所述的真空吸盘12内侧设置有空腔，所述的玻璃密封塞安装装置7由一个支架和一个磁棒8构成，所述的磁棒8通过滑动副与所述的支架连接，玻璃密封塞安装装置7设置在真空吸盘12内侧的空腔中，真空吸盘12通过连接管10与一个真空泵9相连，真空吸盘12的顶部设置有电磁线圈11，所述的激光焊接装置16设置在真空吸盘12和玻璃密封塞安装装置7的下方。

进一步的，所述的真空吸盘12由不锈钢材料制成，真空吸盘12的底部周边设置有真空橡皮密封环13。

在本发明的实施例中：首先，利用激光雕刻装置18(本实施例中选用半导体泵浦脉冲激光器，脉宽小于20ns，波长532纳米)直接在平板玻璃1中一层层进行三维雕刻加工排气口3，激光光束在玻璃内部进行聚焦，通过玻璃对激光产生极强的吸收，造成多光子电离损伤破坏，从而使透明材料的体内形成损伤，一层层剥落玻璃材料，形成所需要的三维立体结构的排气口3。然后将平板玻璃1与另一块平板玻璃6通过圆形支撑物2合在一起，四周密封形成真空腔，两块玻璃间的空隙很小，只有0.15mm。由于本***采用短脉冲短波长激光精细雕刻，聚焦后的极细激光将材料表面逐点去除。使得激光雕刻所形成的刻蚀点只有微米量级，不会损坏被加工载体。

其次，利用激光雕刻装置18同样直接在其它平板玻璃中一层层进行三维雕刻加工，一层层剥落玻璃材料其他部分，生成与排气口3型状对应的三维玻璃密封塞4，完成同种型状玻璃密封塞4的加工。不同于激光开孔，激光雕刻玻璃密封塞4，如同凸雕一般刻蚀玻璃其他部分，最终形成玻璃密封塞4。由于开孔和玻璃密封塞4加工都由激光完成，匹配精度高，表面质量好。

利用已有技术，如超声沉积技术、真空镀膜技术或者喷涂技术等把低熔点金属合金或者低熔点玻璃微粉等适合真空环境使用的材料，成膜于玻璃密封塞4表面，这样易于下一步的大规模自动化密封操作。

最后，用这个型状完全匹配的玻璃密封塞4，通过焊接激光装置16和密封剂5精密密封真空玻璃排气口3。

利用激光焊接装置16、真空吸盘12和玻璃密封塞安装装置7完成排气孔密封，过程如下：玻璃密封塞安装装置7以真空玻璃排气口3为中心被安装在真空玻璃上，在玻璃密封塞安装装置7中间安装有磁棒8，玻璃密封塞4则通过胶合安装在磁棒8下端，真空吸盘12也以真空玻璃排气口3为中心罩住玻璃密封塞安装装置7抽取真空，激光焊接装置16位于真空玻璃反面，与真空吸盘12和玻璃密封塞安装装置7相对。当真空玻璃抽取真空完毕，设在真空吸盘12顶部的电磁线圈11通电，玻璃密封塞安装装置7中磁棒8向下运动，使玻璃密封塞4准确塞入排气口3中，然后激光焊接装置16启动，激光在焊接时，通过振镜***控制激光束高速沿着密封路径运动，均匀加热密封剂5，减少热应力。另外激光是从真空玻璃背面透过玻璃焊接密封排气口3的。激光焊接在真空下完成，密封材料不氧化，焊接质量高，而且激光焊接产生的热影响区小。

具体的，制造玻璃密封塞4的玻璃物理性能与平板玻璃1的物理性能接近，最好采用同种玻璃。

具体的，特殊型状的排气口3，可以是锥型、T型和锲型等型状。所述的玻璃密封塞4型状为相对应的锥型、T型和锲型等型状。

具体的，低熔点金属合金或者低熔点玻璃微粉等适合真空环境中材料被用作密封剂5，它们可以是锡锌合金、氧化硼-氧化钛-氧化锌玻璃微粉等。本实施例中使用锡锌合金，质量含量比锡：91.2％，锌8.8％，合金熔点大约200度。

具体的，锡锌合金密封剂5利用镀膜或喷涂等方法直接成膜于玻璃密封塞4表面，这样易于下一步的大规模自动化密封操作。

具体的，激光14由激光***17发出，通过振镜***15从真空玻璃背面透过平板玻璃6焊接密封排气口3。由于在真空中焊接，密封材料不氧化，焊接质量高，而且激光焊接产生的热影响区小。

具体的，用于焊接的激光选用特定波长，使真空玻璃对它吸收小而密封材料大，从而实现选择性吸收焊接，本实施例中采用100W光纤激光器，激光波长为1064纳米。

具体的，本实施例中，制造并密封真空玻璃中排气口3的***由激光雕刻装置18、激光焊接装置16、真空吸盘12和玻璃密封塞安装装置7构成，激光雕刻装置18由一个激光器19、激光电源控制器22和振镜***20以及计算机21构成，激光焊接装置16由一个激光***17和振镜***15构成，激光***17中的激光性能与激光雕刻装置18中的激光性能不同，真空吸盘12通过连接管10与真空泵9相连，顶部带有电磁线圈11，玻璃密封塞安装装置7根据磁铁驱动原理设计，中间安装有磁棒8。

具体的，真空吸盘12由不锈钢材料制成，底部带有真空橡皮密封环13，上部是通过连接管10与真空泵9相连，

具体的，真空吸盘12顶部带有电磁线圈11，通电后可以产生磁力。

具体的，玻璃密封塞安装装置7以真空玻璃排气口3为中心被安装在真空玻璃中平板玻璃1上，可以方便的与平板玻璃1胶合分离。在玻璃密封塞安装装置7中间安装有磁棒8，玻璃密封塞4则通过胶合安装在磁棒8下端，并对准排气口3，当安装在真空吸盘12顶部的电磁线圈11通电后，驱动磁棒8向下运动，使玻璃密封塞4准确塞入排气口3中。

再具体的，激光在焊接时是通过振镜***15控制激光束14高速沿着密封路径运动，均匀加热密封剂5，减少热应力。

以上是本发明的较佳实施例，凡依本发明技术方案所作的改变，所产生的功能作用未超出本发明技术方案的范围时，均属于本发明的保护范围。

Claims (13)

1.一种制造并密封真空玻璃中排气口的方法，其特征在于：所述的方法包括一个在真空玻璃中制作排气口的过程、一个制作玻璃密封塞的过程和一个利用所述的玻璃密封塞密封所述的排气口的过程，在所述的在真空玻璃中制作排气口的过程中，利用激光直接在平板玻璃中逐层三维雕刻形成通孔，在所述的制作玻璃密封塞的过程中，利用激光在玻璃块上三维雕刻形成塞体，所述的塞体的形状与所述的通孔的形状匹配，在所述的利用玻璃密封塞密封排气口的过程中，将塞体放入通孔内，然后利用激光对塞体与通孔进行焊接密封，在制作玻璃密封塞的过程中，在塞体表面敷设密封剂，或者在利用玻璃密封塞密封排气口的过程中，在塞体与通孔之间敷设密封剂。

2.如权利要求1所述的制造并密封真空玻璃中排气口的方法，其特征在于：在所述的在真空玻璃中制作排气口的过程中，激光的波长范围在200nm到2000nm之间，激光的脉冲宽度在0.1ns和100ns之间。

3.如权利要求1所述的制造并密封真空玻璃中排气口的方法，其特征在于：构成玻璃密封塞的玻璃的物理性能与构成真空玻璃的玻璃的物理性能相同或者接近。

4.如权利要求1所述的制造并密封真空玻璃中排气口的方法，其特征在于：所述的排气口的轴向截面形状是锥型、或者T型、或者楔型，所述的玻璃密封塞的轴向截面形状相应地为锥型、或者T型、或者楔型。

5.如权利要求1所述的制造并密封真空玻璃中排气口的方法，其特征在于：所述的密封剂是低熔点金属合金、或者低熔点玻璃微粉。

6.如权利要求5所述的制造并密封真空玻璃中排气口的方法，其特征在于：所述的密封剂是锡锌合金、或者氧化硼-氧化钛-氧化锌玻璃微粉。

7.如权利要求5所述的制造并密封真空玻璃中排气口的方法，其特征在于：在所述的制作玻璃密封塞的过程完成之后，将所述的低熔点金属合金、或者低熔点玻璃微粉利用镀膜或喷涂方法直接成膜于玻璃密封塞表面。

8.如权利要求1所述的制造并密封真空玻璃中排气口的方法，其特征在于：在所述的利用玻璃密封塞密封排气口的过程中，将激光从真空玻璃的背面透过玻璃在真空状态下焊接密封排气口。

9.如权利要求1所述的制造并密封真空玻璃中排气口的方法，其特征在于：在所述的利用玻璃密封塞密封排气口的过程中，用于焊接的激光的波长范围是300nm到2500nm。

10.如权利要求1所述的制造并密封真空玻璃中排气口的方法，其特征在于：在所述的利用玻璃密封塞密封排气口的过程中，以真空玻璃排气口为中心在真空玻璃上设置一个真空吸盘，在所述的真空吸盘的顶部设置一个电磁线圈，将玻璃密封塞胶合安装在一个磁棒的下端，将磁棒和玻璃密封塞设置在真空吸盘的内腔中，将玻璃密封塞对准排气口，利用真空吸盘对排气口产生真空，利用电磁线圈通电驱动磁棒向下运动，使玻璃密封塞准确塞入排气口中。

11.如权利要求1所述的制造并密封真空玻璃中排气口的方法，其特征在于：在所述的利用玻璃密封塞密封排气口的过程中，利用一个振镜***控制焊接激光束沿密封路径高速运动，均匀加热密封剂，减少热应力。

12.一种实现如权利要求1所述的制造并密封真空玻璃中排气口的方法的***，包括激光雕刻装置、激光焊接装置、真空吸盘和玻璃密封塞安装装置，其特征在于：所述的激光雕刻装置由激光器、激光电源控制器和第一振镜***以及计算机构成，所述的激光焊接装置由一个激光***和第二振镜***构成，所述的真空吸盘内侧设置有空腔，所述的玻璃密封塞安装装置由一个支架和一个磁棒构成，所述的磁棒通过滑动副与所述的支架连接，玻璃密封塞安装装置设置在真空吸盘内侧的空腔中，真空吸盘通过连接管与一个真空泵相连，真空吸盘的顶部设置有电磁线圈，所述的激光焊接装置设置在真空吸盘和玻璃密封塞安装装置的下方。

13.如权利要求12所述的制造并密封真空玻璃中排气口的***，其特征在于：所述的真空吸盘由不锈钢材料制成，真空吸盘的底部周边设置有真空橡皮密封环。

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