CN102554709A

CN102554709A - 距离测量***和方法

Info

Publication number: CN102554709A
Application number: CN2010106012466A
Authority: CN
Inventors: 万新军; 宋桂菊; 凯文·G·哈丁; 徐书宽; 史蒂文·R·哈亚西; 罗伯特·W·泰特; 詹姆士·J·霍夫曼; 查尔斯·麦契摩; 马修·格鲁森坎普
Original assignee: General Electric Co
Current assignee: General Electric Co
Priority date: 2010-12-10
Filing date: 2010-12-10
Publication date: 2012-07-11
Also published as: US20120149281A1; EP2463617A1; CA2761352A1

Abstract

本发明涉及一种距离测量***和方法。该距离测量***包括用来产生光线光学距离传感装置、第一光学模组及处理装置。该第一光学模组可用来接收所述光线并产生具有不同光通道的光线；可选择性的传输所述具有不同光通道的光线到物体上相应的点上以产生从所述物体上相应的点散射形成的反射光线及捕获并传输所述反射光线到所述光学距离传感装置以获取到所述物体上相应的点的距离数据。该处理装置可用来处理所述距离数据以获取到所述物体上相应的点的位置信息的处理装置。

Description

距离测量***和方法

技术领域

本发明涉及一种测量***和方法，尤其涉及一种用来测量到物体上点的距离的距离测量***和方法。

背景技术

加工***，如计算机数控(Computer Numerical Controlled，CNC)机床(或称为加工中心)，被广泛用于加工工件。在加工过程中，尺寸，如到加工工件上期望的点的距离常需要进行测量，从而便于加工***适时调整加工参数进行后续的加工。对加工工件的尺寸进行测量可确保该工件具有适当的架构或形状从而来实现适当的性能。

目前，已经有多种尝试措施来测量物体的尺寸从而来确定该物体是否被正确的加工而具有期望的尺寸。比如，一些现有的坐标测量装置(CoordinateMeasurement Machines，CMM)被用来测量物体的尺寸。然而，坐标测量装质测量物体常是离线进行的，这样，为了测量物体的尺寸，物体的加工过程就常需要暂停以便将物体安装于坐标测量装置上来进行测量。

测量结束后，物体的加工过程可基于测量的结果而重新开始。然而，对于精密物体，由于把该物体重新安装到加工机床上而重新定位常产生误差，所以利用此种把物体从加工机床上卸载测量，然后再重新安装的测量方式是不实用的。另外，这样的测量也常需要进行多次才能使物体被加工到期望的尺寸，从而导致生产率和加工质量较低而且耗时。

在现有的一些应用中，触摸探针被用来测量物体的尺寸。在测量过程中，触摸探针并不直接测量物体，而是通过触发以利用加工机床上自身的尺规来完成测量。由于物体是安装在加工机床上完成测量的，所以不存在需要重新安装物体而导致的误差。然而，尽管由于通过触摸探针进行测量不需要将物体从加工设备上拆卸下来而提高了生产率，但是由于触摸探针需要相对长的运动时间以在物体上完成探测，该方式仍然比较耗时。

所以，需要提供一种新的可测量到物体上点的距离的距离测量***和方法。

发明内容

本发明的一个实施例提供了一种距离测量***。该距离测量***包括用来产生光线光学距离传感装置、第一光学模组及处理装置。该第一光学模组可用来接收所述光线并产生具有不同光通道的光线；可选择性的传输所述具有不同光通道的光线到物体上相应的点上以产生从所述物体上相应的点散射形成的反射光线及捕获并传输所述反射光线到所述光学距离传感装置以获取到所述物体上相应的点的距离数据。该处理装置可用来处理所述距离数据以获取到所述物体上相应的点的位置信息的处理装置。

本发明另一个实施例提供了一种距离测量方法。该距离测量方法包括传输光学距离传感装置产生的光线到第一光学模组；产生并可选择性的传输具有不同光通道的光线到物体上相应的点上以产生从所述物体上相应的点散射形成的反射光线；捕获并传输所述反射光线到所述光学距离传感装置以获取到所述物体上相应的点的距离数据；及处理所述距离数据以获取到所述物体上相应的点的位置信息

附图说明

通过结合附图对于本发明的实施例进行描述，可以更好地理解本发明，在附图中：

图1为本发明距离测量***的一个实施例的示意图；

图2为本发明距离测量***的激光三角测量传感器的一个实施例的示意图；

图3到图4为本发明距离测量***的第一光学模组的两个实施例的示意图；

图5为本发明距离测量***的第二光学模组的一个实施例的示意图；

图6为本发明距离测量***的第三光学模组的一个实施例的示意图；及

图7到图11为本发明距离测量***测量到物体上点的距离的多个实施例的示意图。

具体实施方式

图1所示为本发明距离测量***10的一个实施例的示意图。该距离测量***10可用来测量位置信息，如到物体100上点的距离和/或物体100上两点之间的距离。如图1所示，距离测量***10包括光学距离传感装置11，第一光学模组12和处理装置13。

在一些实施例中，光学距离传感装置11具有离岸距离(Standoff Distance)d1和测量范围(Measurement Range)d2，其用来测量到位于测量范围d2内的物体上的点的距离。在本发明实施例中，光学距离传感装置11可用来产生光线14并把其投射到物体100上的点(未标注)上，而且其可接收来自物体100上的点所散射的反射光线，从而获得到物体100上点的位置信息，比如到该点的距离。为了便于说明，尽管在本发明实施例中仅图示了一个物体100，在不同的应用中，其他物体也可通过来自距离测量***10的相应的光线进行测量。

在非限定示例中，光学距离传感装置11可包括激光三角传感器(LaserTriangulation Sensor)，白光干涉传感器(White Light Interferometry Sensor)或其他合适的用来进行距离测量的传感器。在一个非限定实施例中，光学距离传感装置11包括激光三角测量传感器，其可为由加拿大不列颠哥伦比亚的LM1公司生产的型号为Selcom SLS5000激光三角测量传感器。

图2所示为用来测量到物体100上的点的距离得激光三角传感器的一个实施例的示意图。在一个示例中，激光三角测量传感器11的离岸距离d1可为140毫米，其测量范围d2可为从0毫米到220毫米。在其他示例中，光学距离传感装置11的离岸距离d1和测量范围d2可根据不同的应用进行确定。

如图2所示，激光三角测量传感器11包括激光源15、透镜单元16和距离处理装置17。激光源15用来产生激光14并把其投射到物体100上的点上。透镜单元16包括物镜，其可用来捕获来自由物体100上点所散射的反射光线18并把其输送给距离处理装置17进行处理以获得到物体100上点的距离。在一些非限定示例中，距离处理装置17可包括位置敏感探测器(PositionSensitive Detector，PSD)，其可包括在一维或二维具有均一阻抗的单片PIN光电二极管(Monolithic PIN Photodiode)。

这样，在操作过程中，激光源15产生并传输激光14以投射到物体100上期望的点上。然后，透镜单元16捕获并传输来自物体100的反射光线18到距离处理装置17移获得到物体100上期望点的距离。在本实施例中，透镜单元16设有光轴(未图示)，其与来自激光源15的投射光线14的轴线具有一定的夹角，这可称为三角距离测量。

另外，如图2中所示，当物体100在测量范围d2内移动时，根据物体100在测量范围d2内的位置，可获取复数个到物体100上的点的距离。图2中所示的激光三角距离传感器11仅是示意性的。透镜单元16可包括一个或多个光学元件。此外，包括其他合适的元件的其他光学距离传感器也可利用来进行距离测量。

如图1所示，第一光学模组12可接收光线14，沿着四个不同的光通道24、25、26、27产生四个相应的光线20、21、22、23，并投射其到物体上相应的点上。在非限定示例中，第一光学模组12可接收单一光线14并产生沿两个或多个不同的光通道的相应的两个或多个光线。

图3所示为距离测量***10的第一光学模组12的一个实施例的示意图。如图3所示，第一光学模组12包括第一、第二和第三分光(Beam Splitting)元件30、31、32及光反射(Beam Reflecting)元件33。分光元件30、31、32分别设置有分光面74、75、76。光反射元件33设置有反射面77。在本实施例中，分光元件30、31、32均包括平面分光元件，其包括但不限于平面分光镜。光反射元件33包括平面光反射元件，其包括但不限于平面反射镜。

如图3所示，在一个非限定示例中，分光元件30设置在一个位置上，使光线14在分光元件30的分光面74上***成沿垂直于光线14的投射方向A传输的光线34及沿着投射方向A穿过分光元件30传输的光线35。

光反射元件33的反射面77与分光元件30的分光面74齐平。分光元件31、32分别设置于分光元件30的上方和下方位置。分光元件31的分光面75平行于分光元件30的分光面74且分光元件32的分光面76垂直于分光元件30的分光面74。

这样，在操作中，光线14被传输进第一光模组12后被分光元件30***成光线34、35。光线35沿着光线14的投射方向投射到分光元件32上。随后，光线35经由分光元件32***成第一光线20和第二光线21。第一光线20穿过分光元件32沿着第一光通道24从第一光模组12中传输出去，该第一通道24可与投射方向A重叠。第二光线21沿着垂直于投射方向的第二光通道25经由分光元件32从第一光学模组12的左侧反射出去。

其间，光线34沿着垂直于投射方向A的方向投射到分光元件31上，并经由分光元件31且***成第三光线22和第四光线23。第三光线22沿垂直于光线34的方向经由分光元件31反射到分光元件33上，然后沿着垂直于投射方向A的光通道26经由分光元件33反射出第一光学模组12。第四光线23穿过分光元件31并沿着与第三光通道平行且相间隔的第四光通道传输出第一光模块12。

在一些应用中，光线20、21、22、23可选择性的投射到物体上相应的点上。在一个非限定示例中，每次光线20、21、22、23中的一个被选择来投射到物体上。这样，如图3所示，第一光模组12还包括复数个可移动遮挡装置40、41、42、43以打开和关闭相应的光通道24、25、26、27。比如，当光线20被选择投射到物体100上时，可移动遮挡装置40打开光通道24，同时可移动遮挡装置41、42、43关闭各自的光通道25、26、27以便于光线20被选择投射到物体100上。

在一些示例中，当光线20、21、22、23投射到相应的物体后，第一光学模组12可捕获并传输从相应的物体散射回来的反射光线(未显示)至光学距离传感装置11以获取到相应的物体上的点的距离。在本发明实施例中，为了便于说明，一些反射光线未图示，光学距离传感装置11，如图2所示的激光三角测量传感器的操作可用来进行阐明。在一些应用中，光线20、21、22、23和相应的反射光线可由第一光学模组12的相同的光学元件进行传输。

图3所示的实施例仅是示意性的。在一些示例中，第一光模组12可包括一个或多个分光元件而产生两个或多个光线。一个或多个光反射元件也可被使用。分光元件和光反射元件的位置可根据不同的应用进行变化。

图4所示为距离测量***10的第一光学模组12的另一个实施例的示意图。图4所示的实施例与图3所示的实施例相类似，其不同之处在于在图4所示的实施例中，使用复数个分光棱镜(Beam Splitting Prism)44到49和光反射棱镜(Beam-reflecting Prism)50，而不是如图3中所示的分光镜30到32和光反射镜33。在一些应用中，分光棱镜44、46和/或48也可不使用。

这样，在操作中，在光线14投射到第一光模组12中后，经由分光棱镜44、45、46、47以产生第一和第二光线20、21。经由分光棱镜44、45、48、49和光反射棱镜50以产生第三和第四光线22、23。相似的，可设置复数个可移动遮挡装置40、41、42、43以选择性打开和关闭相应的光线20、21、22、23。

如图1所示的实施例中，光学距离传感装置11可获取复数个到物体100上的点的距离数据。这样，处理装置13可接收并处理，比如平均来自光学距离传感装置11的距离数据，从而以生成位置信息，如到物体上点的平均距离。

在一定应用中，光学距离传感装置11也可获取到物体上两个或两个以上点的相应的复数个的距离数据。这样，处理装置13计算出位置信息，如物体上两个点间的距离。在其他应用中，对于物体上同一点的距离测量，处理装置13可从光学距离传感装置11获得的距离数据中识别出最大距离和最小距离，并生成位置信息，如最大距离和最小距离之间的距离差。在非限定的示例中，如果该距离差不超过预设距离值，其可表示物体被正常加工。如果距离差超过预设距离值离，其表示物体可能发生加工异常。

在一些实施例中，处理装置13不限于任何特定的可用来执行本发明处理任务的处理装置。在本发明实施例中，处理装置可表示任何能够进行运算或计算，对执行本发明的任务而言是必要的装置。如本领域技术人员所理解的，处理装置还可表示任何能够接收输入并按照规定的规则处理该输入，从而产生输出的装置。

在一些应用中，在图1所示的实施例中，距离测量***10可进一步包括一个电源28，例如电池来给光学距离传感装置11和处理装置13提供电力。监视器(未显示)，如液晶显示器(Liquid Crystal Display，LCD)也可与处理装置13连接，以显示到物体上的目标点或点之间的距离。在其他应用中，电源28和监视器也可不使用在距离测量***10中。

如图1所示，在一些实施例中，距离测量***10可进一步包括第二光学模组51和第三光学模组52。第二光学模组51设置在第一光学模组12一侧用来接收第二光线21。第三光学模组52设置在第一光学模组12的另一侧用来接收第三光线22。在一定的应用中，第二和第三光学模组51和52的位置可根据不同的应用而变化从而接收来自第一光学模组12的目标光束。在其他应用中，第二光学模组51和/或第三光学模组52也可不设置。

在图1所示的实施例中，第二光学模组51接收第二光线21并产生分别从第二光学模组51左右两侧传送出的光线53、54。第三光学模组52接收第三光线22并产生分别从第三光模块52上下两侧传送出的光线55、56。

图5-6所示为距离测量***10的第二和第三光学模组51、52的一个实例的示意图。如图5所示，第二光学模组51包括一个光反射元件57，一对分光棱镜58、59及光反射棱镜60。在非限定的示例中，光反射元件57可包括反射镜。在其他应用中，光反射元件57可包括光反射棱镜。复数个平面分光镜也可代替分光棱镜58、59，分光棱镜58也可不设置。

这样，在操作中，第二光线21经由光反射元件57反射，然后被分光棱镜59分成光线53、54。光线53沿着垂直于来自光反射元件57的反射光线21的方向投射到物体上(未显示)。光线54沿着与光线53相反的方向通过光反射棱镜60被反射到相应的物体上(未显示)。

在光线53、54被投射到相应的物体上点后，从相应物体上散射回的反射光线(未显示)被第二光学模组51捕获并传输到第一光学模组12，从而被光学距离传感装置11感测。这样，在传输过第二光学模组51后，在不需要移动距离测量***10的情况下，第二光线21可被选择性的投射到物体上的一个或多个目标点。在一定的应用中，光线53、54和相应的反射光线可通过第一和第二光学模组12、51中相同的光学元件在光学距离传感装置11和相应的物体间传输。

图6所示，第三光学模组52包括一对分光棱镜61、62和设置在分束棱镜61，62之后的光反射棱镜63。在一些应用中，平面分光镜和平面光反射镜也可设置来替代相应的分光棱镜61、62和光反射棱镜63。在某些应用中，分束棱镜61可能会或可能不会被采用。

这样，在操作中，第三光线22被分光棱镜62***成光线55、56。光线55沿垂直于第三光线22的方向投射到物体上。光线56沿与光线55相反的方向被光反射棱镜63反射并投射到物体上。

相似的，在光线55、56投射到相应的物体上后，从相应物体上散射回的反射光线(未显示)被第三光学模组52捕获并传输到第一光学模组12，从而被光学距离传感装置11感测。这样，在传输过第三光学模组52后，在不需要移动距离测量***10的情况下，第三光线22可被选择性的投射到物体上的一个或多个目标点。在一定的应用中，光线55、56和相应的反射光线可通过第一和第三光学模组12、52中相同的光学元件在光学距离传感装置11和相应的物体间传输。

在一些示例中，光线53到56中的一个可被选择性的投射到相应的物体上。与图3-4所示的实施例相似，也可设置复数个遮挡装置(未显示)来打开和关闭光线53到56的相应的光通道。

在其他示例中，如图1所示，分光棱镜59、62可包括偏振分光棱镜(Polarized Beam Splitting Prisms)，且距离测量***10可进一步包括设置在光学距离传感装置11和第一光学模组12之间的线性偏光装置(LinearPolarizer)64和可动半波元件65。在一些应用中，半波元件65可移动进或移动出光线14的光路(未标示)，其可包括具有和光线14的偏振方向(Polarization Direction)成一定夹角，如45度角的快轴(Fast Axis)的半波板。

这样，如图5所示，在操作中，当第二光线传输到第二光学模组51时，由于线性偏光装置64和偏振分光棱镜59的存在，从而产生光线53而不产生光线54。当半波元件65移动进光线14的光路时，光线14的偏振状态在经过线性偏光装置64后发生改变，从而产生光线54而不产生光线53。

相似的，在图6所示的实施例中，通过线性偏光装置64、半波元件65、偏振分光棱镜62的组合，光线55、56可选择性的投射到相应物体上的点上。在一定的应用中，如图4所示，一个或多个分光棱镜也可包括一个或多个相应的偏振分光棱镜。

图7到图11为距离测量***10测量到物体上目标点或点之间的距离的多个实施例的示意图。如图7所示，距离测量***10可测量台阶66的高度。在测量时，第一光线20可被投射到物体上表面67的点(未标注)来确定到该点的距离数据。然后，第一光线20移动到物体下表面68的点来确定到下表面68上该点的距离。最后，基于已确定上下表面的67、68上点的距离数据，在处理装置13中进行处理以确定位于上下表面67、68间的的台阶66的高度。

在一定应用中，光学距离传感装置11可获取一个以上，比如超过一千个到物体上点的距离数据。因此，在测量到上表面67上的点的距离过程中，光学距离传感装置11可获取一个以上到上表面67上的点的距离数据，然后传送其到处理装置13中进行处理从而产生第一处理距离。在一个非限定示例中，处理装置13可对来自光学距离传感装置11的一个以上的距离数据进行平均以获取平均距离。

相似的，在测量到下表面68点的距离过程中，光学距离传感装置11可获取一个以上到下表面68上的点的距离数据并对其进行处理从而产生第二处理距离。最后，处理装置13通过计算第一和第二处理距离的差来确定台阶66的高度。在一些应用中，处理装置13可在分别收集到来自上下表面上的点的对应的一个以上的距离数据后再进行处理。

与图7所示的实施例相似，距离测量***10可分别通过光线55、56来确定台阶69(如图8所示)的厚度，通过光线55，56来确定凹槽70(如图9所示)的高度及通过光线53、54来确定凹槽71(如图10所示)的宽度。

如图11所示，第一光线20或第四光线23可用来确定物体100的直径。相似的，在物体100转动过程中，第一光线20或第四光线23可被投射到物体100上。基于来自物体100的反射光线，光学距离传感装置11可获取并传输复数个直径数据给处理器13进行处理已获得的处理的直径数据。

在一些应用中，处理装置13可从光学距离传感装置11获取的直径数据中识别最大直径数据和最小直径数据，并确定最大和最小直径数据间的直径差的是否比预设的直径值大。在一个非限定示例中，如果直径差不超过预设的直径值，其可表示该物体的加工正常。如果直径差超过预设的直径值，则表示物体的加工可能出现异常。

相似的，在图7-10所示的实施例中，在测量到每一点的距离时，处理装置13也可识别来自光学距离传感装置11获取的距离数据中的最大距离数据和最小距离数据以判断物体的加工情况。

在一定的应用中，由于是通过具有不同光通道的光线来测量距离，所以距离测量***10可需要进行校正，以使通过具有不同光通道的光线测量的到同一点的距离可在同一个坐标系中进行识别，从而以便，比如与计算机数控加工***进行通信。换句话说，通过校准使距离测量***10通过具有不同光通道的光线而测量到同一点的距离是相同的。在一些示例中，距离测量***10的校准可以由实验和/或经验来完成。

在一些实施例中，如图1所示，距离测量***10中的处理装置13可与计算机数控加工***72通讯以提供尺寸信息，如到加工物体目标点和/或点之间的距离给加工***72，从而使加工***72适时调整加工参数来进行后续加工。在一些应用中，处理装置13可与加工***72通过无线连接或电缆连接来通讯。

在如图1所示的实施例中，距离测量***10可进一步包括可把距离测量***10可拆卸的按装到加工***72上的固持元件73。这样，在测量过程中，被加工的物体不需要从加工***72分离来进行测量，其与传统的测量***相比就可节省大量时间。

在本发明的实施例中，距离测量***10可产生复数个具有通过光通道的光线。这样，在不同应用中，比如测量不同的零件特征，如台阶和凹槽，可选择性的产生相应的光线来执行测量，从而具有较高的效率并可针对不同的零件特征而提供较好的测量能力。与传统的测量***，距离测量***10可产生一个以上的到物体上的点的距离数据进行处理从而获得较高质量的位置信息。此外，距离测量***10可与计算机数控加工***通讯，以保证加工质量并改进了传统的计算机数控加工***。

虽然结合特定的实施例对本发明进行了说明，但本领域的技术人员可以理解，对本发明可以作出许多修改和变型。因此，要认识到，权利要求书的意图在于覆盖在本发明真正构思和范围内的所有这些修改和变型。

Claims

1.一种距离测量***，包括：

光学距离传感装置，其用来产生光线；

第一光学模组，其可用来接收所述光线并产生具有不同光通道的光线；可选择性的传输所述具有不同光通道的光线到物体上相应的点上以产生从所述物体上相应的点散射形成的反射光线及捕获并传输所述反射光线到所述光学距离传感装置以获取到所述物体上相应的点的距离数据；及

处理装置，其用来处理所述距离数据以获取到所述物体上相应的点的位置信息。

2.如权利要求1所述的距离测量***，其中所述第一光学模组包括分光元件。

3.如权利要求2所述的距离测量***，其中所述第一光学模组包括可与所述分光元件配合的光反射元件。

4.如权利要求3所述的距离测量***，其中所述第一光学模组包括第一、第二和第三分光元件及一个光反射元件，第一分光元件可***所述光学距离传感装置产生的所述光线成沿着垂直于该光线的投射方向而传输的光线及沿着所述投射方向传输的光线。

5.如权利要求4所述的距离测量***，其中第二分光元件的分光面与所述第一分光元件的分光面平行，所述第三分光元件的分光面与所述第一分光元件的分光面垂直，所述光反射元件的反射面与所述第一分光元件的分光面齐平。

6.如权利要求1所述的距离测量***，进一步包括第二光学模组，其可接收来自所述第一光学模组的具有不同光通道的光线之一，产生并选择性的把两个光线从其左右侧传输到物体上相应的点上。

7.如权利要求6所述的距离测量***，其中所述第二光学模组包括光反射镜，光反射棱镜及位于所述光反射镜和所述光反射棱镜间的分光棱镜。

8.如权利要求1所述的距离测量***，进一步包括第三光学模组，其可接收来自所述第一光学模组的具有不同光通道的光线之一，产生并选择性的把两个光线从其上下侧传输到物体上相应的点上。

9.如权利要求8所述的距离测量***，其中所述第三光学模组包括分光棱镜和位于所述分光棱镜后的光反射棱镜。

10.如权利要求1所述的距离测量***，进一步包括设置在所述光学距离传感装置和所述第一光学模组间的线性偏光装置和可动的半波元件。

11.如权利要求1所述的距离测量***，其中第一光学模组包括可用来打开和关闭其产生的不同光通道的光线的通道的遮挡装置。

12.如权利要求1所述的距离测量***，进一步包括固持元件，其可安装所述距离测量***到计算机数控加工***上，其中所述处理装置可与所述计算机数控加工***相连以进行通讯。

13.一种距离测量方法，包括：

传输光学距离传感装置产生的光线到第一光学模组；

产生并可选择性的传输具有不同光通道的光线到物体上相应的点上以产生从所述物体上相应的点散射形成的反射光线；

捕获并传输所述反射光线到所述光学距离传感装置以获取到所述物体上相应的点的距离数据；及

处理所述距离数据以获取到所述物体上相应的点的位置信息。

14.如权利要求13所述的距离测量方法，其中每次所述具有不同光通道的光线之一被选择传输到所述物体上相应的点上。

15.如权利要求13所述的距离测量方法，其中所述产生并可选择性的传输具有不同光通道的光线的步骤与所述捕获并传输所述反射光线到所述光学距离传感装置的步骤均由所述光学距离传感装置完成。

16.如权利要求13所述的距离测量方法，进一步包括传输所述具有不同光通道的光线之一到第二光学模组，从而通过该第二光学模组产生并选择性的把两个光线从其左右侧传输到物体上相应的点上。

17.如权利要求13所述的距离测量方法，进一步包括传输所述具有不同光通道的光线之一到第三光学模组，从而通过该第三光学模组产生并选择性的把两个光线从其上下侧传输到物体上相应的点上。

18.如权利要求13所述的距离测量方法，其中处理所述距离数据的步骤包括平均所述距离数据来获取到所述物体上相应的点的平均距离。

19.如权利要求18所述的距离测量方法，其中处理所述距离数据的步骤

包括在到所述物体上相应的点的距离数据中识别最大值数据和最小值数据。

20.如权利要求18所述的距离测量方法，其中处理所述距离数据的步骤包括根据到所述物体上相应的点的平均距离来确定物体上两点间的距离。

21.如权利要求13所述的距离测量方法，进一步包括在所述传输光学距离传感装置产生的光线到所述第一光学模组中前在其间设置线性偏振装置和可动的半波元件。

22.如权利要求13所述的距离测量方法，进一步包括传输所述位置信息给计算机数控加工***。