CN102538687A - 移动样品形貌的测量方法及其装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种移动样品形貌的测量方法及其装置。该装置提供了一种可随着移动中的待测样品而移动的测量模块，以缩小移动的待测样品与测量模块之间的相对速度，使测量模块及时取得同一位置的足够光强信号，以得出待测样品的形貌或厚度。

Description

移动样品形貌的测量方法及其装置

技术领域

本发明所属的技术领域是一种移动样品形貌的测量方法及其装置，尤其涉及一种测量待测样品的形貌或厚度的方法及其装置。

背景技术

连续式工艺或卷轴式工艺，具有快速生产的特性，因此广泛地应用于各类产业中，特别为光电、FPD(Flat Panel Display)、软电(软性电子)与太阳光电等产业。

但是在快速生产的工艺中，若产品的质量发生异常的情况，即有可能制造出大量的不合格产品，为了避免产生前述的情况，因此会设置测量监控装置，以及时发现异常，并调整工艺参数或停机修改工艺。

现有的测量监控装置，其监控表面结构尺寸、膜层厚度或表面粗糙度，为了避免刮伤产品的表面，测量监控装置采用非接触测量模块，非接触测量模块有些为光学式测量架构。

如美国专利第7605929号、美国专利第7411685号、美国专利第6806459号及美国专利第6775011号均采用光学式测量架构。

上述专利，如第7605929及7411685号，其光学测量装置为移动式，而测量物静止不动，在第6806459及6775011号中，其光学测量装置静止不动，测量物为持续移动。

在测量表面反射率较高的待测样品时，为了提高测量横向分辨率(resolution)，可提高测量模块的取样频率；但是在测量表面反射率较低的待测样品时，就无法通过提高测量模块取样频率达到所需的测量横向分辨率，因为提高取样频率会使每一信号点曝光时间过短，而无法提取完整位置信号。

但进行光学式测量时，其需要足够时间提取产品的表面信号，在上述工艺进行光学式测量时，因产品高速移动，若待测样品为反光强度较弱的样品，如光学膜，将无法及时取得同一位置的足够光强信号。如第6806459及6775011号的光学测量装置静止不动，将无法取得此类高速移动产品的同一位置的光强信号。

但第7605929及7411685号，虽采用测量模块移动方式进行测量，但限于待测样品静止状态，无法应用于上述待测样品快速移动情况下的测量。

发明内容

本发明一实施例提供一移动样品形貌的测量方法及其装置，其缩小快速移动的待测样品与测量模块之间的相对速度，而使测量模块及时取得同一位置的足够光强信号，以克服外在的不可抗因素，其利用多波长共焦原理或激光三角法原理等光学测量原理，以得出待测样品的形貌或厚度。

本发明一实施例提供一移动样品形貌的测量装置，其应用于一输送装置，该输送装置可以为一卷轴式待测样品与多个驱动卷轴式待测样品的滚轮，或者一输送带与多个驱动输送带的滚轮，该测量装置具有一控制装置、一线性移动控制模块、至少一第一线性移动装置、一第一测量控制模块与至少一第一测量模块，线性移动控制模块电性连接于控制装置，第一线性移动装置设置于输送装置的上方，第一线性移动装置电性连接于线性移动控制模块，第一测量控制模块电性连接于控制装置，第一测量模块装设置于第一线性移动装置，第一测量模块以光学传输连接至第一测量控制模块。

本发明一实施例又提供了一移动样品形貌的测量方法，其步骤包括：

取得横向分辨率：由一待测样品的形貌决定一横向分辨率。

取得取样频率：由待测样品的样品移动速度、一测量模块的测量模块速度及横向分辨率，而得出取样频率。

开始测量：依取样频率开始测量待测样品。

是否可测量待测样品的形貌或厚度：若是，则整合取样频率、样品移动速度、测量模块速度及测量模块位置信号，以得出待测样品的形貌或厚度的其中之一或两者，并结束。

附图说明

图1是本发明的移动样品形貌的测量装置的第一实施例的示意图。

图2是本发明的移动样品形貌的测量装置的第二实施例的示意图。

图3是本发明的移动样品形貌的测量装置的第三实施例的示意图。

图4是本发明的移动样品形貌的测量装置的第四实施例的示意图。

图5是本发明的移动样品形貌的测量装置的第五实施例的示意图。

图6是本发明的移动样品形貌的测量装置的第六实施例的示意图。

图7是测量模块为光学式以多波长共焦原理的位置传感器的示意图。

图8是测量模块为聚焦光斑为单点的位置传感器，并对一待测样品进行测量的动作示意图。

图9是待测样品的线形轮廓示意图。

图10是测量模块为聚焦光斑为线形的位置传感器，并对一待测样品进行测量的动作示意图。

图11是待测样品的三维形貌示意图。

图12是测量模块测量一待测样品的振动量的动作示意图。

图13是本发明一实施例的移动样品形貌的测量方法的流程图。

图14是取得横向分辨率的示意图。

图15是测量模块测量连续式的测量样品的示意图。

【主要元件符号说明】

1         输送装置

10        滚轮

11        卷轴式待测样品

12        输送带

13        滚轮

2         控制装置

20        显示装置

21        控制运算单元

3         速度监控装置

4         线性移动控制模块

40        第一线性移动装置

40A       第二线性移动装置

5         测量控制模块

5A        第二测量控制模块

50        第一测量模块

50A       第二测量模块

500       镜组

501       光源导线

502       光信号导线

51        光谱分析模块

52        测量控制单元

53        光源

60        待测样品

601       待测样品

602       待测样品

61        待测样品

62        待测样品

620       形貌

63        待测样品

630       形貌

64        形貌

65        光信号

h                     振动量

Virtual Optic axis    虚拟光轴

λ1、λ2、λ3         连续光波

A                     宽度

B                     聚焦光斑直径或线形光宽度

r                     横向分辨率

v                     样品移动速度

u                     测量模块速度

w                     往回移动速度

L                     待测样品间距

x                     测量移动距离

c、d、i、j            测量点

y、y1                 测量点距离

e、f                  位置

具体实施方式

以下通过特定的具体实施例说明可实施方式的范例，所属技术领域中普通技术人员可由本说明书所公开的内容轻易地了解本发明其它的优点与功效。

请配合参考图1所示，本发明的移动样品形貌的测量装置的第一实施例，其应用于一输送装置1，在本实施例中，输送装置1为卷轴式待测样品11(ROLL TO ROLL)与多个驱动卷轴式待测样品11的滚轮10。

移动样品形貌的测量装置具有一控制装置2、至少一速度监控装置3、一线性移动控制模块4、至少一第一线性移动装置40、一第一测量控制模块5与至少一第一测量模块50。

控制装置2具有一控制运算单元21与一显示装置20，控制运算单元21用于计算与控制后述的速度监控装置3、线性移动控制模块4与第一测量控制模块5，以及计算后述的样品移动速度、测量模块移动速度、待测样品的形貌或厚度，显示装置20显示前述的各项结果与数据。

速度监控装置3电性连接于控制装置2，并且设置于相对于输送装置1的适当位置处。

线性移动控制模块4与第一测量控制模块5分别电性连接于控制装置2，其中第一测量控制模块5具有一光谱分析模块51与一测量控制单元52，光谱分析模块51电性连接于测量控制单元52，测量控制单元52电性连接控制装置2。

第一线性移动装置40设置于输送装置1的上方，第一线性移动装置40电性连接于线性移动控制模块4。

第一测量模块50设置于第一线性移动装置40，第一测量模块50以光学传输连接于第一测量控制模块5，第一测量模块50为光学式以多波长共焦原理或其它位移感测原理的位置传感器、利用激光三角法原理的激光位移传感器、激光干涉原理的光纤位移传感器的其中之一，其中前述的位移传感器是聚焦光斑的形式，还为单点或线性的位移传感器的其中之一。

请配合参考图2所示，本发明的移动样品形貌的测量装置的第二实施例，在本实施例中，第一线性移动装置40与第一测量模块50为多个，其余元件都没有变动，并且连接方式也与第一实施例相同，因此元件符号沿用第一实施例，特此说明。

如图所示，多个第一线性移动装置40设置于输送装置1的上方，各第一测量模块50设置于各线性移动装置40。

请配合参考图3所示，移动样品形貌的测量装置的第三实施例，在本实施例中，其增加至少一第二测量模块50A、一第二测量控制模块5A与至少一第二线性移动装置40A，第二测量模块50A、第二测量控制模块5A与第二线性移动装置40A的结构或组成等同上述的第一测量模块50、第一测量控制模块5与第一线性移动装置40，仅设置位置改变，所以不再多作赘述结构或其组成，并且在本实施例中，部份元件是沿用上述的实施例，因此元件符号仍沿用第一实施例，特此说明。

如图所示，第二线性移动装置40A设置于输送装置1的下方，并且相对于第一线性移动装置40，第二测量模块50A设置于第二线性移动装置40A，第二测量模块50A以光学传输连接第二测量控制模块5A。

请配合参考图4、图5及图6所示，本发明的移动样品形貌的测量装置的第四、五及六实施例，于第四、五及六实施例中，输送装置1具有一输送带12及多个驱动输送带12的滚轮13，而其余元件等同于前述的各实施例，因此不再此多做赘述，并且元件符号，除输送带12与滚轮13外，沿用前述的各实施例，特此说明。

请配合参考图7所示，举例而言，若第一测量模块50与第二测量模块50A为光学式以多波长共焦原理的位置传感器，但是测量模块与测量控制模块因配置位置不同，而有第一、第二的区分，但其组成与使用原理都相同，因此以下仅以第一测量模块50及第一测量控制模块5论述。

第一测量控制模块5进一步具有一选择性的光源53，光源53电性连接于测量控制单元52，光源为发光二极管、卤素灯、激光或任何提供光线的装置的其中之一。

第一测量模块50具有一镜组500、一光源导线501与一光信号导线502，光信号导线502分别连接于镜组500与光谱分析模块51，光源导线501分别连接于镜组500与光源53。

承上所述，光源53提供一多波长光束，多波长光束经由光源导线501传输至镜组500，多波长光束形成一连续光波λ1、λ2、λ3...λn，并聚焦于一虚拟光轴Virtual Optic axis，以投射至一待测样品61，并经反射回至镜组500，并聚焦于光信号导线502的适当位置，如通过一空间滤波器后聚焦于一焦点，待进入光谱分析模块51，以使光谱分析模块51分析光信号，并透过控制运算单元21，计算出待测样品61表面在测量模块虚拟光轴上的位置，并搭配测量模块50与待测样品61间的相对位移，整合出待测样品61表面形貌，并可以根据待测样品61上下表面反射光信号及待测样品61的折射率，计算出待测物的厚度。

请配合参考图8及图9所示，当第一测量装置50为聚焦光斑为单点的位置传感器，若待测样品62的顶端具有起伏或平坦的形貌620时，如图所示，第一测量装置50发射出单一聚焦光斑至待测样品62，该单一聚焦光斑反射后，通过光谱分析模块51、测量控制单元52、线性移动控制模块4与控制装置2分析与整合后，即可得出待测样品62及其突起620的形貌，该形貌为线形轮廓，如图9所示。

请配合参考图10及图11所示，当第一测量装置50为聚焦光斑为线形的位置传感器，若待测样品63的顶端具有起伏或平坦的形貌630时，如图所示，第一测量装置50发射出线性光束至待测样品63，该线性光束反射后，光谱分析模块51、测量控制单元52、线性移动控制模块4与控制装置2分析与整合后，即可得出待测样品63及其突起630的三维形貌，如图12所示。

请再配合参考图2及图5所示，本发明的第二及五实施例，其利用于连续式工艺，以多个第一测量模块50、50A测量卷轴式待测样品11或多个连续式的待测样品60。

请再配合参考图3及图6所示，本发明的第三及六实施例，其当卷轴式待测样品11或待测样品60在测量过程中产生振动时，该振动可能为环境或待测样品本身的因素，以下以待测样品60进行论述，请配合参考图12所示，待测样品60的上方的第一测量模块50与下方的第二测量模块50A，其分别测量出一振动量h(以下简称h)，并将此振动量h传回给控制装置2，以使控制装置2的控制运算单元21进行进一步运算，以及显示装置20显示出结果，承上所述，因此当扣除h后，即可避免测量误差产生。

因图1、图2及图3为卷轴式待测样品11的测量，而图4、图5及图6为输送带12传输至少一待测样品60的测量，而图1与图4的测量方式相同，图2与图5的测量方式相同，以及图3与图6测量方式相同，为了便于理解，以及避免说明过于冗长，因此以下以图4至图6进行论述，特此说明。如图5或图6所示，测量模块为第一测量模块50，或者第一测量模块50与第二测量模块50A的组合，线性移动装置为第一线性移动装置40，或者第一线性移动装置40与第二线性移动装置40A的组合。

请配合参考图13所示，本发明一实施例的移动样品形貌的测量方法，其应用于一输送装置，该输送装置为卷轴式待测样品11(ROLL TO ROLL)与多个驱动卷轴式待测样品11的滚轮10，或者输送带12与多个驱动输送带12的滚轮13，该测量方法的步骤包括有：

一、取得横向分辨率(以下简称r)70：请参阅图14所示，一待测样品处于静止或移动状态，若待测样品具有至少一平台的形貌64，其宽度A(以下简称A)，待测样品可以为透明或不透明的其中之一。

为了要能描述待测样品的形貌64需要至少二光信号65，测量模块给予至少二光信号65至形貌64，光信号65为聚焦光斑或线形光的其中之一，聚焦光斑直径或线形光宽度B(以下简称B)，因此r＝(A-B)/2，r为最低横向分辨率。

若待测样品非平台的形貌，而是由起伏表面或平整表面的其中之一或二者的组合者，横向分辨率须由测量者自行判断选定可描述形貌的横向分辨率。

二、取得取样频率(以下简称f)71：请配合参考图4所示，待测样品60以一样品移动速度v(以下简称v)移动，至少一速度监控装置3测得v，并将此信息传送给控制装置2的控制运算单元21，控制运算单元21经运算后，传送一信息给线性移动控制模块4，以使至少一线性移动装置以驱动至少一测量模块，而以测量模块速度u(以下简称u)移动，因此f＝v-u/r，即u＝v-fr，f为测量模块的取样频率。

此外，若待测样品60的表面具有可供辨识的信息，该信息可以为图案或符号的其中之一，速度监控装置3读取该信息，以得出v，而后如上所述，以求得u；再者，若无可供辨识的信息，也可测量至少一滚轮10的表面线速度，而得出v，其是在滚轮10标示一记号，以供速度监控装置3读取，而得出v，而后如上所述，以求得u。

三、设定取样频率72：依步骤二的f，以设定测量模块的f，该f所需的取样频率。

四、开始测量73：以步骤二所得出的f开始测量待测样品60。

五、是否可测量待测样品的形貌或厚度74：若是，则整合f、v、u及测量模块的位置信号，以得出待测样品60的形貌或厚度的其中之一或两者740，并结束741，该形貌可以为三维形貌或线性轮廓的其中之一；若否，则至步骤六。

若在测量待测样品60过程中因外在因素产生有振动，至少二测量装置测量出待测样品60的振动量h(如图12所示)，并将上述所得出的待测样品60的形貌或厚度，减去h，即为真实的待测样品60的形貌或厚度。

六、是否为测量模块的最低取样频率(以下简称f0)75：若是，即f等同f0，则无法测量750，并至结束741；若否，即f大于f0，则至步骤七。其中f0为一常数频率，其为每一测量模块可用的取样频率的范围，若低于该范围则测量模块无法取样。

七、降低取样频率(以下简称f1)76：将原先的f降低至f1，并以f1取代f，此f1为测量模块的新的取样频率。

八、计算测量模块速度77：因f变更为f1，因此u也随之改变，u＝v-f1*r，其中v与r在步骤一及二中所得出。

九、设定测量模块速度78：将测量模块的测量模块速度变更为步骤八所得出的u，并回到步骤四，直到可测量待测样品60的形貌或厚度的其中之一或两者为止。

请配合参考图15所示，当应用于一测量连续式的测量样品601、602的过程中，当测量模块50测量完一待测样品601，欲以一往回移动速度w(以下简称w)，移动至下一待测样品602，w可以用下述方式求得，如图15所示，二待测样品601、602之间具有一待测样品间距L(以下简称L)，其中，待测样品601具有至少二测量点i、j(以下简称i、j)，i及j之间具有一测量点距离y1(以下简称y1)，另一待测样品602具有至少二测量点c、d(以下简称c、d)，c及d之间具有一测量点距离为y，y等于y1。

当输送带12使待测样品601、602以v移动，测量模块50由e位置移动至f位置，并且由测量点c移至测量点d后，会将待测样品601上的测量点i移动至测量模块50的e位置，此时，测量模块50也以速度w由f位置移动至e位置，距离为x。当测量模块50测量完该待测样品602，并欲以w移动至下一待测样品601，该往回移动速度w＝xv/(L-x-y)。

综合上述的移动样品形貌的测量方法及其装置，当待测样品为连续式或卷轴式待测样品，并且待测样品可以为透明或不透明，而且待测样品处于高速移动或不移动时，测量模块随着移动中的待测样品移动，以缩小快速移动的待测样品与测量模块之间的相对速度，使测量模块及时取得同一位置的足够光强信号，并测量出待测样品的形貌或厚度，而该形貌可以为线形轮廓或三维形貌的其中之一。

以上所述的具体实施例，仅用于解释本发明的特点及功效，而非用于限定本发明的可实施范围，在未脱离本发明上述的精神与技术范畴下，任何运用本发明所公开内容而完成的等同改变及修饰，均仍应为本发明权利要求所涵盖。

Claims (27)

1.一种移动样品形貌的测量装置，其特征在于，应用于一输送装置，该移动样品形貌的测量装置包括：

一控制装置；

一线性移动控制模块，其电性连接于该控制装置；

至少一第一线性移动装置，其设置于该输送装置的上方，该第一线性移动装置电性连接于该线性移动控制模块；

一第一测量控制模块，其电性连接于该控制装置；以及

至少一第一测量模块，其装设于该第一线性移动装置，该第一测量模块以光学传输连接至该第一测量控制模块。

2.根据权利要求1所述的移动样品形貌的测量装置，其特征在于，该输送装置为一卷轴式待测样品与多个驱动该卷轴式待测样品的滚轮，或者一输送带与多个驱动该输送带的滚轮。

3.根据权利要求1所述的移动样品形貌的测量装置，其特征在于，具有至少一速度监控装置，该速度监控装置电性连接于该控制装置。

4.根据权利要求1所述的移动样品形貌的测量装置，其特征在于，具有至少一第二线性移动装置、一第二测量控制模块与至少一第二测量模块，该第二线性移动装置设置于该输送装置的下方，并相对该第一线性移动装置，该第二线性移动装置电性连接于该线性移动控制模块，该第二测量控制模块电性连接于该控制装置，该第二测量模块电性连接于该第二测量控制模块，并设置于该第二线性移动装置。

5.根据权利要求4所述的移动样品形貌的测量装置，其特征在于，该测量模块为光学式以多波长共焦原理或其它位移感测原理的位置传感器，或者利用激光三角法原理的激光位移传感器，或者激光干涉原理的光纤位移传感器。

6.根据权利要求5所述的移动样品形貌的测量装置，其特征在于，该位移传感器为聚焦光斑形式的单点或线性的位移传感器。

7.根据权利要求1所述的移动样品形貌的测量装置，其特征在于，该第一测量控制模块具有一光谱分析模块与一测量控制单元，该光谱分析模块电性连接于该测量控制单元，该测量控制单元电性连接于该控制装置。

8.根据权利要求7所述的移动样品形貌的测量装置，其特征在于，该第一测量控制模块进一步具有一光源，该光源电性连接于该测量控制单元；

该测量模块具有一镜组、一光源导线与一光信号导线，该光信号导线分别连接于该镜组与该光谱分析模块，该光源导线分别连接于该镜组与该光源。

9.根据权利要求8所述的移动样品形貌的测量装置，其特征在于，该光源为发光二极管、卤素灯、激光或任何提供光线的装置的其中之一。

10.根据权利要求1所述的移动样品形貌的测量装置，其特征在于，该控制装置具有一控制运算单元与一显示装置。

11.一种移动样品形貌的测量方法，其特征在于，其步骤包括有：

取得横向分辨率：由一待测样品的形貌决定一横向分辨率；

取得取样频率：由该待测样品的样品移动速度、一测量模块的测量模块速度及该横向分辨率，而得出取样频率；

开始测量：依该取样频率开始测量该待测样品；

是否可测量待测样品的形貌或厚度：若是，则整合该取样频率、该样品移动速度、该测量模块速度及该测量模块位置信号，以得出该待测样品的形貌或厚度的其中之一或两者，并结束。

12.根据权利要求11所述的移动样品形貌的测量方法，其特征在于，该待测样品为卷轴式待测样品或一输送带所传输的至少一待测样品。

13.根据权利要求12所述的移动样品形貌的测量方法，其特征在于，该待测样品为透明或不透明。

14.根据权利要求11所述的移动样品形貌的测量方法，其特征在于，若在该是否可测量待测样品的形貌或厚度的步骤中为否，则进行一是否为测量模块的最低取样频率的步骤，若在该是否为测量模块的最低取样频率的步骤为是，则该取样频率等同该最低取样频率，即结束。

15.根据权利要求14所述的移动样品形貌的测量方法，其特征在于，若在该是否为测量模块的最低取样频率的步骤中为否，该取样频率大于该最低取样频率；

则进行一降低取样频率的步骤：降低该取样频率，并以该降低的取样频率取代该取得取样频率的步骤中所得的取样频率；

而后进行一计算测量模块速度的步骤：将该样品移动速度减去该降低取样频率与该横向分辨率的乘积，所得的结果为该测量模块速度；

再进行一设定测量模块速度的步骤：将该计算测量模块速度的步骤所得的测量模块速度取代原有的测量模块速度，并回到该开始测量的步骤，直到可测量该待测样品的形貌或厚度的其中之一或两者为止。

16.根据权利要求15所述的移动样品形貌的测量方法，其特征在于，该设定测量模块速度的步骤中，该待测样品为连续式，该测量模块欲以一往回移动速度w移动至下一待测样品，而该待测样品间具有一待测样品间距(L)，每一待测样品具有二测量点与该样品移动速度v，该二测量点之间具有一测量点距离y，该测量模块具有一测量移动距离x，因此w＝xv/(L-x-y)。

17.根据权利要求16所述的移动样品形貌的测量方法，其特征在于，在该是否可测量待测样品的形貌或厚度的步骤中，若在测量该待测样品过程中产生有振动，至少二测量装置测量出该待测样品的振动量，并将已测得的待测样品的形貌或厚度，减去该振动量，即为真实的待测样品的形貌或厚度。

18.根据权利要求17所述的移动样品形貌的测量方法，其特征在于，该取得取样频率的步骤与该开始测量的步骤之间进一步具有一设定取样频率的步骤：将该取得取样频率的步骤中所得出的取样频率设定为该测量模块的取样频率。

19.根据权利要求18所述的移动样品形貌的测量方法，其特征在于，在该取得横向分辨率之步骤中，取得该待测样品的形貌需要至少二光信号，该待测样品的形貌的宽度减去该光信号的直径或宽度，并将所得的结果除以二的所得，即为该横向分辨率。

20.根据权利要求18所述的移动样品形貌的测量方法，其特征在于，该形貌为至少一平台的形貌。

21.根据权利要求19所述的移动样品形貌的测量方法，其特征在于，该光信号的聚焦光斑为单点或线形的其中之一。

22.根据权利要求19项所述的移动样品形貌的测量方法，其特征在于，该取得取样频率的步骤中，该样品移动速度除以该横向分辨率，其结果为该取样频率。

23.根据权利要求22所述的移动样品形貌的测量方法，其特征在于，该取得取样频率的步骤中，至少一速度监控装置测得该样品移动速度，并将此信息传送给一控制装置的控制运算单元，以计算出一测量模块速度，至少一线性移动装置使至少一测量模块以该测量模块速度相对于该待测样品移动。

24.根据权利要求22所述的移动样品形貌的测量方法，其特征在于，该取得取样频率的步骤中，该待测样品的表面具有可供辨识的信息，该信息可以为图案或符号的其中之一，至少一速度监控装置读取该信息，以得出该样品移动速度，并将此信息传送给一控制装置的控制运算单元，以计算出一测量模块速度，至少一线性移动装置使至少一测量模块以该测量模块速度相对于该待测样品移动。

25.根据权利要求22所述的移动样品形貌的测量方法，其特征在于，该取得取样频率的步骤中，测量至少一滚轮的表面线速度，以得出该样品移动速度，并将此信息传送给一控制装置的控制运算单元，以计算出一测量模块速度，至少一线性移动装置使至少一测量模块以该测量模块速度相对于该待测样品移动。

26.根据权利要求25所述的移动样品形貌的测量方法，其特征在于，该表面线速度，其是在该滚轮标示一记号，以供该速度监控装置读取，而得出该样品移动速度。

27.根据权利要求19所述的移动样品形貌的测量方法，其特征在于，该取得横向分辨率的步骤中，该待测样品的形貌为起伏表面或平整表面的其中之一或两者的组合。

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