CN102519355A - 一种一维微平动机构 - Google Patents
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- 230000007246 mechanism Effects 0.000 title claims abstract description 60
- 238000013519 translation Methods 0.000 title claims abstract description 24
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 87
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 7
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 4
- 239000003082 abrasive agent Substances 0.000 claims description 3
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 3
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 abstract description 4
- 230000008901 benefit Effects 0.000 abstract description 3
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract 1
- 230000036544 posture Effects 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 238000013461 design Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001050 lubricating effect Effects 0.000 description 1
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- LENZDBCJOHFCAS-UHFFFAOYSA-N tris Chemical compound OCC(N)(CO)CO LENZDBCJOHFCAS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
本发明公开了一种基于弹性导向机构的一种一维微平动机构，微位移驱动器的输出端的球头和垫块采用单向接触方式，环形弹性薄片是具有旋转对称的U形连接的环形弹性薄片机构，其内环与内导向套筒通过螺钉紧固，外环与筒状机架通过螺钉紧固，从而确保微平动机构输出平台作一维单向微位移时不会发生转动，并具有在各种工作姿态下和受各种方向的小负载的情况下，实现精密直线微位移导向的功能。本发明具有结构简单，造价低廉，维护和保养容易等优点，解决了微位移驱动器的位移输出不同步带来的问题，并且减小了驱动控制的复杂度，机构中心位置留有较大空间，有利于通光或通过其它器件，适用于各种微纳级一维位移调整机构。
Description
技术领域
本发明涉及一维平动机构的技术领域，特别涉及一种一维微平动机构，该机构基于智能材料和弹性导向机构，适用于在各种姿态和方向的小负载情况下，实现一维精密直线微位移的输出，尤其适用于光学干涉仪中需要实现精密直线微位移的移相驱动器件。
背景技术
压电驱动器和柔性铰链因其具有高精度、无摩擦、无滞后、无间隙等诸多优点而广泛应用于微位移平台技术中。传统的微位移技术以压电驱动器等智能材料为驱动元件，以柔性铰链机构作为柔性导轨，以提供高的定位精度和快速的响应速度。
传统一维微平动平台机构多为平面机构，通常采用柔性铰链为导向机构、压电陶瓷驱动器作为驱动机构，采用杠杆原理与单平行四杆机构相结合的柔性铰链整体式结构。输出位移存在位移耦合及非线性的问题，如果采用对称结构对单平行四杆机构进行优化及改进，解决了单柔性平行四杆机构的位移耦合问题，但对于微平动平台可能的转动或扭动问题尚缺乏有效的避免方法，且驱动力或作用反力与输出位移呈严重非线性关系。在光学干涉仪的具体应用过程中，需要在留出通光孔径和克服各种姿态及小负载的同时，保证在通光方向上机构保持的一维直线精密微位移运动。
发明内容
本发明的目的在于提供一种用于输出较大位移范围(亚毫米级)的简单可靠的，具有无摩擦、无滞后、无间隙、无需润滑维护等特点的，适用于在各种工作姿态下和受各种方向小负载情况下的高精密(纳米级位移分辨率)的一维直线微平动平台机构。
本发明所采用的技术方案是：一种一维微平动机构，包括：微位移驱动组件、包含驱动球头及垫块的单向调整组件、包含平行的环形弹性薄片的微平动机构导向和支承组件；其中：
所述的微位移驱动组件，为3只微位移驱动器，且是旋转对称设置；
所述的包含球头及垫块的单向调整组件，采用耐磨材料及单向接触方式，有效避免了微位移驱动器之间的位移干涉现象；通过调节螺杆和锁紧螺母，可调整垫块的高低并锁紧，从而补偿3只微位移驱动器的高度、加工及安装的误差；同时，可通过调整3个垫块的高度，为微位移驱动器施加必要的预紧力；
所述的包含平行的环形弹性薄片的微平动机构导向和支承组件，此组件利用平行的具有旋转对称的U形连接的环形弹性薄片，环形弹性薄片内环与内导向套筒通过螺钉紧固，环形弹性薄片外环与筒状机架通过螺钉紧固，从而确保微平动平台作一维单向微位移时不会发生转动；U形连接的数量为3个，确保在环形弹性薄片内外环之间的留有足够空间，可穿过微位移驱动器。
进一步的，所述的微位移驱动组件采用基于压电陶瓷或者磁致伸缩材料为驱动核心器件的微位移驱动器。
进一步的，该机构可应用于精密光学仪器微平动机构中或者透镜的精密机械调整机构中。
进一步的，该机构可应用于且特别适用于光学干涉仪镜头中。
进一步的，该一维微平动机构具体结构为：将内导向套筒置于外壳内，然后将第一环形弹性薄片的内环采用螺钉紧固件与内导向套筒组合成一个整体；将3只微位移驱动器分别通过沉头螺钉固联于底座上，并将3个球头分别通过螺纹或胶接固联于3只微位移驱动器的输出端；然后将3只微位移驱动器穿过第一环形弹性薄片的环间空隙，并将第一环形弹性薄片的外环采用螺钉紧固件通过底座与外壳紧固；为确保第二环形弹性薄片和第一环形弹性薄片姿态对应，将第二环形弹性薄片通过其环间间隙套在3只微位移驱动器上，然后将第二环形弹性薄片的外环采用螺钉紧固件通过压圈的螺孔与外壳紧固；将3个垫块通过调节螺杆机构联接于微平动平台下侧，确保3个垫块与3个球头相对应，通过微平动平台的内圈螺孔采用螺钉紧固件将第二环形弹性薄片的内环与内导向套筒2紧固。
本发明与现有技术相比的优点在于：
1)结构简单，造价低廉，维护和保养简单；
2)由于采用了具有U形连接的双环形弹性薄片导向机构，实现了微位移平台机构的精确单向运动，且无需润滑保养；
3)采用了微位移驱动器通过球头和垫块与微平动平台单向连接的设计方法，解决了微位移驱动器的位移输出不同步带来的问题，并且减小了驱动控制的复杂度；
4)本发明中可调预紧的耐磨垫块的应用，不仅可以方便地调节机构的初始状态、补偿误差，更可以方便的施加预紧力；
5)由于采用双环形弹性薄片导向机构，并将微位移驱动器设置于内外环之间，为本发明的中心位置留出了通畅的空间，可通光或通过其它器件。
附图说明
图1为本发明一维微平动机构的双弹性平行薄片导向机构原理示意图；
图2为具有U形连接的环形弹性薄片示意图；
图3为微位移驱动器输出端球头示意图；
图4为可调预紧的耐磨垫块示意图；
图5为两片具有U形连接的弹性薄片构成的导向机构的实施例图；
图6为微位移驱动器通过球头和垫块与微平动平台单向连接的实施例图；
图7为不含外壳的微平动平台机构***的结构设计的实施例图；
图8为不含内导向套筒的微平动平台机构的实施例图；
图9为微平动平台机构的完整封装结构的实施例图；
在上述附图中，1.第一、第二环形弹性薄片，2.内导向套筒，3.垫块，4.微平动平台，5.U形连接，6.球头，7.微位移驱动器，8.底座，9.调节螺杆机构，10.沉头螺钉，11.压圈，12.外壳，13.调节螺杆，14.锁紧螺母。
具体实施方式
现结合附图说明本发明的实施例。但以下的实施例仅限于解释本发明，本发明的保护范围应包括权利要求的全部内容，而且通过以下实施例对该领域的技术人员即可以实现本发明权利要求的全部内容。
如图1所示，平行双环形弹性薄片原理设计本发明的一种一维微平动机构的导向和支承，以确保微位移平台具有恒定的运动方向。其中，如图2所示，环形弹性薄片1是具有旋转对称的U形连接5的环形弹性薄片机构，其内环与内导向套筒2通过螺钉紧固，其外环与筒状机架通过螺钉紧固，筒状机架可以根据实际需要选择，这是本领域容易选择的，具体的例如：外环采用螺钉紧固件通过底座8与外壳12紧固，从而确保微平动机构输出平台作一维单向微位移时不会发生转动，并具有在各种工作姿态下和受各种方向的小负载的情况下实现精密直线微位移导向的功能。U形连接5的数量为3个，需确保在环形弹性薄片1内外环之间留有足够空间，可穿过微位移驱动器7。共需3只微位移驱动器7，而且也是旋转对称设置。环形弹性薄片1内外环之间的间距由所采用的微位移驱动器7的尺寸确定，并稍大于微位移驱动器7的径向尺寸，可允许微位移驱动器7通过，不发生接触。3只微位移驱动器7安装于底座8上，3只微位移驱动器7输出端分别通过球头6和垫块3与微平动平台接触，参见图3和图4，微位移驱动器7输出位移时，可推动微平动平台在双环形弹性薄片的导向作用下进行直线微位移运动。进一步，应采用基于智能材料(如压电陶瓷、磁致伸缩材料等)为驱动核心器件的微位移驱动器7；微位移驱动器7输出端所采用的球头6和垫块3应采用耐磨材料，如硬质合金等。3只微位移驱动器7不可能理想同步工作，输出完全一致的位移，并因为智能材料基的微位移促动器7不能承受拉力，因此，采用球头6和垫块3单向接触的方式，即当某一个微位移驱动器7的输出位移较大时，微位移平台被其推动，使得另外两个微位移驱动器7输出球头6与垫块3分开，从而有效避免了微位移驱动器7之间的位移干涉现象，保全微位移驱动器7，同时简化了微位移驱动器7的控制。另外，垫块3采用如图4所示的设计方案，即通过调节螺杆13和锁紧螺母14，调整垫块3的高低并锁紧，从而补偿3只微位移驱动器7的高度误差以及加工和安装等误差。同时，可以通过一致地调整3个垫块3的高度，为微位移驱动器7施加必要的预紧力。
如图2-9所示的本发明的一维微平动机构的实例为：将内导向套筒2置于外壳12内，然后将第一环形弹性薄片1的内环采用螺钉紧固件与内导向套筒2组合成一个整体。将3只微位移驱动器7分别通过沉头螺钉10固联于底座8上，并将3个球头6分别通过螺纹或胶接固联于3只微位移驱动器7的输出端。然后将3只微位移驱动器7穿过环形弹性薄片1的环间空隙，并将环形弹性薄片1的外环采用螺钉紧固件通过底座8与外壳12紧固；为确保第二环形弹性薄片1和第一环形弹性薄片1姿态对应，将第二环形弹性薄片1通过其环间间隙套在3只微位移驱动器7上，然后将第二环形弹性薄片1的外环采用螺钉紧固件通过压圈11的螺孔与外壳12紧固。将3个垫块3通过调节螺杆机构9联接于微平动平台4下侧，确保3个垫块3与3个球头6相对应，通过微平动平台4的内圈螺孔采用螺钉紧固件将环形弹性薄片3的内环与内导向套筒2紧固。
本发明未详细阐述的部分属于本领域公知技术。
以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。
Claims (5)
1.一种一维微平动机构，其特征在于：包括：微位移驱动组件、包含驱动球头(6)及垫块(3)的单向调整组件、包含平行的环形弹性薄片(1)的微平动机构导向和支承组件；其中：
所述的微位移驱动组件，为3只微位移驱动器(7)，且是旋转对称设置；
所述的包含球头(6)及垫块(3)的单向调整组件，采用耐磨材料及单向接触方式，有效避免了微位移驱动器(7)之间的位移干涉现象；通过调节螺杆(13)和锁紧螺母(14)，可调整垫块(3)的高低并锁紧，从而补偿3只微位移驱动器(7)的高度、加工及安装的误差；同时，可通过调整3个垫块(3)的高度，为微位移驱动器(7)施加必要的预紧力；
所述的包含平行的环形弹性薄片(1)的微平动机构导向和支承组件，此组件利用平行的具有旋转对称的U形连接(5)的环形弹性薄片(1)，环形弹性薄片(1)内环与内导向套筒(2)通过螺钉紧固，环形弹性薄片(1)外环与筒状机架通过螺钉紧固，从而确保微平动平台(15)作一维单向微位移时不会发生转动；U形连接(5)的数量为3个，确保在环形弹性薄片(1)内外环之间的留有足够空间，可穿过微位移驱动器(7)。
2.根据权利要求1所述的一维微平动机构，其特征在于：所述的微位移驱动组件采用基于压电陶瓷或者磁致伸缩材料为驱动核心器件的微位移驱动器(7)。
3.根据权利要求1所述的一维微平动机构，其特征在于：该机构可应用于精密光学仪器微平动机构中或者透镜的精密机械调整机构中。
4.根据权利要求1所述的一维微平动机构，其特征在于：该机构可应用于且特别适用于光学干涉仪镜头中。
5.根据权利要求1所述的一维微平动机构，其特征在于：该一维微平动机构具体结构以及组装方式为：将内导向套筒(2)置于外壳(12)内，然后将第一环形弹性薄片(1)的内环采用螺钉紧固件与内导向套筒(2)组合成一个整体；将3只微位移驱动器(7)分别通过沉头螺钉(10)固联于底座(8)上，并将3个球头(6)分别通过螺纹或胶接固联于3只微位移驱动器(7)的输出端；然后将3只微位移驱动器(7)穿过第一环形弹性薄片(1)的环间空隙，并将第一环形弹性薄片(1)的外环采用螺钉紧固件通过底座(8)与外壳(12)紧固；为确保第二环形弹性薄片(1)和第一环形弹性薄片(1)姿态对应，将第二环形弹性薄片(1)通过其环间间隙套在3只微位移驱动器(7)上，然后将第二环形弹性薄片(1)的外环采用螺钉紧固件通过压圈(11)的螺孔与外壳(12)紧固；将3个垫块(3)通过调节螺杆机构(9)联接于微平动平台(4)下侧，确保3个垫块(3)与3个球头(6)相对应，通过微平动平台(4)的内圈螺孔采用螺钉紧固件将第二环形弹性薄片(1)的内环与内导向套筒(2)紧固。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201110382126.6A CN102519355B (zh) | 2011-11-25 | 2011-11-25 | 一种一维微平动机构 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201110382126.6A CN102519355B (zh) | 2011-11-25 | 2011-11-25 | 一种一维微平动机构 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN102519355A true CN102519355A (zh) | 2012-06-27 |
| CN102519355B CN102519355B (zh) | 2014-07-09 |
Family
ID=46290360
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201110382126.6A Active CN102519355B (zh) | 2011-11-25 | 2011-11-25 | 一种一维微平动机构 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN102519355B (zh) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103278906A (zh) * | 2013-04-18 | 2013-09-04 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种柔性环片结构的透镜轴向微调装置 |
| CN105467581A (zh) * | 2015-12-22 | 2016-04-06 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种压电驱动的光学移相装置 |
| CN106405827A (zh) * | 2016-11-04 | 2017-02-15 | 湖北三江航天万峰科技发展有限公司 | 一种微透镜扫描装置 |
| CN107175194A (zh) * | 2017-05-31 | 2017-09-19 | 合肥工业大学 | 一维闭环微纳米振动台 |
| CN110928238A (zh) * | 2019-10-23 | 2020-03-27 | 广东工业大学 | 一种刚柔耦合旋转平台及其控制方法 |
| CN110941241A (zh) * | 2019-10-23 | 2020-03-31 | 广东工业大学 | 一种刚柔耦合旋转平台 |
| CN111022483A (zh) * | 2019-10-23 | 2020-04-17 | 广东工业大学 | 一种复合式旋转柔性铰链环及应用其的旋转平台 |
| CN111854611A (zh) * | 2020-08-10 | 2020-10-30 | 上海乾曜光学科技有限公司 | 柔性铰链移相器 |
| CN111983776A (zh) * | 2020-09-21 | 2020-11-24 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种微位移促动器 |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6873418B1 (en) * | 2003-09-30 | 2005-03-29 | Cymer, Inc. | Optical mountings for gas discharge MOPA laser spectral analysis module |
| US7075738B2 (en) * | 2002-09-27 | 2006-07-11 | Inlight Solutions, Inc. | Linear positioning apparatus |
| CN101119081A (zh) * | 2007-06-19 | 2008-02-06 | 浙江大学 | 半导体制冷温控型超磁致伸缩微位移执行器 |
| CN101280836A (zh) * | 2008-04-25 | 2008-10-08 | 中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所 | 基于弹性元件的导向机构 |
| CN101673118A (zh) * | 2009-09-24 | 2010-03-17 | 同济大学 | 组合式传动可变角度微位移调节装置 |
| CN102009358A (zh) * | 2010-11-05 | 2011-04-13 | 山东理工大学 | 含环形弹性副的三自由度微操作台 |
| CN102148325A (zh) * | 2010-12-13 | 2011-08-10 | 吉林大学 | 大负荷压电陶瓷微位移驱动器及其制作方法 |
-
2011
- 2011-11-25 CN CN201110382126.6A patent/CN102519355B/zh active Active
Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7075738B2 (en) * | 2002-09-27 | 2006-07-11 | Inlight Solutions, Inc. | Linear positioning apparatus |
| US6873418B1 (en) * | 2003-09-30 | 2005-03-29 | Cymer, Inc. | Optical mountings for gas discharge MOPA laser spectral analysis module |
| CN101119081A (zh) * | 2007-06-19 | 2008-02-06 | 浙江大学 | 半导体制冷温控型超磁致伸缩微位移执行器 |
| CN101280836A (zh) * | 2008-04-25 | 2008-10-08 | 中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所 | 基于弹性元件的导向机构 |
| CN101673118A (zh) * | 2009-09-24 | 2010-03-17 | 同济大学 | 组合式传动可变角度微位移调节装置 |
| CN102009358A (zh) * | 2010-11-05 | 2011-04-13 | 山东理工大学 | 含环形弹性副的三自由度微操作台 |
| CN102148325A (zh) * | 2010-12-13 | 2011-08-10 | 吉林大学 | 大负荷压电陶瓷微位移驱动器及其制作方法 |
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103278906A (zh) * | 2013-04-18 | 2013-09-04 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种柔性环片结构的透镜轴向微调装置 |
| CN103278906B (zh) * | 2013-04-18 | 2015-04-22 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种柔性环片结构的透镜轴向微调装置 |
| CN105467581A (zh) * | 2015-12-22 | 2016-04-06 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种压电驱动的光学移相装置 |
| CN106405827A (zh) * | 2016-11-04 | 2017-02-15 | 湖北三江航天万峰科技发展有限公司 | 一种微透镜扫描装置 |
| CN107175194A (zh) * | 2017-05-31 | 2017-09-19 | 合肥工业大学 | 一维闭环微纳米振动台 |
| CN107175194B (zh) * | 2017-05-31 | 2019-02-12 | 合肥工业大学 | 一维闭环微纳米振动台 |
| CN110928238A (zh) * | 2019-10-23 | 2020-03-27 | 广东工业大学 | 一种刚柔耦合旋转平台及其控制方法 |
| CN110941241A (zh) * | 2019-10-23 | 2020-03-31 | 广东工业大学 | 一种刚柔耦合旋转平台 |
| CN111022483A (zh) * | 2019-10-23 | 2020-04-17 | 广东工业大学 | 一种复合式旋转柔性铰链环及应用其的旋转平台 |
| CN110928238B (zh) * | 2019-10-23 | 2022-05-13 | 广东工业大学 | 一种刚柔耦合旋转平台及其控制方法 |
| CN111854611A (zh) * | 2020-08-10 | 2020-10-30 | 上海乾曜光学科技有限公司 | 柔性铰链移相器 |
| CN111983776A (zh) * | 2020-09-21 | 2020-11-24 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种微位移促动器 |
| CN111983776B (zh) * | 2020-09-21 | 2021-07-06 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种微位移促动器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN102519355B (zh) | 2014-07-09 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant |