CN102494614A - 一种高精度数字散斑相关测量方法 - Google Patents

一种高精度数字散斑相关测量方法 Download PDF

Info

Publication number
CN102494614A
CN102494614A CN2011103593433A CN201110359343A CN102494614A CN 102494614 A CN102494614 A CN 102494614A CN 2011103593433 A CN2011103593433 A CN 2011103593433A CN 201110359343 A CN201110359343 A CN 201110359343A CN 102494614 A CN102494614 A CN 102494614A
Authority
CN
China
Prior art keywords
speckle
displacement
vortex
testee
matrixes
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN2011103593433A
Other languages
English (en)
Other versions
CN102494614B (zh
Inventor
李新忠
李立本
台玉萍
王晓飞
尹更新
陈庆东
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Henan University of Science and Technology
Original Assignee
Henan University of Science and Technology
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Henan University of Science and Technology filed Critical Henan University of Science and Technology
Priority to CN201110359343.3A priority Critical patent/CN102494614B/zh
Publication of CN102494614A publication Critical patent/CN102494614A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN102494614B publication Critical patent/CN102494614B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

一种高精度数字散斑相关测量方法，利用由连续波激光器、准直扩束器、会聚透镜、CCD相机和计算机构成的测量装置进行测量，首先对CCD相机记录的被测物体发生面内位移前、后的散斑图像进行滤波，得到光强的复信号分布，解析出相位分布后进行插值得到具有亚像素精度的相位分布矩阵；利用相位涡旋拓扑电荷数±1替换原相位值，其他点用0来替换，构造了两个稀疏矩阵；最后，对这两个稀疏矩阵进行相关运算，得到被测物体的面内位移信息。本方法能同时实现高计算效率和高测量精度，并且具有光路简洁、简单易行的特点，适合于光电无损检测领域的实时、在线检测。

Description

一种高精度数字散斑相关测量方法
技术领域
本发明涉及一种应用于光电无损检测等领域的测量物体面内位移的数字散斑相关测量方法，具体的说是一种高精度数字散斑相关测量方法。
背景技术
激光散斑是指当激光照射在粗糙物体表面上时，漫反射光在反射空间相互干涉后形成的明暗相间的斑点。散斑携带了被测物体信息，通过对散斑场的分析可以得到被测物体的变化信息。数字散斑相关测量方法是二十世纪80年代后逐步发展起来的，用于测量物体面内位移的非接触式光学测量方法。它具有光路简单、全场测量、非接触及对测量环境要求低等优点；因而在无损检测领域得到了广泛的应用。
在数字散斑相关测量方法中，在其他条件相同的情况下，测量精度与相关计算的点数成正比，计算点数越多，测量精度越高；而计算点数的增多，使得相关运算的计算效率降低；因此，同时实现高计算效率和高测量精度是该技术中待解决的难题。
在数字散斑相关测量方法的计算效率研究中，大都集中在如何选择最佳相关搜索子区上，如：文献【光电工程 34, 53-58 (2007】、文献【Optics Express 16, 7037-7048 (2008)】及文献【Optics and Lasers in Engineering 45, 967-974 (2007)】等。但即使在找到最佳相关搜索子区大小后，在大位移时计算点数仍然非常高，计算效率不能满足很多工程中实时测量的要求。在数字散斑相关测量方法的测量精度研究中，主要有插值法、曲面拟合法及梯度算法等，这些传统的数字散斑相关测量方法都是基于散斑场灰度相关计算，通过改进算法，尽管其精度可以达到亚像素，但计算效率也随之变得低下。
在数字散斑相关测量的专利文献方面，专利“骨小梁的提取与力学性能测量方法及其测量装置”(授权公告号为CN101158679B，授权公告日为2011.04.27)，公开了一种利用数字散斑相关方法对骨小梁的力学性能进行测量的方法及装置，该专利是数字散斑相关测量方法的新应用，而没有关注该方法本身的测量精度及计算效率；专利“一种多功能薄膜力学性能检测装置”(公开号为CN101788427A，公开日为2010.07.28)，该装置采用数字散斑相关方法测量薄膜变形，结合鼓泡法和改良移层法，可获得薄膜与涂层的力学性能；该装置也是利用散斑强度图直接进行相关搜索，其测量精度和计算效率均没有详加分析。
综上分析可知，在现有公开的背景技术中，同时实现高计算效率和高测量精度一直是数字散斑相关测量方法中的一个待解决的技术难题。
发明内容
本发明的目的是为解决上述技术问题的不足，提供一种高精度数字散斑相关测量方法，该方法能够在高效率计算的同时实现面内位移的纳米级高分辨精度的测量。
本发明的为解决上述技术问题的不足，所采用的技术方案是：本发明利用由连续波激光器、准直扩束器、会聚透镜、CCD相机和计算机构成的测量装置进行测量，在该连续波激光器的光束前进方向依次设有准直扩束器和被测物体，光束经被测物体散射后，经会聚透镜会聚后光束进入CCD相机成像，然后存储进计算机，测量步骤如下：
1、用CCD相机记录被测物体发生面内位移前和位移后的散斑光强图                                                
Figure 855707DEST_PATH_IMAGE001
、
Figure 764495DEST_PATH_IMAGE002
，为保证测量精度，应使散斑图中的散斑颗粒的平均直径为5 Pixels，散斑图像尺寸为1024×1024 Pixels；将两幅散斑光强图
Figure 877944DEST_PATH_IMAGE001
和
Figure 740858DEST_PATH_IMAGE002
存储进计算机进行后续处理；
2、用高斯-赫尔米特复数滤波器，对被测物体发生面内位移前和位移后的散斑光强图、
Figure 964346DEST_PATH_IMAGE002
进行滤波，得到它们的光强复信号分布
Figure 186380DEST_PATH_IMAGE003
和；
3、然后，根据光强复数信号分布
Figure 54335DEST_PATH_IMAGE003
和
Figure 235918DEST_PATH_IMAGE004
得到其相位分布
Figure 300957DEST_PATH_IMAGE005
和
Figure 200779DEST_PATH_IMAGE006
，对
Figure 704573DEST_PATH_IMAGE005
和
Figure 442460DEST_PATH_IMAGE006
进行双三次样条插值，得到具有亚像素精度的相位分布矩阵
Figure 803034DEST_PATH_IMAGE007
和
Figure 127836DEST_PATH_IMAGE008
；
4、根据相位涡旋的定义，利用公式对相位分布矩阵
Figure 325916DEST_PATH_IMAGE007
和
Figure 122971DEST_PATH_IMAGE008
进行相位涡旋点的搜索，其中，
Figure 669490DEST_PATH_IMAGE010
为包含该搜索点的闭合曲线积分；当s=+1时，该涡旋为正涡旋，当s=-1时，该涡旋为负涡旋；用+1或-1来替换相位分布矩阵
Figure 842982DEST_PATH_IMAGE007
和
Figure 292812DEST_PATH_IMAGE008
中原来该点的数值，矩阵
Figure 260768DEST_PATH_IMAGE007
和
Figure 294583DEST_PATH_IMAGE008
中其他所有点的数值用0来替换；最终得到了代表被测物体发生面内位移前、后的两个相位涡旋矩阵X 1(x,y)和X 2(x,y)；由于0值在这两个矩阵中占绝大多数，所以，这两个矩阵X 1(x,y)和X 2(x,y)为稀疏矩阵；
5、选择大小为51×51 Pixels的子区作为搜索区域，对物体发生面内位移前、后的两个稀疏矩阵X 1(x,y)和X 2(x,y)进行相关运算，得到散斑场在
Figure 943870DEST_PATH_IMAGE011
方向的具有亚像素精度的面内位移，成像光路的放大倍数为M，则被测物体发生的面内位移量为
Figure 885598DEST_PATH_IMAGE013
。
    本发明首先利用CCD相机记录被测物体发生面内位移前、后两个状态的散斑光强图像，然后利用高斯-赫尔米特复数滤波器对这两幅图像进行滤波获得光强分布的复信号分布，进而得到散斑场的相位分布；对相位分布进行插值得到具有亚像素精度的相位分布矩阵，然后根据相位涡旋的定义来确定每个涡旋点的位置和拓扑电荷数±1，在相位分布矩阵中分别利用+1或-1来替换原来的相位值，其他点的数值用0来替换，这样就构造了两个稀疏矩阵；最后，对这两个稀疏矩阵进行相关运算，得到被测物体的面内位移信息。
本发明的工作原理是：
在数字散斑相关测量中，利用CCD相机记录物体发生面内位移前、后两幅散斑光强灰度图，分别用
Figure 469026DEST_PATH_IMAGE001
、
Figure 154960DEST_PATH_IMAGE002
表示；然后存储进计算机进行相关运算。在发生面内位移前的散斑图
Figure 140234DEST_PATH_IMAGE001
中以中心点P点为中心取大小为n×n的子区A作为相关搜索子区；当被测物体发生形变后，子区A移至子区B的位置，P点移动到P′点。由统计学知，A与B这两个样本空间的相关系数最大；利用标准化自协方差相关函数来求其相关系数，
Figure 387675DEST_PATH_IMAGE014
           (1)
其中，
Figure 458400DEST_PATH_IMAGE012
为从P点搜索P′点时在
Figure 449489DEST_PATH_IMAGE011
方向上产生的位移，为该点的相关系数，
Figure 707612DEST_PATH_IMAGE016
分别为发生面内位移前、后获得的散斑图像中各像素点灰度，
Figure 439201DEST_PATH_IMAGE017
分别为相关搜索子区A，B的平均灰度值；根据相关系数的最大值来确定子区B的位置，最终得到散斑场移动后P′点在x, y方向的位移
Figure 296299DEST_PATH_IMAGE012
；公式(1)中，
Figure 928269DEST_PATH_IMAGE018
。
在数字散斑相关测量中，CCD相机记录的散斑图是光强分布图，丢失了相位信息；本发明首先通过高斯-赫尔米特变换将散斑强度分布
Figure 579830DEST_PATH_IMAGE019
重建为复数信号分布
Figure 562829DEST_PATH_IMAGE020
，
         
Figure 958039DEST_PATH_IMAGE021
                    (2)
其中，为
Figure 532556DEST_PATH_IMAGE019
的傅里叶变换，
Figure 235808DEST_PATH_IMAGE023
分别为
Figure 372391DEST_PATH_IMAGE011
方向的频率，step( f )为阶跃函数，定义为，
      
Figure 775691DEST_PATH_IMAGE024
                                        (3)
(3)式中，f为x方向的频率f x 或y方向的频率f y 。
获得散斑图光强的复信号分布
Figure 972317DEST_PATH_IMAGE020
后，提取出其相位分布
              
Figure 726646DEST_PATH_IMAGE025
                                          (4)
其中，arg(…)表示对复数求相角。
获得其相位分布后，利用双三次样条插值，得到具有亚像素精度的相位分布
Figure 401341DEST_PATH_IMAGE026
。然后，通过下述公式确定每个相位涡旋点的位置
              
Figure 924726DEST_PATH_IMAGE027
                                       (5)
其中，
Figure 793719DEST_PATH_IMAGE010
为包含该搜索点的闭合曲线积分，s为拓扑电荷数，是一个整数。在正态散斑场中，s取±1；当s=+1时，相位绕该点逆时针增大，为正涡旋；当s=-1时，相位绕该点顺时针增大，为负涡旋。利用+1或-1去替换相位矩阵中该点的数值，中其他所有点用0值来替换，最后，构成了一个具有亚像素精度的涡旋分布矩阵X(x,y)。由于该矩阵中绝大多数点的值为0，所以X(x,y)是稀疏矩阵。
利用(2)-(5)式，对物体发生面内位移前、后的散斑光强图
Figure 891622DEST_PATH_IMAGE001
、进行处理，得到代表物体发生面内位移前、后信息的两个稀疏矩阵X 1(x,y)和X 2(x,y)；然后，选择合适的搜索子区对这两个稀疏矩阵X 1(x,y)和X 2(x,y)进行相关运算，得到散斑场在
Figure 831076DEST_PATH_IMAGE011
方向具有亚像素精度的位移
Figure 909890DEST_PATH_IMAGE012
；若成像光路的放大倍数为M，则被测物体的面内位移量为。由于稀疏矩阵相关时0值点不参与运算，因此，极大的提高了相关计算的效率。
与以往技术相比，本发明的优点：本发明方法具有简单易行、快速准确的特点，其测量精度能达到几十个纳米，同时，其计算效率比传统的数字散斑相关方法相比能提高10倍以上。也就是说本方法所实现的目的是：能够在高效率计算的同时实现面内位移的纳米级高分辨精度的测量。可广泛应用于光电无损检测等领域，尤其适合于这些领域的微小位移的实时、高精度可靠测量。
附图说明
图1是本发明中测量装置的结构示意图。
附图标记：1、连续波激光器，2、准直扩束器，3、被测物体，4、会聚透镜，5、CCD相机，6、计算机。
具体实施方式
本发明利用由连续波激光器1、准直扩束器2、会聚透镜4、CCD相机5和计算机6构成的测量装置进行测量，如图所示，其中选用的连续波激光器1为He-Ne激光器，激光波长为632.8nm，功率为10mW。首先按照上述的结构布置测量光路图，连续波激光器1发出的激光束经准直扩束器2后变为平行光，照射在被测物体3上；激光束经待被测物体3散射后，在反射区形成散斑光场；经会聚透镜4后进入CCD相机5成像，然后存储进计算机6进行处理，具体的测量步骤如下：
首先，用CCD相机5记录被测物体3发生面内位移前和位移后的散斑光强图、
Figure 504055DEST_PATH_IMAGE002
，为保证测量精度，应使散斑图中的散斑颗粒的平均直径为5 Pixels，散斑图像尺寸为1024×1024 Pixels；将两幅散斑光强图存储进计算机6进行后续处理；
采用用高斯-赫尔米特复数滤波器，对被测物体3发生面内位移前和位移后的散斑光强图
Figure 386560DEST_PATH_IMAGE001
、
Figure 676727DEST_PATH_IMAGE002
进行滤波，得到它们的光强复信号分布、
Figure 994893DEST_PATH_IMAGE004
；
然后，根据光强复数信号分布
Figure 866377DEST_PATH_IMAGE003
和
Figure 338946DEST_PATH_IMAGE004
得到其相位分布
Figure 124500DEST_PATH_IMAGE005
和，对
Figure 211721DEST_PATH_IMAGE005
和进行双三次样条插值，得到具有亚像素精度的相位分布矩阵
Figure 760831DEST_PATH_IMAGE007
和
Figure 173358DEST_PATH_IMAGE008
；
根据相位涡旋的定义，利用公式
Figure 371996DEST_PATH_IMAGE009
对相位分布矩阵
Figure 553579DEST_PATH_IMAGE007
和
Figure 946514DEST_PATH_IMAGE008
进行相位涡旋点的搜索，其中，
Figure 784020DEST_PATH_IMAGE010
为包含该搜索点的闭合曲线积分；当s=+1时，该涡旋为正涡旋，当s=-1时，该涡旋为负涡旋；用+1或-1来替换相位分布矩阵
Figure 350131DEST_PATH_IMAGE007
和中原来该点的数值，矩阵
Figure 950056DEST_PATH_IMAGE007
和
Figure 776323DEST_PATH_IMAGE008
中其他所有点的数值用0来替换；最终得到了代表被测物体发生面内位移前、后的两个相位涡旋矩阵X 1(x,y)和X 2(x,y)；由于0值在这两个矩阵中占绝大多数，所以，这两个矩阵X 1(x,y)和X 2(x,y)为稀疏矩阵；
选择大小为51×51 Pixels的子区作为搜索区域，对被测物体3发生面内位移前、后的两个稀疏矩阵X 1(x,y)和X 2(x,y)进行相关运算，得到散斑场在
Figure 880545DEST_PATH_IMAGE011
方向的具有亚像素精度的面内位移
Figure 974403DEST_PATH_IMAGE012
，选用的会聚透镜4的放大倍数为10倍，则被测物体3发生的面内位移量为
Figure 771458DEST_PATH_IMAGE029
；
选用的CCD相机5的像素大小为10mm，该发明方法的测量精度为0.01mm，即10nm；在计算机6的硬件配置相同的条件下，该发明方法的计算效率是传统数字散斑相关方法计算效率的10倍。
经实验表明：本发明方法的计算效率能提高10倍以上，同时，其测量精度能达到10nm以下的分辨率；此外，该发明方法还具有光路简洁、简单易行的特点，适合于工业生产领域的实时、在线检测。

Claims (1)

1.一种高精度数字散斑相关测量方法，其特征在于：该方法利用由连续波激光器（1）、准直扩束器（2）、会聚透镜（4）、CCD相机（5）和计算机（6）构成的测量装置进行测量，在该连续波激光器（1）的光束前进方向依次设有准直扩束器（2）和被测物体（3），光束经被测物体散射后，经会聚透镜（4）会聚后光束进入CCD相机（5）成像，然后存储进计算机（6），测量步骤如下： 
步骤一、用CCD相机记录被测物体发生面内位移前和位移后的散斑光强图                                                
Figure 434384DEST_PATH_IMAGE001
、，为保证测量精度，应使散斑图中的散斑颗粒的平均直径为5 Pixels，散斑图像尺寸为1024×1024 Pixels；将两幅散斑光强图
Figure 68944DEST_PATH_IMAGE001
和存储进计算机进行后续处理；
步骤二、用高斯-赫尔米特复数滤波器，对被测物体发生面内位移前和位移后的散斑光强图
Figure 655357DEST_PATH_IMAGE001
、
Figure 477819DEST_PATH_IMAGE002
进行滤波，得到它们的光强复信号分布
Figure 682536DEST_PATH_IMAGE003
和
Figure 881436DEST_PATH_IMAGE004
；
步骤三、然后，根据光强复数信号分布
Figure 487998DEST_PATH_IMAGE003
和
Figure 419045DEST_PATH_IMAGE004
得到其相位分布
Figure 173374DEST_PATH_IMAGE005
和
Figure 346604DEST_PATH_IMAGE006
，对
Figure 869989DEST_PATH_IMAGE005
和进行双三次样条插值，得到具有亚像素精度的相位分布矩阵
Figure 416825DEST_PATH_IMAGE008
和
Figure 691949DEST_PATH_IMAGE009
；
步骤四、根据相位涡旋的定义，利用公式
Figure 273103DEST_PATH_IMAGE010
对相位分布矩阵
Figure 608269DEST_PATH_IMAGE008
和
Figure 776339DEST_PATH_IMAGE009
进行相位涡旋点的搜索，其中，
Figure 792836DEST_PATH_IMAGE011
为包含该搜索点的闭合曲线积分；当s=+1时，该涡旋为正涡旋，当s=-1时，该涡旋为负涡旋；用+1或-1来替换相位分布矩阵
Figure 290814DEST_PATH_IMAGE008
和
Figure 144DEST_PATH_IMAGE009
中原来该点的数值，矩阵
Figure 950782DEST_PATH_IMAGE008
和
Figure 770971DEST_PATH_IMAGE009
中其他所有点的数值用0来替换；最终得到了代表被测物体发生面内位移前、后的两个相位涡旋矩阵X 1(x,y)和X 2(x,y)；由于0值在这两个矩阵中占绝大多数，所以，这两个矩阵X 1(x,y)和X 2(x,y)为稀疏矩阵；
步骤五、选择大小为51×51 Pixels的子区作为搜索区域，对物体发生面内位移前、后的两个稀疏矩阵X 1(x,y)和X 2(x,y)进行相关运算，得到散斑场在
Figure 559673DEST_PATH_IMAGE012
方向的具有亚像素精度的面内位移
Figure 502221DEST_PATH_IMAGE013
，成像光路的放大倍数为M，则被测物体发生的面内位移量为
Figure 877839DEST_PATH_IMAGE014
。
CN201110359343.3A 2011-11-14 2011-11-14 一种高精度数字散斑相关测量方法 Expired - Fee Related CN102494614B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201110359343.3A CN102494614B (zh) 2011-11-14 2011-11-14 一种高精度数字散斑相关测量方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201110359343.3A CN102494614B (zh) 2011-11-14 2011-11-14 一种高精度数字散斑相关测量方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN102494614A true CN102494614A (zh) 2012-06-13
CN102494614B CN102494614B (zh) 2014-05-21

Family

ID=46186458

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201110359343.3A Expired - Fee Related CN102494614B (zh) 2011-11-14 2011-11-14 一种高精度数字散斑相关测量方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN102494614B (zh)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103020907A (zh) * 2012-12-04 2013-04-03 上海交通大学 基于二维集合经验模态分解的dspi条纹滤波***
CN103383353A (zh) * 2013-07-02 2013-11-06 河南科技大学 一种基于光学涡旋的动态散斑测试方法
CN104634281A (zh) * 2015-02-15 2015-05-20 上海理工大学 滚筒机及测量方法
CN105157588A (zh) * 2015-09-05 2015-12-16 辽宁工程技术大学 一种应变局部化带间距演变规律的多维同步优化测量方法
CN110631487A (zh) * 2019-11-08 2019-12-31 济南大学 一种利用激光散斑自相关技术测量横向微位移的方法
CN111856480A (zh) * 2020-07-29 2020-10-30 南京工程学院 一种设备位移快速检测方法及检测***

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1401991A (zh) * 2002-09-13 2003-03-12 清华大学 时间序列散斑场脉冲计数位移测量方法及其装置
CN102135413A (zh) * 2010-12-14 2011-07-27 河南科技大学 一种基于相位涡旋的数字散斑相关测量方法
CN102175580A (zh) * 2011-02-21 2011-09-07 河南科技大学 动态散斑法测量浑浊介质微粒运动的装置和方法

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1401991A (zh) * 2002-09-13 2003-03-12 清华大学 时间序列散斑场脉冲计数位移测量方法及其装置
CN102135413A (zh) * 2010-12-14 2011-07-27 河南科技大学 一种基于相位涡旋的数字散斑相关测量方法
CN102175580A (zh) * 2011-02-21 2011-09-07 河南科技大学 动态散斑法测量浑浊介质微粒运动的装置和方法

Non-Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
余颖辉等: "同塔4回输电线路参数计算方法研究", 《上海电力》 *
刘曼等: "利用干涉光场的相位涡旋测量拉盖尔-高斯光束的轨道角动量", 《物理学报》 *
吴文辉等: "高压输电线路的序参数特性分析研究", 《华东电力》 *
宋洪胜等: "散斑场相位涡旋及其传播特性的实验研究", 《物理学报》 *
张波: "稀疏矩阵技术及其在天测与测地VLBI数据处理中的应用", 《中国科学院上海天文台年刊》 *

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103020907A (zh) * 2012-12-04 2013-04-03 上海交通大学 基于二维集合经验模态分解的dspi条纹滤波***
CN103020907B (zh) * 2012-12-04 2015-08-26 上海交通大学 基于二维集合经验模态分解的dspi条纹滤波***
CN103383353A (zh) * 2013-07-02 2013-11-06 河南科技大学 一种基于光学涡旋的动态散斑测试方法
CN103383353B (zh) * 2013-07-02 2015-04-22 河南科技大学 一种基于光学涡旋的动态散斑测试方法
CN104634281A (zh) * 2015-02-15 2015-05-20 上海理工大学 滚筒机及测量方法
CN105157588A (zh) * 2015-09-05 2015-12-16 辽宁工程技术大学 一种应变局部化带间距演变规律的多维同步优化测量方法
CN105157588B (zh) * 2015-09-05 2018-01-26 辽宁工程技术大学 一种应变局部化带间距演变规律的多维同步优化测量方法
CN110631487A (zh) * 2019-11-08 2019-12-31 济南大学 一种利用激光散斑自相关技术测量横向微位移的方法
CN111856480A (zh) * 2020-07-29 2020-10-30 南京工程学院 一种设备位移快速检测方法及检测***
CN111856480B (zh) * 2020-07-29 2023-11-10 南京工程学院 一种设备位移快速检测方法及检测***

Also Published As

Publication number Publication date
CN102494614B (zh) 2014-05-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102494614B (zh) 一种高精度数字散斑相关测量方法
CN104966308B (zh) 一种计算激光光束光斑大小的方法
CN105783775B (zh) 一种镜面及类镜面物体表面形貌测量装置与方法
CN102135413B (zh) 一种基于相位涡旋的数字散斑相关测量方法
CN103528524B (zh) 透视测量树脂基复合材料内部离面位移场分布的方法
CN102749143B (zh) 一种提高夏克-哈特曼波前传感器测量精度的波前重构方法
CN102175580A (zh) 动态散斑法测量浑浊介质微粒运动的装置和方法
US20130147919A1 (en) Multi-View Difraction Grating Imaging With Two-Dimensional Displacement Measurement For Three-Dimensional Deformation Or Profile Output
CN110455834B (zh) 基于光强传输方程的x射线单次曝光成像装置及方法
CN102507156B (zh) 对聚焦光学***聚焦光斑尺寸测量的装置及其使用方法
WO2021184686A1 (zh) 基于多尺度生成对抗神经网络的单帧条纹分析方法
CN102506716A (zh) 面内位移和离面位移同时测量的激光散斑测量装置和方法
CN107516324A (zh) 一种基于光条几何特征突变的目标边界提取方法
Zhang et al. Accuracy improvement in laser stripe extraction for large-scale triangulation scanning measurement system
CN111121675A (zh) 一种用于微球表面显微干涉测量的视场扩展方法
Liu et al. Real-time 3D surface measurement in additive manufacturing using deep learning
CN102967261A (zh) 一种基于数字散斑相关法的激光位移测量方法
Sun et al. A vision-based method for dimensional in situ measurement of cooling holes in aero-engines during laser beam drilling process
Wu et al. Three-dimensional shape and deformation measurement on complex structure parts
CN103383353B (zh) 一种基于光学涡旋的动态散斑测试方法
CN111369533B (zh) 基于偏振图像融合的钢轨廓形检测方法及装置
Peng et al. Volume monitoring of the milling tool tip wear and breakage based on multi-focus image three-dimensional reconstruction
Lu et al. A new grinding surface roughness measurement method based on image quality algorithm and BP neural network
CN112414316B (zh) 一种应变片敏感栅尺寸参数测量方法
Huang et al. Differential confocal measurement of microstructure surface topography based on centering error optimization and wavelet threshold denoising

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20140521

Termination date: 20141114

EXPY Termination of patent right or utility model