CN102257729B

CN102257729B - 弹性表面波装置

Info

Publication number: CN102257729B
Application number: CN200980150881.2A
Authority: CN
Inventors: 木村哲也; 门田道雄
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2008-12-17
Filing date: 2009-11-25
Publication date: 2014-03-12
Anticipated expiration: 2029-11-25
Also published as: CN102257729A; US8169121B2; US20110241481A1; JP5152342B2; JPWO2010070816A1; WO2010070816A1

Abstract

本发明提供一种机电耦合系数(k²)大且***损失低，并且具有高耐静电性的弹性表面波装置。在压电体(10)上形成有多根槽(10a)。IDT电极(37)的电极指(31a、31b)具有：位于槽(10a)的内部的第一电极层(21)、形成在第一电极层(21)上且位于比槽(10a)的上端面靠上侧的位置的第二电极层(22)。在弹性表面波装置(1)中，第一电极层(21)的平均密度(ρ_a)的3次方与第一电极层的平均刚度(C44_a)之积的1/2次方(ρ_a ³×C44_a)^1/2比第二电极层(22)的平均密度(ρ_b)的3次方与第二电极层(22)的平均刚度(C44_b)之积的1/2次方(ρ_b ³×C44_b)^1/2大。

Description

弹性表面波装置

技术领域

本发明涉及一种用于例如共振子或频段滤波器等的弹性表面波装置，具体涉及具有利用绝缘层覆盖的IDT电极的弹性表面波装置。

背景技术

在用于移动体通信***等的双工器(DPX：Duplexer)或RF滤波器中，要求具备宽频段且良好的温度特性。作为满足宽频段且良好的温度特性两者的弹性表面波装置，例如在专利文献1中公开了具有埋入LiTaO₃基板的由Al构成的IDT电极的弹性表面波装置。如专利文献1公开的弹性表面波装置那样，通过将IDT电极埋入压电基板而得到大的机电耦合系数(k²)。其结果，实现宽频段。

专利文献1：WO2006/011417 A1号公报

发明内容

在将IDT电极埋入压电基板的弹性表面波装置中，为了得到更大的机电耦合系数(k²)，优选提高IDT电极的密度。另外，从减小***损失的观点出发，优选将IDT电极的电极指利用低电阻率的材料较厚地形成，减小电极指的电阻。

然而，当增大IDT电极的密度或加厚IDT电极时，存在弹性波的声速变慢的倾向。因此，当制作例如利用数百MHz～数GHz带的高频带的弹性波的弹性表面波装置时，存在必须使IDT电极的电极指的间距变窄的问题。当使电极指的间距变窄时，存在弹性表面波装置的耐静电性降低的倾向。

本发明的目的在于提供一种机电耦合系数(k²)大且***损失低，并且具有高耐静电性的弹性表面波装置。

发明内容

本发明的弹性表面波装置具有压电体和IDT电极。在压电体形成有多根槽。IDT电极具有多根电极指。各电极指的一部分位于槽内。电极指具有第一电极层和第二电极层。第一电极层位于槽的内部。第二电极层形成在第一电极层上。第二电极层位于比槽的上端面靠上侧的位置。在本发明的弹性表面波装置中，第一电极层的平均密度(ρ_a)的3次方与第一电极层的平均刚度(C44_a)之积的1/2次方(ρ_a ³×C44_a)^1/2比第二电极层的平均密度(ρ_b)的3次方与第二电极层的平均刚度(C44_b)之积的1/2次方(ρ_b ³×C44_b)^1/2大。

在本发明的弹性表面波装置的某一特定方面中，满足(ρ_b ³×C44_b)^1/2＜6.54×10¹⁰≤(ρ_a ³×C44_a)^1/2的关系。根据该结构，能够使***损失更低且耐静电性更高。

在本发明的弹性表面波装置的其他特定方面中，还满足(ρ_a ³×C44_a)^1/2＜5.0×10¹¹的关系。根据该结构，能够使***损失更低且耐静电性更高。

在本发明的弹性表面波装置的其他特定方面中，第二电极层实质上由以Al或Al为主成分的合金构成。

在本发明的弹性表面波装置的另一特定方面中，第一电极层实质上由从Ti、Cu、Ag、Cr、Ni、Mo及Au构成的组中选出的金属或以从该组中选出的至少一种金属为主成分的合金构成。

在本发明的弹性表面波装置的又一其他特定局面中，第一电极层实质上由Cu、Ti、Ni或NiCr构成。

在本发明的弹性表面波装置的又一其他特定方面中，第一及第二电极层的至少一个由多个金属膜构成。当第一电极层由多个金属膜构成的情况下，第一电极层的平均密度(ρ_a)为构成第一电极层的各金属膜的密度与膜厚之积的总和除以各金属膜的膜厚的总和得到的值。第一电极层的平均刚度(C44_a)为构成第一电极层的各金属膜的平均刚度与膜厚之积的总和除以各金属膜的膜厚的总和得到的值。当第二电极层由多个金属膜构成的情况下，第二电极层的平均密度(ρ_b)为构成第二电极层的各金属膜的密度与膜厚之积的总和除以各金属膜的膜厚的总和得到的值。第二电极层的平均刚度(C44_b)为构成第二电极层的各金属膜的平均刚度与膜厚之积的总和除以各金属膜的膜厚的总和得到的值。

另外，在本发明中，“金属膜”由实质上包含合金的膜构成。

在本发明的弹性表面波装置的又一特定方面中，压电体为LiTaO₃基板或LiNbO₃基板。

在本发明的弹性表面波装置的再一特定方面中，压电体为LiTaO₃基板。

在本发明的弹性表面波装置的又一特定方面中，LiTaO₃基板的欧拉角(φ、θ、ψ)的θ为120°以上140°以下。

发明效果

在本发明的弹性表面波装置中，位于槽内部的第一电极层的平均密度(ρ_a)的3次方与平均刚度(C44_a)之积的1/2次方(ρ_a ³×C44_a)^1/2比位于比槽的上端面更靠上侧位置的第二电极层的平均密度(ρ_b)的3次方与平均刚度(C44_b)之积的1/2次方(ρ_b ³×C44_b)^1/2大，因此，能够提供机电耦合系数(k²)大且***损失低，并且具有高耐静电性的弹性表面波装置。

附图说明

图1是实施方式的弹性表面波装置的简要剖面图。

图2是实施方式的弹性表面波装置的简要俯视图。

图3是表示第一实施例以及第一和第二比较例的声速的图表。

图4是第一比较例的弹性表面波装置的简要剖面图。

图5是第二比较例的弹性表面波装置的简要剖面图。

图6是表示第一实施例及第一比较例的第一电极层的波长标准化厚度与声速的关系的图表。

图7是表示Al膜的波长标准化厚度与声速的关系的图表(在图7中，标注符号126的以菱形示出的数据是欧拉角的θ为126°时的数据，在图7中，标注符号130的数据是欧拉角的θ为130°时的数据，在图7中，标注符号136以正方形示出的数据是欧拉角的θ为136°时的数据)。

图8是表示波长标准化膜厚与薄片(シ一ト)电阻的关系的图表。

图9是表示第一实施例以及第一和第二比较例的截止频带(ストツプバンド)的图表。

图10是表示第一实施例以及第一和第二比较例的比频带的图表。

图11是表示第二实施例和第三及第二比较例的声速的图表。

图12是表示第二实施例和第三及第二比较例的截止频带的图表。

图13是表示第二实施例和第三及第二比较例的比频带的图表。

图14是表示第三实施例和第四及第二比较例的声速的图表。

图15是表示第三实施例和第四及第二比较例的截止频带的图表。

图16是表示第三实施例和第四及第二比较例的比频带的图表。

图17是变形例的弹性表面波装置的简要剖面图。

具体实施方式

以下，参照附图说明本发明的具体实施方式以明确本发明。

图1是本实施方式的弹性表面波装置1的简要剖面图。图2是本实施方式的弹性表面波装置1的简要俯视图。如图1及图2所示，弹性表面波装置1具备压电体10。压电体10可以由适当的压电材料形成。具体而言，压电体10可以由例如LiTaO₃基板和LiNbO₃基板等构成。其中，压电体10优选由LiTaO₃基板构成。更详细而言，更优选由欧拉角(φ、θ、ψ)的θ为120°～140°的LiTaO₃基板构成。进一步详细而言，更优选压电体10由欧拉角为(0±5°、120°～140°、0±5°)的LiTaO₃基板构成。

如图2所示，在压电体10上形成有电极30。电极30具有IDT电极37。在弹性表面波传送方向d的IDT电极37的两侧配置有反射器33、34。IDT电极37具有彼此间嵌合的第一及第二梳齿电极31、32。第一梳齿电极31与第一端子35电连接。另外，第二梳齿电极32与第二端子36电连接。

第一梳齿电极31具有第一导电条(バスバ一)31a和与第一导电条31a连接的多个第一电极指31b。多个第一电极指31b配置为彼此大致平行。第二梳齿电极32具备第二导电条32a和与第二导电条32a连接的多个第二电极指32b。多个第二电极指32b配置为彼此平行。多个第二电极指32b与多个第一电极指31b在弹性表面波的传送方向d上交替配置。第一电极指31b与第二电极指32b的各自的一部分位于形成在压电体10的多根槽10a内。

如图1所示，第一及第二电极指31b、32b具有第一电极层21和第二电极层22。第一电极层21形成于在压电体10形成的多根槽10a内。第一电极层21的表面与没有形成压电体10的槽10a的部分的表面大致位于同一面。

第二电极层22形成在第一电极层21上。第二电极层22位于比槽10a的上端面靠上侧的位置。即，第二电极层22没有形成在槽10a的内部，形成在槽10a外。

在本实施方式中，第一电极层21的平均密度(ρ_a(kg/m³))的3次方与平均刚度(ステイフネス)(C44_a(N/m²))之积的1/2次方(ρ_a ³×C44_a)^1/2设定为比第二电极层22的平均密度(ρ_b(kg/m³))的3次方与平均刚度(C44_b(N/m²))之积的1/2次方(ρ_b ³×C44_b)^1/2大的〔(ρ_a ³×C44_a)^1/2＞(ρ_b ³×C44_b)^1/2〕的关系。即，在本实施方式中，将平均密度设为ρ、将平均刚度设为C44时，(ρ³×C44)^1/2大的第一电极层21埋设在槽10a内，(ρ³×C44)^1/2小的第二电极层22形成在比槽10a的上端面靠上侧的位置。

由此，在以下的实施例中证实，能够在提高第一及第二电极指31b、32b的密度的同时，提高弹性表面波的声速。从而增大机电耦合系数(k²)。

另外，由于能够提高弹性表面波的声速，从而能够增大第一及第二电极指31b、32b的间距(波长)。由此，能够提高耐静电性。另外，能够提高弹性表面波装置1的制造容易性。

并且，由于能够增大第一及第二电极指31b、32b的间距(波长)，因此能够增大第一及第二电极指31b、32b的截面积。由此，能够降低第一及第二电极指31b、32b的电阻。从而，减小***损失。

即，根据本实施方式，能够提供机电耦合系数(k²)大且***损失低，并且具有高耐静电性的弹性表面波装置。另外，其效果是与压电体10的欧拉角无关地获得的效果。

另外，(ρ³×C44)^1/2大的第一电极层21的至少一部分配置在比槽10a的上端面靠上侧时，存在机电耦合系数(k²)变小的倾向。

另外，将(ρ³×C44)^1/2小的第二电极层22配置在槽10a内时，存在反射系数变小的倾向。

另外，通过不设置(ρ³×C44)^1/2小的第二电极层22而仅加厚形成(ρ³×C44)^1/2大的第一电极层21，从而实现第一及第二电极指31b、32b的低电阻化的情况下，弹性表面波的声速变低。因此，存在电极指31b、32b的间距变窄的倾向。从而，存在耐静电性变低且弹性表面波装置的制造容易性降低的倾向。

从使机电耦合系数(k²)更大且***损失更小，并且耐静电性更高的观点出发，优选第一电极层21与第二电极层22形成为满足(ρ_b ³×C44_b)^1/2＜6.54×10¹⁰≤(ρ_a ³×C44_a)^1/2的关系，更优选满足(ρ_b ³×C44_b)^1/2＜6.54×10¹⁰≤(ρ_a ³×C44_a)^1/2＜5.0×10¹¹的关系。

第一及第二电极层21、22的结构只要满足(ρ_a ³×C44_a)^1/2＞(ρ_b ³×C44_b)^1/2的关系即可，没有特别的限定。第一及第二电极层21、22可以分别由一个金属膜构成，也可以由多个金属膜的层叠体构成。

第一电极层21由一个金属膜构成的情况下，优选由(ρ³×C44)^1/2(其中，ρ为金属膜的密度、C44为平均刚度)大的金属或合金材料形成第一电极层21，尤其优选由(ρ³×C44)^1/2为6.54×10¹⁰以上的金属或合金材料形成第一电极层21。具体而言，第一电极层21优选实质上由以从Ti、Cu、Ag、Cr、Ni、Mo及Au构成的组中选出的金属或从该组中选出的至少一种金属为主成分的合金构成。其中，第一电极层21尤其优选实质上由Cu、Ti、Ni或NiCr构成。

当第二电极层22由一个金属膜构成的情况下，优选由(ρ³×C44)^1/2小的金属或合金材料形成第二电极层22，尤其优选由(ρ³×C44)^1/2比6.54×10¹⁰小的金属材料形成第二电极层22。具体而言，优选第二电极层22实质上由以Al或Al为主成分的合金构成。

当第一电极层21由多个金属膜的层叠体构成的情况下，第一电极层21的平均密度(ρ_a(kg/m³))为构成第一电极层21的各金属膜的密度与膜厚之积的总和除以各金属膜的膜厚的总和得到的值。第一电极层21的平均刚度(C44_a(N/m²))为构成第一电极层21的各金属膜的平均刚度与膜厚之积的总和除以各金属膜的膜厚的总和得到的值。

另外，当第二电极层22由多个金属膜的层叠体构成的情况下，第二电极层22的平均密度(ρ_b(kg/m³))为构成第二电极层22的各金属膜的密度与膜厚之积的总和除以各金属膜的膜厚的总和得到的值。第二电极层22的平均刚度(C44_b(N/m²))为构成第二电极层22的各金属膜的平均刚度与膜厚之积的总和除以各金属膜的膜厚的总和得到的值。

因此，第一及第二电极层21、22的至少一个由多个金属膜的层叠体构成的情况下，构成第一电极层21的多个金属膜中，可以为与构成第二电极层22的电极膜相比，密度及平均刚度中的至少一个小的金属或合金材料构成的金属膜。另外，构成第二电极层22的多个金属膜中，可以为与构成第一电极层21的电极膜相比，密度及平均刚度中的至少一个大的金属或合金材料构成的金属膜。

利用下述的表1表示能够用于第一及第二电极层21、22的金属材料示例的(ρ³×C44)^1/2。其中，下述的表1所示的金属材料仅仅是例示，能够用于第一及第二电极层21、22的金属和合金并没有限定于下述的表1所示的金属材料。

[表1]

另外，在本实施方式中，作为弹性表面波装置的例子例举了共振子进行说明，但本发明的弹性表面波装置并没有限于共振子，也可以使例如利用了弹性波的滤波器。作为滤波器的具体例子，可举出例如纵耦合共振子型滤波器和阶梯(ラダ一)型滤波器等。

(第一实施例以及第一和第二比较例)

作为第一实施例，在以下条件下，制作图1及图2所示的弹性表面波装置1，测定压电体10的欧拉角的各θ中的弹性表面波装置1的声速、截止频带与比频带。声速的测定结果在图3及图6所示的图表中用实线表示。截止频带的测定结果在图9所示的图表中用实线表示。比频带的测定结果在图10所示的表中用实线表示。

在此，声速是指弹性表面波的相位速度(m/秒)。

截止频带是指在光栅构造中弹性表面波停止的范围(宽度)，用(Vsu-Vsl)/Vsl表示。其中，Vsu是电短路光栅(グレ一テイング)构造中的截止频带的上端侧的声速，Vsl是电短路光栅构造中的截止频带的下端侧的声速。截止频带与反射系数相关。

比频带利用(VoI-VsI)/VsI表示。比频带与机电耦合系数(k²)相关。另外，求解截止频带和比频带时Vsu＝Vou。其中，Vol为电开路(開放)光栅构造中的截止频带的下端侧的声速，Vou是电开放光栅构造中的截止频带的上端侧的声速。

第一实施例的条件：

压电体10：欧拉角(0°、θ、0°)的LiTaO₃基板

第一电极层21：Cu膜((ρ³×C44)^1/2＝1.91×10¹¹)

第一电极层21的波长标准化厚度(h/λ)：0.1

第二电极层22：Al膜((ρ³×C44)^1/2＝2.27×10¹⁰)

第二电极层22的波长标准化厚度(h/λ)：0.01～0.05

作为第一比较例，如图4所示，除在压电体10没有形成槽，在压电体10上形成了第一及第二电极层21、22两者以外，利用与第一实施例相同的条件制作弹性表面波装置，测定压电体10的欧拉角的各θ的弹性表面波装置1的声速、截止频带和比频带。声速的测定结果在图3及图6所示的图表中用单点划线表示。截止频带的测定结果在图9所示的图表中用单点划线表示。比频带的测定结果在图10所示的图表中用单点划线表示。

作为第二比较例，如图5所示，除在压电体10没有形成槽，在压电体10上形成波长标准化厚度0.1的Al电极层40以外，利用与第一实施例相同的条件制作弹性表面波装置，测定压电体10的欧拉角的各θ的弹性表面波装置1的声速、截止频带和比频带。声速的测定结果在图3所示的图表中用双点划线表示。截止频带的测定结果在图9所示的图表中用双点划线表示。比频带的测定结果在图10所示的图表中用双点划线表示。

另外，在上述图3、图9及图10以及下述的图11～图16中，标注符号101的实线表示第二电极层22的波长标准化厚度(h/λ)为0.01的实施例的数据。标注符号102的实线表示第二电极层22的波长标准化厚度(h/λ)为0.02的实施例的数据。标注符号103的实线表示第二电极层22的波长标准化厚度(h/λ)为0.03的实施例的数据。标注符号104的实线为第二电极层22的波长标准化厚度(h/λ)为0.04的实施例的数据。标注符号105的实线表示第二电极层22的波长标准化厚度(h/λ)为0.05的实施例的数据。标注符号201的单点划线表示第二电极层22的波长标准化厚度(h/λ)为0.01的比较例的数据。标注符号202的单点划线表示第二电极层22的波长标准化厚度(h/λ)为0.02的比较例的数据。标注符号203的单点划线表示第二电极层22的波长标准化厚度(h/λ)为0.03的比较例的数据。标注符号204的单点划线表示第二电极层22的波长标准化厚度(h/λ)为0.04的比较例的数据。标注符号205的单点划线表示第二电极层22的波长标准化厚度(h/λ)为0.05的比较例的数据。另外，在图9中，为了绘图方便，仅绘出了标注符号101的实线和标注符号105的实线。

如图3所示，与压电体10的欧拉角的θ的大小无关，将第一电极层21埋入压电体10的槽10a内的第一实施例的声速比第一比较例高。根据其结果可知，通过将(ρ³×C44)^1/2大的第一电极层21埋入压电体10内，能够提高声速。

另外，如图6所示，可知在没有将第一电极层21埋入压电体10内的第一比较例中，随着第一电极层21的波长标准化厚度变厚，声速急剧降低。因此，在第一比较例中，加厚第一电极层21的波长标准化厚度时，声速降低。另外，由于声速降低，因此，为了实现所希望的频率，需要减小第一及第二电极指31b、32b的间距。因此，需要减小第一及第二电极指31b、32b的截面积。从而，难以降低第一及第二电极指31b、32b的电阻。因此，在第一比较例的结构的弹性表面波装置中，不易实现小的***损失和高耐静电性。

另外，如图7所示，在压电体10上形成有Al电极层40时，随着Al电极层40的波长标准化厚度增大，声速大幅降低。因此，即使在压电体10上形成有Al电极层40的情况下，也与第一比较例的情况相同地，难以实现小的***损失和高耐静电性。

相对于此，在将第一电极层21埋入压电体10内的第一实施例中，即使第一电极层21的波长标准化厚度变厚，声速也没有那样降低。因此，能够加大第一及第二电极指31b、32b的间距，从而增大第一及第二电极指31b、32b的截面积。

进而，第一电极层21为Cu的情况下，由于Cu比Al导电性高，因此，与由Al电极层形成第一及第二电极指31b、32b的情况比较，可以减小第一及第二电极指31b、32b的薄片电阻。具体而言，如图8所示，利用由波长标准化厚度为0.03的Cu构成的第一电极层21和波长标准化厚度为0.1的Al构成的第二电极层22构成的、波长标准化厚度为0.13的电极指的薄片电阻(Ω/square)，与波长标准化厚度为0.14的Al膜的薄片电阻相等。

从而，在将第一电极层21埋入压电体10内的第一实施例中，能够减小第一及第二电极指31b、32b的电阻。从而，能够减小***损失。

进而，在第一实施例中，由于能够增大第一及第二电极指31b、32b的间距，因此能够提高耐静电性。即，能够同时实现高耐静电性和小***损失。

其次，参照图9说明第一实施例以及第一和第二比较例的截止频带。如图9所示，在没有将第一电极层21埋入压电体10内的第一比较例中，截止频带比较大。因此，在第一比较例中，由于IDT电极37的反射系数过大，因此，设计自由度降低。进而，使用该IDT电极37制作纵耦合共振子型滤波器时，滤波器的急峻性变差。

另外，将第一电极层21埋入压电体10内的第一实施例中的截止频带与使用以往广泛使用的Al电极层40的第二比较例的截止频带相等。另外，如图10所示，在第一实施例、第一及第二比较例中，比频带大致相等。从而，容易适用与使用Al电极层40的弹性表面波装置相关的现有的关键技术(know how)，使弹性表面波装置的设计容易。

(第二及第三实施例和第三及第四比较例)

作为第二实施例，除将第一电极层21的材质变更为Ti((ρ³×C44)^1/2＝6.54×10¹⁰)以外，制作与具有上述第一实施例相同结构的弹性表面波装置，测定声速、截止频带和比频带。

作为第三比较例，除将第一电极层21的材质变更为Ti以外，制作具有与上述第一比较例相同结构的弹性表面波装置，测定声速、截止频带和比频带。

在图11～图13中分别示出第二实施例及第三比较例的声速、截止频带和比频带。

作为第三实施例，除将第一电极层21的材质变更为Ni((ρ³×C44)^1/2＝2.54×10¹¹)以外，制作具有与上述第一实施例相同结构的弹性表面波装置，测定声速、截止频带和比频带。

作为第四比较例，除将第一电极层21的材质变更为Ni以外，制作具有与上述第一比较例相同结构的弹性表面波装置，测定声速、截止频带和比频带。

在图14～图16中分别示出第三实施例及第四比较例的声速、截止频带和比频带。

如图11及图14所示，可知在第一电极层21的材质为Ti或Ni的情况下，也与压电体10的欧拉角的θ的大小无关，将第一电极层21埋入压电体10的槽10a内的第二或三实施例比第三或四比较例声速高。从而，与第二或三实施例的情况相同，能够同时实现高耐静电性和小***损失。

另外，如图12及图15所示，将第一电极层21埋入压电体10内的第二及第三实施例的截止频带与使用以往广泛使用的Al电极层40的第二比较例的截止频带相等。另外，如图13及图16所示，在第二及第三实施例和第二比较例中，比频带大致相等。从而，即使第一电极层21的材质为Ti或Ni的情况下，也容易使用与使用Al电极层40的弹性表面波装置相关的现有的关键技术，使弹性表面波装置的设计容易。

(变形例)

图17是本变形例的弹性表面波装置的简要剖面图。如图17所示，可以由第一金属膜21a及第二金属膜21b构成第一电极层21，也可以由第一金属膜22a及第二金属膜22b构成第二电极层22。在该情况下，当第一电极层21的(ρ_a ³×C44_a)^1/2比第二电极层22的(ρ_b ³×C44_b)^1/2大时，也能够得到与上述实施方式相同的效果。

另外，在本变形例中，ρ_a是将第一金属膜21a的密度与膜厚之积和第二金属膜21b的密度与膜厚之积的总和除以第一电极层21的膜厚得到的值。C44_a是将第一金属膜21a的平均刚度与膜厚之积与第二金属膜21b的平均刚度与膜厚之积的总和除以第一电极层21的膜厚得到的。

ρ_b是第一金属膜22a的密度与膜厚之积与第二金属膜22b的密度与膜厚之积的总和除以第二电极层22的膜厚得到的。C44_b是第一金属膜22a的平均刚度与膜厚之积与第二金属膜22b的平均刚度与膜厚之积的总和除以第二电极层22的膜厚得到的。

符号说明

1...弹性表面波装置

10...压电体

10a...形成在压电体的槽

21...第一电极层

21a...第一金属膜

21b...第二金属膜

22...第二电极层

22a...第一金属膜

22b...第二金属膜

30...电极

31...第一梳齿电极

31a...第一导电条

31b...第一电极指

32...第二梳齿电极

32a...第二导电条

32b...第二电极指

33、34...反射器

35...第一端子

36...第二端子

37...IDT电极

40...Al电极层

C44_a...第一电极层的平均刚度

ρ_a...第一电极层的密度

C44_b...第二电极层的平均刚度

ρ_b...第二电极层的密度

Claims

1.一种弹性表面波装置，其特征在于，

具有：

压电体，其形成有多根槽；

IDT电极，其具有一部分位于所述多根槽内的多根电极指，

所述电极指具有：位于所述槽的内部的第一电极层、形成在所述第一电极层上且位于比所述槽的上端面更靠上侧的位置的第二电极层，

所述第一电极层的平均密度ρ_a的3次方与所述第一电极层的平均刚度C44_a之积的1/2次方(ρ_a ³×C44_a)^1/2比第二电极层的平均密度ρ_b的3次方与第二电极层的平均刚度C44_b之积的1/2次方(ρ_b ³×C44_b)^1/2大，且满足(ρ_b ³×C44_b)^1/2＜6.54×10¹⁰≤(ρ_a ³×C44_a)^1/2的关系。

2.根据权利要求1所述的弹性表面波装置，其特征在于，

还满足(ρ_a ³×C44_a)^1/2＜5.0×10¹¹的关系。

3.根据权利要求1或2所述的弹性表面波装置，其特征在于，

所述第二电极层实质上由Al或以Al为主成分的合金构成。

4.根据权利要求1或2所述的弹性表面波装置，其特征在于，

所述第一电极层实质上由从Ti、Cu、Ag、Cr、Ni、Mo及Au构成的组中选出的金属或以从该组中选出的至少一种金属为主成分的合金构成。

5.根据权利要求1或2所述的弹性表面波装置，其特征在于，

所述第一电极层实质上由Cu、Ti、Ni或NiCr构成。

6.根据权利要求1或2所述的弹性表面波装置，其特征在于，

所述第一电极层及第二电极层的至少一个由多个金属膜构成。

7.根据权利要求1或2所述的弹性表面波装置，其特征在于，

所述压电体是LiTaO₃基板或LiNbO₃基板。

8.根据权利要求7所述的弹性表面波装置，其特征在于，

所述压电体为LiTaO₃基板。

9.根据权利要求8所述的弹性表面波装置，其特征在于，

所述LiTaO₃基板的欧拉角

的θ为120°以上140°以下。