CN102236032A

CN102236032A - 阵列检测设备

Info

Publication number: CN102236032A
Application number: CN2010101715164A
Authority: CN
Inventors: 张铁林; 葛兴
Original assignee: Beijing BOE Optoelectronics Technology Co Ltd
Current assignee: Beijing BOE Optoelectronics Technology Co Ltd
Priority date: 2010-05-07
Filing date: 2010-05-07
Publication date: 2011-11-09

Abstract

本发明的实施例公开了一种阵列检测设备，涉及TFT-LCD制造工艺领域，解决了现有技术中检测阵列电路时探针框架易与检测探头碰撞，导致造价昂贵的检测探头损毁，检测效率低的技术问题。本发明实施例提供的阵列检测设备包括基台和检测探头；其中，所述基台上设有至少一个在基台上移动的检测探针运动轴，所述每个检测探针运动轴上设有至少一个沿检测探针运动轴移动的检测探针安装架，所述每个检测探针安装架上设有至少一组可用来与阵列基板的信号输入端相接触的检测探针。本发明实施例的方案主要应用在对阵列基板的电路进行检测的过程中。

Description

阵列检测设备

技术领域

本发明涉及TFT-LCD(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display，薄膜晶体管液晶显示器)制造工艺后的基板电路电学特性测试领域，特别涉及一种对阵列电路进行检测的阵列检测设备。

背景技术

阵列工艺是TFT-LCD制造过程中的一个阶段。在阵列工艺中，需要在玻璃基板上形成薄膜晶体管阵列电路。阵列电路的优劣直接决定了薄膜晶体管液晶显示屏的品质，对于阵列电路的检测也就成为制造流程中的重要工序。

如图1所示为现有技术中阵列电路的检测设备。探针框架51上安装的检测探针20与阵列电路中的信号输入端21接触，测试信号通过探针框架51的检测探针20加载到阵列电路31中，并通过检测探头41对加载测试信号的区域进行检测，从而达到测试阵列电路效果的目的。

在通过上述检测设备实现阵列电路检测的过程中，发明人发现现有技术中至少存在如下问题：

在实际应用中，由于不同产品的信号输入端位置不同，排列方式不同，需要通过购买不同型号的探针框架来实现测试，由此造成生产成本的增加；同时在不同产品切换时需要更换相应型号的探针框架来满足检测需要，也导致了工作量较大，调试困难，并且由于受探针框架结构限制，在检测面板边缘的阵列时检测探头与探针框架的距离很近，容易发生检测探头与探针框架的碰撞，造成价格昂贵的检测探头损坏等。

发明内容

本发明的实施例提供一种阵列检测设备，可降低阵列电路的测试成本，提高测试效率。

为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案：

一种阵列检测设备，包括基台和检测探头；其中，所述基台上设有至少一个在基台上移动的检测探针运动轴，所述每个检测探针运动轴上设有至少一个沿检测探针运动轴移动的检测探针安装架，所述每个检测探针安装架上设有至少一组可用来与阵列基板的信号输入端相接触的检测探针。

本发明实施例提供的设备具有如下有益效果：检测探针运动轴和检测探针安装架均可移动，通过检测探针运动轴和沿该运动轴移动的检测探针安装架可调整检测探针到适合待测阵列基板的位置和大小；因此可测试的产品型号不受限制，无需根据不同型号的产品更换价格昂贵的探针框架，节约了调试以及更换探针框架时耗费的时间；同时，也可避免因探针框架与检测探头的碰撞造成的检测探头损害的技术问题，降低了对阵列电路的测试成本，提高了测试效率。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为现有技术中阵列电路的检测设备的结构示意图；

图2为本发明实施例1中的阵列检测设备的结构示意图；

图3为本发明实施例1中的阵列检测设备的检测探针安装架的结构示意图；

图4为本发明实施例1中检测探针与检测探头的间距与现有技术中探针框架与检测探头的间距比示意图；

图5为本发明实施例2中的阵列检测设备的结构示意图；

图6为本发明实施例3中的阵列检测设备的结构示意图；

图7为本发明实施例4中的阵列检测设备的结构示意图；

附图标记：20-检测探针；21-信号输入端；31-阵列电路；41-检测探头；51-探针框架；1-检测探针运动轴；2-阵列基板；3-检测探头运动轴；4-检测探头；5-检测探针；6-基台；7-滑块；8-滑动杆；9-基台层；10-检测探针安装架；11-检测探头安装架；12-信号输入端；13-在平行方向上增加的检测探针运动轴；14-平行两边均需加载测试信号的阵列基板；15-相互垂直两边需加载测试信号的阵列基板；16-在垂直方向上增加的检测探针运动轴。

具体实施方式

本发明实施例提供一种阵列检测设备，包括基台和检测探头；其中，所述基台上设有至少一个在基台上移动的检测探针运动轴，所述每个检测探针运动轴上设有至少一个沿检测探针运动轴移动的检测探针安装架，所述每个检测探针安装架上设有至少一组可用来与阵列基板的信号输入端相接触的检测探针。

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。并且，以下各实施例均为本发明的可选方案，实施例的排列顺序及实施例的编号与其优选执行顺序无关。

实施例1

本发明实施例结合图2具体提供一种阵列检测设备，如图2所示，包括基台6。在基台6上设有一个可在基台6上移动的检测探针运动轴1(设检测探针运动轴1的移动方向为Y)，该检测探针运动轴1上设有一个可沿该检测探针运动轴1移动的检测探针安装架10(设安装架沿检测探针运动轴1移动的方向为X)，该检测探针安装架10上设有至少一组可用来与阵列基板2的信号输入端12相接触的检测探针5；另外，在基台6上还设有一个可在基台6上移动的检测探头运动轴3，该检测探头运动轴3上设有一个沿检测探头运动轴3移动的检测探头安装架11，该检测探头安装架11上设有可用来检测阵列基板2的检测探头4。检测探针运动轴1和检测探头运动轴3两者相互独立。

将检测探针安装架10的部分放大，如图3所示，检测探针安装架10包括沿所述检测探针运动轴1移动的滑块7，滑块7的一侧设有滑动杆8，滑动杆8的移动方向与检测探针运动轴1的移动方向、以及滑块7的移动方向均垂直(设与检测探针运动轴1的移动方向、以及滑块7的移动方向均垂直的方向为Z，即滑动杆8可沿Z方向移动)。并且如图3所示，滑动杆8的一端固定有所述至少一组可用来与阵列基板2的信号输入端(在本实施例以及下实施例中提及的信号输入端是指基板上的pad(垫)区，且每个pad区用于对应一组检测探针，检测探针中的测试信号通过pad区加载到阵列基板中)12相接触的检测探针5。其中，每组检测探针5包括两枚爪式结构的检测探针。检测探针包括：与滑块7接触的检测探针的固定端、以及未与滑块7接触的检测探测自由端。如图3中所示，检测探针的自由端向信号输入端侧弯曲一部分，在滑动杆8下降后，通过向信号输入端弯曲的这一部分，检测探针与信号输入端相接触，具有上述结构的检测探针即为在本实施例中提出的爪式结构的检测探针。

如图4所示，因为本实施例中的检测探针5无需安装在探针框架51上，因此省去了探针框架51边框宽度，故而在测试同一型号阵列基板的情况下，本发明实施例检测探针5与检测探头4之间的距离a要比现有技术中探针框架51与检测探头41之间的距离b(一般为10mm)大，故而可有效降低检测探针5与检测探头4相互碰撞的机率；另外，由于检测探针5可通过其爪式结构与信号输入端12相接触、且其爪式结构具有一定的宽度，因此在检测探针5与信号输入端12相接触时，检测探针安装架10与检测探头4之间还保持着一段距离，从而可进一步避免检测探针安装架10与检测探头4相互碰撞的可能性。

本发明实施例中，可将待测阵列基板的型号、位置、大小等参数以及检测时所需的信号在程序中设置，根据所设置的程序和驱动力使检测探针运动轴1、检测探针安装架10、检测探针5、检测探头运动轴3以及检测探头4等运动到适合的位置，以便完成对该待测阵列基板2进行的测试。其中，驱动方式不受限制，可以是通过电力马达进行驱动，也可以是气压、液压等。

开始检测时，检测探针运动轴1沿Y轴方向移动到适合位置(本实施例中所提及的适合位置均指移动到程序中所设置的位置)后，检测探针安装架10通过滑块7沿X方向移动至合适位置，然后滑动杆8带动检测探针5下降，并通过检测探针5的爪式结构与阵列基板2的信号输入端12接触，从而实现将测试信号加载到阵列基板2的阵列电路中。同理，在检测探头运动轴3、检测探头安装架11同样分别沿X、Y方向移动至合适位置后，检测探头4下降，开始对阵列基板2进行检测。当一列阵列基板2测试完成后，移动检测探针5和检测探头4到下一列阵列基板进行测试，直到所有阵列基板测试完成，然后更换下一张玻璃。

其中，检测探针5的爪式结构及细节构成如图3所示，检测探针5中两枚探针(一枚检测探针作为测试信号的输出端，一枚检测探针作为测试信号的输入端)为一组分别与阵列基板2上的信号输入端12相对应，因为不同基板上的信号输入端的个数和位置均不相同，所以为了应对未来产品的变化，可设置多组检测探针，且所述检测探针的组数一般不小于(最好大于)每个阵列基板对应的信号输入端的数量，多出的检测探针用于在上述每个阵列基板的信号输入端的数量增加时仍旧可以对该阵列基板加载测试信号，或者在某一组检测探针不能工作时取代该某一组检测探针等以便增加扩展性，并保证对所述每个阵列基板一次性完成测试信号的加载过程；并且，若检测探针安装架上的检测探针的组数远远大于待测阵列基板的信号输入端的数量时，还可以通过检测探针同时为两块待测基板或更多的待测基板完成测试信号的加载过程，从而提高测试效率。

另外，在本实施例中，为了使阵列基板2上信号输入端12的方向与检测探针5的方向一致，基台6上还设置有承载阵列基板的基台层9，基台层9通过转动机构(图中未标出)与基台6相连接，通过所述转动机构的转动，基台层9可承载着阵列基板2在与基台6平行的平面上转动。这里提及的转动机构可以是一转动轴。基台层9转动的角度可以是90度，也可以是任何度数，不做限制。在基台层9承载的阵列基板2转动到适合位置后，基台层9可承载着阵列基板2固定在转动到的所述适合位置上。例如：在基台层9承载着阵列基板2转动90度后，固定在该转动90度后的位置上。具体固定基台层方式有很多种。举例来说，通过电力马达驱动上述转动轴转动，将承载着阵列基板2的基台层转动到90度后，电力马达控制转动轴保持在转动90度后位置上，由此承载着阵列基板2的基台层9也将固定在该转动90度后的位置上。

本实施例提供的阵列检测设备通过其上带有爪式结构的检测探针来替代现有的探针框架，避免了在对阵列电路进行检测时，探针框架与检测探头碰撞的情况发生；同时，通过其拥有的可移动的独立检测探针运动轴和可移动的检测探针安装架，可调节出适合各种产品型号的位置和大小，从而节省了购买各种型号探针框架的费用，以及频繁更换探针框架的过程，不仅能够有效减少阵列检测设备出故障时间，还可提高阵列检测设备的稼动率。

实施例2

本实施例提供一种阵列检测设备，如图5所示，与实施例1中的阵列检测设备的不同之处在于，在本实施例的阵列检测设备中，检测探针运动轴1上设置有多个检测探针安装架10，其中每个检测探针安装架的具体结构和作用均可如实施例1中检测探针安装架10所述，其他结构也可如实施例1中的阵列检测设备所述，在此不赘述。

本实施例提供的阵列检测设备因为设置了多个检测探针安装架参与测试，因此可以更有效地节省测试时间，并且多个检测探针安装架同时工作，还可以实现对多个待测基板区域或者多个待测阵列基板同时加载测试信号的技术效果。

实施例3

某些大尺寸型号的阵列基板的多边设置有信号输入端。为了满足这类阵列基板的测试需要，对这种阵列基板的阵列电路进行测试时，需要对其多边，如相对两边均加载测试信号。为此本实施例提供一种阵列检测设备，如图6所示，在本实施例的阵列检测设备中，设置有检测探针运动轴1和检测探针运动轴13。检测探针运动轴1和检测探针运动轴13上各自的检测探针安装架和检测探针等的具体结构和作用可与实施例1中的检测探针安装架10和检测探针5相同。其中，与实施例1的不同之处在于，该检测探针运动轴1与检测探针运动轴13相互平行。这种相互平行的位置关系可便于对两边均需加载测试信号的阵列基板14进行测试。

其中，该检测探针运动轴13的具体结构和作用可同实施例1中的检测探针运动轴1；此外，也可在本实施例中的检测探针运动1和/或检测探针运动轴13上设置多个检测探针安装架，如图5中的检测探针运动轴1所示，以便提高检测效率。其余结构可如实施例1中的阵列检测设备所述，在此不赘述。

本实施例提供的阵列检测设备不仅可降低对阵列电路的测试成本，提高测试效率，还可以满足需要两边均加载测试信号的某些测试基板的需要。

实施例4

某些阵列基板可能需要在其垂直相交的两边输入测试信号。为了满足这种阵列基板的测试需要，对这种阵列基板的阵列电路进行测试时，需要对其垂直相交的相邻两边的信号输入端加载测试信号。为此本实施例提供一种阵列检测设备，如图7所示，在本实施例的阵列检测设备中，设置有检测探针运动轴1和检测探针运动轴16。检测探针运动轴1和检测探针运动轴16上各自的检测探针安装架和检测探针等的具体结构和作用可以实施例1中的检测探针安装架10和检测探针5相同。其中，与实施例1的不同之处在于，该检测探针运动轴1与检测探针运动轴16相互垂直，且并未相互接触，由图7可知，这是为了避免检测探针运动轴1与检测探针运动轴16在移动时相互碰撞，故而将检测探针运动轴1的运动平面设置在与检测探针运动轴16不同层次的运动平面上。这种相互垂直，且运动平面不同的位置关系不仅便于对阵列基板15垂直相交两边的信号输入端加载测试信号，还便于检测探针运动轴1与检测探针运动轴16的自由移动。

其中，该检测探针运动轴16的具体结构和作用可同实施例1中的检测探针运动轴1；此外，也可在本实施例中的检测探针运动1和/或检测探针运动轴16上设置多个检测探针安装架，如图5中的检测探针运动轴1所示，以便提高检测效率。其余结构可如实施例1中的阵列检测设备所述，在此不赘述。

本实施例提供的阵列检测设备不仅可降低对阵列电路的测试成本，提高测试效率，还可以满足需要对垂直相交的两边加载测试信号的某些测试基板的需要。

以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

Claims

1.一种阵列检测设备，包括基台和检测探头；其特征在于，所述基台上设有至少一个在基台上移动的检测探针运动轴，所述每个检测探针运动轴上设有至少一个沿检测探针运动轴移动的检测探针安装架，所述每个检测探针安装架上设有至少一组可用来与阵列基板的信号输入端相接触的检测探针。

2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述检测探针安装架包括沿所述检测探针运动轴移动的滑块，所述滑块的一侧设有滑动杆，所述滑动杆的移动方向与所述检测探针运动轴的移动方向、以及所述滑块的移动方向均垂直，并且所述滑动杆的一端固定有所述至少一组可用来与阵列基板的信号输入端相接触的检测探针。

3.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述每组检测探针包括两枚爪式结构的检测探针。

4.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述每个检测探针安装架上设有的检测探针的组数不小于与其相接触的阵列基板的信号输入端的数量。

5.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，在所述基台上还包括：承载所述阵列基板的基台层，所述基台层通过转动机构与所述基台相连接；通过所述转动机构的转动，所述基台层可承载着所述阵列基板在与所述基台平行的平面上转动。

6.根据权利要求5所述的设备，其特征在于，在承载的所述阵列基板转动到适合位置后，所述基台层承载着所述阵列基板固定在转动到的所述适合位置上。

7.根据权利要求1至6中任意一项所述的设备，其特征在于，所述至少一个检测探针运动轴中的一个检测探针运动轴与另一个检测探针运动轴相平行。

8.根据权利要求1至6中任意一项所述的设备，其特征在于，所述至少一个检测探针运动轴中的一个检测探针运动轴与另一个检测探针运动轴相垂直。