CN102221425B - 基于短腔光纤激光器的微压力传感器 - Google Patents
基于短腔光纤激光器的微压力传感器 Download PDFInfo
- Publication number
- CN102221425B CN102221425B CN2011100770065A CN201110077006A CN102221425B CN 102221425 B CN102221425 B CN 102221425B CN 2011100770065 A CN2011100770065 A CN 2011100770065A CN 201110077006 A CN201110077006 A CN 201110077006A CN 102221425 B CN102221425 B CN 102221425B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- semi
- girder
- fiber laser
- short cavity
- cavity fiber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000000835 fiber Substances 0.000 title claims abstract description 101
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 51
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 49
- 239000004411 aluminium Substances 0.000 claims description 44
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 11
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 abstract description 6
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 9
- 229910000906 Bronze Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000010974 bronze Substances 0.000 description 7
- 230000035559 beat frequency Effects 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- KWMNWMQPPKKDII-UHFFFAOYSA-N erbium ytterbium Chemical compound [Er].[Yb] KWMNWMQPPKKDII-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 5
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 4
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 2
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 2
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 2
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000639 Spring steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000009530 blood pressure measurement Methods 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 230000003750 conditioning effect Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- 230000011664 signaling Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 230000004304 visual acuity Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Light Guides In General And Applications Therefor (AREA)
Abstract
本发明涉及一种基于短腔光纤激光器的微压力传感器。传统的微压力传感器受环境干扰比较大。本发明基于短腔光纤激光器的微压力传感器，包括传感器壳体、弹簧、弹性薄膜、铝板、悬臂梁、第一短腔光纤激光器和第二短腔光纤激光器。传感器壳体顶部固定设置弹性薄膜，设置在传感器壳体内的铝板与弹性薄膜的底面紧贴，弹簧的一端与传感器壳体内底固定、另一端与铝板的底面固定，所述的弹性薄膜、铝板和弹簧同轴设置。悬臂梁的一端与铝板的边沿固定、另一端与传感器壳体内壁固定；第一短腔光纤激光器紧贴悬臂梁的顶面，第二短腔光纤激光器紧贴悬臂梁的底面。本发明采用光纤传感技术，结构紧凑，工艺简单，不受电磁干扰。
Description
技术领域
本发明属于光纤传感技术领域，涉及一种固定在悬臂梁上的一支或者两支短腔光纤激光器形成的拍频信号随外界微压力的变化而变化的传感器。
背景技术
压力和压强是工程应用领域中最常见的重要参量之一，是石油、化工、建筑等行业是必须监测的传感量。随着各种应用的不断深入，对压力传感器有进一步的需求，如在低压气体、真空度、风压监测等应用中需要高灵敏度、低量程的压力传感器。目前国内市场上该种压力传感器多为基于MEMS的微压传感器，有压阻式，电容式，谐振式等三种工作方式，其量程多数在1 KPa以上，少有低于1 KPa。电子式的微压传感器在复杂电磁环境等恶劣条件下，极容易受到干扰，限制了一些特殊场合的应用。申请公布号为CN 101738281 A的专利《改进型风载荷压力传感器》是基于MEMS的硅压阻压力传感器，且集成了温度传感器、加热器、温度控制电路以及信号调理电路板，可以实现低量程(5 KPa)压强测量。但该传感器包含多个电路，在强电场强磁场等测量环境下并不适用，容易受干扰甚至失灵。
光纤传感技术是利用光纤或光纤型器件的各种光学信号对外界某些物理量敏感的特性进行传感测试的一种技术。其中，光纤布拉格光栅(FBG)和基于FBG的短腔光纤激光器其特征波长对外界引起的应变和温度变化敏感，因此它们是一种波长调制型光学传感器。布拉格光纤光栅的Bragg波长
由下式决定：
式中，
为纤芯的有效折射率，
为光栅的周期。工作在光纤通信波段的FBG的周期一般是几百纳米，它能够波长选择性地对传输于纤芯基模光波进行反射。基于FBG和悬臂梁结构可以设计出能适应高温高压、扰电磁干扰等恶劣环境的压力传感器，如申请公布号为CN 101750183 A的专利《光纤光栅压力传感器》所描述。但这种结构的灵敏度约为0.008nm/N,只适合用于高压下的压力传感，不适合作为低量程（1 KPa）微压传感器。
在掺铒光纤或铒镱共掺光纤上制作FBG而构成的短腔光纤激光器的长度约10～20mm。它作为传感器不仅继成了光纤光栅的优点，还具备更高分辨率、更大信噪比。特别是采用两支波长非常相近的短腔光纤激光器的激光输出或者采用正交双频激光器的两个频率通过适当处理可以在光探测器上产生拍频信号，频率为两个激光信号的差频。
发明内容
本发明的目的在于提供一种基于短腔光纤激光器的微压力传感器。该传感器利用短腔光纤激光器的激光输出进行拍频实现传感，用于解决微小压强的高灵敏测量和抗干扰测量问题。
本发明解决技术问题所采取的技术方案之一为：
基于短腔光纤激光器的微压力传感器，包括传感器壳体、弹簧、弹性薄膜、铝板、悬臂梁、第一短腔光纤激光器和第二短腔光纤激光器。
传感器壳体顶部固定设置弹性薄膜，设置在传感器壳体内的铝板与弹性薄膜的底面紧贴，弹簧的一端与传感器壳体内底固定、另一端与铝板的底面固定，所述的弹性薄膜、铝板和弹簧同轴设置。
悬臂梁的一端与铝板的边沿固定、另一端与传感器壳体内壁固定；第一短腔光纤激光器紧贴悬臂梁的顶面，第二短腔光纤激光器紧贴悬臂梁的底面。
所述的悬臂梁为等腰三角形的金属板，所述的第一短腔光纤激光器和第二短腔光纤激光器均沿着金属板的中轴线设置。
本发明解决技术问题所采取的技术方案之二为：
基于短腔光纤激光器的微压力传感器，包括传感器壳体、弹簧、弹性薄膜、铝板、第一悬臂梁、第二悬臂梁和短腔光纤激光器。
传感器壳体顶部固定设置弹性薄膜，设置在传感器壳体内的铝板与弹性薄膜的底面紧贴，弹簧的一端与传感器壳体内底固定、另一端与铝板的底面固定，所述的弹性薄膜、铝板和弹簧同轴设置。
第一悬臂梁的一端与铝板的边沿固定、另一端与传感器壳体内壁固定；第二悬臂梁的一端与铝板的边沿固定、另一端与传感器壳体内壁固定；第一悬臂梁位于第二悬臂梁的正上方，第一悬臂梁与第二悬臂梁形状相同。
所述的第一悬臂梁和第二悬臂梁均为等腰三角形的金属板，所述的短腔光纤激光器位于第一悬臂梁和第二悬臂之间，且与第一悬臂梁和第二悬臂紧贴设置，短腔光纤激光器沿着金属板的中轴线设置。
本发明的有益效果：(1)本发明利用短腔光纤激光器的拍频信号频率产生漂移的现象来实现低量程微压力传感，与传统的光纤光栅压力传感相比本发明具备更高的灵敏度； (2)本发明提出两种技术方案中第一种方案的灵敏度比第二种高，但是第二种传感器的制备更加方便；(3)本发明采用光纤传感技术，结构紧凑，工艺简单，不受电磁干扰，与传统的电子式低量程微压力传感方法相比，更适用于复杂电磁环境中使用，具有广阔的发展前景。
附图说明
图1为本发明第一实施例的结构示意图。
图2为本发明第二实施例的结构示意图。
图3为本发明中悬臂梁结构示意图。
图4为利用第一实施例获取拍频信号装置示意图。
图5为利用第二实施例获取拍频信号装置示意图。
具体实施方式
实施例1
如图1所示的为本发明技术方案之一的传感器结构图，包括第一短腔光纤激光器1-1，第二短腔光纤激光器1-2，矩形截面等腰三角形悬臂梁2，受压圆形铝板3，弹性薄膜4，钢丝弹簧5，传感器壳体6。
传感器壳体顶部固定设置弹性薄膜，设置在传感器壳体内的铝板与弹性薄膜的底面紧贴，弹簧的一端与传感器壳体内底固定、另一端与铝板的底面固定，所述的弹性薄膜、铝板和弹簧同轴设置。
悬臂梁的一端与铝板的边沿固定、另一端与传感器壳体内壁固定；第一短腔光纤激光器紧贴悬臂梁的顶面，第二短腔光纤激光器紧贴悬臂梁的底面。
所述的悬臂梁为等腰三角形的金属板，所述的第一短腔光纤激光器和第二短腔光纤激光器均沿着金属板的中轴线设置。
本实施例中，短腔光纤激光器微压力传感器的制作方法包括以下步骤：
步骤1：采用相位掩模板法在铒镱共掺光纤上分别制作第一短腔光纤激光器1-1和第二短腔光纤激光器1-2；
步骤2：采用铍青铜板制作出一个矩形截面等腰三角形悬臂梁2，并将第一短腔光纤激光器1-1和第二短腔光纤激光器1-2用胶水粘贴于悬臂梁2上下表面的中线位置上；
步骤3：将受压圆形铝板3的外边沿与悬臂梁2末端固定连接；
步骤4：将钢丝弹簧5一端固定连接在受压圆形铝板3中心位置，另一端固定连接在传感器壳体6内的底部，同时将悬臂梁固定端安装在传感器壳体6内的悬臂梁2安装孔上；
步骤5：弹性薄膜4紧贴放置于受压圆形铝板3之上，用外径与传感器壳体6外径一样大的圆环形铝片压紧弹性薄膜并用螺丝固定在传感器壳体上。
第一短腔光纤激光器1-1和第二短腔光纤激光器1-2均采用相位掩模板法在铒镱共掺光纤上制作，高反光栅反射率通常为99.9%，低反光栅反射率约95%，整个激光器长度约15mm，阈值泵浦功率为毫瓦量级。激光中心波长为1550nm,信噪比大于60 dB。
铍青铜矩形截面等腰三角形悬臂梁2采用铍青铜板制作，其示意图如图3所示，底边宽度为
，长度为
，厚度为
。所述的第一短腔光纤激光器1-1和第二短腔光纤激光器1-2用胶水刚性地粘贴在悬臂梁2中线上。
根据材料力学，可以推导出该矩形截面等腰三角形悬臂梁2为等强度悬臂梁，即在任何施加于悬臂梁2末端的力的作用下，粘贴在悬臂梁2上的FBG任意位置处的应变均相等，且与作用力成线性关系。因此FBG不会产生啁啾效应。FBG的中心波长漂移量，即第一短腔光纤激光器1-1和第二短腔光纤激光器1-2的波长漂移量，与施加在悬臂梁2末端的压力关系如下：
式中：
为悬臂梁长度，
为宽度，
为厚度，弹光系数=0.22，铍青铜的杨氏模量
=130 GPa，
为短腔光纤激光器的中心波长，
为施加于悬臂梁末端的压力大小。在力
的作用下，悬臂梁末端偏离平衡位置的距离，即挠度
为：
钢丝弹簧5采用钢丝制作的圆柱螺旋压缩弹簧，其刚度，即使弹簧产生单位变形的载荷，为
式中：
为弹簧轴向压力，
为弹簧轴向压缩量。
该压缩弹簧的刚度也可表达为：
式中：
为弹簧的切变模量，
为弹簧丝直径，为弹簧的有效圈数，
为旋绕比（或称弹簧指数），为弹簧圈中径，
为弹簧圈外径。
受压圆形铝板3采用铝合金板材加工而成，直径为
，硬度较大，重量较轻。
弹性薄膜4采用橡胶薄膜，弹性系数小，起到传递压力和防水功能。
短腔光纤激光器的激光输出进行拍频是指将两支激光器的激光输出同时输入到光电探测器上实现光波拍频，如图4所示，980nm泵浦光源4-6通过50：50的分束器4-5将泵浦光分成两束，一束通过980/1550 波分复用器4-3进入第一短腔光纤激光器1-1；另一束泵浦光通过另一个980/1550 波分复用器4-4进入第二短腔光纤激光器1-2。第一短腔光纤激光器1-1的激光通过波分复用器4-3输入到光电探测器4-7，第二短腔光纤激光器1-2的激光通过波分复用器4-4输入到光电探测器4-7，两束激光在探测器4-7上进行拍频，其信号频率通过频谱仪4-8获得。
拍频信号存在和频项和差频项，和频项
中，
在
量级，大大高于光电探测器的响应频率；差频项
在两束短腔光纤激光器输出激光频率
和相近的时候，可以达到光电探测器的截止频率以内，探测器能够响应，其输出电压
由于第一短腔光纤激光器1-1的第二短腔光纤激光器1-2分别安装在悬臂梁的上表面和下表面，上表面应变为拉伸应变，短腔光纤激光器的波长漂移量为
，方向向长波方向；下表面的应变为压缩应变，短腔光纤激光器的波长漂移量也为
，方向向短波方向。因此在外力作用下悬臂梁上的两支短腔光纤激光器的波长差为
。
由
可得：
由(1)式和(6)式可知光电探测器的输出信号频率正比于施加在悬臂梁末端的作用力，即：
在本实施例中，设外界压强为
=1000 Pa,受压圆形铝板直径
=30mm，悬臂梁长度 =30mm,宽度
=10mm，厚度
=0.8mm；弹簧丝直径=0.5mm，外径
=20mm，有效圈数
=10，弹簧钢丝的切变模量=80000
。
由(4)式可算得该弹簧刚度为0.1458 。外界压强受压圆形铝板的作用力
，并设刚性地传递给悬臂梁，由(2)式可算得悬臂梁末端挠度0.1720mm。此时弹簧对受压圆形铝板的作用力为0.025
，可忽略不计。由(7)式可算得在外界1000Pa压强的作用下，本发明的传感器拍频信号频率为46.17 GHz，灵敏度为46.17 
。
实施例2
如图2所示的为本发明第二种技术方案的传感器结构图，包括第一矩形截面等腰三角形悬臂梁2-1，第二矩形截面等腰三角形悬臂梁2-2，短腔光纤激光器2-3，和短腔光纤激光器等长度的普通光纤2-4，受压圆形铝板3，弹性薄膜4，钢丝弹簧5，传感器壳体6。
传感器壳体顶部固定设置弹性薄膜，设置在传感器壳体内的铝板与弹性薄膜的底面紧贴，弹簧的一端与传感器壳体内底固定、另一端与铝板的底面固定，所述的弹性薄膜、铝板和弹簧同轴设置。
第一悬臂梁的一端与铝板的边沿固定、另一端与传感器壳体内壁固定；第二悬臂梁的一端与铝板的边沿固定、另一端与传感器壳体内壁固定；第一悬臂梁位于第二悬臂梁的正上方，第一悬臂梁与第二悬臂梁形状相同。
第一悬臂梁和第二悬臂梁均为等腰三角形的金属板，短腔光纤激光器位于第一悬臂梁和第二悬臂之间，且与第一悬臂梁和第二悬臂紧贴设置，短腔光纤激光器沿着金属板的中轴线设置，在短腔光纤激光器旁还设置有普通光纤。
本实施例中，短腔光纤激光器微压力传感器的制作方法包括以下步骤：
步骤1：采用相位掩模板法在铒镱共掺光纤上制作一支短腔光纤激光器2-3；
步骤2：采用铍青铜板制作第一矩形截面等腰三角形悬臂梁2-1，第二矩形截面等腰三角形悬臂梁2-2，并将短腔光纤激光器2-3和一段等长度的普通光纤2-4放置于悬臂梁2的中线上，然后放上第二矩形截面等腰三角形悬臂梁2-2，用螺丝将两个悬臂梁固定成一体，并夹紧短腔光纤激光器2-3和普通光纤2-4于其中。
步骤3：将受压圆形铝板3的外边沿与第一矩形截面等腰三角形悬臂梁2-1，第二矩形截面等腰三角形悬臂梁2-2的末端固定连接；
步骤4：将钢丝弹簧5一端固定连接在受压圆形铝板3中心位置，另一端固定连接在传感器壳体6内的底部，同时将悬臂梁固定端安装在传感器壳体内的悬臂梁安装孔上；
步骤5：弹性薄膜4紧贴放置于受压圆形铝板3之上，用外径与传感器壳体外径一样大的圆环形铝片压紧弹性薄膜并用螺丝固定在传感器壳体上。
短腔光纤激光器2-3采用相位掩模板法在铒镱共掺光纤上制作，高反光栅反射率通常为99.9%，低反光栅反射率约95%，整个激光器长度约15mm，阈值泵浦功率为毫瓦量级。激光中心波长为1550nm,信噪比大于60 dB。
两个铍青铜矩形截面等腰三角形悬臂梁采用铍青铜板制作，长、宽、厚均相等。两个悬臂梁采用螺丝贴紧固定成一体，并夹紧短腔光纤激光器和一段与短腔光纤激光器等长的普通光纤于等腰三角中线位置。由材料力学可知两个等厚悬臂梁的中间面为其中性面，即当外力作用于悬臂梁末端时，悬臂梁上表面产生拉伸应变，下表面产生压缩应变，中性面上没有应变产生，但置于两个悬臂梁中间的短腔光纤激光器将受到上下悬臂梁的横向压力。此横向压力使光纤的双折射效应增强。由于双折射效应，该短腔光纤激光器将产生两束偏振方向垂直且为单纵模的激光。将此两束激光进行拍频，其拍频信号频率为：
式中：
是光纤中由压力产生的双折射，
为光束，
光纤的有效折射率，
为短腔光纤激光器输出的平均波长。施加于悬臂梁末端的作用力越大，短腔光纤激光器所受的横向压力越大，双折射
值越大，继而拍频信号频率
也将增大。
拍频信号频率的获得方式如图5所示，980nm泵浦光源5-2的光通过980/1550 波分复用器5-1进入短腔光纤激光器2-3，短腔光纤激光器的激光通过980/1550 波分复用器2-3进入光隔离器5-3，后进入偏振控制器5-4，再经过检偏器5-5进入光电探测器5-6。拍频信号频率由频谱仪5-7获得。
钢丝弹簧5采用钢丝制作的圆柱螺旋压缩弹簧，其刚度如式(4)、(5)所描述。
受压圆形铝板3采用铝合金板材加工而成，直径为
，硬度较大，重量较轻。
所述弹性薄膜4采用橡胶薄膜，弹性系数小，起到传递压力和防水功能。
本发明的上述描述仅为示例性的属性，因此没有偏离本发明要旨的各种变形理应在本发明的范围之内。这些变形不应被视为偏离本发明的精神和范围。
Claims (2)
1.基于短腔光纤激光器的微压力传感器，包括传感器壳体、弹簧、弹性薄膜、铝板、悬臂梁、第一短腔光纤激光器和第二短腔光纤激光器，其特征在于：
传感器壳体顶部固定设置弹性薄膜，设置在传感器壳体内的铝板与弹性薄膜的底面紧贴，弹簧的一端与传感器壳体内底固定、另一端与铝板的底面固定，所述的弹性薄膜、铝板和弹簧同轴设置；
悬臂梁的一端与铝板的边沿固定、另一端与传感器壳体内壁固定；第一短腔光纤激光器紧贴悬臂梁的顶面，第二短腔光纤激光器紧贴悬臂梁的底面；
所述的悬臂梁为等腰三角形的金属板，所述的第一短腔光纤激光器和第二短腔光纤激光器均沿着金属板的中轴线设置。
2.基于短腔光纤激光器的微压力传感器，包括传感器壳体、弹簧、弹性薄膜、铝板、第一悬臂梁、第二悬臂梁和短腔光纤激光器，其特征在于：
传感器壳体顶部固定设置弹性薄膜，设置在传感器壳体内的铝板与弹性薄膜的底面紧贴，弹簧的一端与传感器壳体内底固定、另一端与铝板的底面固定，所述的弹性薄膜、铝板和弹簧同轴设置；
第一悬臂梁的一端与铝板的边沿固定、另一端与传感器壳体内壁固定；第二悬臂梁的一端与铝板的边沿固定、另一端与传感器壳体内壁固定；第一悬臂梁位于第二悬臂梁的正上方，第一悬臂梁与第二悬臂梁形状相同；
所述的第一悬臂梁和第二悬臂梁均为等腰三角形的金属板，所述的短腔光纤激光器位于第一悬臂梁和第二悬臂之间，且与第一悬臂梁和第二悬臂紧贴设置，短腔光纤激光器沿着金属板的中轴线设置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2011100770065A CN102221425B (zh) | 2011-03-29 | 2011-03-29 | 基于短腔光纤激光器的微压力传感器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2011100770065A CN102221425B (zh) | 2011-03-29 | 2011-03-29 | 基于短腔光纤激光器的微压力传感器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN102221425A CN102221425A (zh) | 2011-10-19 |
| CN102221425B true CN102221425B (zh) | 2012-08-08 |
Family
ID=44778039
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN2011100770065A Expired - Fee Related CN102221425B (zh) | 2011-03-29 | 2011-03-29 | 基于短腔光纤激光器的微压力传感器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN102221425B (zh) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102564654B (zh) * | 2012-01-10 | 2013-10-23 | 西安科技大学 | 一种用于扫描电子显微镜内部的激光测力*** |
| CN107202922A (zh) * | 2017-05-24 | 2017-09-26 | 电子科技大学 | 强电磁场环境材料微波介电特性研究测试***及方法 |
| CN108398203B (zh) * | 2018-05-14 | 2024-06-04 | 苏州名列膜材料有限公司 | 一种阻液测试装置以及阻液测试*** |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101650209A (zh) * | 2009-09-09 | 2010-02-17 | 昆明理工大学 | 波纹膜片式光纤Bragg光栅液位传感器 |
| CN101750183A (zh) * | 2008-12-02 | 2010-06-23 | 中国石油大学(北京) | 光纤光栅压力传感器 |
| CN202083512U (zh) * | 2011-03-29 | 2011-12-21 | 浙江大学 | 一种微压力传感器 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4417655B2 (ja) * | 2003-06-13 | 2010-02-17 | 坂田電機株式会社 | ファイバブラッググレーティングを使用した片持ち梁状の変位変換機構 |
| JP5371527B2 (ja) * | 2009-04-16 | 2013-12-18 | 株式会社安藤・間 | 土木用圧力変換器 |
-
2011
- 2011-03-29 CN CN2011100770065A patent/CN102221425B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101750183A (zh) * | 2008-12-02 | 2010-06-23 | 中国石油大学(北京) | 光纤光栅压力传感器 |
| CN101650209A (zh) * | 2009-09-09 | 2010-02-17 | 昆明理工大学 | 波纹膜片式光纤Bragg光栅液位传感器 |
| CN202083512U (zh) * | 2011-03-29 | 2011-12-21 | 浙江大学 | 一种微压力传感器 |
Non-Patent Citations (2)
| Title |
|---|
| JP特开2005-3609A 2005.01.06 |
| JP特开2010-249705A 2010.11.04 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN102221425A (zh) | 2011-10-19 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN102944253B (zh) | 基于偏振测量的光纤光栅横向压力和温度同时测量*** | |
| CN202305097U (zh) | 一种具有温度补偿功能的光纤光栅压力传感器 | |
| CN101900616A (zh) | 一种光纤布拉格光栅压力传感器及其相应的测量方法 | |
| CN101650235B (zh) | 微型光纤内集成的光纤干涉式温度传感器及其制作方法 | |
| CN100507486C (zh) | 可调谐匹配滤波解调的光纤光栅振动传感器 | |
| CN103278845B (zh) | 基于组合式悬臂梁结构的光纤光栅地震加速度检波器 | |
| CN102162757A (zh) | 一种光纤光栅土压力传感器 | |
| CN111504219B (zh) | 一种少模光纤光栅三参量复合传感器及其工作方法 | |
| CN104316106A (zh) | 一种基于马赫增德尔干涉和光纤布拉格光栅的光纤传感器 | |
| CN101782601A (zh) | 一种级连式光纤光栅自解调电流传感器 | |
| CN102261965A (zh) | 基于双芯光纤的温度传感方法及装置 | |
| CN105093136A (zh) | 一种全光纤微弱磁场测量装置 | |
| CN201740734U (zh) | 一种基于光纤布拉格光栅的折射率传感器 | |
| CN111579816B (zh) | 基于光电振荡器的加速度测量仪器 | |
| CN102221425B (zh) | 基于短腔光纤激光器的微压力传感器 | |
| CN107063317B (zh) | 一种多芯光纤Bragg光栅曲率传感器的解调方法 | |
| Wei et al. | Simultaneous sensing of displacement and temperature with a single FBG | |
| CN102680161B (zh) | 一种光纤光栅气压传感*** | |
| CN201772960U (zh) | 一种基于等强度梁的光纤布拉格光栅压力传感器 | |
| CN105387968A (zh) | 光纤包层表面Bragg光栅温度自补偿压力传感器 | |
| CN202083512U (zh) | 一种微压力传感器 | |
| CN204461363U (zh) | 一种材料表面应变光纤光栅反向差动检测传感器件 | |
| Guozhen et al. | A novel fiber Bragg grating acceleration sensor for measurement of vibration | |
| CN103852093A (zh) | 一种基于模式干涉反射结构的光纤激光传感*** | |
| Zhang et al. | Optical fiber grating vibration sensor for vibration monitoring of hydraulic pump |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| C17 | Cessation of patent right | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20120808 Termination date: 20140329 |