CN102156372A - 电泳显示设备及其制造方法 - Google Patents

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Abstract

公开了一种电泳显示设备及其制造方法，并且该电泳显示设备可以包括：薄膜晶体管，其形成在下基板上；像素电极，其连接到薄膜晶体管；侧电极，其形成于所述像素电极的***；分隔壁，其形成于所述侧电极上；包括电泳颗粒的流体，其形成于所述分隔壁之间；以及上基板，其粘合在所述下基板上并且在其下表面上形成有公共电极。

Description

电泳显示设备及其制造方法
技术领域
本发明涉及电泳显示设备(EPD)，更具体地说，涉及适于彩色EPD的电泳显示设备及其制造方法。
背景技术
通常，电泳显示设备是利用在施加了电压的一对电极浸入胶体溶液中时胶粒移向任一个极性的现象的图像显示设备。电泳显示设备具有宽视角、高反射率、低功耗等特征，不需要使用背光，因此它有望广泛用作电子纸。
电泳显示设备具有这样的结构，其中电泳膜插于两个基板之间并且这两个基板中的至少一个应当是透明的以便以反射模式显示图像。
当在这两个基板中的下基板上形成像素电极并且向该像素电极施加电压时，电泳膜内的充电颗粒移动到像素电极或其相对电极，由此使得能够透过观察片观察到图像。
尽管在图中未示出，但是典型的电泳显示设备具有这样的结构，其中，彼此相对地设置具有公共电极(未示出)的上基板和形成有像素电极的下基板，并且在这两个基板之间***电泳膜。
这里，电泳膜由包含充电颜料颗粒的溶剂构成，其中，微囊体通过凝结方法形成，而电泳膜通过在粘合剂中混合这些微囊体并涂敷或层压基膜来形成。
这里，颜料颗粒可以染有不同颜色，并且通过添加具有黑色(B)和白色(W)的颜料来表达图像，并利用允许透光的透明材料形成溶剂和粘合剂。
在前述电泳膜中，通过微囊体膜包围颜料颗粒，从而能够抑制由相邻像素的场而使得移向非期望方向的颜料颗粒，由此实现更好的图像质量。此时，还可以在相邻像素之间设置分隔壁，以便完全隔离寄生场。
在这样的典型电泳显示设备中，当对像素电极施加电压时，充电颜料颗粒移向与其具有相反极性的电极，由此根据颜料颗粒引起的光反射来显示预定图像。
另一方面，当它们移向具有通过颜料颗粒充电的极性的电极时，将显示另一图像。
由此，下面参照图1来描述根据相关技术的电泳显示设备。
图1是示意性例示了根据相关技术的电泳显示设备的平面图，其中，一个像素由诸如红(R)、绿(G)、蓝(B)和白(W)点的四个子像素构成。
如图1所示，在根据相关技术的电泳显示设备中，一个像素由四个红(R)、绿(G)、蓝(B)和白(W)子像素构成。此外，红(R)、绿(G)和蓝(B)子像素分别设置有红(R)、绿(G)和蓝(B)滤色器65a、65b、65c，而白色子像素不设置滤色器但是被限定为白色子像素区65d。
这里，红(R)、绿(G)和蓝(B)子像素各具有薄膜晶体管(未示出)，并且该薄膜晶体管(未示出)连接到矩阵形式的像素电极(未示出)。
此外，以与红(R)、绿(G)和蓝(B)子像素的面积相同的面积形成分别在红(R)、绿(G)和蓝(B)子像素上形成的像素电极。
在具有前述结构的EPD中，已经应用了具有添加了白色子像素的四元型滤色器结构的面板，以便改善在使用滤色器的彩色EPD的情况下白色反射率减小的问题。
下面参照图2来描述制造根据相关技术的EPD的方法，其中，已经应用了具有添加了白色子像素的四元型滤色器结构的面板。
图2是示意性例示了根据相关技术的电泳显示设备的截面图，其中，一个像素由诸如红(R)、绿(G)、蓝(B)和白(W)点的四个子像素构成。
如图2所示，根据相关技术的EPD配置成包括：下基板11，其中，形成了多个薄膜晶体管(T)并且各所述薄膜晶体管(T)连接到以矩阵形式形成的像素电极29；电泳膜50，其附着到所述下基板11上；附着到所述电泳膜50上的上基板61以及其表面上形成的公共电极63；以及在所述上基板61上形成的红(R)、绿(G)和蓝(B)滤色器65a、65b、65c。
这里，在基板的包括下基板11的薄膜晶体管(T)的整个表面上形成钝化层25。
此外，在下基板11上形成传送扫描信号来以有源的方式驱动多个薄膜晶体管(T)的选通线(未示出)和传送图像数据信号的数据线(未示出)。
此时，选通线和数据线彼此交叉以限定像素，并且各像素设置有薄膜晶体管(T)和存储电容器(未示出)，由此起到控制施加到各电极的电压的极性和存储施加到该极性的电势能的作用。
此外，电连接到薄膜晶体管(T)的像素电极29向电泳膜50施加电场。
此外，电泳膜50由微囊体53构成，在该微囊体53中，利用溶剂混合了白颗粒55a和黑颗粒55b。
此外，在上基板61上设置有红(R)、绿(G)和蓝(B)滤色器65a、65b、65c，而白色子像素未设置有滤色器但是被限定为白色子像素区65d。
然而，根据相关技术的电泳显示设备具有以下问题。
在根据相关技术的电泳显示设备中，已经使用了具有添加了白色子像素的四元型滤色器结构的面板，以便改善在使用滤色器的彩色电泳显示设备的情况下白色反射率减小的问题。这里，一个像素由诸如红(R)、绿(G)、蓝(B)和白(W)点的四个点构成，由此导致分辨率减小的问题。具体地说，通过具有小的滤色器面积而没有黑底的结构形成四元型彩色电泳显示设备，由此导致了色彩特性降低的问题。
结果，在根据相关技术的电泳显示设备中，滤色器用于制造彩色EPD，由此表现出反射减小，并且额外地使用了白点以改善该问题，从而导致了分辨率降低。
发明内容
本发明致力于解决根据相关技术的上述问题，并且本发明的一个目的是提供一种电泳显示设备及其制造方法，其中，彩色EPD面板的特性增强，以提高反射率而不减小分辨率。
为实现上述目的，根据本发明的电泳显示设备的特征为包括：多个薄膜晶体管，其以矩阵形式形成于下基板上，该下基板具有设置了单元像素区域的像素区域；钝化层，其覆盖所述下基板，在所述下基板上形成有所述薄膜晶体管；多个像素电极，其形成于所述钝化层上并且分别连接到所述薄膜晶体管；侧电极，其形成于所述钝化层上，所述侧电极围绕所述像素电极并且与所述像素电极间隔开；分隔壁，其位于所述像素电极之间，并且将所述像素区域划分成所述单元像素区域；包括电泳颗粒的流体，其填充于所述分隔壁之间；以及上基板，其与所述下基板附接并且在所述上基板的下表面上形成有公共电极。
为实现上述目的，根据本发明的制造电泳显示设备的方法的特征为包括以下步骤：在下基板上以矩阵形式形成多个薄膜晶体管，所述下基板具有设置了单元像素区域的像素区域；形成覆盖了所述薄膜晶体管的钝化层；在所述钝化层上形成多个像素电极，所述像素电极分别连接到所述薄膜晶体管；在所述钝化层上形成侧电极，所述侧电极围绕所述像素电极并且与所述像素电极间隔开；形成分隔壁，所述分隔壁将所述像素区域划分成所述单元像素区域的，并且形成于所述钝化层上的所述像素电极之间；在所述分隔壁之间填充包括电泳颗粒的流体；以及将上基板附接到所述下基板上，所述上基板在其下表面上设置有公共电极。
根据本发明的EPD及其制造方法具有以下效果。
根据电泳显示设备及其制造方法，充电彩色颗粒和流体被注入到分隔壁中的单元区域中，然后封装其上部以制造电泳显示设备。
此外，根据电泳显示设备及其制造方法，在薄膜晶体管上形成分隔壁，并且利用喷墨或其它方法将负充电彩色颗粒和正充电黑色颗粒分别注入到红色、绿色、蓝色单元中，然后在形成有透明公共电极的上基板上进行内封装，同时在向侧电极和像素电极施加相对电场的状态下注入适量的下落流体，以防止混色。
此外，根据电泳显示设备及其制造方法，可以通过内封装有薄膜晶体管的像素电极的上基板上形成的公共电极，通过垂直驱动来进行色彩驱动。
结果，根据电泳显示设备及其制造方法，期望通过保护制造具有彩色EPD面板和成本竞争力特性的重量轻、外形薄的彩色EPD面板来抢先占领彩色EPD技术和市场。
附图说明
附图被包括在本说明书中以提供对本发明的进一步理解，并结合到本说明书中且构成本说明书的一部分，附图示出了本发明的实施方式，且与说明书一起用于解释本发明的原理。
附图中：
图1是示意性例示了根据相关技术的电泳显示设备的平面图，其中，一个像素由诸如红(R)、绿(G)、蓝(B)和白(W)点的四个子像素构成；
图2是示意性例示了根据相关技术的电泳显示设备的截面图，其中，一个像素由诸如红(R)、绿(G)、蓝(B)和白(W)点的四个子像素构成；
图3是示意性例示了根据本发明的电泳显示设备的平面图；
图4是示意性例示了根据本发明的电泳显示设备的截面图；
图5A到5H是用于解释制造根据本发明的电泳显示设备的方法的工序截面图；
以及
图6是示意性例示了在根据本发明的电泳显示设备中实现色彩时移动颗粒的状态的截面图；
图7是示意性例示了根据本发明的另一实施方式的电泳显示设备的平面图；
图8是示意性例示了根据本发明的另一实施方式的电泳显示设备的截面图。
具体实施方式
下面，参照附图来详细地描述根据本发明的优选实施方式的电泳显示设备。
图3是示意性例示了根据本发明的电泳显示设备的平面图。
如图3所示，在根据本发明的电泳显示设备中，一个像素由四个子像素构成。这里，各子像素具有薄膜晶体管(未示出)，并且该薄膜晶体管(未示出)连接到矩阵形式的像素电极121上。
图4是示意性例示了根据本发明的电泳显示设备的截面图。
如图4所示，根据本发明的电泳显示设备可以包括：薄膜晶体管(T)，其形成在下基板101上；像素电极121，其连接到薄膜晶体管(T)上；光阻挡图案129，其保护薄膜晶体管免受从外部照射的光的照射并形成在下基板101的像素电极121上；侧电极131，其形成于像素电极121的***；分隔壁133，其形成于侧电极131上；电泳元件135，其形成于分隔壁133之间；以及上基板141，其形成于包含电泳元件135的分隔壁133的上部并且在其后表面上形成有公共电极143。
这里，在下基板101的包括薄膜晶体管(T)的整个表面上形成钝化层115。
此外，下基板101可以由诸如玻璃、塑料等的柔性材料或金属材料形成，而公共电极143由诸如氧化铟锡(ITO)、氧化铟锌(IZO)等的透明材料形成。当向像素电极121施加特定电压时，电泳元件135中包含的彩色颗粒135a和黑色颗粒135b移动以通过上基板141实现图像，因此，应当以透明材料形成在上基板141上形成的公共电极143。
此外，在下基板101上形成传送扫描信号的选通线(未示出)和传送图像数据信号来以有源的方式驱动多个薄膜晶体管(T)的的数据线(未示出)。
此外，在下基板101上形成TFT公共电极103b、选通焊盘103c和数据焊盘113c。此时，在形成选通线(未示出)时形成TFT公共电极103b和选通焊盘103c，并且在形成数据线(未示出)时形成数据焊盘113c。
此外，选通线和数据线彼此交叉以限定像素，并且各像素设置有薄膜晶体管(T)和存储电容器(未示出)，由此起到控制施加到各电极的电压的极性和存储施加到该极性的电势能的作用。
此外，尽管图中未示出，但是存储电容器(Cst)由电容器下电极和电容器上电极构成，电容器上电极与电容器下电极交叠并且其间插有栅绝缘膜，从而在显示图像时在薄膜晶体管(T)的截止时段在电泳膜中保持充电电势，由此起到防止寄生电容导致的图像质量降低的作用。此时，电容器下电极延伸到有源区外部以便接受信号，而电容器上电极连接到像素电极或漏极以便接收信号。
此外，侧电极131是用于在注入电泳元件135中包含的流体时防止充电彩色颗粒135a与相邻点混色的电极。换句话说，当向侧电极131和像素电极121施加相对电压时，颗粒集中在电极的一侧以防止填充流体时颗粒的混色。这里，侧电极131由钼(Mo)或其它导电材料形成。此外，侧电极131用于防止填充流体时颗粒的混色或者用于在驱动时刷新。
此外，光阻挡图案129可以在形成侧电极131时一起形成，或者可以单独形成。
此外，利用粘合层145形成在上基板141上形成的公共电极143，以便通过粘合层145粘合到分隔壁上。
并且，粘合层145可以在公共电极143的对应于分隔壁133的部分上形成。
此外，使用光刻工序或使用辊印方法利用负型光刻胶(PR)膜或干性膜(DFR)形成分隔壁133。
此外，电泳元件135由彩色颗粒135a、黑色颗粒135b和流体构成。这里，描述了由彩色颗粒135a和黑色颗粒135b构成的电泳元件135，但是由黑色颗粒和白色颗粒构成的电泳元件135可用来应用于单色EPD面板。
另一方面，为了使包括白色颗粒和彩色颗粒的溶剂下落，向侧电极131和像素电极121施加相对电场，以防止各单元中的混合，由此使得彩色颗粒135a和黑色颗粒135b能够集中在侧电极131上并且使得溶剂能够填充于其中。
参照图5A到5H来描述制造具有根据本发明的前述结构的电泳显示设备的方法。
图5A到5H是用于解释制造根据本发明的电泳显示设备的方法的工序截面图。
如图5A所示，在由塑料或不锈箔制成的下基板101上沉积金属膜(未示出)，然后利用光刻工序和蚀刻工序对该金属膜(未示出)进行选择性构图以形成选通线(未示出)、从选通线(未示出)分支出的栅极103、TFT公共电极103b和选通焊盘103c。
此时，通过选择诸如Al、Al合金等的Al基金属、诸如Ag、Ag合金等的Ag基金属、诸如Mo、Mo合金等的Mo基金属、Cr、Ti和Ta中的任何一种来使用金属膜材料。
此外，这些材料可以包括具有不同物理属性的两个膜，例如，下膜和其上的上膜。这里，上膜由具有低电阻率的金属制成，例如，Al基金属或Ag基金属，以减小选通线的信号延迟或电压降落。
相反，下膜由具有优越的物理、化学特性和与另一材料(具体地说，氧化铟锡(ITO)或氧化铟锌(IZO)的电接触特性的材料制成，例如，Ti、Ta、Cr、Mo基金属等。下膜和上膜的组合的示例可以包括Cr和Al-Nd合金。
然后，如图5B所示，在包括选通线(未示出)和栅极103的下基板101上形成由无机绝缘材料(例如，硅氮化物(SiNx)或硅氧化物(SiOx)制成的栅绝缘膜105。
然后，尽管在图中未示出，在栅绝缘膜105的上部依次形成由氢化非晶硅层等制成的半导体层(未示出)和由诸如n+氢化非晶硅(其中以高浓度掺杂了硅化物或n型杂质)的材料制成的杂质层(未示出)。
然后，利用光刻工序和蚀刻工序对杂质层(未示出)和半导体层(未示出)进行选择性构图，以形成有源层107和欧姆接触层109。
然后，利用溅射法在包括有源层107和欧姆接触层109的下基板101上沉积用于形成数据线的金属材料，然后利用光刻工序和蚀刻工序进行选择性构图以分别形成数据线(未示出)、从数据线(未示出)分支出的源极113a、通过沟道区与源极113a分离的漏极113b、和数据焊盘113c。
此时，诸如Al基金属、Ag基金属、Mo基金属、Cr、Ti、Ta等的材料可以用作该金属材料，或者它可以以多层形成。
此外，通过与选通线(未示出)交叉来形成数据线(未示出)，并且源极113a和漏极113b与下面的有源层107和栅极103一起构成了开关元件，即薄膜晶体管(T)。
此外，尽管图中未示出，但是在有源层107内在源极113a和漏极113b之间形成薄膜晶体管(T)的沟道。此时，可以通过一道掩模工序(即，利用4道掩模工序的薄膜晶体管制造工序)来实现形成有源层107和欧姆接触层109以及源极113a和漏极113b的工序。
然后，在下基板101的包括数据线(未示出)和源极113a/漏极113b的整个表面上形成钝化层115。此时，由诸如硅氮化物膜(SiNx)或硅氧化物膜(SiOx)的无机绝缘材料或有机绝缘材料来形成钝化层115，以执行平整工序。此外，由有机绝缘体构成的单个结构或诸如无机/有机绝缘体、无机/有机/无机绝缘体等的多种结构可以应用于该钝化层115。
然后，如图5D所示，通过光刻工序和蚀刻工序对钝化层115进行选择性构图，以形成用于使薄膜晶体管(T)的漏极113b的一部分、选通焊盘103c和数据焊盘113c露出的第一接触孔117a、第二接触孔117b和第三接触孔117c。
然后，如图5E所示，在包括第一接触孔117a、第二接触孔117b和第三接触孔117c的钝化层115上沉积由诸如氧化铟锡(ITO)、氧化铟锌(IZO)等的透明材料制成的金属材料层(未示出)。
然后，利用光刻工序或蚀刻工序对金属材料层(未示出)进行选择性去除，以形成分别连接到漏极113b、选通焊盘103c和数据焊盘113c的像素电极121、上选通焊盘123和上数据焊盘125。
然后，在基板的包括像素电极121、上选通焊盘123和上数据焊盘125的整个表面上沉积导电材料层(未示出)，然后在该导电材料层(未示出)上沉积用于形成分隔壁(未示出)的绝缘材料层。此时，诸如Al基金属、Ag基金属、Mo基金属、Cr、Ti、Ta等的材料可以用于该导电材料层(未示出)，或者可以由此形成多层。此外，负型感光树脂、干性膜、丙烯酸树脂、聚合物和密封剂中的任何一种可以用于形成绝缘材料层(未示出)的分隔壁。
接着，如图5F所示，通过光刻和蚀刻工序选择性地去除用于形成分隔壁(未示出)的绝缘材料层，以形成分隔壁133。此时，分隔壁133起到分别分隔薄膜晶体管(T)和由像素电极121形成的单元区域的作用。此外，在随后的工序中利用电泳元件(未示出)填充通过分隔壁133分隔的区域。此时，可以利用辊印法以及光刻法来形成分隔壁133。
然后，利用分隔壁133作为隔离膜，通过湿蚀刻工序选择性地去除基板的包括像素电极121、上选通焊盘123和上数据焊盘125的整个表面上的导电材料层(未示出)，以便在薄膜晶体管(T)的上部处的像素电极121和像素电极121的***的侧电极131上形成光阻挡图案129。此时，侧电极131起到防止在注入流体时充电彩色颗粒与相邻点混色的作用。换句话说，当向侧电极131和像素电极121施加相对电压时，由此使得颗粒能够集中在侧电极131上以防止填充流体时颗粒的混色。此外，侧电极131用于防止填充流体时颗粒的混色或者用于在驱动时刷新。
然后，如图5G所示，将由负极性彩色颗粒135a、正极性黑色颗粒135b和流体构成的电泳元件135填充在形成有分隔壁133的下基板101内。此时，模涂敷、铸造、棒涂敷、分配、挤压、喷墨印刷和丝网印刷工序中的任何一种都可以用于填充电泳元件135的方法。此外，当向像素电极121施加特定电压时，电泳元件135中包含的彩色颗粒135a和黑色颗粒135b移动以透过上基板141实现彩色图像。
接着，如图5H所示，在由聚酯(PET)材料构成的上基板141上形成由透明材料构成的公共电极143，然后在其上层叠粘合层145。
然后，形成有公共电极143的上基板141通过粘合层145粘合在填充有电泳元件135的下基板101上，以便封装电泳元件135，由此完成电泳显示设备的制造。
这样，当向像素电极121施加负电压时，上基板141的公共电极143具有相对正电势。因此，负充电黑色颗粒135b移向公共电极143，而正充电白色颗粒135a移向像素电极121。结果，当外部光照射在电泳显示设备上时，外部入射光被黑色颗粒135b吸收，以实现黑色。
图6是示意性例示了在根据本发明的电泳显示设备中实现色彩时移动颗粒的状态的截面图。
相反，如图6所示，当向各像素区域中设置的像素电极121施加正电压时，上基板141的公共电极143具有相对负电势。因此，负充电黑色颗粒135b移向像素电极121，而正充电白色颗粒135a移向上基板141的公共电极143。
结果，当外部光照射在电泳显示设备上时，外部入射光被彩色颗粒135a反射，以实现色彩(例如，红色)。
图7是示意性例示了根据本发明的另一实施方式的电泳显示设备的平面图。
如图7所示，在根据本发明的另一个实施方式的电泳显示设备中，一个像素由四个子像素构成。这里，各子像素具有薄膜晶体管(未示出)，并且该薄膜晶体管(未示出)连接到矩阵形式的像素电极221上。
图8是示意性例示了根据本发明的另一实施方式的电泳显示设备的截面图。
如图8所示，根据本发明的另一实施方式的电泳显示设备可以包括：薄膜晶体管(T)，其形成在下基板201上；像素电极221，其连接到薄膜晶体管(T)上；光阻挡图案239，其保护薄膜晶体管免受从外部照射的光的照射并形成在下基板201的像素电极221上；侧电极231，其形成于像素电极221和分隔壁233之间；分隔壁233，其形成于侧电极231的***；电泳元件235，其形成于分隔壁233之间；以及上基板241，其形成于包含电泳元件235的分隔壁233的上部并且在其后表面上形成有公共电极243。
这里，在包括下基板201的薄膜晶体管(T)的整个表面上形成钝化层215。
此外，下基板201可以由诸如玻璃、塑料等的柔性材料或金属材料形成，而公共电极243由诸如氧化铟锡(ITO)、氧化铟锌(IZO)等的透明材料形成。当向像素电极221施加特定电压时，电泳元件235中包含的彩色颗粒235a和黑色颗粒235b移动以通过上基板241实现图像，因此，应当以透明材料形成在上基板241上形成的公共电极243。
此外，在下基板201上形成传送扫描信号的选通线(未示出)和传送图像数据信号来以有源的方式驱动多个薄膜晶体管(T)的数据线(未示出)。
此外，在下基板201上形成TFT公共电极203b、选通焊盘203c和数据焊盘213c。此时，在形成选通线(未示出)时形成TFT公共电极203b和选通焊盘203c，并且在形成数据线(未示出)时形成数据焊盘213c。
此外，选通线和数据线彼此交叉以限定像素，并且各像素设置有薄膜晶体管(T)和存储电容器(未示出)，由此起到控制施加到各电极的电压的极性和存储施加到该极性的电势能的作用。
此外，尽管图中未示出，但是存储电容器(Cst)由电容器下电极和电容器上电极构成，电容器上电极与电容器下电极交叠并且其间插有栅绝缘膜，从而在显示图像时在薄膜晶体管(T)截止时段在电泳膜中保持充电电势，由此起到防止寄生电容导致的图像质量降低的作用。此时，电容器下电极延伸到有源区外部以便接受信号，而电容器上电极连接到像素电极或漏极以便接收信号。
此外，侧电极231是用于防止充电彩色颗粒235a在注入电泳元件235中包含的流体时与相邻点混色的电极。换句话说，当向侧电极231和像素电极221施加相对电压时，颗粒集中在电极的一侧以防止填充流体时颗粒的混色。这里，侧电极231由钼(Mo)或其它导电材料形成。此外，侧电极231用于防止填充流体时颗粒的混色或者用于在驱动时刷新。
此外，光阻挡图案239可以在形成侧电极231时一起形成，或者可以单独形成。
此外，利用粘合层245形成在上基板241上形成的公共电极243，以便通过粘合层245粘合到分隔壁上。
并且，粘合层245可以在公共电极243的对应于分隔壁233的部分上形成。
此外，使用光刻工序或使用辊印方法利用负型光刻胶(PR)膜或干性膜(DFR)形成分隔壁233。
此外，电泳元件235由彩色颗粒235a、黑色颗粒235b和流体构成。这里，描述了由彩色颗粒235a和黑色颗粒235b构成的电泳元件235，但是由黑色颗粒和白色颗粒构成的电泳元件235可用来应用于单色EPD面板。
另一方面，为了使包括白色颗粒和彩色颗粒的溶剂下落，向侧电极231和像素电极221施加相对电场，以防止各单元中的混合，由此使得彩色颗粒235a和黑色颗粒235b能够集中在侧电极231上并且使得溶剂能够填充于其中。
如上所述，根据电泳显示设备及其制造方法，充电彩色颗粒和流体被注入到薄膜晶体管上设置的分隔壁中的单元区域中，然后封装其上部以制造电泳显示设备。
此外，根据电泳显示设备及其制造方法，在薄膜晶体管上形成分隔壁，并且利用喷墨或其它方法将负充电彩色颗粒和正充电黑色颗粒分别注入到红色、绿色、蓝色单元中，然后在形成有透明公共电极的上基板上进行内封装，同时在向侧电极和像素电极施加相对电场的状态下注入适量的下落流体，以防止混色。
此外，根据电泳显示设备及其制造方法，可以通过内封装有薄膜晶体管的像素电极的上基板上形成的公共电极，通过垂直驱动来进行色彩驱动。
结果，根据电泳显示设备及其制造方法，期望通过保护制造具有彩色EPD面板和成本竞争力特性的重量轻、外形薄的彩色EPD面板来抢先占领彩色EPD技术和市场。
尽管本发明已经参照其优选实施方式进行了说明，但本领域的技术人员应当理解的是可以对本发明做出各种修改和等同的其它实施方式。
因此，本发明不限于这些实施方式，并且通过利用所附权利要求中限定的本发明的基本概念而做出的各种修改和改进都将落入本发明的权利范围内。

Claims (22)

1.一种电泳显示设备，该电泳显示设备包括：
多个薄膜晶体管，其以矩阵形式形成于下基板上，该下基板具有设置了单元像素区域的像素区域；
钝化层，其覆盖所述下基板，在所述下基板上形成有所述薄膜晶体管；
多个像素电极，其形成于所述钝化层上并且分别连接到所述薄膜晶体管；
侧电极，其形成于所述钝化层上，所述侧电极围绕所述像素电极并且与所述像素电极间隔开；
分隔壁，其位于所述像素电极之间，并且将所述像素区域划分成所述单元像素区域；
包括电泳颗粒的流体，其填充于所述分隔壁之间；以及
上基板，其与所述下基板附接并且在所述上基板的下表面上形成有公共电极。
2.根据权利要求1所述的电泳显示设备，其中，所述侧电极一体形成于所述钝化层上。
3.根据权利要求1所述的电泳显示设备，其中，所述分隔壁形成于所述侧电极上。
4.根据权利要求1所述的电泳显示设备，其中，所述侧电极形成于所述像素电极和所述分隔壁之间。
5.根据权利要求4所述的电泳显示设备，其中，所述侧电极在所述钝化层上彼此连接。
6.根据权利要求1所述的电泳显示设备，其中，所述侧电极通过选择包括Al和Al合金的Al基金属、包括Ag和Ag合金的Ag基金属、包括Mo和Mo合金的Mo基金属、Cr、Ti和Ta中的任何一种来形成。
7.根据权利要求1所述的电泳显示设备，其中，所述分隔壁通过使用负型感光树脂、干性膜、丙烯酸树脂、聚合物和密封剂中的任何一种来形成。
8.根据权利要求1所述的电泳显示设备，该电泳显示设备还包括在所述薄膜晶体管的像素区域上形成的TFT阻挡图案。
9.根据权利要求1所述的电泳显示设备，其中，所述侧电极用于在注入流体时防止颗粒的混合或者用于在驱动时刷新。
10.根据权利要求1所述的电泳显示设备，其中，所述电泳颗粒由彩色颗粒、白色颗粒构成，或者由白色颗粒、黑色颗粒构成。
11.一种制造电泳显示设备的方法，该方法包括以下步骤：
在下基板上以矩阵形式形成多个薄膜晶体管，所述下基板具有设置了单元像素区域的像素区域；
形成覆盖了所述薄膜晶体管的钝化层；
在所述钝化层上形成多个像素电极，所述像素电极分别连接到所述薄膜晶体管；
在所述钝化层上形成侧电极，所述侧电极围绕所述像素电极并且与所述像素电极间隔开；
形成分隔壁，所述分隔壁将所述像素区域划分成所述单元像素区域，并且形成于所述钝化层上的所述像素电极之间；
在所述分隔壁之间填充包括电泳颗粒的流体；以及
将上基板附接到所述下基板上，所述上基板在其下表面上设置有公共电极。
12.根据权利要求11所述的方法，其中，在所述钝化层上同时形成所述像素电极和侧电极。
13.根据权利要求11所述的方法，其中，所述分隔壁形成于所述侧电极上。
14.根据权利要求11所述的方法，其中，所述分隔壁形成于所述侧电极的***和所述钝化层上。
15.根据权利要求11所述的方法，其中，所述侧电极在所述钝化层上彼此连接。
16.根据权利要求11所述的方法，其中，所述侧电极通过选择包括Al和Al合金的Al基金属、包括Ag和Ag合金的Ag基金属、包括Mo和Mo合金的Mo基金属、Cr、Ti和Ta中的任何一种来形成。
17.根据权利要求11所述的方法，其中，所述分隔壁通过使用负型感光树脂、干性膜、丙烯酸树脂、聚合物和密封剂中的任何一种来形成。
18.根据权利要求11所述的方法，该方法还包括在所述薄膜晶体管的像素区域上形成TFT阻挡图案。
19.根据权利要求11所述的方法，其中，所述侧电极用于在注入流体时防止颗粒的混合或者用于在驱动时刷新。
20.根据权利要求11所述的方法，其中，所述电泳颗粒由彩色颗粒、白色颗粒构成，或者由白色颗粒、黑色颗粒构成。
21.根据权利要求11所述的方法，其中，所述分隔壁利用光刻工序或辊印法形成。
22.根据权利要求11所述的方法，其中，所述流体通过利用模涂敷、铸造、棒涂敷、分配、挤压、喷墨印刷和丝网印刷工序中的任何一种来填充。
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