CN102059225A - 清洗机圆片保护装置 - Google Patents
清洗机圆片保护装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN102059225A CN102059225A CN 201010554253 CN201010554253A CN102059225A CN 102059225 A CN102059225 A CN 102059225A CN 201010554253 CN201010554253 CN 201010554253 CN 201010554253 A CN201010554253 A CN 201010554253A CN 102059225 A CN102059225 A CN 102059225A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- wafer
- disk
- cleaning machine
- chassis
- seat
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
本发明公开了一种清洗机圆片保护装置，包括设置在圆片边缘外侧的固定限位座，固定限位座上装通过销轴与固定限位座连接的活动座，且活动座的上端位于圆片边缘的上方，活动座的下端悬在销轴的下方。本发明结构合理，解决了原来部分人员在放圆片的时候未能放正，致使旋转过程中离心力过大，真空不能保护，而甩片的问题，同时也解决了部分人员有时对底盘的水吹不干净，而影响了底盘真空度的问题；再加上原有的底盘真空功能仍然可以使用，这样的话，就是在整个清洗过程中是多重保护，保证了产品品质的安全，解决了原有意外的甩片问题。
Description
技术领域
本发明涉及一种清洗机辅助装置。
背景技术
原有的清洗机对圆片的保护是通过真空的吸附力使圆片不会在旋转的过程中被甩出去，但实际应用过程中，圆片还是会因为收到底盘真空度，以及摆放圆片位置等的影响而产生真空无法完全能吸得住，最终还是会有圆片被甩出去的的情况发生。原来等设备真空报警的时候，实际这时圆片已经被甩出去了，异常已经发生。
发明内容
本发明的目的在于提供一种结构合理，使圆片在整个清洗的过程中受到保护，同时还不影响原有的真空吸附功能的清洗机圆片保护装置。
本发明的技术解决方案是：
一种清洗机圆片保护装置，其特征是：包括设置在圆片边缘外侧的固定限位座，固定限位座上装通过销轴与固定限位座连接的活动座，且活动座的上端位于圆片边缘的上方，活动座的下端悬在销轴的下方。
活动座的上端呈抵压圆片的弯钩形式。
本发明结构合理，解决了原来部分人员在放圆片的时候未能放正，致使旋转过程中离心力过大，真空不能保护，而甩片的问题，同时也解决了部分人员有时对底盘的水吹不干净，而影响了底盘真空度的问题；再加上原有的底盘真空功能仍然可以使用，这样的话，就是在整个清洗过程中是多重保护，保证了产品品质的安全，解决了原有意外的甩片问题。
附图说明
下面结合附图和实施例对本发明作进一步说明。
图1是本发明一个实施例的结构示意图。
图2是活动座的结构示意图。
图3是固定限位座的结构示意图。
图4是本发明安装状态示意图。
具体实施方式：
一种清洗机圆片保护装置，包括设置在圆片1边缘外侧的固定限位座2，固定限位座2上装通过销轴3与固定限位座连接的活动座4，且活动座的上端位于圆片边缘的上方，活动座的下端悬在销轴的下方。活动座的上端5呈抵压圆片的弯钩形式。
Claims (2)
1. 一种清洗机圆片保护装置，其特征是：包括设置在圆片边缘外侧的固定限位座，固定限位座上装通过销轴与固定限位座连接的活动座，且活动座的上端位于圆片边缘的上方，活动座的下端悬在销轴的下方。
2. 根据权利要求1所述的清洗机圆片保护装置，其特征是：活动座的上端呈抵压圆片的弯钩形式。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 201010554253 CN102059225A (zh) | 2010-11-23 | 2010-11-23 | 清洗机圆片保护装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 201010554253 CN102059225A (zh) | 2010-11-23 | 2010-11-23 | 清洗机圆片保护装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN102059225A true CN102059225A (zh) | 2011-05-18 |
Family
ID=43994836
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN 201010554253 Pending CN102059225A (zh) | 2010-11-23 | 2010-11-23 | 清洗机圆片保护装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN102059225A (zh) |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20020066475A1 (en) * | 2000-06-26 | 2002-06-06 | Steven Verhaverbeke | Chuck for holding wafer |
| CN1534755A (zh) * | 2003-03-27 | 2004-10-06 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 用于晶圆的夹持装置、夹持销、滚轮夹持装置及夹持滚轮 |
| CN2650897Y (zh) * | 2003-08-11 | 2004-10-27 | 吴永清 | 晶片清洗机 |
| CN101366110A (zh) * | 2005-11-23 | 2009-02-11 | 材料及技术公司 | 用于保持衬底的装置和方法 |
| CN101383271A (zh) * | 2003-08-07 | 2009-03-11 | 株式会社荏原制作所 | 基片处理装置、基片处理方法和基片固定装置 |
| CN201895006U (zh) * | 2010-11-23 | 2011-07-13 | 南通富士通微电子股份有限公司 | 清洗机圆片保护装置 |
-
2010
- 2010-11-23 CN CN 201010554253 patent/CN102059225A/zh active Pending
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20020066475A1 (en) * | 2000-06-26 | 2002-06-06 | Steven Verhaverbeke | Chuck for holding wafer |
| CN1534755A (zh) * | 2003-03-27 | 2004-10-06 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 用于晶圆的夹持装置、夹持销、滚轮夹持装置及夹持滚轮 |
| CN101383271A (zh) * | 2003-08-07 | 2009-03-11 | 株式会社荏原制作所 | 基片处理装置、基片处理方法和基片固定装置 |
| CN2650897Y (zh) * | 2003-08-11 | 2004-10-27 | 吴永清 | 晶片清洗机 |
| CN101366110A (zh) * | 2005-11-23 | 2009-02-11 | 材料及技术公司 | 用于保持衬底的装置和方法 |
| CN201895006U (zh) * | 2010-11-23 | 2011-07-13 | 南通富士通微电子股份有限公司 | 清洗机圆片保护装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN202649059U (zh) | 一种落球冲击试验机防玻璃飞溅装置 | |
| CN201895006U (zh) | 清洗机圆片保护装置 | |
| CN102059225A (zh) | 清洗机圆片保护装置 | |
| CN204598491U (zh) | 壁挂炉电控盒 | |
| CN205788955U (zh) | 一种电力设备警示装置 | |
| CN204582532U (zh) | 新型的座椅*** | |
| CN205116910U (zh) | 屏柜易拆装式警示带固定架 | |
| CN204202985U (zh) | 一种安全回弹仪 | |
| CN103001127B (zh) | 一种用于低压配电柜柜门的定位支架 | |
| CN204055707U (zh) | 一种飞机上带有报警器或显示灯的安全带装置 | |
| CN206871821U (zh) | 一种滚筒输送机翻起装置 | |
| CN103728424A (zh) | 真假芝麻油检测装置 | |
| CN202439001U (zh) | 具有防尘功能的面粉包抓取装置 | |
| CN201702296U (zh) | 一种折弯机上的保护装置 | |
| CN205959811U (zh) | 一种开关柜辅助开关装置 | |
| CN203983079U (zh) | 一种开关柜用接地开关联锁机构 | |
| CN207571647U (zh) | 一种具有防尘装置的触摸一体机 | |
| CN204106199U (zh) | 一种呼吸科临床医生用防护装置 | |
| CN218400516U (zh) | 一种铁路机车电器电路故障声报警装置 | |
| CN202446175U (zh) | 管型吻合器的保险块结构 | |
| CN202712004U (zh) | 一种防误操作按钮保护装置 | |
| CN203354723U (zh) | 一种防撞的高分子夹板 | |
| CN203829656U (zh) | 障碍板组件 | |
| CN103122967B (zh) | 客梯主机减震装置 | |
| CN201979494U (zh) | 一种用在电钻上的装尘装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C12 | Rejection of a patent application after its publication | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20110518 |