CN102037332A - 位置测量设备 - Google Patents
位置测量设备 Download PDFInfo
- Publication number
- CN102037332A CN102037332A CN2009801156616A CN200980115661A CN102037332A CN 102037332 A CN102037332 A CN 102037332A CN 2009801156616 A CN2009801156616 A CN 2009801156616A CN 200980115661 A CN200980115661 A CN 200980115661A CN 102037332 A CN102037332 A CN 102037332A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- signal
- characteristic
- code element
- code
- sweep signal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 claims abstract description 19
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims abstract description 8
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 37
- 230000007704 transition Effects 0.000 claims description 28
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 claims description 19
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 16
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 claims description 11
- 238000004220 aggregation Methods 0.000 claims description 11
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 7
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 7
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 5
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 abstract 1
- 239000012634 fragment Substances 0.000 description 8
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 5
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 238000009954 braiding Methods 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000004069 differentiation Effects 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 230000008447 perception Effects 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/244—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
- G01D5/245—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains using a variable number of pulses in a train
- G01D5/2454—Encoders incorporating incremental and absolute signals
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/244—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
- G01D5/249—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains using pulse code
- G01D5/2492—Pulse stream
- G01D5/2495—Pseudo-random code
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
- G01D5/34776—Absolute encoders with analogue or digital scales
- G01D5/34792—Absolute encoders with analogue or digital scales with only digital scales or both digital and incremental scales
- G01D5/34794—Optical encoders using the Vernier principle, i.e. incorporating two or more tracks having a (n, n+1, ...) relationship
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D2205/00—Indexing scheme relating to details of means for transferring or converting the output of a sensing member
- G01D2205/85—Determining the direction of movement of an encoder, e.g. of an incremental encoder
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optical Transform (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
利用本发明说明一种位置测量设备，其中从串行码(1)中一方面推导出定义绝对位置的码字(CW)并且另一方面推导出周期增量信号(IN)。为了产生增量信号(IN)设置有装置(11)，所述装置(11)将扫描信号(A1至A8)转换为使得通过经转换的扫描信号(TA1至TA8)的相加产生增量信号(IN)。有利地，该转换是通过将扫描信号(A1至A8)与参考信号进行比较来形成差信号并且对所述差信号进行整流。
Description
技术领域
本发明涉及一种根据权利要求1所述的用于测量位置的位置测量设备以及一种根据权利要求11所述的用于位置测量的方法。
背景技术
在许多领域中，越来越多地使用绝对位置测量设备，其中从具有被连续地布置在测量方向上的码元的码轨中推导出绝对位置信息。在此，码元被设置成伪随机分布，使得一定数目的彼此相继的码元分别形成位模式。在相对于码轨将扫描设备移动单个码元的情况下，就已经形成新的位模式，并且在要以绝对方式检测的总测量范围内提供不同的位模式的序列。
这样的序列码被称为链码或伪随机码。
利用绝对码所生成的绝对位置的分辨率对于许多应用而言是不够的。为了进一步提高分辨率规定：将绝对位置信息与来自具有较高分辨率的增量位置测量的位置信息相组合。但是该组合仅在绝对位置信息的分辨率能够单义地定义增量位置测量的至少一个分度周期时才能可靠地进行。因此，如在DE 4123722A1中所述的那样，为了实现所要求的总分辨率，除了绝对码以外还布置不同分度周期的多个增量分度。该增量分度具有与码元的宽度相对应的分度周期。通过对由此推导出的模拟周期扫描信号进行插值并且通过与码的绝对位置信息进行衔接以及通过与高分辨率的增量分度进行衔接，获得结果得到的绝对信息，该绝对信息具有与高分辨率的增量分度相对应的分辨率。
已经提出的方案是，从绝对码本身中推导出增量位置信息。在EP1329696A1中说明有一种绝对码，利用该绝对码，一方面可生成绝对位置信息以及多个彼此相移的模拟增量扫描信号。每个码元都由两个分字段构成，其中这两个分字段中的一个被周期性地布置。因此，为了单义地进行绝对确定，这两个分字段中的另一个必需单义地对码元进行编码，由此该码总共由三个不同的分字段构成。为了生成模拟周期扫描信号，分别将多个码元的同相扫描信号相加。
在此的缺点是，由于分字段的周期性布置，需要第三状态以对码元进行编码。
在作为本发明的出发点的WO 02/01160A1中，描述有一种位置测量设备，其中从由在测量方向上被连续布置的码元构成的码中推导出增量位置信息，所述码元具有相等的宽度并且具有第一和第二特性。这些码元分别被非周期地布置。增量位置信息通过傅立叶分析被确定。
在此的缺点是，傅立叶分析又导致码元的周期性布置。除此之外，需要相对高的计算能力并且实时处理实现起来困难。
发明内容
本发明所基于的任务是，提供一种位置测量设备，利用所述位置测量设备可以通过简单方式从串行码中推导出增量位置信息。
该任务通过权利要求1的特征来解决。
此外，本发明所基于的任务是，说明一种用于位置测量的方法，利用所述方法使得能够简单并且可靠地从串行码中生成绝对位置信息以及增量位置信息。
该任务通过权利要求11的特征来解决。
本发明的有利的扩展方案在从属权利要求中予以说明。
附图说明
根据附图进一步阐述本发明，在此：
图1以示意图示出第一位置测量设备；
图2a示出图1中的码；
图2b示出在对根据图2a的码进行扫描时所产生的扫描信号；
图2c示出由转换器设备从根据图2b的扫描信号中所生成的部分信号与位置有关的变化曲线；
图3示出用于产生3个彼此相移的增量信号的第二位置测量设备；
图4示出码和分配给该码的探测器以及可由此产生的4个彼此相移的增量信号；
图5示出将增量信号用于分析码；以及
图6示出一种电路布置，该电路布置用于产生4个彼此相移的与码元的宽度相对应的增量信号以及用于产生与码元2倍宽度相对应的增量信号。
具体实施方式
图1示意性地示出根据本发明配置的位置测量设备。根据该图1，阐述了本发明的原理，更具体而言，为了易于理解，首先仅仅阐述从串行码1中生成单个模拟正弦周期增量信号IN。该位置测量设备根据光学扫描原理工作，其中借助于光束以透光法(Durchlichtverfahren)来扫描码1。扫描单元10用于对码1进行扫描，扫描单元10被布置为可以在测量方向X上相对于码1移动以便进行位置测量。码1由在测量方向X上连续布置的长度等于宽度B的码元C的序列构成，其中在图1中以索引1至8表示码元C。设置有具有第一特性的码元C1、C4、C5、C6、C8和具有第二特性的码元C2、C3、C7，其中第一特性的码元C1、C4、C5、C6、C8以及具有第二特性的码元C2、C3、C7分别被非周期性地布置。在图1中用深色示出的码元是不透明的区域，并且其它码元C1、C4、C5、C6、C8是透明区域。
在顺序码1相对于扫描单元10的每个相对位置处，码1的具有M个码元C1至C8的片段T被同时扫描，其中M＝大于或等于3的自然数，例如M＝8。光束与码1位置有关地被调制，使得在码1之后产生与位置有关的光分布，所述光分布被探测器D1至D8检测。探测器D1至D8的扫描信号A1至A8一方面被输送给分析单元15，该分析单元15以公知的方式由此形成定义绝对位置的码字CW。在此，从码元C1至C8的每个中导出1个位。关于该码字CW的形成，例如可以参阅DE 4123722A1。
另一方面，扫描信号A1至A8被输送给用于形成增量信号IN的装置11。该装置11具有转换器设备12，以便在过渡K1至K4的每个处与该过渡的类型无关地从借助于探测器D1至D8在过渡K1、K2、K3、K4所获得的、根据过渡的类型而走向不同的信号A1、A3、A6、A7中分别形成走向相同的部分信号TA1、TA3、TA6和TA7。此外，装置11具有聚集设备13，该聚集设备13将这些部分信号TA1、TA3、TA6和TA7合并，以便由此形成作为周期长度等于码元C1至C8的宽度B的模拟周期信号的增量信号IN。在本发明中与现有技术不同的是，不需要为了形成增量信号IN而周期性地布置码元C1至C8，而是利用从一种特性的码元到另一特性的码元(例如从C1到C2、从C3到C4、从C6到C7、以及从C7到C8)的过渡K1、K2、K3和K4-即边缘-在由宽度为B的光栅(Raster)预先给定的多个位置处出现。
如果观察由探测器D1至D8在码1(图2a)的过渡K1至K4处所检测的扫描信号A1至A8，其中在图2b中仅仅示出了一个扫描信号，则可以认识到，这些扫描信号根据在过渡K 1至K4处的转变而走向不同。在过渡K1和K3处，扫描信号A1至A8从高电平转变为低电平，并且在过渡K2和K4处，扫描信号A1至A8从低电平转变为高电平。为了现在能够将片段T内的所有过渡K1至K4用于形成增量信号IN，并且具体而言与过渡的类型无关地形成增量信号IN，设置有转换器设备12。
转换器设备12所具有的功能是，将在码元C2、C3、C7的中心生成的特别小的扫描信号和在码元C1、C4、C5、C6、C8的中心生成的特别大的扫描信号转换成大致相等的输出信号。在此，这些输出信号的变化曲线必然与在过渡K1至K4处产生的变化曲线不同。有利的是，在过渡K1至K4处与过渡类型——即明-＞暗或暗-＞明——无关地生成特别高的信号并且在码元C1至C8的中心生成特别低的信号。转换器设备12的传递特性被优化为使得其为此具有非线性的传递特性、尤其是平方传递特性，其中该传递特性将绝对值相等但是符号不同的输入信号转换成相等的输出信号。适合用于实现的是诸如晶体管、FET或二极管的非线性器件。在移动码1时，过渡K1至K4的光栅移动通过探测器D1至D8，使得从过渡K1至K4中产生具有周期B的周期性的正弦信号变化。在图2c中示出这样产生的分段地为周期性的部分信号。
利用装置11，实现相对简单的可通过硬件实现的方法，该方法并行地并且因此快速地确定码1的所检测的所有过渡K1至K4的中心位置。
模拟正弦周期增量信号IN可以借助于插值器14被细分和数字化，并且该位置信息D用于将低分辨率的绝对位置信息CW与增量轨20的信号周期衔接。为此，宽度B内的位置信息D是明确绝对的，并且具有比从增量轨20中所获得的位置的分辨率小的分辨率。该码衔接在码衔接设备16中进行，其中位置信息D一方面与码字CW衔接并且另一方面与通过对增量轨20进行扫描所获得的精细值F衔接。那样的话，在扫描单元10的输出端处提供所得到的具有增量轨20的分辨率的绝对位置ABS，该绝对位置可以以公知的方式优选地通过串行接口输出。
增量轨20的分度的分度周期通常是20μm，并且码元C1至C8的宽度B通常大于80μm、例如为200μm。
如开头已经说明的那样，上面仅仅阐述了单个周期增量信号IN的形成。在实际中有利的是，以相同方式形成多个彼此相移90°或180°的增量信号，这些增量信号然后可以以公知的方式被处理。为了产生与增量信号IN相移的信号，需要第二组探测器，该第二组探测器与第一组错开码元的宽度B的一小部分。为了产生相移120°的信号，该位错为B/3，为了产生相移90°的信号，该位错为B/4。总的来说，为了产生N个彼此相移的增量信号N需要N组探测器，其中那样的话给每个码元分配N个探测器并且那样的话应当在片段T内设置(NxM)个探测器，其中N＝大于等于1的自然数。为每组探测器都设置有聚集设备，使得每第N个探测器被输送给第N个聚集设备。在此，每个聚集设备都提供彼此相移的增量信号之中的具有彼此间相移2π/N的增量信号。以图3中所示的第二示例来阐述本发明的另一特别有利的扩展方案。将所谓的曼彻斯特(Manchester)码用作码101，该曼彻斯特码保证：在所扫描的片段T内出现足够的光栅B形式的过渡K11，以便形成具有周期长度B的周期增量信号IN0、IN120、IN240。码101再次由在测量方向X上连续布置的长度相等的码元C11和C12的序列，其中在图3中仅仅示出了2个码元。码元C11被构造为与码元C12互补。在此，“互补”是指这些码元具有相反的特性，即在光学扫描原理的情况下是透明和不透明或者是反射性的和非反射性的。互补码元C11和C12的次序确定：是给宽度为(2xB)的字段分配位0还是1。在EP 1468254B1中详阐述了码值形成。
为了产生3个彼此分别相移120°的增量信号IN0、IN120、IN240，设置3组探测器D11至D16。一组的探测器分别彼此以相距光栅B，并且这些组的探测器被布置为分别彼此错开B/3。探测器D11和D14形成用于产生第一增量信号IN0的第一组，探测器D12和D15形成用于产生第二增量信号IN120的第二组，并且探测器D13和D16形成用于产生第三增量信号IN240的第三组。
转换器设备112被构造为将扫描信号A11至A16中的每一个与由相邻探测器D11至D16所产生的扫描信号A11至A16之一相比较并且对由此形成的差进行整流，以便获得所需的部分信号TA11至TA16。当相邻布置的探测器D11至D11的扫描信号A11至A16在与所述差的符号无关的情况下差异大时，产生特别高的部分信号TA11至TA16。因此，高的部分信号TA11至TA16被分配给过渡K11。通过该措施，过渡K11被特别地加权。这样产生的探测器组D11、D14和D12、D15和D13、D16的部分信号TA11、TA14以及TA12、TA15和TA13、TA16分别在聚集设备113中被相加为增量信号IN0、IN120、IN240。
码字CW的产生在根据在此所参考的EP 1468254B1的分析单元115中进行。
所述扫描信号可以是电压或电流。如果使用电流，则应当使用适于使电流倍增的组件17，如图13中示例性示出的那样。
在图4中示出码元C21至C28的布置，其具有用于产生4个彼此相移90°的增量信号IN0、IN90、IN180、IN270的N＝4组探测器D21至D52的布置。码布置是曼彻斯特码，其中位信息以公知的方式由两个码元C21、C22以及C23、C24以及C25、C26和C27、C28的次序来定义。在每个码元C21至C28内布置有4个探测器D21至D52。通过检测所有的明-暗过渡，增量信号IN0、IN90、IN180和IN270都具有周期长度B。增量信号IN0、IN90、IN180和IN270再次通过相邻探测器D21至D52的相减、接着的整流、以及接着对由此形成的部分信号的相加而被生成：
IN0＝|A22-A23|+|A26-A27|+|A30-A31|+|A34-A35|+......
IN90＝|A23-A24|+|A27-A28|+|A31-A32|+|A35-A36|+......
IN180＝|A24-A25|+|A28-A29|+|A32-A33|+|A36-A37|+......
IN270＝|A25-A26|+|A29-A30|+|A33-A34|+|A37-A38|+....
可替代地，也可以通过下面的关系式形成增量信号：
IN0＝|(A21+A22)-(A23+A24)|+|(A25+A26)-(A27+A28)|+|(A29+A30)-(A31+A32)|+|(A33+A34)-(A35+A36)|+......
IN90＝|(A22+A23)-(A24+A25)|+|(A26+A27)-(A28+A29)|+|(A30+A31)-(A32+A33)|+|(A34+A35)-(A36+A37)|+.....
因此概括而言，本发明涉及具***1、101的位置测量设备，所述码1、101由被布置在测量方向X上的宽度B相等并且具有第一和第二特性的码元C1至C28的序列构成，其中具有第一特性的码元C1、C4、C5、C6、C8、C12、C21、C24、C26、C28以及具有第二特性的码元C2、C3、C7、C11、C22、C23、C25、C27分别被非周期性地布置。根据码元C1至C28的特性，产生具有高信号电平或低信号电平的扫描信号A1至A52。该位置测量设备具有拥有多个探测器D1至D52的扫描单元10，所述扫描单元10用于至少在扫描位置处以间隔光栅B分别对码1、101的片段T进行扫描并且从不同的信号电平中形成定义绝对位置的码字CW以及从借助于探测器D1至D52所获得的扫描信号A1至A52中形成至少一个增量信号IN、IN0、IN90、IN180、IN270、IN120、IN240。以间隔光栅B布置探测器D1至D52是指，不必一定在以间隔光栅B预先给定的每个位置处都存在探测器D1至D52。该位置测量设备包含用于形成增量信号IN、IN0、IN90、IN180、IN270、IN120、IN240的装置11，该装置11具有转换器设备12、112和被布置在转换器设备12、112后面的聚集设备13、113，其中转换器设备12、112将扫描信号A1至A52转换成部分信号TA1至TA16，使得以间隔光栅B从扫描位置所推导出的部分信号TA1至TA16被聚集设备13、113合并，形成至少一个增量信号IN、IN0、IN90、IN180、IN270、IN120、IN240作为具有周期对应于宽度B的周期信号。在此，转换器设备12、112具有如下功能：将在从一种特性的码元C1、C4、C5、C6、C8、C12、C21、C24、C26、C28之一到另一特性的码元C2、C3、C7、C11、C22、C23、C25、C27之一的过渡K1至K12所推导出的扫描信号A1至A52分别转换成具有周期为B的周期性信号时间变化曲线的部分信号TA1至TA16，其中该周期性信号变化曲线与所述过渡是从第一特性到第二特性还是从第二特性到第一特性无关。从具有第一特性的码元C1、C4、C5、C6、C8、C12、C21、C24、C26、C28和具有第二特性的码元C2、C3、C7、C11、C22、C23、C25、C27的其余区域所推导出的扫描信号A1至A52分别被转换成走向相同的部分信号TA1至TA16。从每个过渡K1至K12来看，周期性信号变化曲线存在于区域+B/2和-B/2中。走向相同的部分信号TA1至TA16是指，扫描信号A1至A52的信号变化曲线在所述过渡区域K1至K12之外具有、并且具体而言与码元C1至C28的特性无关地具有恒定电平。
转换器设备112被有利地被构造为分别将扫描信号A11至A52与参考信号相比较并且对通过比较形成的差进行整流。在此，该参考信号可以是预先给定的恒定信号或者来自在测量方向X上间隔开的扫描位置、即来自相邻探测器D11至D52的扫描信号A11至A52。
根据图5阐述：如何能够将根据图4从码元C21至C28中所生成的增量信号IN、IN0、IN90、IN180和IN270还用于正确地形成码字CW。根据具有3个码元C21、C22和C23的片段来阐述作用方式，其中在的所示瞬时位置中，探测器D21至D32用于扫描这些码元。探测器D21至D32的扫描信号A21至A32被输送给用于形成4个彼此相移90°的增量信号IN0、IN90、IN180、IN270的装置211，其中所述增量信号在图5中仅仅用IN来表示。插值器214从这些增量信号IN0、IN90、IN180、IN270中形成绝对位置信息D，该绝对位置信息D分别单义绝对地对长度B进行细分。
在DE 4123722中阐述：为了可靠地形成码字，选择对码元的单义区域进行扫描的扫描信号。在EP 1329696A1中阐述了根据曼彻斯特编码可靠地形成码字。在两种情况下，都从布置在该码旁边的增量轨的位置信息中选择正确的扫描信号。现在，根据本发明所生成的位置信息D被有利地用于正确地选择扫描信号A23、A27、A31以用于形成码字CW。为此，扫描信号A21至A32被输送给分析设备18，该分析设备18根据位置信息D选择适于可靠地形成码字CW的扫描信号A23、A27、A31。合适的是扫描信号A23、A27、A31，这些扫描信号对码元C21、C22和C23的中心区域进行扫描，使得不将从不可靠的过渡所推导出的扫描信号A21、A25和A29用于形成码字CW。
现在根据图6阐述：如何能够利用本发明还生成具有宽度为2xB的周期的增量信号BN0、BN90。也就是说，可能特别有利的是，从曼彻斯特码中推导出具有长度为2xB的周期、即在1位内提供单义的位置信息的增量信号BN0、BN90。在使用曼彻斯特码的情况下，分别通过将两个彼此相继的码元的扫描信号相比较、尤其是相减形成码字CW的位。现在，从所述至少一个具有周期2xB的周期增量信号BN0、BN90中确定适于进行比较的扫描信号。也就是说，从增量信号BN0、BN90中获得的位置信息被用于将位的两个互补的码元正确地相减以用于产生该位。在此，对通过相减产生位的认识可以是前提条件，这例如参阅EP 1468254B1，因此不对此进行另外的阐述。
详细阐述两个彼此相移90°的周期为2xB的增量信息BN0和BN90的产生。图6示出曼彻斯特码的片段，该片段又由多个彼此连续布置的码元C21至C24构成。多个探测器用于扫描，其中示出探测器D21至D36。如前面已经阐述的那样，探测器D21至D36形成4组探测器以用于产生4个彼此相移90°的增量信号IN0、IN90、IN180、IN270。相邻探测器的扫描信号被相互比较，并且比较结果被整流。经过整流的信号是部分信号，其中出于清楚性的原因，在图6中仅仅表示出部分信号TA24、TA28、TA32和TA36。分别在间隔光栅B的采样位置处所推导出的部分信号被合并、即被相加。因此根据图6，相应两个探测器D21、D22的扫描信号被相加为一个扫描信号——这通过加号“+”来表示，并且与相邻扫描信号D23、D24的和相比较——这通过减号“-”来表示。对差(A21+A22)-(A23+A24)进行整流。在装置11.1中，现在形成经过整流的部分信号的如下的和：
IN0；1＝|(A21+A22)-(A23+A24)|+|(A29+A30)-(A31+A32)|+
|(A33+A34)-(A35+A36)|+......
IN0；2＝|(A25+A26)-(A27+A28)|+|(A33+A34)-(A35+A36)|+....
IN90；1＝|(A22+A23)-(A24+A25)|+|(A30+A31)-(A32+A33)|+....
IN90；2＝|(A26+A27)-(A28+A29)|+|(A34+A35)-(A36+A37)|+....
IN180；1＝|(A23+A24)-(A25+A26)|+|(A31+A32)-(A33+A34)|+
|(A35+A36)-(A37+A38)|+......
IN180；2＝|(A27+A28)-(A29+A30)|+|(A35+A36)-(A37+A38)|+....
IN270；1＝|(A24+A25)-(A26+A27)|+|(A32+A33)-(A34+A35)|+....
IN270；2＝|(A28+A29)-(A30+A31)|+|(A36+A37)-(A38+A39)|+....
在装置11.2中，部分信号的这些和被进一步相加为彼此相移90°的具有周期B的周期模拟增量信号：
IN0＝IN0；1+IN0；2
IN90＝IN90；1+IN90；2
IN180＝IN180；1+IN180；2
IN270＝IN270；1+IN270；2
通过在许多码元和边缘的范围内取平均，这些增量信号IN0、IN90、IN180和IN270的正弦形式非常好，从而通过所述许多码元和边缘实现通过公知的插值法对宽度B内的绝对位置的精确确定。
为了产生具有周期为2xB的增量信号BN0和BN90，将这些信号相关联：
BN0＝(IN0；1+IN90；1+I180；1+I270；1)-(IN0；2+IN90；2+IN180；2+IN270；2)
BN90＝(IN0；2+IN90；2+I180；2+I270；2)-(IN0；1+IN90；1+IN180；2+IN270；2)
这些增量信号BN0和BN90的形式适于由此使得能够在曼彻斯特编码101的2xB内单义地区分右侧和左侧区域B。
在光学扫描原理中，可以以空间节省的方式在OPTO-ASIC中构造扫描单元10的所有元件。但是本发明不限于光学扫描原理。因此，例如也可以根据本发明安排磁性的、感性的、或容性的位置测量设备。那样的话，探测器的类型以及码元的第一和第二特性的实施方式必须根据扫描原理来选择，但是除此之外，上面的描述可以直接转用。
该绝对位置测量设备可以用于测量直线运动或旋转运动，其中码1、101可以安装在可移动的对象处并且扫描单元10可以安装在另一要测量的对象处。在此，码1、101可以直接安装在要测量的对象处或者安装在尺度(Maβstab)上，该尺度然后又与要测量的对象耦合。
在此，要测量的对象可以是机床、坐标测量机的工作台和滑动装置、或者电机的转子和定子。
Claims (18)
1.一种位置测量设备，具有：
-码(1，101)，其由被布置在测量方向X上的具有相等的宽度B并且具有第一和第二特性的码元(C1至C28)的序列构成，其中具有第一特性的码元(C1，C4，C5，C6，C8，C12，C21，C24，C26，C28)以及具有第二特性的码元(C2，C3，C7，C11，C22，C23，C25，C27)分别被非周期地布置；
-扫描单元(10)，其具有多个探测器(D1至D52)，所述扫描单元(10)用于对码(1，101)进行扫描并且获得扫描信号(A1至A52)，从所述扫描信号(A1至A52)中形成定义绝对位置的码字(CW)；
-用于从扫描信号(A1至A52)中形成至少一个增量信号(IN，IN0，IN90，IN180，IN270，IN120，IN240，BN0，BN90)的装置(11，11.1，11.2，211)，
其特征在于，
-用于形成增量信号(IN，IN0，IN90，IN180，IN270，IN120，IN240，BN0，BN90)的装置(11，211)具有转换器设备(12，112)和被布置在转换器设备(12，112)之后的聚集设备(13，113)，其中转换器设备(12，112)从以间隔光栅B在扫描位置处所推导出的扫描信号(A1至A52)中分别形成分段地为周期性的部分信号(TA1至TA36)，所述部分信号(TA1至TA36)被聚集设备(13，113)合并。
2.根据权利要求1所述的位置测量设备，其特征在于，转换器设备(12，112)具有如下功能：将在从一种特性的码元(C1，C4，C5，C6，C8，C12，C21，C24，C26，C28)之一到另一特性的码元的(C2，C3，C7，C11，C22，C23，C25，C27)之一的过渡(K1至K12)处所推导出的扫描信号(A1至A52)分别转换成具有周期为B的周期性信号时间变化曲线的部分信号(TA1至TA36)，其中所述周期性信号变化曲线与过渡(K1至K12)是从第一特性到第二特性还是从第二特性到第一特性无关。
3.根据权利要求1或2所述的位置测量设备，其特征在于，转换器设备(12，112)具有非线性的传递特性、尤其是平方传递特性。
4.根据前述权利要求之一所述的位置测量设备，其特征在于，为了产生N个彼此相移的增量信号(IN0，IN90，IN180，IN270，IN120，IN240)设置有N组探测器(D11至D52)，其中N＝大于等于1的自然数，其中N个探测器(D11至D52)分别以B/N的间隔被布置在宽度B内，并且为探测器(D11至D52)中的每组都设置有聚集设备(113)以形成彼此相移的增量信号(IN0，IN90，IN180，IN270，IN120，IN240)之一。
5.根据前述权利要求之一所述的位置测量设备，其特征在于，转换器设备(112)被构造为分别将扫描信号(A11至A52)之一与参考信号相比较并且对通过比较所形成的差进行整流。
6.根据权利要求5所述的位置测量设备，其特征在于，所述参考信号是在测量方向X上间隔开的另一探测器(D11至D52)的至少一个扫描信号(A11至A52)。
7.根据前述权利要求之一所述的位置测量设备，其特征在于，码元(C1至28)被设置为能光学扫描的，其方式是具有第一特性的码元(C1，C4，C5，C6，C8，C12，C21，C24，C26，C28)是透明的并且第二特性的(C2，C3，C7，C11，C22，C23，C25，C27)是不透明的，或者具有第一特性的码元是反射性的并且第二特性的码元是非反射性的。
8.根据前述权利要求之一所述的位置测量设备，其特征在于，为每个码元(C21至C23)分配多个探测器(D21至D32)，并且所述多个码元(C21至C23)的扫描信号(A21至A 32)被输送给分析设备(18)，所述分析设备(18)根据从增量信号(IN)中所推导出的位置信息(D)选择适于形成码字(CW)的扫描信号(A23，A27，A31)。
9.根据前述权利要求之一所述的位置测量设备，其特征在于，码(101)是曼彻斯特码。
10.根据前述权利要求之一所述的位置测量设备，其特征在于一种电路(19)，利用所述电路(19)能够从部分信号(TA11至TA36)中形成至少一个具有周期2xB的周期增量信号(BN0，BN90)。
11.一种用于位置测量的方法，具有下列方法步骤：
-对码(1，101)进行扫描，所述码(1，101)由被布置在测量方向X上的具有相等的宽度B并且具有第一和第二特性的码元(C1至C28)的序列构成，其中具有第一特性的码元(C1，C4，C5，C6，C8，C12，C21，C24，C26，C28)以及具有第二特性的码元(C2，C3，C7，C11，C22，C23，C25，C27)分别被非周期地布置；
-从借助于多个探测器(D1至D52)所获得的扫描信号(A1至A52)中形成定义绝对位置的码字(CW)；
-从扫描信号(A1至A52)中形成至少一个增量信号(IN，IN0，IN90，IN180，IN270，IN120，IN240，BN0，BN90)，
其特征在于，
-为了形成至少一个增量信号(IN，IN0，IN90，IN180，IN270，IN120，IN240，BN0，BN90)，将以间隔光栅B在扫描位置处所推导出的扫描信号(A1至A52)转换成分段地为周期性的部分信号(TA1至TA36)，并且所述部分信号(TA1至TA36)被合并。
12.根据权利要求11所述的方法，其特征在于，转换器设备(12，112)将在从一种特性的码元(C1，C4，C5，C6，C8，C12，C21，C24，C26，C28)之一到另一特性的码元的(C2，C3，C7，C11，C22，C23，C25，C27)之一的过渡(K1至K12)处所推导出的扫描信号(A1至A52)分别转换成具有周期为B的周期性信号时间变化曲线的部分信号(TA1至TA36)，其中所述周期性信号变化曲线与过渡(K1至K12)是从第一特性到第二特性还是从第二特性到第一特性无关。
13.根据权利要求11或12所述的方法，其特征在于，形成部分信号(TA11至TA36)，其方式是分别将扫描信号(A11至A16)之一与参考信号相比较并且对通过比较所形成的差进行整流。
14.根据权利要求13所述的方法，其特征在于，所述参考信号是在测量方向X上间隔布置的至少一个另外的探测器(D11至D52)的扫描信号(A11至A16)。
15.根据权利要求11至14之一所述的方法，其特征在于，从每个码元(C21至C23)中推导出多个扫描信号(A21至A32)，所述扫描信号(A21至A32)被输送给分析设备(18)，所述分析设备(18)根据从增量信号(IN)中所推导出的位置信息(D)选择适于形成码字(CW)的扫描信号(A23，A27，A31)。
16.根据权利要求11至15之一所述的方法，其特征在于，从部分信号(TA11至TA36)中形成至少一个具有周期2xB的周期增量信号(BN0，BN90)。
17.根据权利要求11至16之一所述的方法，其特征在于，从曼彻斯特码(101)中推导出扫描信号(A11至A52)，其中从对两个码元(C1至C28)的扫描信号(A11至A52)的比较中形成码字(CW)的位。
18.根据权利要求16和17所述的方法，其特征在于，从至少一个具有周期2xB的周期增量信号(BN0，BN90)中确定适于进行比较的扫描信号(A11至A32)。
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE102008022027A DE102008022027A1 (de) | 2008-05-02 | 2008-05-02 | Positionsmesseinrichtung |
| DE102008022027.2 | 2008-05-02 | ||
| PCT/EP2009/053437 WO2009132901A1 (de) | 2008-05-02 | 2009-03-24 | Positionsmesseinrichtung |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN102037332A true CN102037332A (zh) | 2011-04-27 |
| CN102037332B CN102037332B (zh) | 2014-08-13 |
Family
ID=40940517
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN200980115661.6A Active CN102037332B (zh) | 2008-05-02 | 2009-03-24 | 位置测量设备 |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US8570621B2 (zh) |
| EP (1) | EP2274579B1 (zh) |
| JP (1) | JP5230800B2 (zh) |
| CN (1) | CN102037332B (zh) |
| DE (1) | DE102008022027A1 (zh) |
| ES (1) | ES2696993T3 (zh) |
| WO (1) | WO2009132901A1 (zh) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103056726A (zh) * | 2012-12-26 | 2013-04-24 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 双读数头读取具有标识码道的绝对式光栅尺的读数方法 |
| CN103056721A (zh) * | 2012-12-26 | 2013-04-24 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 采用双读数头对绝对式钢带光栅尺的读数方法 |
| CN105300278A (zh) * | 2014-06-10 | 2016-02-03 | 约翰内斯·海德汉博士有限公司 | 光学位置测量装置 |
| CN106370213A (zh) * | 2015-07-24 | 2017-02-01 | 赫克斯冈技术中心 | 绝对位置确定 |
| CN109564108A (zh) * | 2016-07-01 | 2019-04-02 | 物理仪器(Pi)两合有限公司 | 传感器装置 |
| CN110030924A (zh) * | 2018-01-12 | 2019-07-19 | 约翰内斯·海德汉博士有限公司 | 位置测量装置 |
| CN113447051A (zh) * | 2021-09-02 | 2021-09-28 | 北京精雕科技集团有限公司 | 单码道绝对式位置测量装置 |
| WO2023028966A1 (zh) * | 2021-09-02 | 2023-03-09 | 北京精雕科技集团有限公司 | 单码道绝对式位置测量装置 |
Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20130204574A1 (en) | 2012-02-07 | 2013-08-08 | Amit Agrawal | Method for Estimating Positions Using Absolute Encoders |
| EP2674731B1 (de) * | 2012-06-13 | 2015-09-02 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Positionsmesseinrichtung |
| DE102012210309A1 (de) * | 2012-06-19 | 2013-12-19 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Positionsmesseinrichtung |
| DE102012222319A1 (de) | 2012-12-05 | 2014-06-05 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Positionsmesseinrichtung |
| CN103148876B (zh) * | 2013-02-27 | 2015-10-28 | 西安交通大学 | 单码道绝对式线位移光栅尺虚拟增量式码道构造方法和解码方法 |
| CN103273382B (zh) * | 2013-05-30 | 2015-06-10 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种光栅尺的读数装置 |
| JP2016014574A (ja) * | 2014-07-01 | 2016-01-28 | キヤノン株式会社 | アブソリュートエンコーダ |
| DE102016214456A1 (de) * | 2016-08-04 | 2018-02-08 | Dr. Johannes Heidenhain Gesellschaft Mit Beschränkter Haftung | Positionsmesseinrichtung und Verfahren zum Betreiben einer Positionsmesseinrichtung |
| JP2019211361A (ja) * | 2018-06-06 | 2019-12-12 | ファナック株式会社 | エンコーダ |
| DE102021128219B3 (de) * | 2021-10-29 | 2022-06-02 | Sick Ag | Gebervorrichtung und Verfahren zur Bestimmung einer Absolutposition |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1311852A (zh) * | 1998-07-24 | 2001-09-05 | 毕晓普创新有限公司 | 角度编码器 |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2754422B2 (ja) | 1990-07-18 | 1998-05-20 | 株式会社ニコン | アブソリュート・エンコーダ |
| US5225830A (en) * | 1991-02-26 | 1993-07-06 | Mitutoyo | Combination optical and capacitive absolute position apparatus and method |
| FI91325C (fi) * | 1992-04-07 | 1994-06-10 | Partek Cargotec Oy | Paikka-asteikko ja optinen lukuanturi tämän paikka-asteikon lukemiseksi |
| AUPQ835100A0 (en) | 2000-06-23 | 2000-07-20 | Bishop Innovation Limited | Position sensor |
| DE10050392A1 (de) * | 2000-10-12 | 2002-04-18 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Positionsmesseinrichtung und Verfahren zum Betrieb einer Positionsmesseinrichtung |
| GB0109057D0 (en) | 2001-04-11 | 2001-05-30 | Renishaw Plc | Absolute postition measurement |
| DE10201496A1 (de) | 2002-01-17 | 2003-07-31 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Maßstab und Positionsmesseinrichtung zur absoluten Positionsbestimmung |
| US7013575B2 (en) | 2002-01-17 | 2006-03-21 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Position measuring device |
| DE102006007184A1 (de) | 2006-02-15 | 2007-08-16 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Positionsmesseinrichtung |
| DE102007056612A1 (de) * | 2007-11-23 | 2009-05-28 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Optische Positionsmesseinrichtung |
| US7875844B2 (en) * | 2008-09-02 | 2011-01-25 | Delta Electronics, Inc. | Absolute-type encoder and method for detecting absolute position |
-
2008
- 2008-05-02 DE DE102008022027A patent/DE102008022027A1/de not_active Withdrawn
-
2009
- 2009-03-24 ES ES09737945T patent/ES2696993T3/es active Active
- 2009-03-24 JP JP2011506631A patent/JP5230800B2/ja active Active
- 2009-03-24 US US12/989,691 patent/US8570621B2/en active Active
- 2009-03-24 CN CN200980115661.6A patent/CN102037332B/zh active Active
- 2009-03-24 WO PCT/EP2009/053437 patent/WO2009132901A1/de active Application Filing
- 2009-03-24 EP EP09737945.7A patent/EP2274579B1/de active Active
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1311852A (zh) * | 1998-07-24 | 2001-09-05 | 毕晓普创新有限公司 | 角度编码器 |
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103056726A (zh) * | 2012-12-26 | 2013-04-24 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 双读数头读取具有标识码道的绝对式光栅尺的读数方法 |
| CN103056721A (zh) * | 2012-12-26 | 2013-04-24 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 采用双读数头对绝对式钢带光栅尺的读数方法 |
| CN103056721B (zh) * | 2012-12-26 | 2014-11-19 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 采用双读数头对绝对式钢带光栅尺的读数方法 |
| CN103056726B (zh) * | 2012-12-26 | 2014-11-19 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 双读数头读取具有标识码道的绝对式光栅尺的读数方法 |
| CN105300278A (zh) * | 2014-06-10 | 2016-02-03 | 约翰内斯·海德汉博士有限公司 | 光学位置测量装置 |
| CN105300278B (zh) * | 2014-06-10 | 2018-10-23 | 约翰内斯·海德汉博士有限公司 | 光学位置测量装置 |
| US10082409B2 (en) | 2015-07-24 | 2018-09-25 | Hexagon Technology Center Gmbh | Absolute position determination |
| CN106370213A (zh) * | 2015-07-24 | 2017-02-01 | 赫克斯冈技术中心 | 绝对位置确定 |
| CN106370213B (zh) * | 2015-07-24 | 2018-12-18 | 赫克斯冈技术中心 | 绝对位置确定 |
| CN109564108A (zh) * | 2016-07-01 | 2019-04-02 | 物理仪器(Pi)两合有限公司 | 传感器装置 |
| CN109564108B (zh) * | 2016-07-01 | 2021-07-27 | 物理仪器(Pi)两合有限公司 | 传感器装置 |
| CN110030924A (zh) * | 2018-01-12 | 2019-07-19 | 约翰内斯·海德汉博士有限公司 | 位置测量装置 |
| CN113447051A (zh) * | 2021-09-02 | 2021-09-28 | 北京精雕科技集团有限公司 | 单码道绝对式位置测量装置 |
| WO2023028966A1 (zh) * | 2021-09-02 | 2023-03-09 | 北京精雕科技集团有限公司 | 单码道绝对式位置测量装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US8570621B2 (en) | 2013-10-29 |
| US20110261422A1 (en) | 2011-10-27 |
| WO2009132901A1 (de) | 2009-11-05 |
| JP2011520100A (ja) | 2011-07-14 |
| DE102008022027A1 (de) | 2009-11-05 |
| CN102037332B (zh) | 2014-08-13 |
| ES2696993T3 (es) | 2019-01-21 |
| EP2274579B1 (de) | 2018-08-15 |
| EP2274579A1 (de) | 2011-01-19 |
| JP5230800B2 (ja) | 2013-07-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN102037332B (zh) | 位置测量设备 | |
| CN104105951B (zh) | 用于确定位置的方法和装置 | |
| JP4620330B2 (ja) | 絶対的な位置設定をするための位置測定装置 | |
| US7013575B2 (en) | Position measuring device | |
| CN102138060B (zh) | 光学位置测量设备 | |
| CN103575307A (zh) | 位置测量装置 | |
| US20090135436A1 (en) | Optical position measuring arrangement | |
| US9810554B2 (en) | Position measuring instrument | |
| US7748251B2 (en) | Circuit configuration and method for ascertaining tilt errors in connection with a position-measuring device | |
| CN104596451B (zh) | 位置测量装置 | |
| CN109564108A (zh) | 传感器装置 | |
| CN102818511B (zh) | 线性位置测量***和确定车厢沿着导轨的绝对位置的方法 | |
| CN114667438B (zh) | 位置测量装置 | |
| JP3336396B2 (ja) | アブソリュートエンコーダ | |
| JP2002286506A (ja) | 光学スケールを用いた寸法測定装置 | |
| JPH11271026A (ja) | 光学スケールを用いた寸法測定装置 | |
| US7091884B2 (en) | Analog position encoder | |
| KR20050121486A (ko) | 긴 구간용으로 사용가능한 위치 검출용 선형 엔코더 | |
| Gao et al. | The analysis of subdivision measurement based on sinusoidal magnetic field model | |
| KR100290084B1 (ko) | 모아레 방식 엔코더 | |
| JP2003083772A (ja) | 光学スケールを用いた寸法測定装置 | |
| JP2002090184A (ja) | 光学スケールを用いた寸法測定装置 | |
| JPH0690049B2 (ja) | アブソリユ−トエンコ−ダ | |
| JPH11304424A (ja) | リニアー格子を用いた寸法測定装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| CB02 | Change of applicant information |
Address after: German Te Rauen Rohit Applicant after: John Nei Si Heidenhain doctor company limited Address before: German Te Rauen Rohit Applicant before: Dr. Johannes Heidenhain GmbH |
|
| CB02 | Change of applicant information | ||
| COR | Change of bibliographic data |
Free format text: CORRECT: APPLICANT; FROM: DR. JOHANNES HEIDENHAIN GMBH TO: HEIDENHAIN GMBH. DOCTOR JOHANNES |
|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant |