CN102028357B - 毛刷清洗装置及其使用方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及掩模版清洗领域,具体为一种毛刷清洗装置,用于掩模版清洗生产中的毛刷清洗及其使用方法,解决在其工作中出现的造成掩模版表面划伤,清洗不干净等问题。该装置设有清洗液喷嘴、DI水喷嘴、毛刷,毛刷与掩模板表面相对应,在毛刷侧面设有清洗液喷嘴和DI水喷嘴。通过采用毛刷自旋转和掩模版旋转之间的摩擦实现清洗,在毛刷清洗过程中,通过清洗液喷嘴对毛刷喷洒清洗液,通过DI水喷嘴对毛刷喷洒DI水。在毛刷扫描和清洗过程中,通过清洗液喷嘴对毛刷喷洒清洗液,通过DI水喷嘴对毛刷喷洒DI水,实现对于0.5微米以上的污染物的去除率达到百分之九十七以上,同时避免了掩模版表面的划伤缺陷。
Description
技术领域
本发明涉及掩模版清洗领域,具体为一种毛刷清洗装置,用于掩模版清洗生产中的毛刷清洗及其使用方法。
背景技术
众所周知,在清洗过程中,掩模版在自旋转的同时,毛刷也在自旋转,这样二者之间将产生摩擦,毛刷清洗主要是利用毛刷与被清洗掩模版表面摩擦的方式,去除掩模版表面的污染物。然而在这个过程中,传统的清洗方式容易造成掩模版表面划伤,清洗不干净等问题。另外,针对一些掩模版污染物,需要采用相应的清洗液才能清洗干净。
发明内容
本发明的目的在于提供一种毛刷清洗装置及其使用方法,解决在其工作中出现的造成掩模版表面划伤,清洗不干净等问题。
本发明的技术方案是:
一种毛刷清洗装置,该装置设有清洗液喷嘴、DI水喷嘴、毛刷,毛刷与掩模板表面相对应,在毛刷侧面设有清洗液喷嘴和DI水喷嘴。
所述的毛刷清洗装置,还设有同步带、毛刷自旋转电机、主轴、联轴器、扫描马达、毛刷手臂,扫描马达的输出端通过联轴器连接主轴,主轴上安装毛刷自旋转电机和毛刷手臂,毛刷设置于毛刷手臂上,毛刷自旋转电机通过同步带连接毛刷。
所述的毛刷清洗装置的使用方法,通过采用毛刷自旋转和掩模版旋转之间的摩擦实现清洗,在毛刷清洗过程中,通过清洗液喷嘴对毛刷喷洒清洗液,通过DI水喷嘴对毛刷喷洒DI水。
所述的毛刷清洗装置的使用方法,扫描马达通过联轴器带动整个清洗装置围绕其主轴做扫描运动;与此同时,毛刷自旋转电机带动毛刷自旋转;掩模版此时做反向的旋转运动,这样通过毛刷与掩模版的相对摩擦运动实现清洗。
所述的毛刷清洗装置的使用方法,在毛刷扫描和清洗过程中,通过清洗液喷嘴对毛刷喷洒清洗液,通过DI水喷嘴对毛刷喷洒DI水。
所述的毛刷清洗装置的使用方法,清洗液与DI水交替使用。
所述的毛刷清洗装置的使用方法,在喷洒清洗液时,掩模版的转速为50-1000rpm,毛刷的转速为30-200rpm。
所述的毛刷清洗装置的使用方法,在毛刷扫描和清洗的同时,DI水喷嘴同时喷洒DI水。
所述的毛刷清洗装置的使用方法,针对难以去除的污染物,采用清洗液喷嘴喷洒相应清洗液。
本发明的有益效果是:
1.本发明毛刷清洗装置由毛刷装置、DI水喷嘴和清洗液喷嘴组成,马达带动毛刷自旋转,通过采用毛刷自旋转和掩模版旋转之间的摩擦实现清洗,在毛刷扫描和清洗过程中,通过清洗液喷嘴对毛刷喷洒清洗液,通过DI水喷嘴对毛刷喷洒DI水,实现对于0.5微米以上的污染物的去除率达到百分之九十七以上,同时避免了掩模版表面的划伤缺陷。
2.本发明毛刷清洗装置在毛刷与掩模版摩擦清洗时,对于某些污染物的去除,需采用相应的清洗液。为避免其划伤,采用毛刷旋转配合清洗液及DI水针对掩模版清洗。
3.本发明毛刷清洗装置在清洗液喷洒时,掩模版的转速不应过快,这样可保证清洗液与掩模版表面充分接触。
4.本发明毛刷清洗装置,清洗液与DI水交替使用,可实现清洗效果最佳。
附图说明
图1为本发明的结构示意图。
图中,1、掩模板;2、清洗液喷嘴;3、DI水(去离子水)喷嘴;4、毛刷;5、同步带;6、毛刷自旋转电机;7、主轴;8、联轴器;9、扫描马达;10、毛刷手臂。
具体实施方式
如图1所示,本发明毛刷清洗装置主要包括:掩模板1、清洗液喷嘴2、DI水(去离子水)喷嘴3、毛刷4、同步带5、毛刷自旋转电机6、主轴7、联轴器8、扫描马达9、毛刷手臂10等,具体结构如下:
扫描马达9的输出端通过联轴器8连接主轴7,主轴7上安装毛刷自旋转电机6和毛刷手臂10,毛刷4设置于毛刷手臂10上,毛刷自旋转电机6通过同步带5连接毛刷4,毛刷4与掩模板1表面相对应,在毛刷4侧面设有清洗液喷嘴2和DI水(去离子水)喷嘴3。
本发明中,扫描马达9通过联轴器8带动整个清洗装置围绕其主轴7做扫描运动。与此同时,毛刷自旋转电机6带动毛刷4自旋转。掩模版1此时也在做反向的旋转运动,这样就实现了毛刷与掩模版的相对摩擦运动。同时,在扫描和清洗过程中,清洗液和DI水根据需要开放。
由于在扫描和清洗过程中,如果没有DI水同时喷洒润湿毛刷,很有可能造成掩模版表面发生划伤现象。因此,在毛刷扫描的同时,DI水(去离子水)喷嘴3也要同时喷洒DI水。
针对一些较为难以去除的污染物,需采用清洗液喷嘴2喷洒相应清洗液。这样,在喷洒DI水之前,应先打开清洗液的阀门喷洒一定量的清洗液。由于清洗液是粘度和水差不多的液体,因此也能起到润湿毛刷的作用,而不会造成掩模版表面划伤。
因为清洗液对于污染物的去除作用主要体现在浸泡上,故在喷洒清洗液时,掩模版的转速不宜过快,掩模版的转速一般为50-1000rpm。如果掩模版的转数过快,将导致清洗液很快被离心力刷开,这样很浪费清洗液。在喷洒清洗液时,掩模版应采用低转速。但毛刷的转数不必过低,毛刷的转速一般为30-200rpm,这么做的目的是保证充分摩擦。
Claims (7)
1.一种毛刷清洗装置,其特征在于:该装置设有清洗液喷嘴、DI水喷嘴、毛刷,毛刷与掩模板表面相对应,在毛刷侧面设有清洗液喷嘴和DI水喷嘴;还设有同步带、毛刷自旋转电机、主轴、联轴器、扫描马达、毛刷手臂,扫描马达的输出端通过联轴器连接主轴,主轴上安装毛刷自旋转电机和毛刷手臂,毛刷设置于毛刷手臂上,毛刷自旋转电机通过同步带连接毛刷。
2.一种权利要求1所述的毛刷清洗装置的使用方法,其特征在于:通过采用毛刷自旋转和掩模版旋转之间的摩擦实现清洗,在毛刷清洗过程中,通过清洗液喷嘴对毛刷喷洒清洗液,通过DI水喷嘴对毛刷喷洒DI水;扫描马达通过联轴器带动整个清洗装置围绕其主轴做扫描运动;与此同时,毛刷自旋转电机带动毛刷自旋转;掩模版此时做反向的旋转运动,这样通过毛刷与掩模版的相对摩擦运动实现清洗。
3.按照权利要求2所述的毛刷清洗装置的使用方法,其特征在于:在毛刷扫描和清洗过程中,通过清洗液喷嘴对毛刷喷洒清洗液,通过DI水喷嘴对毛刷喷洒DI水。
4.按照权利要求3所述的毛刷清洗装置的使用方法,其特征在于:清洗液与DI水交替使用。
5.按照权利要求3所述的毛刷清洗装置的使用方法,其特征在于:在喷洒清洗液时,掩模版的转速为50-1000rpm,毛刷的转速为30-200rpm。
6.按照权利要求3所述的毛刷清洗装置的使用方法,其特征在于:在毛刷扫描和清洗的同时,DI水喷嘴同时喷洒DI水。
7.按照权利要求3所述的毛刷清洗装置的使用方法,其特征在于:针对难以去除的污染物,采用清洗液喷嘴喷洒相应清洗液。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2010105661642A CN102028357B (zh) | 2010-11-30 | 2010-11-30 | 毛刷清洗装置及其使用方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2010105661642A CN102028357B (zh) | 2010-11-30 | 2010-11-30 | 毛刷清洗装置及其使用方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN102028357A CN102028357A (zh) | 2011-04-27 |
CN102028357B true CN102028357B (zh) | 2012-08-15 |
Family
ID=43882229
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN2010105661642A Active CN102028357B (zh) | 2010-11-30 | 2010-11-30 | 毛刷清洗装置及其使用方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN102028357B (zh) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103094066A (zh) * | 2011-10-27 | 2013-05-08 | 沈阳芯源微电子设备有限公司 | 一种晶圆的生产中的清洗方法 |
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CN101101858A (zh) * | 2006-07-06 | 2008-01-09 | 大日本网目版制造株式会社 | 基板处理方法以及基板处理装置 |
CN101154563A (zh) * | 2006-09-29 | 2008-04-02 | 大日本网目版制造株式会社 | 基板处理方法以及基板处理装置 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP4641964B2 (ja) * | 2006-03-30 | 2011-03-02 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置および基板処理方法 |
JP2009231628A (ja) * | 2008-03-24 | 2009-10-08 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
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2010
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Patent Citations (3)
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Title |
---|
JP特开2009-231628A 2009.10.08 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
CN102028357A (zh) | 2011-04-27 |
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C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
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