CN101944123B - 面向半导体制造装备功能仿真的批量配置文件管理方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提出一种面向半导体制造装备功能仿真的批量配置文件管理方法，包括：分别创建设备级批量管理文件、子***级批量管理文件和***级批量管理文件；根据所述设备级批量管理文件、子***级批量管理文件和***级批量管理文件对设备的配置文件进行加载，并显示所述设备级批量管理文件、子***级批量管理文件和***级批量管理文件对应的设备列表；在所述对应的设备列表中选择设备，并根据设备名称在存储所述对应的索引文件的HASH表中查找对应设备的配置文件的路径，以及按照所述对应设备的配置文件的路径进行加载。
Description
技术领域
本发明涉及半导体制造技术领域，特别涉及一种面向半导体制造装备功能仿真的批量配置文件管理方法。
背景技术
随着半导体制造行业中需要仿真的设备越来越多，型号不一，对于各种设备的快速有效的管理成为必不可少的一部分。例如目前的半导体制造业不仅包括设备级的配置文件，而且还包括***级以及子***级的配置文件，因此为了能够对仿真设备配置文件的有效管理，就需要一个管理软件来对其进行有效的管理。
以下就对本发明所采用的一些现有技术进行简单介绍：
1、LINQ TO XML
LINQ to XML是一种启用了LINQ的内存XML编程接口，使用它，可以在.NETFramework编程语言中处理XML。
它将XML文档置于内存中，这一点很像文档对象模型(DOM)。您可以查询和修改XML文档，修改之后，可以将其另存为文件，也可以将其序列化然后通过网络发送。但是，LINQ to XML与DOM不同：它提供一种新的对象模型，这是一种更轻量的模型，使用也更方便，这种模型利用了Visual C#2008在语言方面的改进。
LINQ to XML最重要的优势是它与Language-Integrated Query(LINQ)的集成。由于实现了这一集成，因此，可以对内存XML文档编写查询，以检索元素和属性的集合。LINQ to XML的查询功能在功能上(尽管不是在语法上)与XPath和XQuery具有可比性。Visual C#2008集成LINQ后，可提供更强的类型化功能、编译时检查和改进的调试器支持。
通过将查询结果用作XElement和XAttribute对象构造函数的参数，实现了一种功能强大的创建XML树的方法。这种方法称为“函数构造”，利用这种方法，开发人员可以方便地将XML树从一种形状转换为另一种形状。
LINQ to XML提供了改进的XML编程接口，这一点可能与LINQ to XML的LINQ功能同样重要。通过LINQ to XML，对XML编程时，您可以实现任何预期的操作，包括：
1)从文件或流加载XML。
2)将XML序列化为文件或流。
3)使用函数构造从头开始创建XML。
4)使用类似XPath的轴查询XML。
5)使用Add、Remove、ReplaceWith和SetValue等方法对内存XML树进行操作。
6)使用XSD验证XML树。
7)使用这些功能的组合，可将XML树从一种形状转换为另一种形状。
8)在使用XML编程时，主要关注的通常是XML元素，也可能关注属性。在LINQ to XML中，可以直接使用XML元素和属性。例如，可以执行以下操作：
9)创建XML元素而根本不使用文档对象。当必须使用XML树的片段时，这可简化编程。
10)直接从XML文件加载T：System.Xml.Linq.XElement对象。
11)将T：System.Xml.Linq.XElement对象序列化为文件或流。
12)使用LINQ to XML时，仅在文档的根级别添加注释或处理说明时，才需使用XDocument类
2、HASH
HASH算法意义在于提供一种快速存取数据的方法，它用一种算法建立键值和真实值之间的关系，让用户在需要只用某个真实值时，用键值可以快速提取到想要的真实值。
3、游标
当索引文件过于庞大，一次性载入时可能超出了HASH存储限制，所以需要给定载入基数(***设定基数为74)，每次都以基数个数载入索引文件中的记录，***根据界面下端所能见到的第一个节点作为记录所在的位置，通过改变记录所在位置后重新确定载入所需的索引记录范围，每次位置改变后都将清空HASH，将新载入的索引记录填充到HASH中，从而保证记录可以一直读取都不会出现内存溢出的状况。
4、XML
XML是一种数据存储语言，能够清晰得展示数据的结构状态，XML的便操作性更加有利于配置文件的存储。
发明内容
本发明的目的旨在提出一种面向半导体制造装备功能仿真的批量配置文件动态管理方法，从而能对仿真设备配置文件进行有效地管理。本发明主要采用HASH算法，LINQ TO XML保存索引数据以及游标定位这三个方面。在上述核心技术方法的基础上，本发明研发实现了主要包括设备级的批量配置文件管理，子***级批量配置文件管理，***级的批量配置文件管理的功能。
为达到上述目的，本发明一方面提出一种面向半导体制造装备功能仿真的批量配置文件管理方法，包括以下步骤：分别创建设备级批量管理文件、子***级批量管理文件和***级批量管理文件，其中，所述设备级批量管理文件包括设备级索引文件及各个设备的配置文件，所述子***级批量管理文件包括子***级索引文件及各个子***所对应的配置文件，所述***级批量管理文件包括子***级索引文件及各个***所对应的配置文件；根据所述设备级批量管理文件、子***级批量管理文件和***级批量管理文件对设备的配置文件进行加载，并显示所述设备级批量管理文件、子***级批量管理文件和***级批量管理文件对应的设备列表；在所述对应的设备列表中选择设备，并根据设备名称在存储所述对应的索引文件的HASH表中查找对应设备的配置文件的路径，以及按照所述对应设备的配置文件的路径进行加载；如果需要对所述设备级索引文件、子***级索引文件和***级索引文件中的一个或多个进行更新，则通过LINQ TO XML技术在对应的索引文件中查找需要更新的节点，并对其进行更新。
在本发明的一个实施例中，以屏幕可最大显示记录个数的两倍为显示设备的基数；当通过滚动条滚动或滑动鼠标中间的滚轮改变记录所在位置时，自动将获取显示下方的最后一条记录的记录编号；获取所述记录编号前方1.5倍最大显示数，及后方0.5倍显示数为区间的记录，并重新显示在所述屏幕中。
在本发明的一个实施例中，所述对设备级索引文件进行更新包括添加设备、删除设备和提交设备。
在本发明的一个实施例中，所述对子***级索引文件进行更新包括添加子***和删除子***。
在本发明的一个实施例中，所述对***级索引文件进行更新包括添加***和删除***。
在本发明的一个实施例中，所述设备级索引文件包括整个设备的索引文档、所有文档结构、设备索引的所有记录集、完整的索引记录、记录在文件中的位置、记录的名称和记录对应的设备配置文件所存放的位置。
在本发明的一个实施例中，所述设备级索引文件还包括每个设备对应有提交标记，所述提交标记表明对应的设备是否被提交。
在本发明的一个实施例中，所述子***级索引文件包括整个子***索引文档、所有文档结构、子***索引的所有记录集、完整的索引记录、记录在文件中的位置、记录的名称和记录对应的设备配置文件所存放的位置。
在本发明的一个实施例中，所述***级索引文件包括整个***索引文档、所有文档结构、***索引的所有记录集、完整的索引记录、记录在文件中的位置、记录的名称和记录对应的设备配置文件所存放的位置。
本发明实现了主要包括设备级批量配置文件管理，子***级批量配置文件管理，***级批量配置文件管理的功能。在设备、子***、***的添加，删除时会及时将其对应的文件名称以及存储路径更新到索引文件中，方便集中管理各级配置文件，这样可以节省载入相应配置文件的时间，只要知道配置文件名称就可以快速载入对应的配置文件。
本发明附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。
附图说明
本发明上述的和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
图1为本发明实施例的面向半导体制造装备功能仿真的批量配置文件管理方法流程图；
图2为本发明实施例的设备级批量管理文件处理流程图；
图3为***运行时需要查看某个设备的具体设置示意图；
图4为本发明实施例的子***级批量管理文件处理流程图；
图5为***运行时需要查看某个子***的具体设置示意图；
图6为本发明实施例的***级批量管理文件处理流程图；
图7为***运行时需要查看某个***的具体设置示意图。
具体实施方式
下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能解释为对本发明的限制。
本发明基于Windows xp操作***，采用Visual studio 2008实现的。它可以完成对于设备级、子***级、***批量配置文件的管理功能。在***启动时，将各自的管理文件，也就是相应的索引文件载入到内存中；并通过载入显示的索引文件能够快速载入想要载入的配置文件，载入至内存中的索引有一定数量的限制，通过游标的定位控制，可以自由载入以控制点为基准一定基数数量的索引记录，实现动态管理。
本发明的核心技术主要涉及hash算法，linq to xml保存索引数据以及游标定位这三个方面。在上述核心技术方法的基础上，本发明研发实现了主要包括设备级的批量配置文件管理，子***级批量配置文件管理，***级的批量配置文件管理的功能。在设备、子***、***的添加，删除时会及时将其对应的文件名称以及存储路径更新到索引文件中，方便集中管理各级配置文件，这样可以节省载入相应配置文件的时间，只要知道配置文件名称就快速载入对应的配置文件。
如图1所示，为本发明实施例的面向半导体制造装备功能仿真的批量配置文件管理方法流程图。该方法包括以下步骤：
步骤S101，分别创建设备级批量管理文件、子***级批量管理文件和***级批量管理文件，其中，设备级批量管理文件包括设备级索引文件及各个设备的配置文件，子***级批量管理文件包括子***级索引文件及各个子***所对应的配置文件，***级批量管理文件包括子***级索引文件及各个***所对应的配置文件。以下对设备级批量管理文件、子***级批量管理文件和***级批量管理文件分别进行描述。
1)设备级批量管理文件
在***初始状态时，设备索引文件是不存在的，当设备创建保存时，将创建的设备作为索引文件的记录，与索引文件一起存储起来，索引文件存储的目录已经指定好，记录有记录编号的，再次启动***时，***会在指定目录中直接将配置文件载入，从而实现配置文件的快速载入。
设备级批量管理文件中索引配置文件实例如下：
<？xml version＝″1.0″encoding＝″utf-8″standalone＝″no″？>
<EquipmentIndex>
<indexstruct>
<fileinfolist>
<fileinfo>
<id>4</id>
<filename>DeviceTest</filename>
<submitflg>0</submitflg>
<filepath>.\Device\DeviceTest.xml</filepath>
</fileinfo>
<fileinfo>
<id>10</id>
<filename>dfdf</filename>
<submitflg>0</submitflg>
<filepath>.\Device\dfdf.xml</filepath>
</fileinfo>
</fileinfolist>
</indexstruct>
</EquipmentIndex>
其中，XML文档中各个元素的含义和约束如下：
<EquipmentIndex>
含义：代表整个设备索引文档，是XML树结构的根节点
<indexstruct>
含义：代表所有文档结构
<fileinfolist>
含义：设备索引的所有记录集
<fileinfo>
含义：代表一个完整的索引记录
约束：一个fileinfolist中的若干个fileinfo是有序的，即应当与实际显示顺序一致
<id>
含义：代表一个记录在文件中的位置。
<filename>
含义：代表一个记录的名称。
<submitflg>
含义：代表一个记录的提交标记。
约束：一个fileinfo中的提交标记为0时，为可编辑状态，在届满可修改设备配置中的信息；提交标记为1时，为不可编辑状态，此时一般被某个子***使用中，用户在界面中不可编辑该设备的配置信息。
<filepath>
含义：代表一个记录对应的设备配置文件所存放的位置。
需要说明的是，上述实例仅为本发明的一种优选的实现方式，
2)子***级批量管理文件
在***初始状态时，子***索引文件是不存在的，当子***创建保存时，索引文件连同创建的设备作为索引文件的记录一起存储起来，记录有记录编号的，再次启动***时，***会直接将配置文件载入。
子***级批量管理文件的索引配置文件实例如下：
<？xml version＝″1.0″encoding＝″utf-8″standalone＝″no″？>
<SubSystemIndex>
<idxstruct>
<fileinfolist>
<fileinfo>
<id>2</id>
<filename>test2</filename>
<filepath>.\SubSystem\test2.xml</filepath>
</fileinfo>
<fileinfo>
<id>8</id>
<filename>sdf</filename>
<filepath>.\SubSystem\sdf.xml</filepath>
</fileinfo>
</fileinfolist>
</idxstruct>
</SubSystemIndex>
其中，XML文档中各个元素的含义和约束如下：
<SubSystemIndex>
含义：代表整个子***索引文档，是XML树结构的根节点
<idxstruct>
含义：代表所有文档结构
<fileinfolist>
含义：子***索引的所有记录集
<fileinfo>
含义：代表一个完整的索引记录
约束：一个fileinfolist中的若干个fileinfo是有序的，即应当与实际显示顺序一致
<id>
含义：代表一个记录在文件中的位置。
<filename>
含义：代表一个记录的名称。
<filepath>
含义：代表一个记录对应的设备配置文件所存放的位置。
3)***级批量管理文件
在***初始状态时，***索引文件是不存在的，当***创建保存时，索引文件连同创建的设备作为索引文件的记录一起存储起来，记录有记录编号的，再次启动***时，***会直接将配置文件载入。
***级批量管理文件的索引配置文件实例如下：
<？xml version＝″1.0″encoding＝″utf-8″standalone＝″no″？>
<SystemIndex>
<idxstruct>
<fileinfolist>
<fileinffo>
<id>1</id>
<filename>test 1</filename>
<filepath>.\System\test 1.xml</filepath>
</fileinfo>
<fileinfo>
<id>8</id>
<filename>test2</filename>
<filepath>.\System\test2.xml</filepath>
</fileinfo>
</fileinfolist>
</idxstruct>
</SystemIndex>
其中，XML文档中各个元素的含义和约束如下：
<SystemIndex>
含义：代表整个***索引文档，是XML树结构的根节点
<idxstruct>
含义：代表所有文档结构
<fileinfolist>
含义：***索引的所有记录集
<fileinfo>
含义：代表一个完整的索引记录
约束：一个fileinfolist中的若干个fileinfo是有序的，即应当与实际显示顺序一致
<id>
含义：代表一个记录在文件中的位置。
<filename>
含义：代表一个记录的名称。
<filepath>
含义：代表一个记录对应的设备配置文件所存放的位置。
步骤S102，根据设备级批量管理文件、子***级批量管理文件和***级批量管理文件对设备的配置文件进行加载，并显示设备级批量管理文件、子***级批量管理文件和***级批量管理文件对应的设备列表。
步骤S103，在对应的设备列表中选择设备，并根据设备名称在存储对应的索引文件的HASH表中查找对应设备的配置文件的路径，以及按照对应设备的配置文件的路径进行加载，从而实现快速加载。
在本发明的实施例中，如果需要对设备级索引文件、子***级索引文件和***级索引文件中的一个或多个进行更新，则通过LINQ TO XML技术在对应的索引文件中查找需要更新的节点，并对其进行更新。
为了对本发明有更清楚的理解，以下将对设备级批量管理文件、子***级批量管理文件和***级批量管理文件的管理分别进行介绍，当然在本发明中将其划分为设备级、子***级和***级三个级别，然而本领域技术人员也可根据本发明及实际的需要，仅划分为设备级和***级三个级别，或者在本发明的基础上再增加级别，这些均基于本发明的思想，因此也应落入本发明的保护范围之内。
1、设备级批量管理文件
如图2所示，为本发明实施例的设备级批量管理文件处理流程图，包括以下步骤：
步骤S201，启动仿真***。
步骤S202，判断设备级文件索引是否存在。如果判断设备级文件索引不存在，则执行步骤S204。
步骤S203，如果判断设备级文件索引存在，载入索引文件。
步骤S204，继续启动***。
步骤S205，进入设备层。***运行时，需要查看某个设备的具体设置时，知道设备的名称，在设备列表中找到其对应的位置，双击节点，如图3所示。
步骤S206，添加设备。当索引文件存在，新添加设备保存时，通过调用LINQ TO XML去查询索引文件判断索引文件是否含以该名称建立的索引，没有则添加该索引，有则不作任何操作，设备级还有一个提交功能，用户提交的数据不能在修改，索引文件中包含一个提交标记，在***初始化载入的时候，根据索引文件中各个设备标记的不同，在***中显示不同，在用户提交设备的时候，需要更新索引文件，会通过LINQ TO XML技术在索引文件中查找到需要更新的节点。
步骤S207，删除设备。***会取得该节点的名称去存储索引信息的HASH表中快速查找该设备配置文件的具体路径，获取路径快速载入该设备的配置文件。***中显示设备的基数是以屏幕可最大显示记录个数(指设备未展开的状态下能显示记录的个数)的两倍为准，当通过滚动条滚动或者滑动鼠标中间的滑轮改变记录所在位置，***自动将获取显示下方的最后一条记录的记录编号，获取该编号前方1.5倍最大显示数，后方0.5倍显示数为区间的记录，重新显示到界面中。假设基数为72，***可见的设备树为36，鼠标滚动停止时***显示记录的编号为72，此时需要从索引文件中读取的18-90之间的记录，屏幕显示36-72之间的记录，滚动条滑块停留在中间位置，此时屏幕中可看到当用户删除某一个记录时，从内存删除设备结构中所具有的该记录信息，利用LINQTO XML技术找到索引文件中该记录，再从索引中删除存储该记录信息，索引文件中也同样需要删除以该记录名称为名称的记录。
步骤S208，提交设备。
步骤S209，保存设备。
步骤S210，判断索引文件是否存在。
步骤S211，创建对应的索引文件并保存。
步骤S212，更新索引。
2、子***级批量管理文件
如图4所示，为本发明实施例的子***级批量管理文件处理流程图，包括以下步骤：
步骤S401，启动仿真***。
步骤S402，判断设备级文件索引是否存在。如果判断设备级文件索引不存在，则执行步骤S404。
步骤S403，如果判断设备级文件索引存在，载入索引文件。
步骤S404，继续启动***。
步骤S405，进入子***层。***启动后，需要具体查看某个已经配置好的子***，或者修改某个已经配置好的子***，知道该子***的名称，就可以在界面中找到该节点，双击该节点，***获取该子***的名称，在存有该索引HASH表中查找其对应的键值，也就是它对应配置文件存储的路径，通过该路径在文件***中找到其对应的配置文件，载入该配置文件，如图5所示。
步骤S406，添加子***。当索引文件存在时，***启动时会自动加载索引文件，当需要新添加子***，在保存子***信息时，会通过LINQ TO XML技术在索引文件中查找是否含有该子***名称的索引项，没有则添加该项索引，有则不作任何操作。
步骤S407，删除子***。***中显示子***的基数是以屏幕可最大显示记录个数(指子***未展开的状态下能显示记录的个数)的两倍为准，当通过滚动条滚动或者滑动鼠标中间的滑轮改变记录所在位置，***自动将获取显示下方的最后一条记录的记录编号，获取该编号前方1.5倍最大显示数，后方0.5倍显示数为区间的记录，重新显示到界面中。假设基数为72，***可见的子***数为36，鼠标滚动停止时***显示记录的编号为72，此时需要从索引文件中读取的18-90之间的记录，屏幕显示36-72之间的记录，滚动条滑块停留在中间位置，此时屏幕中可看到当用户删除某一个记录时，从内存删除设备结构中所具有的该记录信息，利用LINQ TO XML技术找到索引文件中该记录，再从索引中删除存储该记录信息，索引文件中也同样需要删除以该记录名称为名称的记录。
步骤S408，保存子***。
步骤S409，判断索引文件是否存在。
步骤S410，更新索引。
步骤S411，创建对应的索引文件并保存。
3、***级批量管理文件
如图6所示，为本发明实施例的***级批量管理文件处理流程图，包括以下步骤：
步骤S601，启动仿真***。
步骤S602，判断设备级文件索引是否存在。如果判断设备级文件索引不存在，则执行步骤S604。
步骤S603，如果判断设备级文件索引存在，载入索引文件。
步骤S604，继续启动***。
步骤S605，进入***层。***启动后，需要具体查看某个已经配置好的***，或者修改某个已经配置好的***，知道该***的名称，在界面中找到该节点，双击该节点，***获取该***的名称，在存有该索引HASH表中查找其对应的键值，也就是它对应配置文件存储的路径，通过该路径在文件***中找到其对应的配置文件，载入该配置文件，如图7所示。
步骤S606，添加***。当索引文件存在时，***启动时会自动加载索引文件，当需要新添加***，在保存***配置信息时，会通过LINQ TO XML技术在***索引文件中查找是否含有该***名称的索引项，没有则添加该项索引，有则不作任何操作。
步骤S607，删除***。***中显示***的基数是以屏幕可最大显示记录个数(指子***未展开的状态下能显示记录的个数)的两倍为准，当通过滚动条滚动或者滑动鼠标中间的滑轮改变记录所在位置，***自动将获取显示下方的最后一条记录的记录编号，获取该编号前方1.5倍最大显示数，后方0.5倍显示数为区间的记录，重新显示到界面中。假设基数为72，***可见的子***数为36，鼠标滚动停止时***显示记录的编号为72，此时需要从索引文件中读取的18-90之间的记录，屏幕显示36-72之间的记录，滚动条滑块停留在中间位置，此时屏幕中可看到当用户删除某一个记录时，从内存删除设备结构中所具有的该记录信息，利用LINQ TO XML技术找到索引文件中该记录，再从索引中删除存储该记录信息，索引文件中也同样需要删除以该记录名称为名称的记录。
步骤S608，保存***。
步骤S609，判断索引文件是否存在。
步骤S610，更新索引。
步骤S611，创建对应的索引文件并保存。
本发明实现了主要包括设备级批量配置文件管理，子***级批量配置文件管理，***级批量配置文件管理的功能。在设备、子***、***的添加，删除时会及时将其对应的文件名称以及存储路径更新到索引文件中，方便集中管理各级配置文件，这样可以节省载入相应配置文件的时间，只要知道配置文件名称就可以快速载入对应的配置文件。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同限定。
Claims (9)
1.一种面向半导体制造装备功能仿真的批量配置文件管理方法，其特征在于，包括以下步骤：
分别创建设备级批量管理文件、子***级批量管理文件和***级批量管理文件，其中，所述设备级批量管理文件包括设备级索引文件及各个设备的配置文件，所述子***级批量管理文件包括子***级索引文件及各个子***所对应的配置文件，所述***级批量管理文件包括***级索引文件及各个***所对应的配置文件；
根据所述设备级批量管理文件、子***级批量管理文件和***级批量管理文件对设备的配置文件进行加载，并显示所述设备级批量管理文件、子***级批量管理文件和***级批量管理文件对应的设备列表；
在所述对应的设备列表中选择设备，并根据设备名称在存储对应的索引文件的HASH表中查找对应设备的配置文件的路径，以及按照所述对应设备的配置文件的路径进行加载；
如果需要对所述设备级索引文件、子***级索引文件和***级索引文件中的一个或多个进行更新，则通过LINQ TO XML技术在对应的索引文件中查找需要更新的节点，并对其进行更新。
2.如权利要求1所述的面向半导体制造装备功能仿真的批量配置文件管理方法，其特征在于，其中：
以屏幕可最大显示记录个数的两倍为显示设备的基数，所述可最大显示记录个数是指设备未展开的状态下所能显示记录的个数；
当通过滚动条滚动或滑动鼠标中间的滚轮改变记录所在位置时，自动将获取显示下方的最后一条记录的记录编号；
获取所述记录编号前方1.5倍最大显示记录的个数，及后方0.5倍最大显示记录的个数为区间的记录，并重新显示在所述屏幕中。
3.如权利要求1所述的面向半导体制造装备功能仿真的批量配置文件管理方法，其特征在于，对设备级索引文件进行更新包括添加设备、删除设备和提交设备。
4.如权利要求1所述的面向半导体制造装备功能仿真的批量配置文件管理方法，其特征在于，对子***级索引文件进行更新包括添加子***和删除子***。
5.如权利要求1所述的面向半导体制造装备功能仿真的批量配置文件管理方法，其特征在于，对***级索引文件进行更新包括添加***和删除***。
6.如权利要求1所述的面向半导体制造装备功能仿真的批量配置文件管理方法，其特征在于，所述设备级索引文件包括整个设备的索引文档、所有文档结构、设备索引的所有记录集、完整的索引记录、记录在文件中的位置、记录的名称和记录对应的设备配置文件所存放的位置。
7.如权利要求6所述的面向半导体制造装备功能仿真的批量配置文件管理方法，其特征在于，所述设备级索引文件还包括每个设备对应有提交标记，所述提交标记表明对应的设备是否被提交。
8.如权利要求1所述的面向半导体制造装备功能仿真的批量配置文件管理方法，其特征在于，所述子***级索引文件包括整个子***索引文档、所有文档结构、子***索引的所有记录集、完整的索引记录、记录在文件中的位置、记录的名称和记录对应的设备配置文件所存放的位置。
9.如权利要求1所述的面向半导体制造装备功能仿真的批量配置文件管理方法，其特征在于，所述***级索引文件包括整个***索引文档、所有文档结构、***索引的所有记录集、完整的索引记录、记录在文件中的位置、记录的名称和记录对应的设备配置文件所存放的位置。
Priority Applications (2)
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