CN101936734A - 固体波动陀螺的谐振子及固体波动陀螺 - Google Patents
固体波动陀螺的谐振子及固体波动陀螺 Download PDFInfo
- Publication number
- CN101936734A CN101936734A CN 201010294912 CN201010294912A CN101936734A CN 101936734 A CN101936734 A CN 101936734A CN 201010294912 CN201010294912 CN 201010294912 CN 201010294912 A CN201010294912 A CN 201010294912A CN 101936734 A CN101936734 A CN 101936734A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- harmonic oscillator
- brace summer
- piezoelectric element
- solid fluctuation
- fluctuation gyro
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Gyroscopes (AREA)
Abstract
本发明公开了一种固体波动陀螺的谐振子,包括谐振环(1)、传振部(2)、底盘(3)以及压电元件(4),谐振环(1)通过传振部(2)与底盘(3)连接,传振部(2)是由沿圆周方向均匀分布的支撑梁(21)组成,压电元件(4)设于支撑梁(21)上。相应的,本发明还公开了装设有该谐振子的固体波动陀螺。本发明的固体波动陀螺及谐振子具有灵敏度高、传感效果好、加工方便、加工成本低、机械平衡工序简单等优点。
Description
技术领域
本发明涉及角度或角速度传感器领域,尤其涉及一种固体波动陀螺及其谐振子。
背景技术
固体波动陀螺是利用对称壳体中弹性波的惯性效应实现角速度测量。由于其有精度高、能耗小、准备时间短、工作温度范围大、抗电离辐射能力强、抗冲击振动好、使用寿命长等优点,常用作角速度传感器,具有极为广阔的发展和应用前景。
现有的固体波动陀螺的谐振子均为环向对称结构,常见的结构形式有环形,杯形和半球形,其工作原理通常为:通过静电、压电或电磁方式驱动,使固体波动陀螺的环向对称谐振子激励出如图1所示的谐振子第一模态,由图1可见,谐振子第一模态为环向波数为2的驻波,其中波腹点处的振幅最大,波节点处的振幅为零,波腹点连线构成固有刚性轴系;当有轴向角速度输入时,谐振子在哥氏力的作用下产生如图2所示的另一固有刚性轴系的第二模态振动(与第一模态呈45°分布),谐振子第二模态的振动通过静电、压电或电磁感应的方式,输出敏感信号经过电路和软件处理即可得到输入角速度。
固体波动陀螺谐振子的结构形式,在固体波动陀螺的制造过程中,是影响固体波动陀螺精度与灵敏度的直接部件。而现有的固体波动陀螺结构形式,存在加工精度要求高、加工难度大、制造成本高等问题。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是:针对现有技术存在的不足,提供一种结构简单、适于加工和机械平衡、且精度和灵敏度高的固体波动陀螺的谐振子以及装设有该谐振子的固体波动陀螺。
为解决上述技术问题,本发明提出了一种固体波动陀螺的谐振子,包括谐振环、传振部、底盘以及压电元件,所述谐振环通过传振部与所述底盘连接,所述传振部是由沿谐振环圆周方向均匀分布的支撑梁组成,所述压电元件设于所述支撑梁上。
本发明提出的上述技术方案创造性地采用环向均布支撑梁式的传振部,并将压电元件贴设于支撑梁的表面,以用于激励和检测谐振环的振动,实现对角速度的测量。
上述本发明的谐振子中,所述谐振环可以为各种不同的圆环形结构,优选为圆柱环或圆锥环。
上述本发明的谐振子中,所述谐振环的高度优选大于所述支撑梁的宽度,所述谐振环的厚度优选大于所述支撑梁厚度。这种优选的设计方式可以提高谐振环占整个谐振子的振动能量比例,使固体波动陀螺的有效惯性质量增大,进而提高固体波动陀螺的灵敏度。
上述本发明的谐振子中,所述支撑梁优选为条状薄片,所述支撑梁的数量优选为8+4n根(例如8根、12根、16根等),其中n取0以上的整数(包括0);每根支撑梁上优选各设有一个压电元件。这种均匀分布的支撑梁21使得其上的压电元件4的粘贴方位更加精确,提高了固体波动陀螺的精度。
上述本发明的谐振子中,所述支撑梁的母线优选垂直于所述底盘所在的平面或者与底盘所在的平面呈一倾角,所述倾角的数值大小优选不超过1°。
上述本发明的谐振子中,所述压电元件可布满在所述支撑梁的外表面和/或内表面上(布满是指压电元件紧贴于支撑梁表面,且压电元件的边缘与支撑梁的边缘齐平)。具体的,所述压电元件可以是通过焊接、溅射或粘贴等方式贴合在所述支撑梁的外表面和/或内表面上。实际使用时,支撑梁的表面应尽可能平坦,以使压电元件更容易贴设在支撑梁的表面(柔性支撑梁表面);优选的,压电元件的高度尽可能覆盖支撑梁高度的1/2~2/3,并使其宽度与支撑梁的宽度相等,这样可以提供较大的驱动力,输出较大的检测信号,从而提高固体波动陀螺的信噪比。
上述本发明的谐振子中,所述谐振子优选是由熔融石英材料制成的谐振子。
作为一个总的技术构思,本发明还提供一种固体波动陀螺,所述固体波动陀螺上装设有上述本发明的谐振子(谐振子的底盘中心设有用于连接固体波动陀螺其他外设构件的安装座,采用现有连接方式进行连接即可)。
与现有技术相比,本发明的优点在于:
1、本发明的固体波动陀螺的谐振子采用环向均匀分布的支撑梁结构作为传振部,以连接底盘和谐振环,各压电元件均匀布设于各支撑梁上,支撑梁与支撑梁之间的空隙降低了谐振子的结构阻尼和空气阻尼,使得谐振子能够以更大的振幅振动,其机械品质因数较传统固体波动陀螺更高;
2、本发明的谐振子仅仅包括谐振环、支撑梁和底盘,多余的材料全部被去除,这使得谐振子消耗能量、产生噪声的部分大大减少,大大提高了谐振子的信噪比;
3、本发明的谐振子结构简单,可以选择多种加工手段进行加工(例如磨削、车削等),需要精加工的部分只有谐振环,对于支撑梁,如果支撑梁设计得越薄,其加工精度要求也就越低,而提高谐振环的环向对称性是本发明谐振子制造的关键所在,以当前的加工技术,要加工出较高精度的谐振环和较薄的支撑梁也相对容易,因此本发明的谐振子不仅降低了加工要求,可节约制造成本,而且易于保证加工精度;
4、考虑到加工成型的谐振子总会或多或少存在一定缺陷,例如谐振子的质量不平衡、机械品质因数分布不均匀等,采用本发明的谐振子使得谐振子的机械平衡工序变得更为简单,仅需通过调整支撑梁靠上部分的宽度便可去除谐振子的部分质量、改变其相关部位刚度,进而实现谐振子的平衡。
综上,本发明的谐振子及装设有该谐振子的固体波动陀螺具有灵敏度高、传感效果好、加工方便、加工成本低、机械平衡工序简单等显著优点。
附图说明
图1是固体波动陀螺的谐振子振动时的第一模态示意图。
图2是固体波动陀螺的谐振子振动时的第二模态示意图。
图3是本发明实施例中的固体波动陀螺的谐振子立体结构示意图。
图4是本发明实施例中的固体波动陀螺的谐振子沿轴向的剖视图。
图5是本发明实施例中的固体波动陀螺的谐振子有限元仿真的第一模态示意图。
图6是本发明实施例中的固体波动陀螺的谐振子有限元仿真的第二模态示意图。
图例说明:
1、谐振环;2、传振部;21、支撑梁;3、底盘;4、压电元件;41、激励压电元件;42、检测压电元件。
具体实施方式
以下将结合说明书附图和具体实施例对本发明做进一步详细说明。
实施例
如图3、图4所示,本实施例的固体波动陀螺的谐振子,包括谐振环1、传振部2、底盘3以及压电元件4,谐振环1通过传振部2与底盘3连接。谐振环1为圆柱环(也可为圆锥环),其外径R=25mm,厚度t1=1mm,高度h=5mm。传振部2是由八根均匀布置在谐振环1圆周方向上的支撑梁21组成;支撑梁21为条状薄片,其高度L1=15mm,宽度b=2mm,厚度t2=0.5mm,支撑梁21的母线L垂直于底盘3所在的平面(当然也可与底盘3所在平面呈一微量的倾角),谐振环1即通过这八根相同尺寸的支撑梁21与底盘3连接。在每根支撑梁21的外表面上各设有一个压电元件4(该压电元件即为压电电极),该压电元件4是紧密粘贴于支撑梁21上,且压电元件4的边缘与支撑梁21的边缘齐平(即二者的宽度相等);本实施例的八个压电元件4分为相互垂直分布的四个激励压电元件41(用于激励谐振子在第一模态下振动)和四个检测压电元件42(用于检测谐振子因角速度产生的第二模态的振动),每个压电元件4的高度L2=8mm,压电元件4的厚度t3=0.15mm。
由上可见,本实施例中谐振环1的高度h大于支撑梁21的宽度b,谐振环1的厚度t1大于支撑梁21的厚度t2,这样可以提高该圆柱环形谐振环1占整个谐振子的振动能量比例,使陀螺的有效惯性质量增大,进而提高陀螺的灵敏度。但本发明的谐振子并不限于以上的具体尺寸,谐振子的尺寸因固体波动陀螺精度要求的不同而不同,通常尺寸较小的谐振子对应的固体波动陀螺的精度也较小。
理论上说,本发明的固体波动陀螺的谐振子可以使用任何种类的金属材料来制造,但本实施例的谐振子是使用具有高机械品质因数的熔融石英材料制造,其可保证谐振子的高稳定性与高精度。
如图3、图4所示,本发明固体波动陀螺的谐振子的工作原理为:对贴设于谐振子支撑梁21上的相互垂直分布的四个激励压电元件41(即压电电极)施加交流电压,由于逆压电效应,激励压电元件41产生伸缩振动,并通过支撑梁21传递到谐振环1上,激励出如图1所示的谐振子的第一模态;当有轴向角速度输入时,谐振环1在哥氏力的作用下产生如图2所示的第二模态振动,谐振环1第二模态的振动通过支撑梁21传递到相互垂直分布的其余四个检测压电元件42上,由压电效应产生的敏感信号经过电路和软件处理即可得到输入角速度。
通过有限元仿真分析手段模拟本实施例的新型固体波动谐振子的模态,结果如图5、图6所示。由图5、图6可知,外径25mm的谐振环1的谐振频率为4000Hz~5000Hz,其显著区别于噪声频率。
以上所述仅是本发明的优选实施方式,本发明的保护范围并不仅局限于上述实施例,凡属于本发明思路下的技术方案均属于本发明的保护范围。
Claims (9)
1.一种固体波动陀螺的谐振子,包括谐振环(1)、传振部(2)、底盘(3)以及压电元件(4),所述谐振环(1)通过传振部(2)与所述底盘(3)连接,其特征在于:所述传振部(2)是由沿谐振环圆周方向均匀分布的支撑梁(21)组成,所述压电元件(4)设于所述支撑梁(21)上。
2.根据权利要求1所述的固体波动陀螺的谐振子,其特征在于:所述谐振环(1)为圆柱环或圆锥环。
3.根据权利要求2所述的固体波动陀螺的谐振子,其特征在于:所述谐振环(1)的高度大于所述支撑梁(21)的宽度;所述谐振环(1)的厚度大于所述支撑梁(21)的厚度。
4.根据权利要求1或2或3所述的固体波动陀螺的谐振子,其特征在于:所述支撑梁(21)为条状薄片,所述支撑梁(21)的数量为8+4n根,其中n取0以上的整数;每根支撑梁(21)上各设有一个所述的压电元件(4)。
5.根据权利要求4所述的固体波动陀螺的谐振子,其特征在于:所述支撑梁(21)的母线垂直于所述底盘(3)所在的平面或者与底盘(3)所在平面呈一倾角,所述倾角的数值大小为不超过1°。
6.根据权利要求5所述的固体波动陀螺的谐振子,其特征在于:所述压电元件(4)贴合在所述支撑梁(21)的外表面和/或内表面上,所述压电元件(4)的宽度与所述支撑梁(21)的宽度相等,压电元件(4)的高度为支撑梁(21)高度的1/2~2/3。
7.根据权利要求1或2或3所述的固体波动陀螺的谐振子,其特征在于:所述压电元件(4)贴合在所述支撑梁(21)的外表面和/或内表面上,所述压电元件(4)的宽度与所述支撑梁(21)的宽度相等,压电元件(4)的高度为支撑梁(21)高度的1/2~2/3。
8.根据权利要求1或2或3所述的固体波动陀螺的谐振子,其特征在于:所述谐振子是由熔融石英材料制成的谐振子。
9.一种固体波动陀螺,其特征在于:所述固体波动陀螺上装设有上述权利要求1~8中任一项所述的固体波动陀螺的谐振子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2010102949126A CN101936734B (zh) | 2010-09-28 | 2010-09-28 | 固体波动陀螺的谐振子及固体波动陀螺 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2010102949126A CN101936734B (zh) | 2010-09-28 | 2010-09-28 | 固体波动陀螺的谐振子及固体波动陀螺 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN101936734A true CN101936734A (zh) | 2011-01-05 |
CN101936734B CN101936734B (zh) | 2012-02-08 |
Family
ID=43390192
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN2010102949126A Active CN101936734B (zh) | 2010-09-28 | 2010-09-28 | 固体波动陀螺的谐振子及固体波动陀螺 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN101936734B (zh) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102305627A (zh) * | 2011-07-22 | 2012-01-04 | 上海交通大学 | 具有圆盘状压电振子的全固态双轴陀螺仪 |
CN102353369A (zh) * | 2011-07-08 | 2012-02-15 | 中国人民解放军国防科学技术大学 | 组合式石英杯形波动陀螺谐振子 |
CN103308041A (zh) * | 2013-06-04 | 2013-09-18 | 南京航空航天大学 | 一种压电式转速仪 |
CN104165624A (zh) * | 2014-07-25 | 2014-11-26 | 中国人民解放军国防科学技术大学 | 一种基于侧壁压电驱动的环形振动陀螺及其驱动和检测方法 |
CN104215234A (zh) * | 2014-09-18 | 2014-12-17 | 中国人民解放军国防科学技术大学 | 一种利用双节点电极消除圆柱壳体陀螺温度漂移的方法 |
CN105547271A (zh) * | 2016-01-04 | 2016-05-04 | 中国人民解放军国防科学技术大学 | 基于一体式圆柱壳体石英谐振子和压电薄膜的振动陀螺 |
CN113011070A (zh) * | 2021-03-30 | 2021-06-22 | 河北工业大学 | 一种机械谐振子的制备方法及装置 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2061502A (en) * | 1979-10-19 | 1981-05-13 | Marconi Co Ltd | A Sensor for Detecting Rotational Movement |
US4793195A (en) * | 1986-10-20 | 1988-12-27 | Northrop Corporation | Vibrating cylinder gyroscope and method |
US20080173123A1 (en) * | 2005-05-31 | 2008-07-24 | Innalabs Technologies, Inc. | Coriolis force gyroscope with high sensitivity |
US20080184798A1 (en) * | 2005-05-31 | 2008-08-07 | Innalabs Technologies, Inc. | Sensing element of coriolis force gyroscope |
KR20090024843A (ko) * | 2007-09-05 | 2009-03-10 | 주식회사 한화 | 링 레이저 자이로스코프의 일체형 액셜 진동기 |
-
2010
- 2010-09-28 CN CN2010102949126A patent/CN101936734B/zh active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2061502A (en) * | 1979-10-19 | 1981-05-13 | Marconi Co Ltd | A Sensor for Detecting Rotational Movement |
US4793195A (en) * | 1986-10-20 | 1988-12-27 | Northrop Corporation | Vibrating cylinder gyroscope and method |
US20080173123A1 (en) * | 2005-05-31 | 2008-07-24 | Innalabs Technologies, Inc. | Coriolis force gyroscope with high sensitivity |
US20080184798A1 (en) * | 2005-05-31 | 2008-08-07 | Innalabs Technologies, Inc. | Sensing element of coriolis force gyroscope |
KR20090024843A (ko) * | 2007-09-05 | 2009-03-10 | 주식회사 한화 | 링 레이저 자이로스코프의 일체형 액셜 진동기 |
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
《压电与声光》 19901020 ЖуравлвB.Ф.等 固体波动陀螺(一) 73-82页 1-9 , 第05期 2 * |
《压电与声光》 19901220 ЖуравлевВ.Ф.等 固体波动陀螺(二) 65-78页 1-9 , 第06期 2 * |
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102353369A (zh) * | 2011-07-08 | 2012-02-15 | 中国人民解放军国防科学技术大学 | 组合式石英杯形波动陀螺谐振子 |
CN102305627A (zh) * | 2011-07-22 | 2012-01-04 | 上海交通大学 | 具有圆盘状压电振子的全固态双轴陀螺仪 |
CN102305627B (zh) * | 2011-07-22 | 2013-02-27 | 上海交通大学 | 具有圆盘状压电振子的全固态双轴陀螺仪 |
CN103308041B (zh) * | 2013-06-04 | 2016-01-13 | 南京航空航天大学 | 一种压电式转速仪 |
CN103308041A (zh) * | 2013-06-04 | 2013-09-18 | 南京航空航天大学 | 一种压电式转速仪 |
CN104165624A (zh) * | 2014-07-25 | 2014-11-26 | 中国人民解放军国防科学技术大学 | 一种基于侧壁压电驱动的环形振动陀螺及其驱动和检测方法 |
CN104165624B (zh) * | 2014-07-25 | 2017-01-11 | 中国人民解放军国防科学技术大学 | 一种基于侧壁压电驱动的环形振动陀螺及其驱动和检测方法 |
CN104215234A (zh) * | 2014-09-18 | 2014-12-17 | 中国人民解放军国防科学技术大学 | 一种利用双节点电极消除圆柱壳体陀螺温度漂移的方法 |
CN104215234B (zh) * | 2014-09-18 | 2017-08-11 | 中国人民解放军国防科学技术大学 | 一种利用双节点电极消除圆柱壳体陀螺温度漂移的方法 |
CN105547271A (zh) * | 2016-01-04 | 2016-05-04 | 中国人民解放军国防科学技术大学 | 基于一体式圆柱壳体石英谐振子和压电薄膜的振动陀螺 |
CN105547271B (zh) * | 2016-01-04 | 2018-01-05 | 中国人民解放军国防科学技术大学 | 基于一体式圆柱壳体石英谐振子和压电薄膜的振动陀螺 |
CN113011070A (zh) * | 2021-03-30 | 2021-06-22 | 河北工业大学 | 一种机械谐振子的制备方法及装置 |
CN113011070B (zh) * | 2021-03-30 | 2022-08-16 | 河北工业大学 | 一种机械谐振子的制备方法及装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN101936734B (zh) | 2012-02-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN101936734B (zh) | 固体波动陀螺的谐振子及固体波动陀螺 | |
CA2217683C (en) | A rate sensor for sensing a rate on at least two and preferably three axes | |
EP0461761B1 (en) | Inertial sensors | |
US7281425B2 (en) | Coriolis force gyroscope with high sensitivity | |
CN108613669A (zh) | 正多边形盘状mems谐振陀螺 | |
CN104215235B (zh) | 一种新型钟形振子式角速率陀螺 | |
CN101846517B (zh) | 杯形波动陀螺的杯形谐振子的机械平衡方法 | |
US8011245B2 (en) | Sensing element of coriolis force gyroscope | |
CN104165624B (zh) | 一种基于侧壁压电驱动的环形振动陀螺及其驱动和检测方法 | |
CN102305627A (zh) | 具有圆盘状压电振子的全固态双轴陀螺仪 | |
CN106643685A (zh) | 一种全新的u形折叠梁硅微环形振动陀螺 | |
CN104848875A (zh) | 杯形波动陀螺杯形谐振子的非接触驱动检测***及方法 | |
CN102353369B (zh) | 组合式石英杯形波动陀螺谐振子 | |
CN102243077A (zh) | 振动型力检测传感器以及振动型力检测装置 | |
CN104215233B (zh) | 一种具有刚性轴自稳定性能的圆柱壳陀螺谐振子 | |
JP4375819B2 (ja) | 2軸ジャイロスコープ | |
JPH08334330A (ja) | 波動ジャイロスコープ及びそれを用いた回転角速度検出方法 | |
RU151978U1 (ru) | Чувствительный элемент волнового твердотельного гироскопа | |
RU2445575C2 (ru) | Чувствительный элемент вибрационного кориолисова гироскопа | |
CN115112148B (zh) | 一种谐振子质量缺陷误差的辨识装置及方法 | |
CN104390638B (zh) | 一种三维多曲面融合敏感结构元件及包含该元件的振动陀螺 | |
CN110631569A (zh) | 一种mems单环环形振动陀螺结构 | |
RU2453812C1 (ru) | Интегральный чувствительный элемент вибрационного гироскопа | |
CN106123884A (zh) | 一种高灵敏度的mems环形振动陀螺谐振子结构 | |
RU140604U1 (ru) | Чувствительный элемент датчика угловой скорости |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant |