CN101805884A - 一种用于真空镀铝的辉光放电导电棒 - Google Patents

一种用于真空镀铝的辉光放电导电棒 Download PDF

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一种用于立式真空镀铝设备的辉光放电导电棒,包括:导电棒主体,所述导电棒主体底端形成有用于固定铝棒的安装空腔、配置于安装空腔内的铝棒用导电压板及下部导电导向棒、与所述下部导电导向棒套接的铝棒,在所述导电棒主体下端设置有限位板,所述铝棒顶端部分的截面呈蝶形结构,所述限位板上形成有与所述铝棒顶端部分的蝶形结构对应的蝶形通孔,用于将铝棒悬挂并固定在限位板上。根据本发明,安装便捷,电流电压稳定,设计合理,生产过程不易发生打火故障。

Description

一种用于真空镀铝的辉光放电导电棒
技术领域
本发明涉及真空蒸镀设备,具体地是涉及用于真空镀铝设备的电极装置,更具体地,本发明涉及一种用于立式镀铝机真空镀铝的辉光放电导电棒。所述用于立式镀铝机真空镀铝的辉光放电导电棒设计合理,生产过程不易发生打火故障。
背景技术
真空镀铝技术是采用在容器里的金属铝在真空条件下加热呈熔融状态时,其飞散的原子凝结在冷却的非导体表面,形成多晶薄膜的工艺方法。我国真空镀铝的研制工作起步于七十年代,当时的镀铝产品是镀铝纸,主要用于香烟的内衬包装。随着真空镀铝技术的发展。镀铝基材已由单一的纸基发展到聚酯(PET)、聚丙烯(BfiPP)、聚乙烯(PE),聚氯乙烯(PVC)、纤维布料等多种材料,镀铝产品也广泛应用于食品、医药、印刷、化工、电子等产品的包装。
真空镀铝机是在被镀工件表面生成铝膜的镀膜机设备.主要由真空室,真空排气***,旋转机构,铝蒸发源,电控***等构成。目前常用的真空镀铝机(包括光学和金属)包括卧式镀铝机和立式镀铝机,卧式镀铝机的运用已经比较成熟,故生产相对稳定。立式镀铝机的生产和研发起步慢,在设备等方面尚存在改进之处。
立式真空镀铝机具有操作简便,成膜速度快,效率高,2个真空室门都带有6轴自公转夹具及铝灯丝电极,在一个真空室门内进行镀铝处理的同时,在另外一个真空室门也可以进行装卸工件以及安装铝材料等作业.故在镀铝业优先采用立式镀铝机。
汽车制造业的真空镀铝技术为一真空镀铝镀膜技术,车灯制造业中的该真空镀铝镀膜工序是车灯制造业中较关键的工序,它是将毛坯映光经此工序加工后镀上一层铝膜,使毛坯映光达到具有一定反射率的发射镜。同时,该真空镀铝镀膜工序对于车灯的装饰件也进行装饰镀膜。
如图1所示,一般真空电阻加热蒸发镀铝的基本流程是:
1.辉光放电(离子轰击),高压电场下气体分子与电子撞击产生离子,离子轰击工件表面,去除工件表面氧化物,增加受镀面与铝层的结合力。
2.电极通电后产生电阻热使固态金属铝熔融成液体金属铝,为下一部镀铝工序作必要的准备。
3.电极加大电流,使得电阻热温度升高从而把液体金属铝升华为气态的金属铝分子,在真空状态下铝分子基本是直射的,遇到工件表面由于温差的原因沉积下来,形成一层薄薄的铝层。
4.保护膜是防止铝层氧化而在铝层上喷涂一层均匀透明的有机硅油,硅油(六甲基二硅烷)在低真空加高压电场下分解为氧化硅化合物,沉积在铝层上形成保护膜。
汽车制造业的真空镀铝镀膜技术通常采用辉光放电导电棒,辉光放电导电棒主要是用纯金属铝制作的,其主要原因是铝棒比较轻便而且导电性能也很好,每炉产品加工结束以后由于铝棒上有保护膜影响导电性,因此必须每炉都更换铝棒表面的铝箔纸(铝箔纸主要是包裹在铝棒表面上一层薄薄的导电且放污染的作用)。
辉光放电导电棒要求如下:
操作方便,操作人员拆装铝棒时非常便捷,不需要繁琐的步序.
悬挂时电流导电性稳定,基本保证垂直方向,确保与电极保持一定距离。
包装后的铝箔纸不易滑落。防止短路后产生打火。
避免由于铝分子的污染容易使绝缘部分导电。
然而,原有的立式镀铝机的辉光放电装置由于设计不合理,每炉产品加工结束以后由于铝棒上有保护膜影响导电性,因此必须每炉都更换铝棒表面的铝箔纸。又,当铝箔纸包装好后,铝箔纸容易下滑,由于铝箔纸的下滑产生导电短路。导致生产工程经常发生打火故障,经常击坏整个辉光放电装置,严重影响产品质量和生产效率。
另外,以往,由于所述铝棒顶端部分与所述限位板以钩挂方式进行配合,使得操作人员鼻必须将铝棒在导电棒主体的垂直下方进行安装。安装不便。
另外,以往,由于在钩挂式导电棒场合,铝棒因安装、重力等出现晃动,导致电接触不稳定,或在电极加大电流时发生过热效应。由此使得导电棒的使用寿命及使用效果降低。
发明内容
为解决上述问题,本发明提供一种便于安装调整接触良好,强度高,使用寿命长的用于立式真空镀铝设备的辉光放电导电棒。所述用于立式镀铝机真空镀铝的辉光放电导电棒设计合理,生产过程不易发生打火故障。
为实现上述目的,本发明采用如下的技术方案:
一种用于立式真空镀铝设备的辉光放电导电棒,包括导电棒主体、所述导电棒主体底端形成有用于固定铝棒的安装空腔、配置于安装空腔内的铝棒用导电压板及导电导向棒、与所述导电导向棒套接的铝棒,其特征在于,
在所述导电棒主体下端设置有限位板,所述限位板用于将铝棒限位、连接固定于导电棒主体下端,
所述铝棒顶端部分的截面呈蝶形结构,所述限位板上形成有与所述铝棒顶端部分的蝶形结构对应的蝶形通孔,
所述铝棒顶端部分的蝶形结构与所述限位板上形成的与所述铝棒顶端部分的蝶形结构对应的蝶形通孔之间存在小于0.5mm的间隙,
所述铝棒顶端部分的蝶形结构可贯穿所述限位板上形成的蝶形通孔,将铝棒悬挂并固定在限位板上。
由于所述铝棒顶端部分的蝶形结构与所述限位板上形成的与所述铝棒顶端部分的蝶形结构对应的蝶形通孔之间存在便于灵活通过的间隙,例如,0.2-0.5mm的间隙,使得操作人员容易将铝棒悬挂并固定在限位板上,即将铝棒作倾斜状悬挂并固定在限位板上,而不必如以往的钩挂式导电棒那样,必须在导电棒主体的垂直下方进行安装。
另外,由于所述铝棒顶端部分的截面呈蝶形结构,贯穿限位板上对应的蝶形通孔后,可以稳定地与限位板上部表面进行面接触配合,由此,可使得该连接处的电连接稳定、可靠,而不会如以往的钩挂式导电棒那样,铝棒因安装、重力等出现晃动,导致电接触不稳定,或在电极加大电流时发生过热效应。由此可增加导电棒的使用寿命及使用效果。
根据本发明所述的用于立式真空镀铝设备的辉光放电导电棒,其特征在于,所述蝶形结构为8字形蝶形结构,所述铝棒顶端部分的截面8字形蝶形结构为二端具有较大半径的弧状凸出部分。
由此,改进后的8字形铝棒顶部安装便捷,电流电压稳定。
另外,悬挂时电流导电性稳定,基本保证垂直方向,确保与电极保持一定距离。且可避免由于铝分子的污染容易使绝缘部分导电。
根据本发明所述的用于立式真空镀铝设备的辉光放电导电棒,其特征在于,所述空孔二边缘形成有限定铝棒的限位卡止部。
由此,使得铝棒安装稳定,可靠。
根据本发明所述的用于立式真空镀铝设备的辉光放电导电棒,其特征在于,所述铝棒接近底端的外周表面上设有环形防滑凹槽。
由此,铝棒底部改进成凹形,铝棒底部铝箔纸镶嵌处,当铝箔纸包装好就用力捏紧铝箔纸,使其表面形成凹槽,铝箔纸下滑时产生阻力,防止由于铝箔纸的下滑产生导电短路。
根据本发明所述的用于立式真空镀铝设备的辉光放电导电棒,其特征在于,所述限位板位于下部导电导向棒上端、固定安装在导电压板下端面。
根据本发明所述的用于立式真空镀铝设备的辉光放电导电棒,其特征在于,
在导电底座内设置贯穿至导电压板的上部导电导向棒。由此,在导电压板的上部加了一根上部导电导向棒,从而增加了导电导向的稳定性。
根据本发明所述的用于立式真空镀铝设备的辉光放电导电棒,其特征在于,所述导电棒主体的空腔内设置有弹簧,所述弹簧将导电压板压紧在限位板上,所述限位板是导电材质。
根据本发明所述的用于立式真空镀铝设备的辉光放电导电棒,其特征在于,所述限位板是导电材质,所述限位卡止部为凸起或卡扣。
由此,使得铝棒安装稳定,可靠。
根据本发明所述的一种用于立式真空镀铝设备的辉光放电导电棒,其特征在于,所述安装空腔外侧设置有绝缘套,所述绝缘套外侧形成凹槽形结构。
由此,可以避免铝层的射入,从而减少绝缘套外部导电概率,保证与真空室简体的绝缘。
根据本发明所述的一种用于立式真空镀铝设备的辉光放电导电棒,其特征在于,所述安装空腔及其内铝棒用导电压板花瓣形。
由此,使得铝棒安装稳定,可靠。
根据本发明所述的用于立式真空镀铝设备的辉光放电导电棒,铝棒底部改进成凹形,防止由于铝箔纸的下滑产生导电短路。另外,在电极加大电流时,由于所述铝棒顶端部分的蝶形结构与限位板对应的蝶形通孔之间以小于0.5mm的间隙配合,使得铝棒安装容易,且该连接处的导电不至导致过度增热效应,可增加导电棒的使用寿命及效果。所述用于立式镀铝机真空镀铝的辉光放电导电棒设计合理,生产过程不易发生打火故障。
附图说明
图1是原有的用于立式真空镀铝设备的电极装置的示意图;
图2是本发明的用于立式真空镀铝设备的辉光放电导电棒的安装***图。
图3是本发明的用于立式真空镀铝设备的辉光放电导电棒的剖视图.
图4a,b为限位板的主视图和侧视图。
图5为铝棒顶端部分的截面8字形蝶形结构图。
图6为铝棒顶端部分的截面8字形蝶形结构安装、卡止于限位板上的示意图。
图7a,b分别为导电棒主体底端及对应的导电压板示意图。
图中,1为导电棒主体,2,3分别为用于将导电棒主体悬挂于真空室内的固定板及安装块,4为形成于导电棒主体底端、用于固定铝棒的安装空腔,5为配置于安装空腔内的导电压板,6为导电导向棒,7为铝棒,8为限位板,9为限位卡止部,10为铝棒接近底端的外周表面的环形防滑凹槽,11为弹簧,12为绝缘套,13为上部导电导向棒。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式对本发明的用于立式真空镀铝设备的辉光放电导电棒作进一步说明。
实施例1
如图2-6所示,一种用于立式真空镀铝设备的辉光放电导电棒,包括:导电棒主体1,将导电棒主体1悬挂于真空室内的顶盖、固定板2、安装块3,所述导电棒主体1包括导电底座及其下用于固定铝棒的安装空腔4、配置于安装空腔4内的铝棒用导电压板5及导电导向棒(内腔导电条)6、与所述导电导向棒套接的铝棒7,外套于所述辉光放电导电棒外周侧的绝缘套12、铝棒***安装于所述限位板蝶形孔内。
所述铝棒顶端部分的截面呈8字形蝶形结构。所述8字形花瓣结构,具体地说,是二端具有较大半径的弧状凸出部分,可起到固定作用。铝棒接近底端的外周表面上设有环形凹槽10。其作用为增加铝棒与其表面包裹锡纸的摩擦力,防止锡纸下滑。所述铝棒的直径为9-11mm。
导电压板5上侧,即靠近安装空腔一侧形成有压块,所述导电压板及其压块分别为圆形及圆柱形,其中心分别具有圆柱形通孔,可嵌入或***内腔导电条。
所述导电棒主体底端的安装空腔(插槽)与所述导电压板及其上压块形状配合,以分别嵌入或***导电压板及其压块。导电棒主体的插槽式安装空腔内与压块之间设有弹簧,弹簧可将所述压块压紧在限位板8上。
所述限位板是导电材质,固定安装在导电棒主体下端面,限制导电压板及压块的位置。
安装方法如下:
首先,操作人员使用安装块及顶盖,将导电棒主体悬挂于真空室内的固定板上,然后,在形成于所述导电棒主体底端的用于固定铝棒的安装空腔内设置弹簧及的铝棒用导电压板,***导电导向棒,螺接限位板于所述导电棒主体底端。手持铝棒,以略带倾斜的角度,由于所述限位板上形成有与所述铝棒顶端部分的蝶形结构对应的蝶形通孔,所述铝棒顶端部分的蝶形结构可贯穿所述限位板上形成的蝶形通孔,通过限位板对应的蝶形通孔后,旋转铝棒一定角度,铝棒顶端部分的蝶形结构与限位板上的限位卡止部9抵接,卡住。即可将铝棒悬挂并固定在限位板上。整个铝棒的安装就完成。
实施例2
如图7所示,除了以下不同之处外,其他如同实施例1。
所述导电压板及其内腔压块分别为四方块状花瓣形及圆柱形,其中心分别具有圆柱形通孔,可嵌入或***内腔导电条。
与所述导电压板形状配合的所述导电棒主体底端的安装空腔(插槽)也为四方块状花瓣形,可以分别嵌入导电压板及其上压块。
根据本发明所述的用于立式真空镀铝设备的辉光放电导电棒,铝棒底部改进成凹形,防止由于铝箔纸的下滑产生导电短路。另外,在电极加大电流时,由于所述铝棒顶端部分的蝶形结构与限位板对应的蝶形通孔之间以小于0.5mm的间隙配合,使得铝棒安装容易,且该连接处的导电不至导致过度增热效应,可增加导电棒的使用寿命及效果。所述用于立式镀铝机真空镀铝的辉光放电导电棒设计合理,生产过程不易发生打火故障。

Claims (10)

1.一种用于立式真空镀铝设备的辉光放电导电棒,包括:导电棒主体,所述导电棒主体底端形成有用于固定铝棒的安装空腔、配置于安装空腔内的导电压板及导电导向棒、与所述导电导向棒套接的铝棒,其特征在于,
在所述导电棒主体下端设置有限位板,所述限位板用于将铝棒限位、固定连接于导电棒主体下端,
所述铝棒顶端部分的截面呈蝶形结构,所述限位板上形成有与所述铝棒顶端部分的蝶形结构对应的蝶形通孔,
所述铝棒顶端部分的蝶形结构与所述限位板上形成的与所述铝棒顶端部分的蝶形结构对应的蝶形通孔之间存在便于灵活通过的间隙,
所述铝棒顶端部分的蝶形结构可贯穿所述限位板上形成的蝶形通孔,将铝棒悬挂并固定在限位板上。
2.如权利要求1所述的用于立式真空镀铝设备的辉光放电导电棒,其特征在于,所述蝶形结构为8字形蝶形结构,所述铝棒顶端部分的截面8字形蝶形结构二端具有较大半径的弧状凸出部分。
3.如权利要求1所述的用于立式真空镀铝设备的辉光放电导电棒,其特征在于,所述蝶形结构侧缘形成有限定铝棒的限位卡止部。
4.如权利要求1所述的用于立式真空镀铝设备的辉光放电导电棒,其特征在于,所述铝棒接近底端的外周表面上设有环形防滑凹槽。
5.如权利要求1所述的用于立式真空镀铝设备的辉光放电导电棒,其特征在于,在导电底座内设置贯穿至导电压板的上部导电导向棒。
6.据权利要求2所述的用于立式真空镀铝设备的辉光放电导电棒,其特征在于,所述导电棒主体的空腔内设置有弹簧,所述弹簧将导电压板压紧在限位板上,所述限位板是导电材质。
7.据权利要求2所述的用于立式真空镀铝设备的辉光放电导电棒,其特征在于,所述限位卡止部为凸起或卡扣状。
8.据权利要求1所述的一种用于立式真空镀铝设备的辉光放电导电棒,其特征在于,所述安装空腔外侧设置有绝缘套,所述绝缘套外侧形成凹槽形结构。
9.据权利要求1所述的一种用于立式真空镀铝设备的辉光放电导电棒,其特征在于,所述安装空腔及与其配合的铝棒用导电压板为花瓣形。
10.据权利要求1所述的一种用于立式真空镀铝设备的辉光放电导电棒,其特征在于,所述铝棒顶端部分的蝶形结构与所述限位板上形成的与所述铝棒顶端部分的蝶形结构对应的蝶形通孔之间存在小于0.5mm的间隙。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102877037A (zh) * 2012-09-18 2013-01-16 铜陵其利电子材料有限公司 金属化薄膜镀膜机用固定卡键
CN105755436A (zh) * 2014-12-16 2016-07-13 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 薄膜沉积方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002004063A (ja) * 2000-06-19 2002-01-09 Toyota Industries Corp 金属皮膜形成方法
CN101104919A (zh) * 2007-08-20 2008-01-16 上海小糸车灯有限公司 用于真空镀铝设备的电极装置
TW200813241A (en) * 2006-09-07 2008-03-16 Metal Ind Res & Dev Ct Vacuum sliding-type electricity introduction apparatus
CN201201967Y (zh) * 2008-04-30 2009-03-04 上海小糸车灯有限公司 立式镀铝机用转架装置
CN101570848A (zh) * 2008-04-30 2009-11-04 上海小糸车灯有限公司 立式镀铝机用转架

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002004063A (ja) * 2000-06-19 2002-01-09 Toyota Industries Corp 金属皮膜形成方法
TW200813241A (en) * 2006-09-07 2008-03-16 Metal Ind Res & Dev Ct Vacuum sliding-type electricity introduction apparatus
CN101104919A (zh) * 2007-08-20 2008-01-16 上海小糸车灯有限公司 用于真空镀铝设备的电极装置
CN201201967Y (zh) * 2008-04-30 2009-03-04 上海小糸车灯有限公司 立式镀铝机用转架装置
CN101570848A (zh) * 2008-04-30 2009-11-04 上海小糸车灯有限公司 立式镀铝机用转架

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102877037A (zh) * 2012-09-18 2013-01-16 铜陵其利电子材料有限公司 金属化薄膜镀膜机用固定卡键
CN105755436A (zh) * 2014-12-16 2016-07-13 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 薄膜沉积方法
CN105755436B (zh) * 2014-12-16 2018-08-24 北京北方华创微电子装备有限公司 薄膜沉积方法

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