CN101801505B - 电子组件制造流出物的环境空气减弱的设备与方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种减弱***，其包含：1)一减弱单元，适于减弱流出物；以及2)一环境空气供应***，包含有一空气移动装置，其中该环境空气供应***适于供应环境空气至该减弱单元以用作为一氧化剂。本发明亦提供多种其它实施方式。
Description
本发明主张2008年3月21日申请的美国非临时专利申请序号第12/053,480号且专利名称为「电子组件制造流出物的环境空气减弱设备及方法(APPARATUS AND METHODS FOR AMBIENT AIR ABATEMENT OFELECTRONIC DEVICE MANUFACTURING EFFLUENT)」的优先权，而该申请主张2007年9月20日申请的临时专利申请序号第60/973,977号且专利名称为「于半导体组件制造流出物的减弱过程中使用环境空气的方法及设备(METHODS AND APPARATUS FOR USING AMBIENT AIR DURINGABATEMENT OF SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURINGEFFLUENTS)」的优先权。在此将这些专利申请的整体基于所有目的而并入以作为参考。
技术领域
本发明有关于电子组件制造，并且更明确地说，有关于危险及/或不期望存在的化合物的减弱(abatement)***，该***使用环境空气(ambientair)作为氧化剂。
背景技术
常规电子组件制造流出物减弱***通常使用洁净干燥空气(CDA)作为氧化剂。CDA，如其名称所指，可以是经过干燥及高度过滤的空气，而CDA的制备有一定的成本。在一电子组件制造设施内，CDA通常是以相当高的压力供应至该设施各处，其可以是约90psi、或更高或更低。就在一特定电子组件制造设施***中使用而言，例如一减弱***，该设施CDA的压力随后可被降低至该特定***所要求的压力。CDA的加压需要设备及能量。CDA压力的降低则至少需要设备。
据此，希望有用来降低与在一减弱单元内使用CDA有关的成本的方法及设备。
发明内容
在一实施方式中，提供一种减弱***，该***包含：1)一减弱单元，适于减弱流出物；以及2)一环境空气供应***，包含有一空气移动装置，其中该环境空气供应***适于供应环境空气至该减弱单元以用作一氧化剂。
在另一实施方式中，提供一种供应环境空气至一减弱单元以用作一氧化剂的***，该***包含：1)一空气移动装置；以及2)一歧管，与该空气移动装置连接并适于供应空气至该减弱单元，其中该空气移动装置及该歧管适于接收来自一环境空气源的空气。
在另一实施方式中，提供一种使用环境空气来作为一氧化剂以减弱流出物的方法，该方法包含：1)提供一减弱单元，其适于减弱来自一电子组件制造处理工具的流出物；2)提供一环境空气供应***，其包含一空气移动装置，其中该环境空气供应***适于提供环境空气至该减弱单元；以及3)利用该环境空气供应***所供应的环境空气来减弱该减弱单元内的流出物。根据本发明的这些及其它方式而提供多种其它实施方式。本发明的其它特征结构及实施方式可从如下详细描述、权利要求书及附图而获得更完整的呈现。
附图说明
图1是本发明的一减弱***的概要图。
图2是图1的减弱***的第二实施例的概要图。
图3是本发明的环境空气供应***的概要图。
图4是本发明的环境空气供应***的另一实施例的概要图。
图5A和5B是可用于本发明的空气流量放大器的剖面侧视图。
图6示出一种根据本发明操作一减弱单元的方法的流程图。
具体实施方式
电子组件制造过程使用数种的反应剂，并且某些未使用的反应剂可能会通过处理工具。这些未使用的反应剂，若其仅是绕经设施排放***，则可能对环境造成伤害，或有引起火灾或***的风险。此外，电子组件制造过程可能产生会引起类似伤害或风险的副产物。为了简化，在此将有害的、有毒的、可燃的及/或具***性的未使用反应剂及副产物称为“不期望存在的流出物”或仅称为”流出物”。
为了避免对于环境的危害，以及对于员工和大众的风险，电子组件制造产业欣然接受对于不期望存在的流出物的减弱。不期望存在的流出物的减弱可采取许多形式，但最终是利用减弱而将不期望存在的流出物转化为无或较少危害或风险的物质。一种减弱不期望存在的流出物的方法是在一减弱反应器或单元中利用例如氧气的氧化剂来氧化该流出物。已用于减弱单元的现成的氧化剂源是CDA，其通常可从设施CDA源中获得。
但是由于其费用，在许多设施中，CDA的使用是按照预算编列或受到限制的。例如，某些设施可能仅编列或容许一常规减弱***使用每分钟约360标准升(slm)的CDA。但是某些常规减弱***可能需要1000slm或更多的CDA来减弱流出物。例如，制造太阳能面板的过程可能排出大量的未使用氢气及硅烷反应剂。此等大量可燃及/或具***性气体需要大量氧化剂来减弱。因此，该常规减弱***可能无法符合某些设施的CDA预算要求，因而可能无法受到客户青睐。
如上所述，设施CDA在受压下绕经该设施，通常在高至足以满足一设施***的要求的压力下，而其拥有所有设施***的最高压力需求。此压力可以是约90psi或更高或更低。就在所有其它设施***内使用而言，其包含减弱***(其可用掉在一设施内产生的所有CDA的约45％至80％)，CDA的压力不需要如此高。用于运送的加压CDA会不必要地升高操作该减弱单元的成本，因为该减弱单元不需要如此高压的空气。同样地，干燥CDA以在一减弱单元内使用，然而减弱单元中的氧化剂并不需要被干燥，因而不必要地升高了操作成本。因此希望可操作减弱单元并且同时避免与干燥、高度过滤及压缩空气有关的成本。
在某些实施例中，本发明可减少或避免CDA的使用，其藉由透过一环境空气供应***而提供环境空气至减弱单元。环境空气可在用于容纳该减弱单元的空间内获得，或来自该设施内部的另一个空间。可使用其它适合的环境空气源，例如来自该工厂外部的空气，或再循环的设施空气。
在本发明的某些实施例中，可利用自然抽吸空气***(NAS)等来供应空气至一减弱单元。NAAS是一种容许该减弱单元吸引环境空气进入该减弱单元内但不会主动移动空气的***。该NAAS可包含对环境空气开放的入口，其处于约大气压力下，以及可与该减弱***(及/或该减弱***的子***)连接的出口。在这些实施例中，可在低于大气压力下操作该减弱***。例如，该反应器内部的压力可以是相对于大气压力的约-1.2”至-5”的水压(或其它适合压力)。在此种例子中，空气可藉由该环境空气和该减弱单元内部的气体之间的压力差而自然地吸入该减弱***及/或子***内。以此方式，可从环境空气供应氧气至该反应器。环境空气可处于其它压力下，包含低于和高于大气压力。为了使NAAS发挥效用，该压力差应足够大而能够使空气以一速率吸入至该减弱单元内，而该速率提供足够氧气以减弱流经该减弱单元的流出物至一预期减弱水准。
在其它实施例中，NAAS可能无法提供用来减弱该流出物至一预期水平所需的所有空气。减弱该流出物至预期减弱水准的方法是通入最小量空气至该减弱单元内。此最小量空气可轻易地藉由评估待减弱的流出物的性质，以及待减弱的流出物的质量流率来决定。若该环境空气的压力和该减弱单元的操作压力之间的差异太小，则无法吸入足够的空气至该减弱单元内以有效地减弱该流出物。在此种例子中，必须推动或吸引更多空气至该减弱单元内。在此等其它实施例中，该环境空气供应***可并入一空气移动装置，例如一鼓风机(blower)或空气流量放大器(air amplifier)，以推动及/或吸引足够的空气至该减弱***及/或其子***内。
在另一实施例中，尽管该环境空气和该减弱单元之间可能存有足够的压力差(即，足以吸引足够的空气至该减弱单元内，以有效地减弱该流出物)，该环境空气供应***仍可并入一空气移动装置，例如一鼓风机或空气流量放大器，以推动及/或吸引空气至该减弱单元内。将此种空气移动装置并入该环境空气供应***内可缓和环境空气的任何暂时短缺，而此暂时短缺现象可能由该减弱单元的操作压力或该环境空气的压力的暂时改变引起。
图1是本发明的例示性环境空气减弱***100的概要图。该减弱***100可包含一减弱单元102，其可适于减弱由一或多个处理工具104排出的流出物。流出物可从处理工具104经导管106而流至减弱单元102。减弱单元102可适于藉由使该流出物与氧气反应来减弱该流出物。氧气可提供至该减弱单元102内，其中氧气是以环境空气的成分的形式而利用环境空气供应***108透过导管107供应至该减弱单元102内。环境空气供应***108可透过环境空气入口110而连接至环境空气源112，其中环境空气供应***108可由环境空气源112吸引环境空气。虽然仅示出一个环境空气供应***108，但可使用多于一个，例如2、3、4或更多个。在某些实施例中，减弱单元102可燃烧燃料以产生让流出物与氧气反应的温度。因此，减弱单元102可透过导管116连接至一燃料供应器114。经减弱的流出物可从减弱单元102透过出口118排出，而由此出口118可通至环境或至其它减弱装置中，例如一使用点(point of use)或厂内洗涤器(house scrubber)。
该减弱单元102可以是适于处理该流出物的反应器。此种反应器可以例如是一燃料燃烧热减弱单元，例如加州圣克拉拉的应用材料公司(AppliedMaterials，Inc.)所制造的Marathon减弱***。或者，该减弱单元可以为电气加热，或利用任何适合方式进行加热。在某些例子中，该减弱单元不需要加热以减弱该流出物，例如当该流出物本身为可燃时。
该处理工具104可以是一***，其包含产生利用该减弱单元102进行减弱的流出物的处理腔室(未示出)。例如，该处理工具104可以是一沉积腔室或任何其它处理腔室，其排出可利用减弱单元102进行减弱的流出物。在一太阳能面板制造设施中，这种处理腔室可能排出大量氢气及/或硅烷。
如上所述，该环境空气供应***108可从该环境空气源112供应环境空气至该减弱单元102。该环境空气供应***108的结构及操作会在下文中参考图3和4而更详细说明。
该环境空气源112可以是围绕该减弱***100的环境空气，但是亦可利用任何适合的空气源。例如，该空气可以是利用常见于制造设施中的HEPA(高效率微粒空气)过滤器所过滤的环境空气。此种空气在输送至该减弱单元102前需要或不需要再次过滤。在此种实施例中，该环境空气供应***108可与该环境空气减弱***100的框架连接，以使该环境空气供应***108的入口开启于围绕该减弱***100的环境空气。或者，该环境空气源112可以是从该设施外部供应的空气。在此种实施例中，该环境空气供应***108可包含一管线或其它导管***，其适于从该设施外部输送量足以有效减弱该流出物的空气至该减弱单元102。如在此所使用者，应了解「空气(air)」一词对于由该环境空气源112所供应的气态化合物的温度、压力、成分等并无设限。例如，应了解「空气」一词可包含常见于大气中的氧气、氮气等任何组成，但是亦可使用任何适合的气态化合物源。
燃料供应器114可单独供应燃料或燃料及空气混合物至减弱单元102。该燃料可以是氢气、甲烷、天然气、甲烷或LPG(液化石油气)，但是亦可运用任何适合燃料。供应至该减弱单元102的燃料的压力可以是约0.2psi至约10psi，但是亦可运用任何适合压力。该燃料供应器114可利用，例如，适于输送流体的不锈钢管而连接至该减弱单元102，但是亦可运用任何适合的燃料输送方法。应了解根据本发明提供的实施例可不必然与该燃料供应器114连接。例如，该减弱单元102可以是无燃料反应器(例如，当该流出物为可燃，并且仅需要一点火源及一空气源时)。
在某些实施例中，该减弱单元102，及/或该环境空气减弱***100的任何部分(除了该燃料供应器114之外)，可在比该环境空气源112的压力还要低的压力下操作，因而造成一压力差或Δ(delta)。应注意到，虽然处理工具104出现在图1中，但其并不构成该减弱***100的一部分。此压力差可让环境空气自然流经环境空气供应***108而进入减弱单元102。若该压力差够大，足够的环境空气会被吸引通过该环境空气供应***108并进入该减弱单元102内。该环境空气供应***108的操作会在下文中更详细讨论。
在其它实施例中，该减弱单元102，及/或该减弱***100的任何部分，可能在太高的压力下操作，而无法如上述产生能够从该环境空气源112移动足够空气通过该环境空气供应***108进入该减弱单元102的压力差。在此种实施例中，该环境空气供应***108可包含一空气移动装置，例如鼓风机或空气流量放大器，如在下文参考图4和5更详细讨论。
在另一实施例中，该减弱单元102可在比该环境空气源112内的环境空气的压力还要低的压力下操作，但仍可能发生不足量的空气从该环境空气源112移动通过该环境空气供应***108并进入减弱单元102的情况。这可能是因于流经该减弱单元102的流出物的性质和体积所导致的。在此种例子中，该环境空气供应***108也可包含一空气移动装置，例如鼓风机或空气流量放大器。
在另一实施例中，虽然该减弱单元102可在平均上充分低于该环境空气源112的压力的压力下操作，以移动足够的环境空气通过该环境空气供应***108进入该减弱单元102，但该减弱单元102的操作压力可能会波动，其导致进入该减弱单元102内的空气流量暂时不足。这可造成离开该减弱单元102的令人无法接受的未减弱流出物量。在此等实施例中，该环境空气供应***108也可包含一空气移动装置，例如鼓风机或空气流量放大器，以补偿进入该减弱单元102的空气流量。
图2所示的减弱***200是图1的减弱***100的另一实施例。图1和2的组件符号彼此对应以便于参照。例如，图1的减弱单元具有组件符号102，而图2的减弱单元具有组件符号202。
环境空气减弱***200与减弱***100类似，但拥有如下差异。减弱***200的环境空气供应***208透过五个导管207与减弱单元202连接，而减弱***100的环境空气供应***108透过一个导管107与减弱单元102连接。此外，导管207转而透过五个环境空气入口220而与减弱单元202连接。虽然图中示出五个导管207和环境空气入口220，但亦可使用少于或多于五个导管207和环境空气入口220。将空气入口设置在减弱单元的相反侧，或对称环绕减弱单元设置，如图2所示，可在该减弱单元202内造成更平均的燃烧区域。
此外，减弱***200被描绘为拥有三个分开的环境空气供应***208，以及三个分开的环境空气源212，相较而言，减弱***100具有单一个环境空气供应***108和单一个环境空气源。应注意到在本发明实施中可运用任何预期数量的环境空气供应***208和环境空气源212。因此，可以有n个空气入口220，其可由n个或少于n个环境空气供应***208来供应环境空气。相反地，可用多于n个环境空气供应***208来供应环境空气给n个空气入口220。这种空气入口220可被设计成使每一个皆有一内孔直径，且当由该环境空气供应***208在所选压力下供应环境空气时，该内孔直径被选择以在每单位时间流通预期质量的空气。或者，每一个空气入口220可与每一个其它空气入口220具有相同尺寸。
为了在此种例子中得到预期的质量流率，该环境空气供应***208可被设计(如下文更详细讨论)以提供个别选择的空气质量流率至每一个空气入口220，或以个别选择的压力提供空气至每一个空气入口220。
操作时，减弱单元202可透过位于该减弱单元202顶端的流出物入口222接收流出物。在该减弱单元202内部，围绕每一个流出物入口222处，可以有复数个燃烧器喷嘴(未示出)。这种燃烧器喷嘴可在该减弱单元202内供应往下方向的热及火焰，而当该流出物往下流经该减弱单元202时，该流出物可以被减弱(例如，氧化)。在某些实施例中，减弱单元202可被设计成使其可符合期望在复数个位置以及在一或多个这种复数个位置以所选择的、不同的压力或质量流率而引进空气至该减弱单元202。例如，在某些实施例中，期望在该减弱单元202顶部在富含燃料(即，氧不充足)的情况下进行氧化反应，之后，在该减弱单元202的底部，具有足够的空气可产生一富含氧的环境，其可足以有效地减弱剩下的未减弱流出物。此种设计可辅助减少氧化氮及氧化硫的形成。在个别的空气入口220提供不同压力或质量流率可以任何适合方式实现，如下文参考图3和4讨论。
环境空气供应***300(在图3示出)分别对应于图1和2的环境空气供应***108和环境空气供应***208。
环境空气供应***300可包含空气引入口302，其可从环境空气源304吸引环境空气。环境空气可经由空气引入口302，通过关断阀(shut off valve)306而进入集气箱308。环境空气然后可从集气箱308通过导管310和流量控制阀312进入歧管314。歧管314可透过环境空气出口316而分散环境空气至导管(未示出)，其可输送环境空气至一减弱单元(未示出)。控制器318可以是任何微电脑、微处理器、逻辑电路、硬件及软件组合、或诸如此类，其适于透过通信连结320和322而控制关断阀306和流量控制阀312的开启及关闭。
环境空气源304可以是任何适合的环境空气源，如上所述。空气引入口302可以是一3英寸不锈钢或PVC真空管，但是亦可使用具有任何形状适当的任何适合导管。
关断阀306可以是闸阀或适于开启及关闭通过空气引入口302的环境空气路径的任何阀。如本文所述，该关断阀306可以是电磁(solenoid)闸阀或气动闸阀，其可由HVH、LLC提供，但是亦可运用任何适合的阀。该关断阀306可适于开启及关闭，因而可调节来自该环境空气源304的空气。例如，可如期望的完全关闭从该环境空气源304至该减弱***的空气流。据此，该关断阀306可关闭(例如，延伸出一平盘以关闭该空气路径)，以避免空气从该空气引入口302输送至该集气箱308。在此关闭状态，集气箱308可能无法将来自该环境空气源304的任何空气输送至该减弱***。该关断阀306也可适于避免流出物朝该环境空气源304流动。例如，该关断阀306可适于在该减弱单元内的压力增加至一非期望的压力(例如，大气压，比该环境空气压力大的压力等)时，则关闭。
集气箱308可以是一空气箱，但是亦可运用任何适合的容纳容器。如图所示，该集气箱308可提供一空气储存槽，其可用来减轻空气压力的波动，改善该环境空气供应***300控制该环境空气流的能力。虽然在图3示出集气箱308，但在某些实施例中可能不运用该集气箱308。此外，如所示，该集气箱308一矩形的箱子，但是亦可运用任何适合形状(例如，圆柱状、六角形等)。该集气箱308的尺寸可基于例如所设计的流经该环境空气供应***300的环境空气的体积和速度等因素做选择。
该流量控制阀312可以是蝶形阀(butterfly valve)，但是亦可运用任何适合的阀。如所示，该流量控制阀312可以是能够由控制器318所控制的电磁阀或气动阀。该流量控制阀312可在其主体内拥有挡板(flap)，其旋转以加大或缩小来自该环境空气源304输送至该减弱***的空气流经的开口。因此，可控制空气以较高或较低速率(例如，每分钟标准升)流动，因而调节来自该环境空气源304至该减弱***的流量。
应注意到关断阀306和流量控制阀312的功能可用单一个阀(未示出)执行，例如节流闸阀或计量关断阀。但是此类多功能阀是很昂贵的，因此使用一个此类多功能阀可能是提供这些功能的较昂贵的方式。
该歧管314可以是一个箱子，其用以分散由该流量控制阀312所调节的空气。如所示，该歧管314拥有六个环境空气出口316的箱子。虽然图3示出六个环境空气出口316，但可使用更多或更少的出口。此外，每一个环境空气出口316可与该减弱***上的一或多个入口(未示出)连接。每一个环境空气出口316的尺寸皆可独立于每一个其它环境空气出口316，因此一选择量的空气可流经该环境空气出口316至该减弱单元内的特定位置。
操作时，如上所述，该环境空气供应***300实施例可以用于减弱***中，而该减弱***是在充分低于该环境空气源304的压力的压力下操作，以产生足够的压力差以移动足够多的气体通过该环境空气供应***300以进入该减弱单元而有效地减弱该流出物。在此种例子中，该减弱单元的操作压力和该环境空气源304之间的压力差可使足够的空气流经该环境空气供应***300而进入该减弱单元。可用流量控制阀312来选择可通过该环境空气供应***300供应至该减弱单元的空气总量。
在图4所示的环境空气供应***400与图3所示的环境空气供应***300类似，但具有如下差异。环境空气供应***400可包含一空气移动装置424，其可以是鼓风机、空气流量放大器、或任何其它适于移动空气的装置。控制器418可控制空气移动装置424移动环境空气通过该环境空气供应***400的速率。
空气移动装置424可以是任何鼓风机，其可如一特定减弱方案所需求般而在每单位时间移动足够质量的空气。例如，空气移动装置424可以是鼠笼式风扇(squirrel cage fan)、叶片风扇、涡流风扇、或鲁式鼓风机(rootsblower)等，但是亦可使用任何适合的鼓风机或风扇。
操作时，环境空气供应***400可以用于在过高压力下操作(即，没有充分低于环境空气源404的压力)的本发明的减弱***中，以确保足够的空气会移动通过该环境空气供应***400并进入该减弱单元以有效减弱该流出物。在其它实施例中，即使一减弱***在充分低于该环境空气源404的压力的压力下操作，以被动地移动足够的空气通过该环境空气供应***400而进入该减弱***以减弱该流出物。可运用空气移动装置424来确保固定的环境空气流，而不管该减弱单元操作压力上任何可能发生的压力波动。此种压力波动的发生原因为该厂内排气***出现压力的波动，而此压力波动可以是将流出物吸引通过该减弱单元的动力。
参见图5A和5B，空气流量放大器500可以是一空气流量放大器，但是亦可运用从该环境空气源512推动及/或吸引空气至该减弱单元502的任何适合装置。如所描述，该空气流量放大器500是圆柱状，但是亦可运用任何适合形状。所示的该空气流量放大器500包含对该环境空气源512提供的空气源为开启的入口。该空气流量放大器500也可以包含一出口，该出口对该减弱单元502是开启的。该空气流量放大器500可由不锈钢构成，但是亦可运用任何适合材料。
该环境空气源512提供的空气流是由复数个箭号528表示，而这些箭号528位于该空气流量放大器500内部，并且是从该环境空气源512指向该减弱单元502的方向。该空气流量放大器500可适于吸引及/或推动该环境空气源512供应的空气。如所示，该环境空气源512供应的空气可由来自该CDA源530的CDA供应而吸引通过该空气流量放大器500。虽然在本发明的环境空气供应***的此实施例中运用CDA，但由于使用相对少量的CDA而从该环境空气源512移动较大量的空气，故可减少CDA的使用量。
图6提供根据本发明的减弱流出物的方法600。该方法在步骤602开始，并进行至步骤604，此时提供适于减弱来自一电子组件制造处理工具的流出物的减弱单元。该方法包含步骤606，其中提供含有一空气移动装置的环境空气供应***，并且其中该环境空气供应***适于提供环境空气至该减弱单元。步骤604和606可采用任意顺序执行。该方法亦包含步骤608，其中以该环境空气供应***所提供的环境空气来氧化流出物。该方法在步骤610结束。
前面描述仅揭示本发明的例示实施例。对本领域技术人员而言，针对上面揭示的设备及方法所做的落入在本发明范围内的调整是显而易见的。
据此，虽然本发明已针对其例示实施例做揭示，应了解其它实施例可落在本发明的精神及范围内，如权利要求书所界定的那样。
Claims (7)
1.一种减弱***，包含:
减弱单元，适于减弱一流出物；以及
环境空气供应***，包含一空气移动装置以及一歧管；
其中该环境空气供应***适于将环境空气经该歧管通过超过一个的空气入口供应至该减弱单元以用作氧化剂，且该环境空气供应***以一所选的质量流率将该环境空气流过各个空气入口，且针对任何其他空气入口所选的质量流率相同或不同。
2.如权利要求1所述的减弱***，其中该空气移动装置包含一鼓风机。
3.如权利要求1所述的减弱***，其中该环境空气供应***适于以所选的质量流率将环境空气供应至该减弱单元。
4.如权利要求1所述的减弱***，其中该环境空气供应***适于以所选的压力将环境空气供应至该减弱单元。
5.如权利要求4所述的减弱***，其中该环境空气供应***适于降低供应至该减弱单元的空气的压力波动。
6.如权利要求1所述的减弱***，其中：
该减弱单元适于透过不止一个空气入口而接收来自该环境空气供应***的环境空气；
每个空气入口包含一孔洞，其中该孔洞的直径被选择成使空气以所选的质量流率流入该减弱单元中；以及
针对每个空气入口所选的质量流率可与针对任何其它空气入口所选的质量流率相同或不同。
7.一种将环境空气用作氧化剂而减弱流出物的方法，包含：
提供一减弱单元，该减弱单元适于减弱来自一电子组件制造处理工具的流出物；
提供一环境空气供应***，该环境空气供应***包含一空气移动装置以及一歧管，其中该环境空气供应***适于将环境空气提供至该减弱单元，且该环境空气供应***以一所选的质量流率将该环境空气流过各个空气入口，且针对任何其他空气入口所选的质量流率相同或不同；以及
利用该环境空气供应***所供应的环境空气在该减弱单元内减弱流出物。
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