CN101760770B - 硅太阳能电池片电极电镀设备 - Google Patents

硅太阳能电池片电极电镀设备 Download PDF

Info

Publication number
CN101760770B
CN101760770B CN 200910215298 CN200910215298A CN101760770B CN 101760770 B CN101760770 B CN 101760770B CN 200910215298 CN200910215298 CN 200910215298 CN 200910215298 A CN200910215298 A CN 200910215298A CN 101760770 B CN101760770 B CN 101760770B
Authority
CN
China
Prior art keywords
guide groove
electroplating
hole
spray cup
silicon chip
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN 200910215298
Other languages
English (en)
Other versions
CN101760770A (zh
Inventor
欧萌
赵晓明
张蕾
胡子卿
孟晓涛
谢振民
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
CETC 2 Research Institute
Original Assignee
CETC 2 Research Institute
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by CETC 2 Research Institute filed Critical CETC 2 Research Institute
Priority to CN 200910215298 priority Critical patent/CN101760770B/zh
Publication of CN101760770A publication Critical patent/CN101760770A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN101760770B publication Critical patent/CN101760770B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Electroplating Methods And Accessories (AREA)

Abstract

本发明公开了一种硅太阳能电池片电极电镀设备,解决了现有技术存在的单片太阳能电池片中的多晶硅所占面积与被印导线的面积之比小及镀层质量差的问题。包括在机架(37)内设置的多组各自独立的电镀液槽(38)、电镀液泵及输送管路(39)、电镀整流器电源(43),在封闭的罩体(40)内顶部设置有行车导轨(41)和搬运小车(42),在上、下料位之间设置有多组电镀液槽(38)和喷杯(36)和导电针固定调整机构(25),喷杯下腔体(23)中固定设置有电镀阳极固定架(26)和电镀阳极网(27),在喷杯下腔体(23)的外腔体上设置有电镀阳极引出柱(35)和电镀溶液进入口,大大提高了单片多晶硅片的质量。

Description

硅太阳能电池片电极电镀设备
技术领域
本发明涉及一种电镀设备,特别涉及一种用于硅太阳能电池片的电极进行电镀的设备。
背景技术
太阳能电池片的生产工艺是先将晶体硅切成硅片,切好的硅片经过各种工艺处理后再采用丝网印刷技术将银浆印制出栅线电极,由于银浆印刷技术要求在硅片上印刷栅线之间的间隔不能太小,同时要求硅片上丝网印刷栅线的宽度也不能太窄,使得用银浆印刷技术印制出的太阳能电池片上的导线与硅片的面积之比大;同时银浆中参杂有有机物,会使硅片的导电率降低,这些造成了硅片的太阳能转换率低的缺点。另外,由于被电镀硅太阳能电池片在喷射电镀时的共面性无法解决,使在导电主线槽和导电支路槽中电镀出的镀层不均匀,影响到了硅太阳能电池片的质量;同时由于丝网印刷大量使用银浆,太阳能电池生产厂家的成本高。
发明内容
本发明提供的硅太阳能电池片电极电镀喷杯解决了现有技术存在的太阳能电池片上的导线与硅片的面积之比大,同时银浆中参杂有有机物,会使硅片的导电率降低,造成了硅片的太阳能转换率低的缺点,电镀层不均匀和生产成本高的技术问题。
本发明是通过以下方案解决以上问题的:
硅太阳能电池片电极电镀设备,包括机架、在机架内设置的多组各自独立的电镀液槽和电镀液泵及输送管路以及电镀整流器电源,在机架上设置有封闭的罩体,在封闭的罩体内顶部设置有左右水平方向的行车导轨,在该行车导轨上设置有可左右水平方向移动及上下垂直移动的搬运小车,在机架工作面的左端设置有硅片的上料位,在机架工作面的右端设置有硅片的下料位,在上料位与下料位之间设置有所述的多组电镀液槽,在每组电镀液槽中设置有喷杯,所述的喷杯由盆体形状的喷杯下腔体、倒扣在喷杯下腔体上的盆体形状的喷杯上腔体和导电针固定调整机构组成,所述的喷杯下腔体中固定设置有电镀阳极固定架,在该电镀阳极固定架上活动设置有电镀阳极网,在喷杯下腔体的外腔体上设置有电镀阳极引出柱和电镀溶液进入口,电镀溶液进入口与电镀液泵及输送管路连通,电镀阳极引出柱与电镀整流器电源电连接;所述的倒扣的盆体形状的喷杯上腔体的盆底为活动设置在盆底位置处的被镀的硅片,在喷杯上腔体的盆边沿的上边沿四周分别设置有锯齿形溢流槽和硅片的限位条,在喷杯上腔体的溢流檐上相对设置有一对导电针固定调整机构的固定柱,导电针固定调整机构通过固定座固定在固定柱上,两组导电支撑针分别穿过喷杯上腔体的腔体壁设置在喷杯上腔体中并分别与硅片上的两导电主线槽活动支撑接触在一起,在喷杯下腔体与喷杯上腔体之间设置有密封条;所述的导电针固定调整机构包括:长方体形的导槽件、在导槽件上分别设置的第一方形导槽和第二方形导槽、在第一方形导槽中活动设置的第一T形调节块、在第二方形导槽中活动设置的第二T形调节块、第一导电支撑针和第二导电支撑针,在所述的第一方形导槽内的左右两内侧设置有一对支撑转轴固定孔,在第一导槽内的底板上设置有调节螺栓的固定螺孔,在所述的第一T形调节块的底块上设置有左右水平方向的支撑转轴通过孔,在第一T形调节块的顶块上分别设置有上下垂直方向的调节螺栓的通过孔和上下垂直方向的第一顶丝的通过孔,在第一T形调节块的顶块的前后侧面之间设置有前后水平方向的第一组导电支撑针***孔,支撑转轴穿过第一T形调节块的底块上设置的左右水平方向的支撑转轴通过孔和第一方形导槽内的左右两内侧设置的一对支撑转轴固定孔将第一T形调节块支撑设置在第一方形导槽内,调节螺栓依次穿过调节螺母、第一T形调节块的顶块上的通过孔和调节压簧与第一方形导槽内的底板上设置的固定螺孔螺接在一起,第一导电支撑针活动设置在第一组支撑针***孔中,第一顶丝的通过孔与第一组导电支撑针***孔连通,第一顶丝活动设置在该通过孔中,在导槽件上设置有电镀阴极引出柱并与电镀整流器电源电连接。
根据对硅片电极电镀的镀层工艺的要求在所述的多组电镀液槽中的每组电镀液槽中分别设置有不同的电镀液。
本发明结构简单紧凑,只需一种模具就可针对125×125和156×156两种尺寸的硅片进行电镀,可适应对硅太阳能电池片电极的不同的电镀工艺要求,大大提高了硅片的太阳能转换率和硅太阳能电池片的质量,降低了生产成本。
附图说明:
图1是本发明俯视方向的结构示意图
图2是本发明的左视方向的结构示意图
图3是本发明主视方向的结构示意图
图4是本发明的结构展开示意图
图5是本发明的结构示意图
图6是本发明的局部剖视图
图7是本发明的导电针固定调整机构的展开结构示意图
图8是本发明的导电针固定调整机构结构示意图
具体实施方式
硅太阳能电池片电极电镀设备,包括机架37、在机架37内设置的多组各自独立的电镀液槽38和电镀液泵及输送管路39以及电镀整流器电源43,在机架37上设置有封闭的罩体40,在封闭的罩体40内顶部设置有左右水平方向的行车导轨41,在该行车导轨41上设置有可左右水平方向移动及上下垂直移动的搬运小车42,在机架工作面的左端设置有硅片的上料位44,在机架工作面的右端设置有硅片的下料位45,在上料位44与下料位45之间设置有所述的多组电镀液槽38,在每组电镀液槽38中设置有喷杯36,所述的喷杯36由盆体形状的喷杯下腔体23、倒扣在喷杯下腔体23上的盆体形状的喷杯上腔体24和导电针固定调整机构25组成,所述的喷杯下腔体23中固定设置有电镀阳极固定架26,在该电镀阳极固定架26上活动设置有电镀阳极网27,在喷杯下腔体23的外腔体上设置有电镀阳极引出柱35和电镀溶液进入口,电镀溶液进入口与电镀液泵及输送管路39连通,电镀阳极引出柱35与电镀整流器电源43电连接;所述的倒扣的盆体形状的喷杯上腔体24的盆底为活动设置在盆底位置处的被镀的硅片20,在喷杯上腔体24的盆边沿的上边沿四周分别设置有锯齿形溢流槽29和硅片的限位条30,在喷杯上腔体24的溢流檐28上相对设置有一对导电针固定调整机构25的固定柱31,导电针固定调整机构25通过固定座19固定在固定柱31上,两组导电支撑针分别穿过喷杯上腔体24的腔体壁设置在喷杯上腔体24中并分别与硅片20上的两导电主线槽活动支撑接触在一起,在喷杯下腔体23与喷杯上腔体24之间设置有密封条33;所述的导电针固定调整机构25包括:长方体形的导槽件1、在导槽件1上分别设置的第一方形导槽2和第二方形导槽3、在第一方形导槽2中活动设置的第一T形调节块8、在第二方形导槽3中活动设置的第二T形调节块、第一导电支撑针17和第二导电支撑针18,在所述的第一方形导槽2内的左右两内侧设置有一对支撑转轴固定孔5,在第一导槽2内的底板上设置有调节螺栓11的固定螺孔4,在所述的第一T形调节块8的底块上设置有左右水平方向的支撑转轴通过孔9,在第一T形调节块8的顶块上分别设置有上下垂直方向的调节螺栓11的通过孔10和上下垂直方向的第一顶丝16的通过孔,在第一T形调节块8的顶块的前后侧面之间设置有前后水平方向的第一组导电支撑针***孔14,支撑转轴6穿过第一T形调节块8的底块上设置的左右水平方向的支撑转轴通过孔9和第一方形导槽2内的左右两内侧设置的一对支撑转轴固定孔5将第一T形调节块8支撑设置在第一方形导槽2内,调节螺栓11依次穿过调节螺母12、第一T形调节块8的顶块上的通过孔10和调节压簧7与第一方形导槽2内的底板上设置的固定螺孔4螺接在一起,第一导电支撑针17活动设置在第一组支撑针***孔14中,第一顶丝16的通过孔与第一组导电支撑针***孔14连通,第一顶丝16活动设置在该通过孔中,在导槽件1上设置有电镀阴极引出柱34并与电镀整流器电源43电连接。
根据对硅片电极电镀的镀层工艺的要求在所述的多组电镀液槽38中的每组电镀液槽中分别设置有不同的电镀液。
在所述的喷杯上腔体24的盆边沿的上边沿与硅片20之间活动设置有接碎片网32,使生产中产生的碎硅片不能进入电镀腔体内,以免造成设备的运转障碍。
电镀液从喷杯下腔体23的电镀溶液进入口进入电镀喷杯中向上喷射依次与电镀阳极网27、四个阴极导电支撑针和硅片接触对硅片激光刻出的栅线完成电镀,从喷杯中溢出的电镀液从喷杯上腔体24的盆边沿的上边沿四周分别设置的锯齿形溢流槽29流出,经喷杯上腔体24的溢流檐28回流到电镀液供给槽中。
机架37整体装配完成后,在机架37上设置封闭的罩体40,在封闭的罩体40内顶部设置左右水平方向的行车导轨41,在该行车导轨41上设置有可左右水平方向移动及上下垂直移动的搬运小车42,在搬运小车42上设置硅太阳能电池片的吸附装置,该吸附装置在硅片的上料位44处吸附硅太阳能电池片。按照工艺工位顺序依次将4个电镀液槽38并排放置,8个喷杯36放置于电镀液槽38上。硅太阳能电池片的吸附装置按照工艺自动控制程序依次将硅片取送到各个电镀液槽38上的喷杯36上的导电支撑针固定调节机构25的支撑针上,喷杯36通过循环管路与电镀液槽38联通,循环管路将电镀液槽38内的电镀溶液打到喷杯装置中,电镀溶液通过导电支撑针固定调节机构与硅太阳能电池片接触,从而完成电镀过程。

Claims (2)

1.一种硅太阳能电池片电极电镀设备,包括机架(37)、在机架(37)内设置的多组各自独立的电镀液槽(38)和电镀液泵及输送管路(39)以及电镀整流器电源(43),在机架(37)上设置有封闭的罩体(40),在封闭的罩体(40)内顶部设置有左右水平方向的行车导轨(41),在该行车导轨(41)上设置有可左右水平方向移动及上下垂直移动的搬运小车(42),在机架工作面的左端设置有硅片的上料位(44),在机架工作面的右端设置有硅片的下料位(45),在上料位(44)与下料位(45)之间设置有所述的多组各自独立的电镀液槽(38),在每组各自独立的电镀液槽(38)中设置有喷杯(36),其特征在于:所述的喷杯(36)由盆体形状的喷杯下腔体(23)、倒扣在喷杯下腔体(23)上的盆体形状的喷杯上腔体(24)和导电针固定调整机构(25)组成,所述的喷杯下腔体(23)中固定设置有电镀阳极固定架(26),在该电镀阳极固定架(26)上活动设置有电镀阳极网(27),在喷杯下腔体(23)的外腔体上设置有电镀阳极引出柱(35)和电镀溶液进入口,电镀溶液进入口与电镀液泵及输送管路(39)连通,电镀阳极引出柱(35)与电镀整流器电源(43)电连接;所述的倒扣的盆体形状的喷杯上腔体(24)的盆底为活动设置在盆底位置处的被镀的硅片(20),在喷杯上腔体(24)的盆边沿的上边沿四周分别设置有锯齿形溢流槽(29)和硅片的限位条(30),在喷杯上腔体(24)的溢流檐(28)上相对设置有一对导电针固定调整机构(25)的固定柱(31),导电针固定调整机构(25)通过固定座(19)固定在固定柱(31)上,两组导电支撑针分别穿过喷杯上腔体(24)的腔体壁设置在喷杯上腔体(24)中并分别与硅片(20)上的两导电主线槽活动支撑接触在一起,在喷杯下腔体(23)与喷杯上腔体(24)之间设置有密封条(33);所述的导电针固定调整机构(25)包括:长方体形的导槽件(1)、在导槽件(1)上分别设置的第一方形导槽(2)和第二方形导槽(3)、在第一方形导槽(2)中活动设置的第一T形调节块(8)、在第二方形导槽(3)中活动设置的第二T形调节块、第一导电支撑针(17)和第二导电支撑针(18),在所述的第一方形导槽(2)内的左右两内侧设置有一对支撑转轴固定孔(5),在第一方形导槽(2)内的底板上设置有调节螺栓(11)的固定螺孔(4),在所述的第一T形调节块(8)的底块上设置有左右水平方向的支撑转轴通过孔(9),在第一T形调节块(8)的顶块上分别设置有上下垂直方向的调节螺栓(11)的通过孔(10)和上下垂直方向的第一顶丝(16)的通过孔,在第一T形调节块(8)的顶块的前后侧面之间设置有前后水平方向的第一组导电支撑针***孔(14),支撑转轴(6)穿过第一T形调节块(8)的底块上设置的左右水平方向的支撑转轴通过孔(9)和第一方形导槽(2)内的左右两内侧设置的一对支撑转轴固定孔(5)将第一T形调节块(8)支撑设置在第一方形导槽(2)内,调节螺栓(11)依次穿过调节螺母(12)、第一T形调节块(8)的顶块上的通过孔(10)和调节压簧(7)与第一方形导槽(2)内的底板上设置的固定螺孔(4)螺接在一起,第一导电支撑针(17)活动设置在第一组支撑针***孔(14)中,第一顶丝(16)的通过孔与第一组导电支撑针***孔(14)连通,第一顶丝(16)活动设置在该通过孔中,在导槽件(1)上设置有电镀阴极引出柱(34)并与电镀整流器电源(43)电连接。
2.根据权利要求1所述的硅太阳能电池片电极电镀设备,其特征在于:根据对硅片电极电镀的镀层工艺的要求在所述的多组各自独立的电镀液槽(38)中的每组电镀液槽中分别设置有不同的电镀溶液。
CN 200910215298 2009-12-30 2009-12-30 硅太阳能电池片电极电镀设备 Expired - Fee Related CN101760770B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 200910215298 CN101760770B (zh) 2009-12-30 2009-12-30 硅太阳能电池片电极电镀设备

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 200910215298 CN101760770B (zh) 2009-12-30 2009-12-30 硅太阳能电池片电极电镀设备

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN101760770A CN101760770A (zh) 2010-06-30
CN101760770B true CN101760770B (zh) 2011-06-15

Family

ID=42492141

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN 200910215298 Expired - Fee Related CN101760770B (zh) 2009-12-30 2009-12-30 硅太阳能电池片电极电镀设备

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN101760770B (zh)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101567406B1 (ko) * 2014-06-30 2015-11-10 주식회사 호진플라텍 전기도금 및 광유도도금을 병행하는 태양전지 기판용 도금장치
CN117107332A (zh) * 2018-07-18 2023-11-24 苏州太阳井新能源有限公司 一种用于水平电镀设备上的接触式上电极导电装置
CN114318471A (zh) * 2020-10-12 2022-04-12 福建钧石能源有限公司 一种制备hit晶硅太阳能电池片的水平镀膜装置
CN112725867A (zh) * 2020-12-23 2021-04-30 西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所) 晶圆水平镀膜喷杯中搅拌镀液的旋转剪切机构工作方法
CN116103732B (zh) * 2023-03-22 2024-03-08 苏州太阳井新能源有限公司 一种垂直电镀装置、设备及方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN101760770A (zh) 2010-06-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101760770B (zh) 硅太阳能电池片电极电镀设备
CN204874804U (zh) 镀铜槽
CN206624935U (zh) 一种线路板基材电镀装置
CN201713591U (zh) 硅太阳能电池片电极电镀设备
CN115613106B (zh) 一种插片式太阳能电池片铜电极电镀装置及方法
CN114717636B (zh) 一种太阳能电池电镀装置、电镀***装置及电镀方法
CN204849107U (zh) 一种电解抛光装置
CN105543940B (zh) 一种提升vcp电镀线电镀均匀性的装置及方法
CN104404589A (zh) 一种带通孔印制电路板的镀铜装置及其电镀方法
CN201924097U (zh) 电镀装置
CN201717277U (zh) 硅太阳能电池片电极电镀喷杯
CN202509147U (zh) 一种电镀槽
CN216891287U (zh) 一种射流电沉积加工装置
CN202595320U (zh) 一种金属刀模板电解蚀刻机
CN101771104B (zh) 硅太阳能电池片电极电镀喷杯
CN204097586U (zh) 多功能电解槽装置
CN209368367U (zh) 一种电镀喷流装置
CN113355721A (zh) 一种电镀喷流***
CN201785528U (zh) 设置在电镀槽内且侧边带孔的浮架
CN218145980U (zh) 一种电解处理用污水净化装置
CN203360601U (zh) 电铸设备
CN214694432U (zh) 一种阳极结构、电极机构及电镀***
CN220703831U (zh) 一种喷流式无接触水平电镀装备
WO2022143860A1 (zh) 不溶性阳极酸性硫酸盐电镀铜的优化工艺及装置
CN115928180A (zh) 提高印刷电路板垂直电镀线电镀层均匀性的装置及方法

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20110615

Termination date: 20161230