CN101666911B - 高功率激光束的展宽装置及方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种高功率激光束的展宽装置及方法，所述装置包括连续激光器、扇形反射聚焦镜、偏转式振镜、高速电机和计算机；所述偏转式振镜的一侧与高速电机的转轴相连，而高速电机则与计算机相连；偏转式振镜与扇形反射聚焦镜相对放置，并且连续激光器发出的激光束在偏转式振镜上的反射点C与扇形反射聚焦镜的回转中心O同心。所述方法为使连续激光器输出的连续激光束经过高速旋转的偏转式振镜反射后形成具有一定扫描角度α的扇形区域内的连续扫描光束，该扫描光束经扇形反射聚焦镜反射聚焦后，在被处理工件表面形成连续的弧形扫描聚焦光带。相比现有技术，本发明能在更宽的范围(20～500mm)内对高功率激光束展宽，且展宽宽度连续可控。

Description

高功率激光束的展宽装置及方法

技术领域

本发明涉及激光加工及光电子应用领域，特别涉及一种高功率激光束的展宽装置及方法。

背景技术

将原始大功率激光光束聚焦后可以形成高能量密度的激光聚焦点，将该具有高能量密度的聚焦点作用于金属材料表面，可以对金属材料表面进行处理，如：金属表面的熔敷、热处理等，使其金属表面形成一种特殊的表面层，以增强金属材料表面的耐磨性、抗腐蚀性、抗疲劳性、耐热性及抗蠕变性等特征。采用激光进行材料表面热处理的优点主要包括：处理速度快、被处理件的热变形区小、可实现选择性地局部处理、加工柔性好，适用面广、可处理不规则形状部件及难以到达的区域。采用激光进行热处理的部件如：活塞环槽、计量器滑块、气缸套、齿轮、汽轮机叶片、照相机快门、油泵气缸、内燃机阀和轴承等。

利用激光进行材料表面热处理时，往往要求激光束的宽度与被处理工件匹配，这样可以避免热处理时出现热处理带之间的搭接，实现热处理厚度的均匀性。通过经特殊设计的导光装置，可以方便地实现对激光束传输方向的控制，以实现高度柔性的激光加工。利用激光束的这一特性，可以实现激光束的宽带扫描。例如专利“一种激光宽带扫描转镜”(专利号ZL02245662.7)描述了一种利用激光转镜将激光束展宽成一定宽度的带状光束的装置。与普通激光束处理相比，宽带扫描可使温度分布更均匀，因此热处理引起的变形更小，下一道对前一道热影响的百分比也减小。该装置已被应用于激光宽带热处理和熔敷，证明是一种有效的方法。但这种装置的激光束扫描宽度受到其复杂光路设计的限制，只能在有限的范围内实现激光束的展宽，例如目前可调节的激光扫描宽度仅为20-40mm。

发明内容

本发明目的是针对现有技术的不足和缺陷，提供一种能够在更宽的范围(20～500mm)内对高功率激光束进行展宽，并且展宽宽度连续可控的高功率激光束的展宽装置及方法。

本发明的技术方案是：本发明首先提供一种高功率激光束的展宽装置，它包括连续激光器、扇形反射聚焦镜、偏转式振镜、高速电机和计算机；其特征在于所述偏转式振镜的一侧与高速电机的转轴相连，而高速电机则与计算机相连；偏转式振镜与扇形反射聚焦镜相对放置，并且所述连续激光器发出的激光束在偏转式振镜上的反射点C与所述扇形反射聚焦镜的回转中心O同心。

本发明中对所述扇形反射聚焦镜的形状进一步限定如下：

该扇形反射聚焦镜的反射面弧线AB上的任意点在平面直角坐标系中满足下述公式：

-y+5f/2＝x²/2f，而扇形反射聚焦镜反射面上的任意点在空间直角坐标系中满足下述公式：

$-\sqrt{y^2+z^2}+5f/2=x^2/2f,$ 其中f为扇形反射聚焦镜的焦距。

本发明中所述f的取值为50～500mm。

本发明中所述偏转式振镜由紫铜制成，且其反射面上优选镀有一层金膜，以进一步提高光反射率并防止表面氧化。

本发明所述的高功率激光束的展宽装置还包括制冷循环***，所述偏转式振镜中开有冷却通道，所述冷却通道与所述制冷循环***相连。通过制冷循环***将冷却水输送并通过所述冷却通道，从而将偏转式振镜上的热量带走，以防止偏转式振镜过热损坏。

本发明另一方面提供一种采用上述高功率激光束的展宽装置对高功率激光束进行展宽的方法如下：使连续激光器输出的连续激光束经过高速旋转的偏转式振镜反射后形成具有一定扫描角度α的扇形区域内的连续扫描光束，该扫描光束经过扇形反射聚焦镜反射聚焦后，在被处理工件表面形成连续的弧形扫描聚焦光带，对工件进行激光表面热处理。

上述展宽方法通过计算机控制偏转式振镜的偏转角β大小，进而改变扇形区域内连续扫描光束的扫面角度α大小，就能够实现对于激光扫描宽度的连续可控。

本发明中，通过在计算机内预设参数便能够达到对于偏转式振镜偏转角β的控制，当然具体的参数设置及相关控制技术均为本领域技术人员所熟知的技术。

本发明的优点是：

本发明与现有技术相比，主要具有以下优点：

(1)可以在宽范围内(20～500mm)实现对高功率激光束进行展宽，且光束展宽的宽度可任意设定。

(2)采用的扇形反射聚焦镜，将扇形区域内的连续扫描光束聚焦成一弧形扫描聚焦光带，可使激光表面热处理的效果更加均匀。

(3)通过调整扫描角度α就可以获得不同弧长的弧形扫描聚焦光带，从而实现对高功率激光束的连续可变展宽，因此可使装置结构简单、工作稳定。

总之，本发明可以实现宽范围内(20～500mm)高功率激光束的可控展宽，并且所提供的装置与现有装置相比，结构更加简单、工作更加稳定、加工效率高和激光能量利用效率高，尤其是克服了现有技术需要通过更换光学器件来改变光束展宽宽度的不足。

附图说明

下面结合附图及实施例对本发明作进一步描述：

图1为本发明高功率激光束的展宽装置结构示意图；

图2为本发明中扇形反射聚焦镜主视图；

图3为本发明中扇形反射聚焦镜的中心剖面(即E-E剖面)结构示意图(处于空间直角坐标系中)；

图4为本发明中偏转式振镜实现光束扫描的原理示意图。

其中：1、连续激光器；2、扇形反射聚焦镜；3、偏转式振镜；4、高速电机；5、计算机；6、制冷循环***；7、扫描光束；8、工件；9、弧形扫描聚焦光带。

具体实施方式

实施例：首先如图1所示，本实施例提供的高功率激光束的展宽装置主要由连续激光器1、扇形反射聚焦镜2、偏转式振镜3、高速电机4、计算机5和制冷循环***6组成。所述偏转式振镜3的一侧与高速电机4的转轴相连，而高速电机4与计算机5相连，通过在计算机5内预设参数便能够达到对于偏转式振镜3偏转角β的控制。所述偏转式振镜3中开有冷却通道，该冷却通道与所述制冷循环***6相连。所述偏转式振镜3与扇形反射聚焦镜2相对放置，并且使得连续激光器1发出的激光束在偏转式振镜3上的反射点C与所述扇形反射聚焦镜2的回转中心O同心。

本实施例所述高功率激光束的展宽装置的核心为所述扇形反射聚焦镜2，进一步结合图2、图3所示，该扇形反射聚焦镜2主视图轮廓呈扇形，而前述回转中心O也即扇形所在圆的圆心(具体如图2所示)。并且该扇形反射聚焦镜2的扇形中心角为θ，反射面为抛物面，该抛物面反映到扇形反射聚焦镜2的中心剖面(也即E-E剖面)上便是一条弧线AB。具体如图3所示，假设以x轴作为回转轴，那么与扇形反射聚焦镜2的反射面成45°角入射的平行光束经反射后聚集在焦点F，该焦点F位于y轴上，且距回转轴(x轴)长度为2f，f为焦距，而反射面的中心点O’距离回转轴(x轴)的距离也为2f，那么所述扇形反射聚焦镜2的反射面弧线AB采用非标准抛物线方程表示如下：-y+5f/2＝x²/2f。而所述扇形反射聚焦镜2反射面上的每一点在空间直角坐标系中均满足方程： $-\sqrt{y^2+z^2}+5f/2=x^2/2f.$

如图4所示，将连续激光器1输出的连续激光束，直射到偏转式振镜3上，再经该偏转式振镜3反射到像场中的D点；当该偏转式振镜3在高速电机4驱动下，以一定的偏转角β往复匀角速度偏转时，反射光线将以二倍角速度匀速往复旋转，以实现反射光线的往复扫描，即像场中光点D到光点D’间的往复扫描，从而形成具有一定扫描角度α的扇形区域内的连续扫描光束7。本实施例中偏转式振镜3材料为紫铜，可以承受高功率激光照射，且为进一步提高光反射率并防止表面氧化，偏转式振镜3的反射面上可以镀有一层金膜。并且在激光束持续照射偏转式振镜3的过程中，通过制冷循环***5将冷却水输送并通过偏转式振镜3内的冷却通道，从而将偏转式振镜3上的热量带走，以防止偏转式振镜3过热损坏。

结合图1所示，本发明使用上述高功率激光束的展宽装置进行展宽的方法如下：首先使连续激光器1输出的连续激光束经过偏转式振镜3反射后形成具有一定扫描角度α的扇形区域内的连续扫描光束7，该扫描光束7经过扇形反射聚焦镜2聚焦后，在待处理工件8表面形成具有一定弧长的连续弧形扫描聚焦光带9，配合待处理工件8沿垂直于扫描方向的相对运动，完成对待处理工件8表面的热处理。

所述弧形扫描聚焦光带9的弧长与扇形反射聚焦镜2的焦距f和扇形中心角为θ，以及扇形扫描光束7的扫描角度α均有关。当所述扇形反射聚焦镜2参数不变时，所述弧形扫描聚焦光带9的弧长只与扫描光束7的扫描角度α有关，而本发明中通过对偏转式振镜3的偏转角β加以控制，就可以获得扫描角度α连续可变的扇形扫描光束7，使得弧形扫描聚焦光带9的弧长不断改变，从而实现对于高功率激光束的连续可控展宽。

Claims (6)

1.一种高功率激光束的展宽装置，包括连续激光器(1)、扇形反射聚焦镜(2)、偏转式振镜(3)、高速电机(4)和计算机(5)；其特征在于所述偏转式振镜(3)的一侧与高速电机(4)的转轴相连，而高速电机(4)则与计算机(5)相连；偏转式振镜(3)与扇形反射聚焦镜(2)相对放置，并且所述连续激光器(1)发出的激光束在偏转式振镜(3)上的反射点C与所述扇形反射聚焦镜(2)的回转中心O同心，同时假设以x轴作为回转轴，所述扇形反射聚焦镜(2)的反射面弧线AB上的任意点在平面直角坐标系中满足下述公式：-y+5f/2＝x²/2f，而扇形反射聚焦镜(2)反射面上的任意点在空间直角坐标系中满足下述公式：

其中f为扇形反射聚焦镜(2)的焦距。

2.根据权利要求1所述的高功率激光束的展宽装置，其特征在于所述f＝50～500mm。

3.根据权利要求1所述的高功率激光束的展宽装置，其特征在于所述偏转式振镜(3)的材料为紫铜，而其反射面上镀有一层金膜。

4.根据权利要求1所述的高功率激光束的展宽装置，其特征在于还包括制冷循环***(6)，所述偏转式振镜(3)中开有冷却通道，所述冷却通道与所述制冷循环***(6)相连。

5.一种采用权利要求1所述高功率激光束的展宽装置对高功率激光束进行展宽的方法，其特征在于使连续激光器(1)输出的连续激光束经过高速旋转的偏转式振镜(3)反射后形成具有一定扫描角度α的扇形区域内的连续扫描光束(7)，该扫描光束(7)经过扇形反射聚焦镜(2)反射聚焦后，在被处理工件(8)表面形成连续的弧形扫描聚焦光带(9)，对工件(8)进行激光表面热处理。

6.根据权利要求5所述的采用权利要求1所述高功率激光束的展宽装置对高功率激光束进行展宽的方法，其特征在于通过计算机(5)控制偏转式振镜(3)的偏转角β大小，进而改变扇形区域内连续扫描光束的扫描角度α大小，以实现对激光扫描宽度的连续可控。

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