CN101582653A

CN101582653A - 基于矩形板弯振驱动的两直线自由度超声电机

Info

Publication number: CN101582653A
Application number: CNA2009101155634A
Authority: CN
Inventors: 贺红林; 龙玉繁; 周翔
Original assignee: Nanchang Hangkong University
Current assignee: Nanchang Hangkong University
Priority date: 2009-06-19
Filing date: 2009-06-19
Publication date: 2009-11-18
Anticipated expiration: 2029-06-19
Also published as: CN101582653B

Abstract

一种基于矩形板弯振驱动的两直线自由度超声电机，其特征是定子组件连接支座组件并通过驱动齿与动子组件配合，动子组件与支座组件形成高副联接。定子的主体为矩形板，板上设置驱动齿。电机选取矩形板X向的B_0，5、B_0，8和Y向B_5，0和B_8，0为工作模态，通过激发这些模态驱使驱齿上质点分别沿X向、Y向作椭圆运动。本发明的技术效果是：1.用单个平板定子同时实现两个直线自由度直接驱动，避免了传统XY移动装置的运动传递误差，使电机具有快速精密定位性；2.采用薄板式定子便于电机薄型化、轻量化；3.运动灵活、双功能、大推力，性能更趋稳定。

Description

基于矩形板弯振驱动的两直线自由度超声电机

技术领域

本发明涉及一种利用矩形板多个弯曲振动模态驱动的两直线自由度超声电机，尤其涉及一种基于矩形板弯振驱动的两直线自由度超声电机。

背景技术

超声电机分为单自由度式和多(含两)自由度式两大类。迄今，单自由度超声电机技术已取得了长足进步，其中有些已进行批量生产并得到成功的应用。但在某些场合，如精密XY工作台驱动、全方位仿生机器人关节驱动等应用场合，人们需要提供两个和两个以上自由度运动和动力，此时，单自由度电机就显得无能为力。在这种背景下，上世纪90年代未，多自由度超声电机应运而生并逐渐进入超声研究者的视线。在2007年，国内超声电机技术首席科学家赵淳生院士在其经典的《超声电机技术及应用》中对多自由度超声电机的技术现状与发展进行了***分析和总结。从该作可以看出，国内外已推出的为数不多的多自由度超声电机几乎都属多旋转自由度式，多直线自由度超声电机研究成果几近空白。只是进入2008年之后，苏州职业大学的李志荣教授推出过一种利用杆式定子驱动的两直线自由度超声电机。从李教授的论文中不难看出，目前该电机的性能尚不理想。尽管目前两直线自由度超声电机研究进展缓慢，但是这类电机因能作平面运动、响应快、精密定位，而在集成半导体制造、精密加工等技术领域内有着特殊重要的应用前景，在精密驱动、机器人等高新技术领域中可发挥出其他电机难以替代重要的作用。正因如此，本发明提出了一种用弹性矩形薄板的多个弯振模态推动电机动子做平面运动的两直线自由度超声电机。迄今，在国内外还未见与本发明具有类似原理和结构的其他超声电机。

发明内容

本发明的目的在于提供了一种基于矩形板弯曲振动模态驱动的两直线自由度超声电机。该电机具有运动灵活、运动精度高、响应快和动力密度大等优点，在精密定位、伺服控制等应用中存在的明显优势，该电机具有亚微米级(甚至更高)位置分辨率、毫秒级响应速度、有较大速度并能

产生较大推力，应用范围广。

本发明是这样实现的，它包括定子组件、动子组件、支座组件和预紧加压组件，其特征是预紧加压组件连接支座组件，支座组件上连接定子组件，定子组件与动子组件配合连接。定子组件通过柔性铰支座固定在支座组件上，动子组件通过滚珠与支座组件构成高副连接，预紧加压组件压紧在定子组件上。

所述定子组件由矩形板、压电陶瓷、X向驱动齿、Y向驱动齿组成，其特征是矩形板的正、反两面分别连有两层压电陶瓷，压电陶瓷上分别对称连有四个X向驱动齿和四个Y向驱动齿，X向驱动齿和四个Y向驱动齿的顶面分别涂敷增摩减磨材料。

所述的动子组件由滑板、滚动体、盖板组成，其特征是盖板固定连接滑板，滑板上开有若干个阶梯孔，阶梯孔内有滚动体。

所述的支座组件由上安装盖、下安装座、柔性支座组成，其特征是上安装盖连接下安装座，下安装座连有若干个柔性支座，下安装座上钻有若干个安装孔。

所述的预紧加压组件由碟形弹簧和加压调整螺钉组成，其特征是调整螺钉连接调节碟形弹簧。

所述的压电陶瓷，其特征是压电陶瓷由多个压电晶片组成，各压电晶片之间在矩形板的X向和Y向均留有间隙，矩形板正面和背面上的两层压电陶瓷中的各压电晶片的极化方向相同。

本发明的技术效果是：1、采用单个平板定子同时实现两个方向直线自由度运动直接驱动，避免了传统XY移动装置中的变换运动机构所带来的传递误差，使电机具有快速精密(亚微米级甚至更高精度)定位性，同时也简化了电机结构、减小了电机尺寸；2、运动灵活、双功能，能产生较大推力，工作性能更趋稳定，运动阻力小。3、采用平面薄板式定子结构，有利于平面运动电机薄型化和轻量化；

附图说明

图1为本发明的结构示意图。

图2为为本发明定子组件的结构示意图。

图3为本发明动子组件的结构示意图。

图4为本发明支座组件的结构示意图。

图5为本发明驱动的的配置示意图。

图6为本发明动子组件驱动原理图。

具体实施方式

如图1所示，本发明是这样来实现的，它包括定子组件1、动子组件2、支座组件3和预紧加压组件4，其特征是预紧加压组件4连接支座组件3，支座组件3上连接定子组件1，定子组件1与动子组件2配合连接；

如图2所示，所述定子组件由矩形板5、压电陶瓷6、X向驱动齿7、Y向个驱动齿8组成，其特征是矩形板5的正、反两面分别连有两层压电陶瓷6，压电陶瓷6上分别对称连有四个X向驱动齿7和四个Y向个驱动齿8，X向驱动齿7和Y向个驱动齿8的顶面分别涂敷增摩减磨材料9；所述的压电陶瓷6，特征是：它由多个压电晶片组成，各压电晶片之间在定子板5的X向和Y向上均留有间隙，定子矩形板5正面和背面上的两层压电陶瓷中的各压电晶片的极化方向相同；

如图3所示，所述的动子组件由滑板10、滚动体11、盖板12和螺钉13组成，其特征是盖板12与滑板10固定地连接在一起，滑板10上开有若干个阶梯孔，阶梯孔内装有滚动体11；

如图4所示，所述的支座组件由上安装盖14、下安装座15、柔性铰支座16和螺钉17组成。上安装盖14连接下安装座15，下安装座15上钻有若干个安装孔；所述的预紧加压组件，它包括碟形弹簧18和加压调整螺钉19，其特征是旋转调整螺钉19连接调节碟形弹簧18。

两直线自由度超声电机通过定子组件1的做超声机械振动推动动子作XY平面运动。为了有效地激发定子组件1的弯曲工作模态的振动，需在定子矩形板5的正面和背面粘贴高性能的压电陶瓷6，并需在这些压电陶瓷6上施加高频谐波激励功率信号，使压电陶瓷6产生逆压电效应，从而引起矩形板5机械振动。为了激发出矩形板5在X方向上的B_0，5模态，粘贴于定子矩形板5正面外层的压电陶瓷6需进行极化处理和供电配置；为了激发定子的X方向上的B_0，8模态，贴于定子矩形板5正面里层的压电陶瓷6进行极化处理和供电配置；为了激发出矩形板5的Y向的B_5，0模态，贴于定子矩形板5背面外层的压电陶瓷6进行极化处理和供电配置；为了激发定子矩形板的Y向B_8，0模态，贴于定子矩形板5背面上里层的压电陶瓷6进行极化处理和供电配置。

两直线自由度超声电机的定子板5上设置了8个驱动齿，这些齿分成X向驱动齿7和Y向驱动齿8等两组。每组中均有4个齿，X向驱动齿7用于推动动子沿X轴方向做直线运动，Y向驱动齿8用于推动动子沿Y轴方向做直线运动。

如图5所示，所述的X向驱动齿7沿定子矩形板5的X方向上的安装位置是：驱动齿7必须处于X向弯曲模态B_0，5和B_0，8的非波峰和波谷的适当位置。并且为了避免或尽量减小X向驱动齿7的运动对动子组件的Y向直线自由度产生干扰，X向驱动齿7在矩形板5的Y轴方向上位置是：处在B_5，0和B_8，0的公共节线上。

所述的Y向驱动齿8沿定子矩形板5的Y轴方向上的安装位置是：必须处于Y向弯曲模态B_5，0和B_8，0的非波峰和波谷的适当位置。同样，为了避免或减小Y向驱动齿的8运动对动子的X向自由度运动产生干扰，Y向驱动齿8在矩形板5上的沿X向位置是：处在B_0，5和B_0，8r的公共节线处。

电机的工作原理是：通过在压电陶瓷I组上施加高频谐波激励信号，激发定子X向的B_0，5(或B_0，8)弯振模态，驱使X向驱动齿7的顶面处质点沿X向作正(或反)向椭圆运动，再借助驱动齿7与动子组件2之间的摩擦推动动子组件2沿X轴作正(或反)向直线运动；通过在压电陶瓷II组上施加高频谐波激励信号，激发定子Y向的B_5，0(或B_8，0)弯振模态，驱使Y向驱动齿8的顶面处质点沿Y向作正(或反)向椭圆运动，并借助Y向驱动齿8与动子组件2之间的摩擦推动动子组件2沿Y轴作正(或反)向直线运动。当同时激励定子X向和Y向两个方向上的工作模态时，就实现了电机的XY平面运动。

图6所示，图中给出了电机利用单相高频谐波信号对定子进行激励，驱使X向驱动齿7推动动子组件2沿X轴方向运动的情况。由于四个X向驱动齿7沿定子板Y轴方向分成了前后两排，两排齿对动子的驱动情况完全一样，因此，可以其中一排齿为例说明其X向自由度的驱动。动子组件2沿X轴的正向驱动是通过定子的B_0，5模态实现，在定子按B_0，5模态进行弯振的前半周期，两个X向驱动齿7与动子组件2接触且作顺时针摆动，通过驱动齿与动子组件2之间的摩擦作用推动动子作正向运动；在定子按B_0，5模态进行弯振的后半周期，两个X向驱动齿7与转子脱离接触，不向动子组件传递动力，此时，动子组件2在惯性作用下继续滑移。动子组件2沿X轴的反方向运动是通过矩形板5的B_0，8模态实现，在定子按B_0，8模态弯振的前半周期，两个X向驱动齿7与动子组件2接触且作逆时针摆动，通过驱动齿与动子组件2之间的摩擦作用推动动子反向运动；在定子按B_0，8模态进行弯振的后半周期，两个X向驱动齿与转子脱离接触，不向动子组件传递动力，此时，动子组件2在惯性作用下继续滑移。值得说明的是，在X向驱动齿7驱动X向自由度的同时，Y向驱动齿8也在驱动Y向由度运动。由于Y向驱动齿8沿矩形板5的X轴方向布置在B_0，5与B_0，8的公共节线处，因此，Y向驱动齿8对动子组件的X向自由度运动几乎不产生干扰。

矩形板5上的Y向驱动齿8对动子组件2的驱动是利用了矩形板5的B_5，0或B_8，0模态，其中，B_5，0用于驱动动子组件2沿Y轴正向运动，B_8，0用于驱动动子组件2沿Y轴的负方向运动。Y向驱动齿8推动动子Y向自由度的情况与X向驱动齿7推动X向自由度的情况完全一样。同样，由于X向驱动齿7沿矩形板5的Y轴方向布置在B_5，0与B_8，0的公共节线处，因此，X向驱动齿7对动子组件2的Y向自由度运动也不产生干扰。

Claims

1、一种基于矩形板弯振驱动的两直线自由度超声电机，它包括定子组件、动子组件、支座组件和预紧加压组件，其特征是预紧加压组件连接支座组件，支座组件上连接定子组件，定子组件与动子组件配合连接。定子组件通过柔性铰支座固定在支座组件上，动子组件通过滚珠与支座组件构成高副连接，预紧加压组件压紧在定子组件上。

2、根据权利要求1所述的基于矩形板弯振驱动的两直线自由度超声电机，所述定子组件由矩形板、压电陶瓷、X向驱动齿、Y向驱动齿组成，其特征是矩形板的正、反两面分别连有两层压电陶瓷，压电陶瓷上分别对称连有四个X向驱动齿和四个Y向驱动齿，X向驱动齿和四个Y向驱动齿的顶面分别涂敷增摩减磨材料。

3、根据权利要求1所述的基于矩形板弯振驱动的两直线自由度超声电机，所述的动子组件由滑板、滚动体、盖板组成，其特征是盖板固定连接滑板，滑板上开有若干个阶梯孔，阶梯孔内有滚动体。

4、根据权利要求1所述的基于矩形板弯振驱动的两直线自由度超声电机，所述的支座组件由上安装盖、下安装座、柔性支座组成，其特征是上安装盖连接下安装座，下安装座连有若干个柔性支座，下安装座上钻有若干个安装孔。

5、根据权利要求1所述的基于矩形板弯振驱动的两直线自由度超声电机，所述的预紧加压组件由碟形弹簧和加压调整螺钉组成，其特征是调整螺钉连接调节碟形弹簧。

6、根据权利要求2所述的基于矩形板弯振驱动的两直线自由度超声电机，所述的压电陶瓷，其特征是压电陶瓷由多个压电晶片组成，各压电晶片之间在矩形板的X向和Y向均留有间隙，矩形板正面和背面上的两层压电陶瓷中的各压电晶片的极化方向相同。