CN101517400A - 基板检查装置 - Google Patents

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CN101517400A CNA2007800349203A CN200780034920A CN101517400A CN 101517400 A CN101517400 A CN 101517400A CN A2007800349203 A CNA2007800349203 A CN A2007800349203A CN 200780034920 A CN200780034920 A CN 200780034920A CN 101517400 A CN101517400 A CN 101517400A
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Abstract

提供即使基板大型化也能够通过车辆方便地进行运输并在运输目的地简单地进行组装、并且能够降低运费的基板检查装置。该基板检查装置具有：检查单元，其在检查基座上一体地组装有：对与基板传送方向垂直的检查线进行检查的检查头、支撑该检查头的机架、以及使基板浮起固定高度的检查用浮台部；以及传送单元，其以能够装卸的方式组装在机架的脚部与检查用浮台部之间的检查基座上，沿着传送基板的传送路径的一侧边缘，相对于检查单元配置成T字形，保持基板使其沿传送方向移动，在通过车辆进行运输时，能够以单元为单位来分解并运输传送单元和检查单元。

Description

基板检查装置
技术领域
本发明涉及检查玻璃基板这样的薄板状基板的基板检查装置。
背景技术
以往，公知有如下这样的、将通过光刻工艺线制造出的用于平板显示器(FPD)的大型玻璃基板作为对象的基板检查装置：该基板检查装置在使玻璃基板气浮在浮台上的状态下，沿传送方向传送玻璃基板，利用安装在跨越浮台而设置的机架上的检查头来检查玻璃基板表面的缺陷。在这种基板检查装置中，在坚固的检查用基座上一体地组装有以下部分：使玻璃基板浮起的浮台；保持浮起的玻璃基板并沿传送方向强制传送该基板的基板传送机构；以及设置有检查头、并可以使该检查头沿与传送方向垂直的方向移动的门形机架。检查用基座采用了如下结构：将相当于大型玻璃基板2倍大小的花岗岩和钢架焊接成细长的矩形框架。
近年来，用于FPD的玻璃基板(素玻璃)向大型化发展，并出现了超过2.5m、3m的基板。当玻璃基板的宽度尺寸超过2m时，如果在玻璃基板的宽度尺寸2m上加上用于安装机架的空间，则一体组装有机架的检查装置的宽度尺寸就会超过2.5m。在道路法等法律中，将无须许可即可通行的车辆的宽度限制为2.5m。因此，当运输宽度超过2.5m的检查装置时，必须要安排特殊车辆，得到通行许可，并在得到该通行许可的通行时间和通行路径内进行运输，从而产生了不能自由运输的问题和运费大幅上升的问题。
这样，当基板检查装置随着玻璃基板的大型化而向大型化发展时，需要向FPD制造工厂进行运输的特殊车辆和用于搬入到工厂内的特殊运输装置。对于检查尺寸为3m的玻璃基板的基板检查装置而言，由于安装有跨越浮台的机架，因此其宽度尺寸会超过4m，产生了即使特殊的卡车也无法进行运输的新问题。
例如在专利文献1中公开了用于解决这种问题的基板检查装置。
当待检查的玻璃基板的尺寸变大时，用于将玻璃基板高精度地支撑为平坦水平状态的花岗岩基座也会变大变重，存在不便于运输和成本上升的问题，因此该基板检查装置针对该问题而采用了尽量减小花岗岩基座的结构。并且，该基板检查装置可以分割成3个钢架、具有花岗岩基座的机架子组件、具有真空触点的2个Y轴直线伺服电机组件、以及2个风动工作台，之后运输到作为运输目的地的FPD制造工厂，在当地的装配场所进行组装。
【专利文献1】日本特开2005-62819号公报
但是，专利文献1所公开的基板检查装置在花岗岩的基座上安装了装配有真空吸嘴的吸盘阵列和气动卡盘，在玻璃基板的传送中通过加压空气使玻璃基板浮起，在检查中通过真空气体进行固定，因此在每次检查时必须重复吸附玻璃基板/使玻璃基板浮起的动作，很难缩短检查时间。并且，由于2个Y轴直线伺服电机组件是隔着机架子组件来配置的，因此在检查过程中交接玻璃基板时，玻璃基板可能发生偏离，或者由于吸附保持着玻璃基板的前端部和后端部，从而玻璃基板可能以该吸附保持部为中心进行旋转。尤其，在沿按压玻璃基板的方向进行传送时，玻璃基板的重心容易移动，玻璃基板的传送姿势不稳定。
此外，由于从中央钢架上分割出机架子组件，然后又从上部钢架和下部钢架上分割出2个Y轴直线伺服电机组件，从而要现场进行组装，因此很难将2个Y轴直线伺服电机组件的基准轴(Y轴)调校成与机架子组件的基准轴(X轴)成直角。即，在通过焊接使分割成三部分的钢架合为一体时，如果机架子组件和2个Y轴直线伺服电机组件的安装位置发生偏离，则必须现场调节2个Y轴直线伺服电机组件的直线度和各Y轴直线伺服电机组件相对于机架子组件的直角度，从而组装起来十分烦杂。并且，由于2个Y轴直线伺服电机组件隔着机架子组件来进行配置，因此需要同时调校各Y轴直线伺服电机组件相对于机架子组件的直角度、以及2个Y轴直线伺服电机组件的直线度这二者，并且还需要进行3个钢架的位置对准，因此产生现场调节作业十分烦杂的问题。
发明内容
本发明正是鉴于上述情况而完成的，其目的在于提供一种便于运输和现场组装并能够降低成本的基板检查装置。
为了实现上述目的，本发明提供下述手段。
本发明的一个方式是一种基板检查装置，该基板检查装置具有：检查单元，其在检查基座上一体地组装有：检查与基板传送方向垂直的检查线的检查头、支撑该检查头的机架、以及使所述基板浮起固定高度的检查用浮台部；以及传送单元，其以能够装卸的方式安装在所述机架的脚部与所述检查用浮台部之间的所述检查基座上，沿着传送所述基板的传送路径的一侧边缘相对于所述检查单元配置成T字形，保持所述基板使其沿所述传送方向移动，在通过车辆进行运输时，能够以单元为单位来分解并运输所述传送单元和所述检查单元。
根据这种方式，本发明能够通过相互组装检查单元和传送单元而构成，在运输时和装配时可以以单元为单位来进行。其结果，可以以单元为单位来分解用于检查大型基板的大型基板检查装置，便于运输。
在该情况下，检查单元由悬浮支撑基板的检查用浮台部、检查头和机架构成，因此可以单独地进行能实现基板检查所需的精度的装配调节。
在上述方式中，可以在检查基座上设置抵接部件，该抵接部件具有相对于检查用浮台部水平地安装传送单元的基准面、和相对于检查头的检查线直角安装的基准面。
在这种情况下，通过使传送单元与设置在检查基座的抵接部件抵接，能够将检查单元和传送单元高精度地组装起来。
在上述方式中，可以将检查用浮台设为能够以不妨碍检查的平坦度来悬浮支撑基板的宽度尺寸。
在这种情况下，可以将检查用浮台的传送方向的宽度尺寸缩短为基板的若干分之一，使检查单元的传送方向的宽度尺寸成为车辆的车宽以内，从而能够一体地运输检查单元。
在上述方式中，可以在检查单元上安装延长浮台单元或延长辊台单元。
在这种情况下，利用延长浮台单元或延长辊台单元来扩大支撑大型基板的传送路径，能够平稳地传送大型基板。并且，通过将传送单元安装在检查单元的检查用浮台部和延长浮台单元的一端侧，能够保持由浮台部和延长浮台单元支撑的基板，使基板沿与检查头移动方向垂直的方向移动。由此，能够对基板整体进行二维检查。
在该情况下，通过在检查单元上安装延长浮台单元，从而基板的整面被检查用浮台部或延长浮台单元支撑为悬浮状态而进行检查和传送，因此基板不会因传送时的摩擦而损坏，能够保持完好的状态。此外，因为传送时不会产生摩擦，因此能够提高传送速度进而提高吞吐量。
在上述方式中，可以在与基板传送方向垂直的方向上隔开间隔地排列细长的浮起单元而构成延长浮台部。
在该情况下，延长浮台单元与检查单元的浮台部不同，由于不支撑基板的检查区域，因此并不严格要求达到在延长浮台单元上支撑的基板的平坦度。因此，通过隔开间隔地配置细长的浮起单元，能够省略间隔部分处的浮起单元而减轻重量，作为结果能够防止延长浮台单元的传送方向的刚性降低。
在上述方式中，可以在检查用浮台部与延长浮台单元的接合部分上设置用于跨越传送面的台阶的辊子。并且，该辊子可以沿着检查用浮台部的传送方向的两侧而设置在检查基座上。
在该情况下，不需要调节传送面的高度，即能够将延长浮台单元简便地安装到检查单元上。通过利用配置在检查用浮台的检查区域两侧的辊子来限制基板的浮起高度，能够良好地保持基板的平坦度。
并且，在上述方式中，可以在传送单元的传送基座的下表面上设置传送用轴承。
在该情况下，能够使重量较重的传送单元在进行微小移动的同时准确地对准检查用基座，并通过使用空气轴承，能够在已进行定位的状态下将传送基座高精度地定位到检查用基座上。
根据本发明，能够发挥如下效果：即使基板大型化也能够通过车辆方便地进行运输并在运输目的地简单地进行组装，并且能够降低运费。
附图说明
图1是示出本发明一实施方式的基板检查装置的俯视图。
图2是图1的基板检查装置的侧视图。
图3是图1的基板检查装置的主视图。
图4是示出图1的基板检查装置的A-A剖面的纵剖视图。
图5是示出图1的基板检查装置的检查单元的主视图。
图6是图5的检查单元的侧视图。
图7是图5的检查单元的俯视图。
图8是示出图1的基板检查装置的延长浮台单元的俯视图。
图9是示出图8的延长浮台单元的侧视图。
图10是示出图1的基板检查装置的另一延长浮台单元的俯视图。
图11是示出图10的延长浮台单元的侧视图。
图12是示出图1的基板检查装置的传送单元的侧视图。
图13是示出图12的传送单元的俯视图。
图14是示出在图5的检查单元上组装图8和图10的延长浮台单元以及图13的传送单元之前的状态的俯视图。
图15是示出在图5的检查单元上组装图8和图10的延长浮台单元之前的状态的俯视图。
图16是示出图8的延长浮台单元的变形例的主视图。
图17是示出图16的延长浮台单元的连接浮台单元部的抵接面的结构例的纵剖视图。
图18是示出图8的延长浮台单元的另一变形例的主视图。
图19是示出图1的基板检查装置的另一变形例的俯视图。
图20是示出图19的基板检查装置的A-A剖面的纵剖视图。
图21是示出图1的基板检查装置的检查单元的变形例的侧视图。
图22是示出图21的检查单元的俯视图。
图23是示出图1的基板检查装置的变形例的俯视图。
标号说明
1、基板检查装置；2、检查单元；3、4、延长浮台单元；5、传送单元；8、机架；9、浮台部10、检查头移动机构(检查头传送机构)；11、显微镜(检查头)；21、22、浮起单元25、传送基座(基座)；26、直线移动机构(导轨、驱动机构)；27、滑块；28、吸附机构(装卸机构)。
具体实施方式
下面，参照图1～图23来说明本发明第一实施方式的基板检查装置1。
如图1～图4所示，本实施方式的基板检查装置1是用于检查光刻工艺线中批量制造平板显示器(FPD)所使用的素玻璃等薄板状基板的装置，该基板检查装置1具有检查单元2、延长浮台单元3、4以及传送单元5。在检查单元2的一侧设置有传送单元5，并使传送单元5与检查单元2的检查轴(x轴)成直角，该传送单元5保持矩形状玻璃基板的一侧边缘部而进行传送。
如图5～图7所示，检查单元2具有：放置在减振台6上的检查用基座7；固定在该检查用基座7上的门形机架8；使基板高精度地浮起固定高度的检查用浮台部9；检查头移动机构10，其具有铺设在机架8的水平梁8a上的导轨10a；显微镜(检查头)11，其通过检查头移动机构10以横穿检查用浮台部9的方式进行直线移动；透过照明光源12，其设置在检查用浮台部9的下方，与显微镜11的物镜相对；以及照明移动机构13，其使所述透过照明光源12与显微镜11的移动同步地进行直线移动。
检查头除了安装有倍率不同的多个物镜的显微镜之外，还可以采用宏观检查头或在显微镜上组装有修复装置的激光加工头等检查与基板传送方向垂直的检查线的装置，其中，上述宏观检查头以规定角度向基板照射线照明光，并通过线传感器照相机拍摄来自基板的反射光。在采用宏观检查头的情况下，拍摄检查线的线传感器照相机和线照明光源以规定的角度关系固定在机架8上，因此不需要检查头移动机构10和照明移动机构13。
检查用浮台部9在检查线上，在隔开可透过来自透过照明光源12的照明光的狭缝状微小间隙14的状态下，在传送方向(Y方向)的前后平行地设置有精密浮台部9A、9B。该精密浮台部9A、9B相对于检查线的两侧构成了规定宽度的检查区域，在该检查区域的整面上具有使空气基本均匀地排出的多个空气孔，能够使基板的上表面相对于精密浮台部9A、9B的上表面高精度地、平坦地浮起固定高度。例如，精密浮台部9A、9B在使板厚为0.7mm的玻璃基板浮起0.2mm时，能高精度地控制玻璃基板上表面的高度，使其相对于精密浮台部9A、9B的上表面处于0.9mm的高度。
这些精密浮台部9A、9B除了具有排出空气的空气孔之外，还具有吸进空气的空气孔，从而也可以通过同时排出和吸进空气来高精度地控制基板的浮起高度。
此外，在检查头采用了宏观检查头的情况下，优选将精密浮台部9A、9B构成为一体，并沿着检查线来设置用于防止来自浮台表面的反射光的狭缝槽。
辅助检查用浮台部9C配置成比精密浮台部9A、9B更靠近上游侧，其是为了将基板稳定地传送到检查区域中而设置的。该浮台部9C的多个细长的浮起单元15在宽度方向上隔开间隙而水平地配置在检查用基座7的上表面上。浮台部9C可以采用与精密浮台部9A、9B相同的规格，也可以与精密浮台部9A、9B相比空气孔密度更小、浮起精度更低。此外，在精密浮台部9A、9B能够平坦地控制基板时，也可以省略该浮台部9C。
检查头移动机构10例如由直线电机构成。显微镜11设置成可沿着导轨10a、导轨10a移动，可以通过检查头移动机构10的动作使显微镜11相对于检查用浮台部9的上表面进行水平移动。照明移动机构13使透过照明光源12与显微镜11的移动同步地进行水平移动。来自透过照明光源12的照明光通过微小间隙14而从基板背面照射，透过基板而被显微镜11观察到。显微镜11所观察到的基板的观察像作为图像被摄像装置获取。
精密浮台部9A、9B只要相对于显微镜11的检查线、具有能够以不妨碍基板检查的平坦度来悬浮支撑基板的宽度尺寸即可。在使基板平坦浮起的状态下，通过检查头移动机构10和照明移动机构13的动作使显微镜11和透过照明光源12沿与传送方向(Y方向)垂直的宽度方向(X方向)进行直线移动，从而能够对基板上沿宽度方向的规定直线状的检查线进行检查。由于使该基板在悬浮的状态下沿传送方向(Y方向)移动，因此能够在基板悬浮的状态下检查基板的整面。在通过显微镜11检查基板表面的缺陷时，利用传送单元5使基板沿传送方向移动，并使基板停止在与缺陷的Y坐标相应的位置。之后，检查头移动机构10将显微镜11移动到与缺陷的X坐标相应的位置，由此能够观察基板表面的缺陷。此外，在检查头采用了宏观检查头的情况下，在使基板悬浮在检查用浮台部9上方的同时，沿传送方向(Y方向)以一定速度进行传送，由此能够通过多个光传感器照相机拍摄基板整面。
检查单元2调节精密浮台9A、9B或机架8相对于检查基座7的高度，使显微镜11能够相对于水平悬浮在精密浮台部9A、9B上方的基板表面进行水平移动。此外，检查单元2还可以使机架8或精密浮台部9A、9B旋转微小角度来进行调节，以使导轨10a平行于精密浮台9A、9B的检查用的微小间隙。
在该检查单元2中，通过高精度地调节精密浮台部9A、9B、装配有显微镜11的机架8以及透过照明光源12而将它们一体地装配到检查用基座7上，从而构成一维检查装置。该检查单元2的检查基座7的短边侧尺寸被设定为小于车辆车厢的宽度尺寸，从而可以利用不受道路限制的、车宽为2.5m的普通车辆单独进行运输。检查基座7的传送方向的短边侧尺寸可以采用这样的长度，即：至少能够将机架8的脚部安装到检查基座7上。例如，在利用车宽规定为2.5m的大型卡车进行运输的情况下，可以将检查基座7的短边侧尺寸设定为这样的长度：该长度比机架8与检查用浮台部9组装后的最大尺寸长，比车宽2.5m短。此外，检查用浮台部9的短边侧宽度尺寸可以设定为比车宽小的基板尺寸的若干分之一，例如3m尺寸玻璃基板的1/5～1/2，即0.6m～1.5m。这里，将检查单元2的短边侧尺寸设定为2m。
另外，在检查单元2的检查基座7上隔开规定间隔成对地设置有抵接部件16和抵接部件100，该抵接部件16具有水平安装后述的传送单元5的基准面16a，该抵接部件100具有安装为与机架8的检查轴成直角的基准面100a。此外，在检查基座7的传送方向(Y方向)的两端部上设置有抵接面17、18，该抵接面17、18安装后述的延长浮台单元3、4。
如图4所示，上述延长浮台单元3、4安装在2处，接着上述检查单元2的检查用浮台部9向传送方向的两侧延伸。
各延长浮台单元3、4分别具有固定在抵接面17、18上的架台19、20，抵接面17、18设置在检查基座7上。抵接面17、18可以采用接榫等凹凸嵌合结构，并通过将架台19、20上形成的凸部嵌入检查基座7上形成的凹部来简单地进行安装。在架台19、20的上表面上，在与传送方向垂直的宽度方向上排列、固定有多个沿传送方向延伸的细长浮起单元21、22。延长浮台单元3、4无需像精密浮台9A、9B那样使基板高精度地浮起，因此各浮起单元21、22可以间隔配置。通过隔开规定间隔地配置该浮起单元21、22，能够降低延长浮台单元3、4的重量，并能够低价地进行制造。
各浮起单元21、22与辅助检查用浮台9C相同，在各自的上表面上具有多个空气孔。如图8～11所示，在浮起单元21、22的上表面上，沿着传送方向分别形成有2个槽21a、22a，槽21a、22a用于使从空气孔排出的空气疏散到大气中。在浮起单元21、22的宽度较小的情况下，由于会从间隙部分泄漏出空气，因此即使不形成槽21a、22a，也可以使基板稳定地浮起。
此外，在延长浮台单元3、4的架台19、20上分别设置有用于固定到后述的传送单元5上的连接部件23、24。
如图12和图13所示，传送单元5具有：长的传送基座25，其具有用于与设置在检查单元2的检查用基座7上的抵接部件16、100固定的安装面5a、101a；直线电机等直线移动机构26，其具有铺设在该传送基座25的上表面上的导轨26a、导轨26a；滑块27，其设置成可沿导轨26a、导轨26a移动；装卸机构28，其安装在该滑块27上，通过例如吸附等来装卸基板。
传送基座25为了使基板沿传送方向(Y方向)移动而形成得比基板的两倍长度略长。例如，在基板尺寸为3m的情况下，传送基座25的长度为比基板的两倍长度6m更长的6.5m。该传送基座25与检查单元2的检查用基座7的抵接部件16的基准面16a和抵接部件100的基准面100a抵接，并通过螺钉进行固定，由此能够简单地调校相对于检查单元2的检查轴(X轴)的直角度以及相对于精密浮台9A、9B的水平度。
该传送单元5相对于检查单元2安装成T字形，例如在玻璃基板的尺寸为3米时，对于在检查单元2上一体地装配了传送单元5时设置面的X方向和Y方向的尺寸，检查单元2的X方向长度为4m，传送单元5的Y方向长度为6.5m。由于在检查单元2上一体地装配了传送单元5的状态下，较短的X方向的宽度也达到了4m，因此无法将其装载到由道路运行法律规定的、可以通过一般道路的车宽2.5m以内的大型卡车(车辆)上。
通过采用可以从检查单元2上以单元为单位拆卸传送单元5的结构，并将检查单元2的短边侧尺寸设为2m，能够利用车宽2.5m的大型卡车单独运输2m×4m大小的检查单元2。此外，发挥一维检查装置功能的检查单元2是在通过高精度的调节而组装起来的状态下直接装载到大型卡车上来进行运输的，因此仅仅需要安装另行运输的传送单元5而无需复杂的调节，可以简单地进行组装。
通过使传送单元相对于检查单元2安装成T字形，可以发挥二维检查装置的功能。通过在检查单元2的传送方向的两侧安装延长浮台单元3、4，从而传送单元5可以沿着基板传送路径的一侧边缘的全长进行配置。
如上所述，传送基座25需要在不使沿较长距离配置的直线移动机构26发生挠曲的状态下来支撑该直线移动机构26，因此传送基座25具有足够大的高度尺寸，能够发挥强度部件的功能。在本实施方式中，采用叠放3根作为标准件的方钢管的结构，提高了强度并减轻了重量。
此外，在传送基座25上设置有抵接面29，该抵接面29用于安装延长浮台单元3、4的架台19、20的连接部件23、24。通过将延长浮台单元3、4支持在传送基座25上，能够有助于不使延长浮台单元3、4挠曲。
说明这样构成的本实施方式的基板检查装置1的作用。
如图14至图15所示，本实施方式的基板检查装置1由1个检查单元2、2个延长浮台单元3、4、传送单元5这4个单元构成，采用了分别以单元2～5为单位组装的、可分解的结构。因此，具有这样的优点：在车辆运输时可以按照各单元2～5进行分解，便于运输。此外，在运输目的地进行组装时，仅仅通过以各单元2～5为单位进行调节后相互组装起来，即可在运输目的地现场方便地组装成能高精度地检查大型基板的基板检查装置1。
尤其，检查单元2在检查基座7上一体地组装有高精度安装了显微镜11这样的检查头的机架8、精密浮台9A、9B以及透过照明光源12，被调整为单独的一维检查装置，因此仅仅需要组装其他单元3～5而无需之后的调节工作，能够对基板进行高精度的检查。
然后，将延长浮台单元3、4分别固定在设于检查基座7的传送方向两端上的抵接面17、18上，由此构成了可以装载大型基板并使其保持平坦状态的大型浮台。
并且，通过组装传送单元5，能够利用吸离机构保持被浮台支撑为悬浮状态的基板的一边侧而沿传送方向(Y方向)进行传送。由此，可以在利用传送单元5的动作使基板沿传送方向(Y方向)移动的同时，利用检查头移动机构10使显微镜11沿与传送方向垂直的方向(X方向)移动，因此能够对基板整面进行二维检查。
在检查单元2的检查基座7上隔开规定间隔成对地设置有抵接部件16和抵接部件100，该抵接部件16具有水平安装传送单元5的基准面16a，该抵接部件100具有安装为与机架8的检查轴成直角的基准面100a。
在将传送单元5组装到检查单元2上并对直角度和水平度进行调节后，使长的传送单元5与检查单元2分离，由此可以利用大型卡车分别进行运输。
尤其，检查单元2鉴于现有检查用浮台这样的支撑基板整面的方式，而采用了能够使基板保持水平的、使基板的与检查区域对应的部分浮起的精密浮台9A、9B，由此，能够将检查单元2的基板传送方向(Y方向)的宽度尺寸减小至基板的若干分之一。其结果，能够使检查单元2的基板传送方向的宽度尺寸小于普通卡车的车宽尺寸，只要卸下尺寸较长的传送单元5，即可利用不受道路运行法律限制的普通大型卡车自由地进行运输，而不会像需要得到特别许可的特殊大型卡车那样受到交通管制。与受到交通管制的特殊大型卡车相比，一般大型卡车的运输成本可大幅降低。
此外，在传送单元5的传送基座25上，抵接面5a、101a分别设置有2处。该传送单元5与检查单元2分离运输，只要现场将传送基座25的安装面5a、101a配合抵接到检查单元2的抵接部件16的基准面16a和抵接部件100的基准面100a上，即可确保相对于传送方向(Y方向)的水平度和相对于检查单元2的检查轴(X轴)的直角度。
根据本实施方式的基板检查装置1，不管基板存在于传送方向上的哪个位置，基板整面都会被浮台部9或延长浮台单元3、4支撑为悬浮状态，因此即使通过传送单元5的动作使基板沿传送方向移动，基板背面也不会与传送路径发生磨擦，能够将摩擦损伤防患于未然。
此外，能够在检查单元2的检查用浮台部9使基板保持平坦的状态下，通过检查头移动机构10移动显微镜11，沿着检查线高精度地检查基板面。而且，通过使重量重的大型玻璃基板浮起并同时进行强制传送，能够增大传送速度，并且不像以往那样将基板放置在检查台上，而是在使基板浮起的状态进行检查，因此，作为其结果，具有提高了检查的吞吐量的优点。
此外，关于延长浮台单元3、4，由于使浮起单元21、22隔开间隔而降低了重量，因此能够抑制在安装到检查单元2的传送方向两端面上的状态下沿传送方向发生挠曲，并且便于运输以及现场组装。
并且，由于将延长浮台单元3、4固定在传送单元5的传送基座25上，因此具有能够提高延长浮台单元3、4的刚性、减少挠曲以及减轻振动的优点。
另外，在本实施方式的基板检查装置1中，在检查单元2的检查基座7的下部设置有减振台6，不过也可以取代该减振台6，而设置具有高度调节机构的调节器。在配置到光刻工艺线内的情况下，为了配合前后配置的辊子输送机(roller conveyor)的传送线高度，而设置有调节器。当在生产线中进行配置时，可以使延长浮台单元3、4与检查单元2的检查基座7分离，将调节器安装到各延长浮台单元3、4上，并将该调节器直接设置在地面上。
此外，在延长浮台单元3、4体积较大的情况下，如图16和图17所示，可以将其分割成具有多个浮起单元22的2个浮起单元部30、31，并分别将它们固定在一体的架台19、20上。此时，例如如图17所示，优选的是，利用螺栓34来连接沿宽度方向和厚度方向设置的抵接面32、33，从而浮起单元部30、31彼此紧密接合，高精度地组装为一体。
此外，在架台19、20体积较大的情况下，如图18所示，架台19、20也可以进行分割，并与组装成一体的浮起单元部30、31固定起来。
此外，如图19和图20所示，也可以代替延长浮台单元3、4而将延长辊台单元40、41组装到检查单元2的检查基座7上。关于这些延长辊台单元40、41，可以在检查单元2的检查基座7上组装如下这样的延长辊台单元，即：该延长辊台单元在同样的架台19、20上安装有通过多个辊子42a、43a来支撑基板背面的辊台部42、43。此时，各辊子由与基板背面接触并可自由旋转的自由式辊子输送机构成，将与基板背面接触的各辊子42a、43a的顶点调节到与检查单元2的浮台部9上的基板浮起高度相同的高度。例如，在精密浮台9A、9B使基板浮起0.2mm的高度时，将各辊台部42、43的辊子42a、43a的顶点高度调节到基板相对于精密浮台9A、9B的上表面所浮起的高度，即0.2mm。
此外，可以在检查单元2的浮台部9与各延长浮台单元3、4的接合部分上，配置如图21和图22所示的跨辊机构44。该跨辊机构44安装在凹状的切口部21b、22b内，该切口部21b、22b形成在延长浮台单元3、4的、支撑浮起单元21、22的单元保持组件21a、22a上。跨辊机构44的轴44b固定在U字形的支撑部件44a上，辊子44d通过轴承44c、44c而旋转自如地支撑在该轴44b上。该辊子44d由PEEK(Poly Ether EtherKetone：聚醚醚酮)树脂等、比玻璃基板更软的具有耐磨性的树脂构成。该跨辊机构44配置在各延长浮台单元3、4的各浮起单元21、22彼此的间隙中。这些跨辊机构44的各辊子44d设置成：相对于各浮起单元21、22的上表面突出与基板浮起高度相同的高度，例如0.2mm。
在将延长浮台单元3、4安装到检查单元2的传送方向的两端侧时，即使与浮台部9相比，延长浮台单元3、4在浮起高度上产生微小的台阶，但是由于玻璃基板的末端与辊子44d接触，从而能够平稳地渡过台阶部位。
通过在延长浮台单元3、4与检查用浮台部9的接合部分上设置该跨越用的辊子44d，从而无需调节传送面的高度，能够简单地将延长浮台单元3、4组装到检查单元2上。
此外，还可以将跨辊机构44沿着作为检查单元2的检查区域的检查用浮台部9的两侧而设置在检查用基座7上。通过将该跨辊机构44安装在检查用基座7上，能够高精度地设定辊子44b相对于精密浮台部9A、9B的突出高度。其结果，运入到检查单元2中的很薄的玻璃基板被沿着检查区域的两侧配置在多处的各跨辊机构44限制为精密浮台部9A、9B的浮起高度，因此能够良好地保持玻璃基板的浮起高度和平坦度。
并且，如图23所示，可以在传送单元5的传送基座25的下表面上，设置使重量较大的传送单元5旋转自如地移动的倾斜辊45，来作为传送用轴承。传送单元5被放置在台车46上，其前端部分按照图14所示的方式从检查单元2的机架8的内侧***而安装到检查用基座7上。在该台车46上设置有升降机构。将传送单元5送出到传送基座25的抵接面5a、101a与检查基座7的安装部件16、100大致一致的位置上，然后通过升降机构使传送单元5下降，由此将其安装到检查用基座7上。此时，传送基座25被倾斜辊45旋转自如地支撑为从检查用基座7升起的状态，因此，能够在使传送单元5进行微小移动的同时，将传送基座25的安装面5a、101a准确地对准检查用基座7的安装部件16、100的各基准面16a、100a。
作为传送用轴承，可以取代倾斜辊45，而通过密封构成传送基座25的最下方的方钢管的两端来形成储藏高压空气的储气箱，并在该储气箱的下表面上形成多个用于喷出空气的空气喷出孔，从而具有空气轴承的功能。当使用储气箱时，在已进行定位的状态下使储气箱通向大气，使传送基座25的安装面5a与检查用基座7的安装部件16的基准面16a紧密接合，因此能够高精度地进行定位。
1.一种基板检查装置，其特征在于，
该基板检查装置具有：
检查单元，其在检查基座上一体地组装有：对与基板传送方向垂直的检查线进行检查的检查头、支撑该检查头的机架、以及使所述基板浮起一定高度的检查用浮台部；以及
传送单元，其以能够装卸的方式安装在所述机架的脚部与所述检查用浮台部之间的所述检查基座上，沿着传送所述基板的传送路径的一侧边缘，相对于所述检查单元配置成T字形，保持所述基板使其沿所述传送方向移动，
在通过车辆进行运输时，能够以单元为单位来分解并运输所述传送单元和所述检查单元。
2.根据权利要求1所述的基板检查装置，其特征在于，
所述检查单元在所述机架的脚部与所述检查用浮台部之间的所述检查基座上设置有抵接部件，该抵接部件具有相对于所述检查用浮台部水平地安装所述传送单元的基准面、和相对于所述检查头的检查线直角安装的基准面。
3.根据权利要求1所述的基板检查装置，其特征在于，
所述检查用浮台部相对于所述检查头的检查线具有如下宽度尺寸的检查区域，该宽度尺寸能够以不妨碍所述基板的检查的平坦度来悬浮支撑该基板。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的基板检查装置，其特征在于，
所述检查用浮台部同时进行空气的排出和吸入，使所述基板高精度地、平坦地浮起固定的高度。
5.根据权利要求1所述的基板检查装置，其特征在于，
所述检查单元在所述检查用浮台部的传送方向上的至少一侧，以能够装卸的方式安装有水平支撑所述基板的延长浮台单元或延长辊台单元，在所述运输时能够从所述检查单元上拆卸下该延长浮台单元或延长辊台单元而进行运输。
6.根据权利要求5所述的基板检查装置，其特征在于，
所述延长浮台部在与基板传送方向垂直的方向上隔开间隔地排列有细长的浮起单元。
7.根据权利要求1所述的基板检查装置，其特征在于，
所述检查单元在所述检查用浮台部的传送方向上的至少一侧，以能够装卸的方式安装有使所述基板浮起而水平支撑该基板的延长浮台单元，在所述检查用浮台部与延长浮台单元的接合部分上设置有用于跨越传送面的台阶的辊子。
8.根据权利要求7所述的基板检查装置，其特征在于，
所述用于跨越传送面的台阶的辊子沿着所述检查用浮台部的传送方向的两侧而设置在所述检查基座上。
9.根据权利要求1所述的基板检查装置，其特征在于，
所述传送单元具有：长的传送基座、具有铺设在该传送基座的上表面上的导轨的直线移动机构、通过该直线移动机构沿着所述导轨移动的滑块、以及设置在该滑块上用于装卸所述基板的装卸机构。
10.根据权利要求9所述的基板检查装置，其特征在于，
所述传送单元在所述传送基座的下表面上设置有能够自由旋转的传送用轴承。
11.根据权利要求9所述的基板检查装置，其特征在于，
所述传送基座重叠多个方钢管而成，最下方的方钢管构成为密封结构的储气箱，在该储气箱的下表面上形成多个用于排出空气的空气排出孔而构成空气轴承。

Claims (15)

1.一种基板检查装置，其特征在于，
该基板检查装置具有：
检查单元，其在检查基座上一体地组装有：对与基板传送方向垂直的检查线进行检查的检查头、支撑该检查头的机架、以及使所述基板浮起一定高度的检查用浮台部；以及
传送单元，其以能够装卸的方式安装在所述机架的脚部与所述检查用浮台部之间的所述检查基座上，沿着传送所述基板的传送路径的一侧边缘，相对于所述检查单元配置成T字形，保持所述基板使其沿所述传送方向移动，
在通过车辆进行运输时，能够以单元为单位来分解并运输所述传送单元和所述检查单元。
2.根据权利要求1所述的基板检查装置，其特征在于，
所述检查单元在所述机架的脚部与所述检查用浮台部之间的所述检查基座上设置有抵接部件，该抵接部件具有相对于所述检查用浮台部水平地安装所述传送单元的基准面、和相对于所述检查头的检查线直角安装的基准面。
3.根据权利要求1所述的基板检查装置，其特征在于，
所述检查用浮台部相对于所述检查头的检查线具有如下宽度尺寸的检查区域，该宽度尺寸能够以不妨碍所述基板的检查的平坦度来悬浮支撑该基板。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的基板检查装置，其特征在于，
所述检查用浮台部同时进行空气的排出和吸入，使所述基板高精度地、平坦地浮起固定的高度。
5.根据权利要求1所述的基板检查装置，其特征在于，
所述检查单元在所述检查用浮台部的传送方向上的至少一侧，以能够装卸的方式安装有水平支撑所述基板的延长浮台单元或延长辊台单元，在所述运输时能够从所述检查单元上拆卸下该延长浮台单元或延长辊台单元而进行运输。
6.根据权利要求5所述的基板检查装置，其特征在于，
所述延长浮台部在与基板传送方向垂直的方向上隔开间隔地排列有细长的浮起单元。
7.根据权利要求1所述的基板检查装置，其特征在于，
所述检查单元在所述检查用浮台部的传送方向上的至少一侧，以能够装卸的方式安装有使所述基板浮起而水平支撑该基板的延长浮台单元，在所述检查用浮台部与延长浮台单元的接合部分上设置有用于跨越传送面的台阶的辊子。
8.根据权利要求7所述的基板检查装置，其特征在于，
所述用于跨越传送面的台阶的辊子沿着所述检查用浮台部的传送方向的两侧而设置在所述检查基座上。
9.根据权利要求1所述的基板检查装置，其特征在于，
所述传送单元具有：长的传送基座、具有铺设在该传送基座的上表面上的导轨的直线移动机构、通过该直线移动机构沿着所述导轨移动的滑块、以及设置在该滑块上用于装卸所述基板的装卸机构。
10.根据权利要求9所述的基板检查装置，其特征在于，
所述传送单元在所述传送基座的下表面上设置有能够自由旋转的传送用轴承。
11.根据权利要求9所述的基板检查装置，其特征在于，
所述传送基座重叠多个方钢管而成，最下方的方钢管构成为密封结构的储气箱，在该储气箱的下表面上形成多个用于排出空气的空气排出孔而构成空气轴承。
12.一种基板检查装置，该基板检查装置具有：
检查单元，其具有：检查基板的检查头；支撑该检查头并使该检查头沿一水平方向移动的检查头传送机构；水平的浮台部，其具有喷出空气的多个空气喷出孔，将设置在检查头的光轴上的基板支撑为悬浮状态；
延长浮台单元，其安装在所述检查单元上，在与所述检查头传送机构实现的检查头移动方向垂直的方向上延伸出所述浮台部，将基板支撑为悬浮状态，以及
传送单元，其安装在所述检查单元上，并沿着与所述检查头传送机构实现的检查头移动方向垂直的传送方向而配置在所述浮台部和所述延长浮台单元的一端侧，该传送单元保持通过所述浮台部和所述延长浮台单元而浮起的基板并使该基板沿传送方向移动。
13.根据权利要求12所述的基板检查装置，其特征在于，
所述延长浮台单元隔着所述检查单元而安装在所述传送单元实现的基板传送方向的两侧。
14.根据权利要求12或13所述的基板检查装置，其特征在于，
所述传送单元具有基座、固定在该基座上的导轨、沿该导轨直线移动的滑块、安装在该滑块上用于保持所述基板的装卸机构、以及使所述滑块移动的驱动机构，
所述延长浮台单元安装在所述传送单元的基座上。
15.根据权利要求12所述的基板检查装置，其特征在于，
所述延长浮台单元具有多个浮起单元，该多个浮起单元在与基板传送方向垂直的方向上隔开间隔地配置。
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